JPH0441174A - 微小研磨方法および微小研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、微小研磨方法およ′ＣＦ微小研磨工具に関
し、詳しくは、レンズや光学素子等の製造分野において
、超高精度な加工を行うために、微小な領域を精密に研
磨する方法、および、上記方法の実施に用いる研磨工具
に関するものである。

〔従来の技術〕

各種の電子機器や光学機器に糺み込まれて使用される非
球面レンズやＸ線光学素子等は、研磨加工によって製造
されているが、製品の形状精度が０．０１μｍ以下とい
う極めて高精度な加工を要求されており、このような超
高精度な研磨加工を行える加工方法が求められている。

そのためには、研磨面に対して、微小な領域に限定して
精密に研磨できる研磨方法が必要となる。

従来、高精度な研磨方法としては、ポリッシング加工や
ラフピング加工等が採用されていたが、前記した０、０
１μｍ以下の超高精度加工は全く不可能であったため、
近年、より高精度な加工を行える方法として、研磨材と
して磁性研磨流体を用いる磁気研磨法が注目されている
。ここに、磁性研磨流体とは、破性流体単体またはＣれ
に微粒状の研磨材を懸濁分散させてなるものを言う。

磁気研磨法では、研磨工具先端の研磨部と被研磨材の間
に、磁性研磨流体を供給するとともに磁界を印加するよ
うにする。そうすると、磁性研磨流体は、磁気的作用で
、被研磨材の研磨面を加圧した状態で研磨部と被＠磨材
の間に保持される。

この状態で、研磨工具を高速回転させると、磁性研磨流
体は研磨工具の回転に引きずられて高速回転運動させら
れて、被研磨材に対し研磨加工を行う。この際に、印加
する磁界の方向や強さを変動させることによって、磁性
研磨流体による研磨面の加圧力を変動させたり、磁性研
磨流体の運動を制御したりして、研磨性能を向上させる
ことも行われている。この磁気研磨法の具体例について
は、例えば、特開昭６０−１１８４６６号公報、特開昭
６１−２４４４５７号公報、特公昭１−１６６２３号公
報等に開示されている。

この磁気研磨法によれば、磁気的な保持力によって研磨
面の微小な領域に研磨材を集中的に作用させることがで
きるので、従来の研゛麿法に比べて、高精度な研磨加工
ができるという利点がある。

しかし、この磁気研磨法によってでも、０．０１μｍ以
下の超高精度加工には未だ充分に対応することが出来な
かった。

すなわち、この方法では、磁性研磨流体を研磨工具の高
速回転によって高速回転させるようにするので、研磨面
の仕上がりは研磨工具の回転の状態に直接影響を受ける
ことになる。ところが、研磨工具の回転にはどうしても
回転数の変動や軸ぶれ等が起き易いため、この方法では
、研磨面の仕上がりに、研磨量の変動や局部的な研磨の
偏り、研磨領域の変動が生してしまうと言う問題があっ
たのである。回転機構等の機械的な動作機構には、各部
材がスムーズに運動できるだけの空間的余裕が必要であ
り、そのために研磨部の運動に若干のガタッキが生じる
のもやむを得ないことであり、その結果、研磨面の仕上
がりにムラや変動が生じると言う問題もあった。要する
に、研９部を高速回転する限り、これらの問題を完全に
防止することは不可能であった。

