JPH0440533U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0440533U JPH0440533U JP8217490U JP8217490U JPH0440533U JP H0440533 U JPH0440533 U JP H0440533U JP 8217490 U JP8217490 U JP 8217490U JP 8217490 U JP8217490 U JP 8217490U JP H0440533 U JPH0440533 U JP H0440533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- robot body
- belt
- belt support
- dust
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示し、その要部を断面した正面図である。第
２図は第１図の要部を断面した側面図である。第
３図は第１図の矢視Ａ−Ａ方向拡大断面図である
。第４図は本考案に係る防塵ベルトの一端及び他
端が固定した状態を示す斜視図である。第５図は
本考案に係るロボツト体及びその周辺構造を示す
斜視図である。 １……ケース、１ａ……ケースの上蓋部、２…
…ロボツト体、４……レール、９……キヤリヤケ
ース、１０……ベルト支持ローラ、１１……防塵
ベルト、１２……リンク機構、１３……ベルト受
支持ローラ、１５……防塵バンド。
例を示し、その要部を断面した正面図である。第
２図は第１図の要部を断面した側面図である。第
３図は第１図の矢視Ａ−Ａ方向拡大断面図である
。第４図は本考案に係る防塵ベルトの一端及び他
端が固定した状態を示す斜視図である。第５図は
本考案に係るロボツト体及びその周辺構造を示す
斜視図である。 １……ケース、１ａ……ケースの上蓋部、２…
…ロボツト体、４……レール、９……キヤリヤケ
ース、１０……ベルト支持ローラ、１１……防塵
ベルト、１２……リンク機構、１３……ベルト受
支持ローラ、１５……防塵バンド。
Claims (1)
- ケース内の底部に設けたレール上を摺動しかつ
半導体の生成処理を司どる昇降パイプを備えたロ
ボツト体と、該ロボツト体の左右に配置した伸縮
自在のリンク機構とでなる半導体製造装置におい
て、該リンク機構の上部に一連のベルト受支持ロ
ーラ若しくはベルト支持ローラを配し、防塵ベル
トを該ベルト受支持ローラ及び該ロボツト体の両
側面並びに底面に一連に敷設し、該防塵ベルトと
ケース上部開口縁との隙間を閉塞すべく防塵バン
ドをケースの上蓋部に覆設したことを特徴とする
半導体製造装置の防塵構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8217490U JP2531292Y2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体製造装置の防塵構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8217490U JP2531292Y2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体製造装置の防塵構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0440533U true JPH0440533U (ja) | 1992-04-07 |
| JP2531292Y2 JP2531292Y2 (ja) | 1997-04-02 |
Family
ID=31628747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8217490U Expired - Fee Related JP2531292Y2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体製造装置の防塵構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531292Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP8217490U patent/JP2531292Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531292Y2 (ja) | 1997-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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