従来の高速回転磁気研磨法では、磁性研磨流体を研磨面
に押し付けるための加圧力は、研磨工具の回転自体によ
っては生じず、前述のように磁気の印加によって生じさ
せているので、印加する磁気を強くしないと充分な研磨
力が生じず、磁気の強さが変動すると研磨量が変わって
しまう。そのため、この高速回転磁気研磨法では、電磁
石等の磁気発生手段が大掛かりになるとともに、磁気力
の制御を厳密に行う必要があると言う問題もあった。さ
らに、この加圧力を得るための磁気回路は、被研磨材自
体がその一部を構成する必要があるため、被研磨材が磁
気的な導体すなわち磁性体でなければならないという制
約があった。もっとも、被研磨材が非磁性体であっても
、薄いものであれば、この非磁性被研磨材を通して磁気
回路を構成することもできる。しかし、この場合でも、
被研磨材の厚みの僅かな変動や磁気的性質の変動によっ
て磁性研磨流体の研磨面加圧力が変わるので、研磨量や
研磨精度等の管理が難しいという問題があった。なお、
前記したレンズや゛光学素子等は、非磁性体であるとと
もにかなりの厚みがあるので、上記高速回転磁気研磨法
を通用することが出来ない。

そこで、上記従来の高速回転磁気研磨法の問題点を解消
し、より高精度な加工が可能であるとともに、被研磨材
の磁気的性質に影響を受けず、非磁性体からなる被研磨
材にも良好に通用することのできる微小研磨方法を提供
するべ（、発明者らは、先に、研磨部を電歪素子すなわ
ちピエゾ素子からなるアクチュエータで研磨面に平行な
ＸＹ方向と研磨面に垂直なＺ方向に微小運動させ、この
研磨部の微小運動を磁性研磨流体に伝達して被研磨材の
研磨面を研磨させるようにする微小研磨方法および微小
研磨工具を開発した。

この電歪素子からなるアクチュエータを用いる新規な微
小研磨方法および微小研磨工具は、研磨部を高速回転す
る必要がないため、また、被研磨材自体を磁性研磨流体
保持と磁性研磨流体加圧のための磁気回路の一部にする
必要がないため、前述した従来の高速回転微小研磨法の
゛諸問題を完全に解消することが出来る。

すなわち、この新規な駆動方式による微小研磨法では、
電歪素子の働きで磁性研磨流体を被研磨材に押し付ける
とともに研磨部を研磨面に沿って微小運動させるように
し、これによって被研磨材を研磨加工するようにしてい
る。つまり、研磨部に対し電歪素子を利用するＸＹ方向
アクチュエータまたはＺ方向アクチュエータによる微小
運動を与えて、磁性研磨流体を被研磨材の研磨面に対し
て水平方向または垂直方向に微小運動させるようにし、
磁性研磨流体に対し、研磨面に対する水平方向の微小運
動によって研磨面に沿う微小の研磨運動を行わせ、研磨
面に対する垂直方向の微小運動によって研磨面に対する
加圧力を得させるようにしたものである。

このように、この新規な駆動方式による微小研磨法では
、研磨部の回転を必要としない結果、回転ムラや軸ぶれ
等による研磨のバラツキや表面粗さムラ等が生じない。

電歪素子によるアクチュエータは、機械的な摺動部分や
作動機°構が全くなく、印加電圧にしたがって極めて正
確に駆動するので、磁性研磨流体の運動も安定している
。このような点でも、研磨のバラツキやムラを生じさせ
ない。アクチュエータによる磁性研磨流体のＸＹ方向運
動は、従来のような回転運動に比べて遥かに微小である
ため、被研磨材をきめ細かく研磨加工して、表面粗さの
極めて小さな超高精度な鏡面加工を可能とする。

また、この新規な駆動方式による微小研磨法では、磁性
研磨流体を被研磨材に押し付ける加圧力は電歪素子によ
るＺ方向アクチュエータで加えるので、研磨工具の研磨
部から被研磨材につながる磁気回路を設けておく必要が
なくなり、その結果、被研磨材が非磁性体であっても何
ら差し支えなく研磨加工ができるし、被研磨材の材質や
厚みによる磁気的性質の違いに関係なく、アクチュエー
タへの印加電圧だけで被研磨材への加圧力が設定制御で
きるので、被研磨材の材質や形状による研磨能率や研磨
精度への影響を生じさせないのである。被研磨材は、従
来の高速回転磁気研磨法でも研磨できる鋼等の磁性体材
料のほか、従来の高速回転磁気研磨法では研磨出来なか
ったガラスやセラミック等の非磁性体材料も使用できる
。非研磨材の形状も、薄いものから分厚いものまで幅広
く適用でき、研磨面は平面や球面あるいは自由曲面等も
加工できる。

この新規な駆動方法による微小磁気研磨方法によれば、
上述のように、研磨部の微小運動は、電歪素子に電圧を
印加することによって得られる極めて微小な運動である
ので、磁性Ｖｒ麿原流体、研磨部周辺の極めて微小な領
域のみで被研磨材を高精度に研磨することができ、被研
磨材の表面をきめ細かく均一にｇｆ磨することができる
。従来の高速回転研磨法に比べて、はるかに均一な′ｇ
ｆ麿加工が施されるので、超高精度な鏡面加工も可能に
なり、形状精度０．０１μｍ以下の超高精度研磨加工を
容易かつ確実に実現できるのである。

なお、この新規な駆動方法による微小研磨方法および微
小研磨工具は、研磨材として磁性５ｆＦ慶流体を用いな
い方法にも利用することが出来る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、その後の研究により、この新規な微小研磨方法
および微小研磨工具には、つぎのような新たな問題のあ
ることが分かった。

すなわち、この新規な駆動方式による微小研磨方法では
、ＸＹ方向アクチュエータを構成する電歪素子として１
個でもってＸＹ両方向駆動可能な屈曲型のものを用いて
いたのであるが、屈曲型電歪素子は、周波数を高（とれ
る利点を有するものの、ＸＹ方向の大きな振幅を得るた
めに機械的な共振現象を利用する結果、第４図に見るよ
うに、外力（被研磨材に対する加圧力の反力）の大小に
より上記振幅の大きさ、すなわち変位りが変動すること
が避けられず、その制御が不可能であると言う問題点で
ある。

また、屈曲型の電歪素子によるｘｙＸ方向振幅は、機械
的な共振現象を利用するため、余り大きく取れないと言
う問題もあった。その結果、たとえば、′ｇＦ磨工臭の
′ｇｆｓ部がポリウレタンシートで構成されている場合
に、上記振幅が゛ポリウレタンシートの気孔径よりも小
さいため、研磨面に加工痕が部分的にしか付かず、所望
の大きさの加工形状が得られないと言うような現象が住
しることがあった。

そこで、この発明は、ＸＹ方向の振幅が外力で変化せず
その制御が容易であり、また、この振幅を大きく取れる
新規な駆動方式による微小研磨法および微小研磨工具を
提供することを課題とする〔課題を解決するための手段
〕 上記課題を解決するための、この発明にかかる微小研磨
方法および微小研磨工具の主要構成は、以下のとおりで
ある。

まず、この発明にかかる微小研磨方法は、研磨工具先端
の研磨部と被研磨材の間に研磨材を保持した状態で、前
記研磨部を電歪素子からなるアクチュエータで研磨面と
平行なＸＹ方向および／または研磨面と垂直なＸ方向に
微小運動させ、かつ、前記ＸＹ方向のアクチュエータと
しては伸縮方向をＸ方向とする積層型の電歪素子°・と
伸縮方向をＹ方向とする積層型の電歪素子とを組み合わ
せて用いるようにするとともに前記２方向のアクチュエ
ータとしては伸縮方向をＸ方向とする積層型の電歪素子
を用いるようにして、被研磨材を研磨するようにする。

つぎに、この発明にかかる微小研磨工具は、被研磨材の
研磨面に対面する研磨部と、積層型の電歪素子からなり
その伸縮作用により前記研磨部を研磨面と平行なＸ方向
に微小運動させるＸ方向アクチュエータと、積層型の電
歪素子からなりその伸縮作用により前記研磨部を研磨面
と平行で前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に微小運動させるＹ
方向アクチュエータと、積層型の電歪素子からなりその
伸縮作用により前記研磨部を研磨面と垂直なＸ方向に微
小運動させるＸ方向アクチュエータとを備える。

この発明において、研磨工具は、従来の高速回転磁気研
磨法の場合と同様、適当な支持部材に支持された状態で
、先端の研磨部を被研磨材に沿って移動させられるが、
この支持手段や移動手段は、各種の工作機械等で用いら
れている手段が採用される。

研磨工具は、後述の微小駆動手段により、被研磨材の形
状や目的に応じて、その研磨部を、研磨面に水平な方向
すなわちＸＹ方向へ微小運動させ、また、ｖｒ磨面に垂
直な方向すなわちＸ方向へ微小運動させる。さらに、軸
を傾ける等の動作を行わせるようにすれば、複雑な曲面
形状等の研磨加工を行うことが出来る。

被研磨材は研磨部の表面性状に対応する性状に加工され
る。この研磨部は、Ｓｎメンキ層やポリウレタン層等で
構成することが出来る。研磨部の形状は平面でも良いが
、球面にすると、研磨部の隅角が研磨面に当たることが
容易に避けられる。

球面にすると、平面に比べ、同し幅でも実質的幅が大き
くなり、加工痕１個当たりの幅を大きく出来る。研磨部
をポリウレタンで構成する場合には、研磨部のＸＹ方向
の微小運動の振幅がポリウレタンの気孔径よりも大きく
なるようにすると、研磨切れによる部分的研磨が住じず
、所望形状の加工痕を容易に得ることで出来る。

球面の５に房部は、研磨工具先端に転勤自在に保持され
た球体で構成すると良い。この転勤により、研磨部の偏
摩耗が防止されるからである。球体゛は、軸受機構の球
体のように、機械的に保持されても良く、磁力で保持さ
れても良い。また、研磨材の粘性により保持されても良
い。

この発明に用いる研磨材は、いわゆる磁性ｆＩｇ流体に
限らず、非磁性研磨流体も用いることが出来る。

磁性研磨流体は、いわゆる磁性流体としての性質と、研
磨材としての機能を備えているものであり、通常の磁気
研磨法に用いられているものと同様のものを用いること
ができる。−船釣な磁性流体は、Ｆｅｗ　○４等からな
り粒径１０ｎｍ以下程度の微細な磁性粉粒を水や油等に
コロイド状に分散させたものであるが、この磁性流体を
構成する磁性粉粒が、被研磨材に対する研磨性を有して
いれば、このような磁性粉粒からなる磁性流体をそのま
ま用いることもできる。磁性研磨剤粉粒の具体例として
は、α−Ｆｅｓ　０４　　（ベンガラ）等が挙げられる
。また、研磨性を有さない磁性粉粒からなる磁性流体に
、磁性を有さない通常の研磨材粉粒を懸濁分散させたも
のでもよい。この場合の研磨材粉粒としては、Ａ　Ｉ　
＝　ＯｓやＳｉｎ、等が用いられ、粒径１１００ｎ以下
程度のものが好ましく使用される。

研磨材として磁性研磨流体を用いる場合において、研磨
工具先端の研磨部と被研磨材の間に磁性ｖｒ磨原流体磁
気的に保持するには、例えば、研磨工具先端の研磨部に
近接させるように磁気ヨークを設けて磁気回路を構成す
れば、その磁気的作用によってＶｒ麿邪の近傍に容易に
磁性研磨流体を保持しておくことができる。

研磨部を微小運動させるアクチュエータは、電圧を印加
することによって伸縮する、ピエゾ素子とも呼ばれる電
歪素子を用いる。研磨部をこのアクチュエータに連結し
て周期的に変動する電圧をアクチュエータに印加すれば
、研磨部を微小運動させることができる。印加電圧の周
波数によってアクチュエータの微小運動の周波数が変わ
り、印加電圧の大きさによってアクチュエータの微小運
動の振幅が変わる。研磨部のこの微小運動が研磨材に伝
達されて、研磨材が研磨部と同じような微小運動を行い
、研磨材のこの微小運動で被研磨材を研磨する。

Ｘ方向アクチュエータは研磨部を研磨面に水平なＸ方向
に微小運動させて、また、Ｙ方向アクチュエータは研磨
部を研磨面に水平で上記Ｘ方向に垂直なＹ方向に微小運
動させて、研磨材を被ｌ１ｉｌＦ磨材の研磨面と平行な
方向に微小運動させ被研磨材を研磨加工する。ＸＹ方向
アクチュエータによる研磨部の動きは、Ｘ方向またはＹ
方向への単独の動きであってもよいし、Ｘ方向の動きと
Ｙ方向の動きを関連させて同時に動かせる動きであって
もよい。例えば、Ｘ方向とＹ方向の運動の位相を制御す
ることによって、リサージュ運動をさせることができる
。

Ｘ方向アクチュエータは、研磨面に対して垂直な方向に
研磨部を動かし、研磨材を°被研磨材に垂直方向から衝
突するように運動させ、被研磨材に加圧力を与える。し
たがって、Ｘ方向アクチュエータに加える電圧の大きさ
で、被研磨材に加わる加圧力を制御することができる。

また、このＸ方向アクチュエータの微小運動によるボン
ピング作用で、研磨材が研磨面に順次供給されることに
なる。

ＸＹ方向アクチュエータとＸ方向アクチュエータは、各
方向別々に電圧印加配線をしておくことにより、Ｘ方向
とＹ方向の場合は印加電圧の掛は方を適宜に制御するこ
とによっても、それぞれの先端をＸ、Ｙ、Ｘ方向に微小
運動させる。各アクチュエータに電圧を印加する駆動配
線は、駆動アンプやファンクションジェ不レーク等に接
続される。これらの駆動回路もしくは駆動機構は、通常
の機械装置における電歪素子を用いたアクチュエータの
場合と同様の構造が採用できる。ＸＹ方向アクチュエー
タの場合、Ｘ方向とＹ方向の印加電圧の位相を適当に制
御することによって、ｘｙＸ方向アクチュエータ先端す
なわち研磨部の運動軌跡を単純な直線的動きからりサー
ジュ運動のような複雑な動きまで自由に変更することが
できるのである。

Ｘ方向アクチュエータとＹ方向アクチュエータとＸ方向
アクチュエータとは、積層型の電歪素子を用いて構成す
る。積層型のものを用いれば、伸縮でＸ方向またはＹ方
向の微小運動を行う。積層型の電歪素子は、その両端に
電圧を印加して伸縮させる。

ＸＹ方向アクチュエータおよびＸ方向アクチュエータは
、通常は直接に研磨部を駆動せず、先端を研磨部とする
研磨軸に水平方向や垂直方向の微小駆動を加えるように
する等して、研磨部を駆動する。

この場合に、Ｘ方向の７クチユエータによる加圧力を研
磨部に確実に伝えるとともに、かつ、研磨部のｘＹ方向
の動きを自在とさせるためには、Ｘ方向のアクチュエー
タと研磨部の間に研磨部のｘｙＸ方向微小運動を自在と
する球対隅状の連結部を設けて、ＸＹ方向のアクチュエ
ータの作用点をこの連結部と前記研磨部の間に設けるよ
うにするのが良い。

研磨部の微小運動は、上記したＸ方向の微小運動とＸＹ
方向の微小運動を同時に行わせることが最も好ましいが
、Ｘ方向もしくはＸＹ方向の何れか一方のみでも研磨加
工は可能である。

研磨材が被研磨材に加ねえる加圧力は、上述のように、
Ｘ方向アクチュエータによる加圧力で決まり、磁気的な
保持力を併用する場合はこの保持力の影響も受ける。し
かし、この加圧力は加工の進行とともに減少する。そこ
で、被研磨材に加わる加圧荷重の値を検出して、これを
Ｘ方向アクチュエータの制御にフィードバックして加圧
力制御を行うようにすることが好ましい。加圧荷重値を
検出する荷重検出手段は、被研磨材に加わる垂直方向の
荷重を検知できさえするものであれば、通常の各種機械
装置に組み込まれているものと同様の圧力センサが使用
できる。例えば、被研磨材をロードセルの上に載置した
状態で研磨加工を行えば、被研磨材に加わる加圧荷重の
大゛きさをロードセルで検出して、電気信号として取り
出すことが出来る。

荷重検出手段で検出された加圧荷重値は、電機信号に変
換されて、アクチュエータの駆動を制御する。具体的に
は、検出信号が適当な電気回路で処理されて、アクチュ
エータに電圧を印加する駆動回路に入力され、ここで予
め設定された加圧荷重値と検出された加圧荷重値とを比
較して、Ｘ方向アクチュエータに印加する電圧を増やし
たり減らしたりする。すなわち、Ｘ方向アクチュエータ
による加圧力をフィードハック制御するようにするので
ある。このフィードバンク制御は、たとえば、Ｘ方向ア
クチュエータによる加圧力を常に所定の大きさに保った
り、加工過程の初期は大きく（荒研磨）、中期は中程度
に（中研ｇ）、そして終期は小さく　（仕上研磨）なる
ようにして行う。

なお、この多段階研磨の場合でも、各過程での加圧力は
一定であるように制御するのが好ましい。

このように、Ｘ方向の加圧力を一定に保持する場合にお
いて、Ｘ方向アクチュエータによる加圧力に振動が加わ
るように制御すれば、この振動によるポンピング作用で
、研磨材が研磨面に順次供給され、かつ、順次排除され
るような現象が起きるようになる。

加圧力の設定値は、被研磨材の材質や研磨精度等の条件
にしたがって、適当に決められる。

研磨材として磁気研磨流体を用いる場合は、研磨軸は、
その磁気保持のための磁気回路の一部としての中央ヨー
クとなるので、研磨軸は磁性体で形成される。これに対
向する対向ヨークは、中央ヨークの先端の研磨部との間
に磁気ギャップとなる隙間をあけるようにして配置され
る。例えば、断面円形の中央ヨークの周囲に間隔をあけ
て円環状の対向ヨークが囲むように配置しておく。この
ようにしておけば、中央ヨークの研磨部周辺に磁気研磨
流体を良好に保持しておける。なお、棒状あるいは板状
等の対向ヨークを、中央ヨークと並べて配置しておくこ
ともできる。対向ヨークも磁気回路の一部を構成するの
で、磁性体で形成されていることは言うまでもない。対
向ヨークのうち、中央ヨークと対向する先端部が、先細
り形状になっていれば、対向ヨークの先端部分に磁界を
集中させることができて好ましい。

中央ヨークと対向ヨークを磁性発生手段で連結すること
によって、磁気回路が構成される。磁気発生手段として
は、永久磁石あるいは電磁石の何れも採用できるが、こ
の発明では、磁界の向きや大きさを変える必要がないの
で、永久磁石の方が構造が簡単で好ましい。永久磁石と
しては、Ｓｍ−Ｃｏ磁石等からなるものが使用できる。

〔作　　用〕

積層型の電歪素子は、その積層枚数によって伸縮のスト
ロークを大小でき、積層枚数を多くするとストロークが
大きくなる。したがって、ＸＹ方向のアクチュエータと
して伸縮方向をＸ方向とする積層型の電歪素子と伸縮方
向をＹ方向とする積層型の電歪素子とを組み合わせて用
いるようにすると、大きな振幅が得られ、かつ、この微
小運動の振幅の大きさ、すなわち変位りは第３図にみる
ように外力の大小で変動しない。研磨部がポリウレタン
シートで構成されている場合に、ＸＹ方向のアクチュエ
ータの微小運動の振幅をポリウレタンシートの気孔径よ
りも大きくするようにすると、部分的研磨が起きない。

Ｘ方向のアクチュエータと研磨部の間に研磨部のｘｙＸ
方向微小運動を自在とする球対隅状の連結部を設けて、
ＸＹ方向のアクチュエータの作用点をこの連結部と前記
研磨部の間に設けるようにすると、研磨部のＸＹ方向の
微小運動を妨げずにＸ方向のアクチュエータの加圧力を
研磨部に伝えることが出来る。

〔実　施　例〕

ついで、この発明の実施例を、図を参照しながら、以下
に詳しく説明する。

第１図はこの発明にかかる微小研磨方法の実施に用いる
研磨装置の主要部たる研磨工具を示している。この研磨
工具１は、その本体部１０が研磨装置本体（図示せず）
に支持軸１１で支持固定されている。この支持軸１１は
、水平方向および垂直方向に自由に移動できるとともに
°、任意の角度で傾くことができるようにもなっている
。支持軸１１の作動機構は、通常の工作機械における加
工軸等の作動機構と同様のものである。

工具本体部１０の下面中心には図で見て鉛直方向たるＸ
方向のアクチュエータ２０が設けられ、その下端部から
は、球対隅状の連結作用を有する連結部２１を介して、
ブロック２２が吊り下げられている。ここに、球対隅状
の連結作用とは、ブロック２２をＸ方向アクチュエータ
２０に対して、Ｘ方向に対して垂直のＸＹ方向（図で見
て垂直方向）に微小運動を自在とさせなからＸ方向アク
チュエータ２０の２方向の微小運動を確実にブロック２
２に伝える連結作用を言う。そして、このブロック２２
の下端には研磨軸たる中央ヨーク２３が一体的に連結さ
れて垂下している。前記ブロック２２の上部には、図で
見て水平のＸ方向側面にＸ方向アクチュエータ２４Ｘの
先端が当接接続され、図で見て水平で上記Ｘ方向に対し
垂直のＹ方向側面（図の向側側面）にＹ方向アクチュエ
ータ２４ｙの先端が当接接続されている。この実施例で
は、Ｘ方向アクチュエータ２０とＸ方向アクチュエータ
２４ｘとＹ方向アクチュエータ２４ｙは、いずれも、多
数の薄型エピゾ素子を積層してなり電圧を印加すること
によってＸ方向（中央ヨーク２３の軸方向）、Ｘ方向、
Ｙ方向に伸縮し、Ｘ方向の微小運動で研磨材を被研磨材
に押しつけ、Ｘ方向とＹ方向の微小運動の組み合わせで
研磨材を被研磨材の研磨面内で自由に運動させることが
できるようになっている。

ＸＹＺ方向アクチュエータの諸元としては、下記第１表
のようなものが使用できる。

中央ヨーク２３の先端部は次第に細くなり、先端面は球
面になっている。この球面部分が研磨部２６である。こ
の研・房部２６は、Ｓ′ｎメツキ眉等からなっていても
良いが、ポリウレタン層からなっているときには、この
ポリウレタン層に含浸保持された磁性研磨流体Ｍが被研
磨材Ｗの研磨面を研磨するのである。

この実施例では、研磨部２６は、中央ヨーク２３の先端
に転勤自在に保持された球体２５からなり、表面がＳｎ
メツキ層で表面仕上げされている。この球体２５は、こ
の実施例では、永久磁石４０の磁力で中央ヨーク２３先
端に磁気的に保持されている。しかし、このような球体
は、磁性研磨流体Ｍの粘性で中央ヨーク２３の先端に保
持されても良く、中央ヨーク２３の先端内部に嵌合され
て機械的に保持されても良い。

各アクチュエータ２０，２４ｘ、２４ｙの駆動配線５０
は、３ＣＨビエゾドライハアンプ力・らなる駆動アンプ
５１に電気的接続されている。３ＣＨピエゾドライバア
ンプの具体的な仕様としては、例えば、３５０■、１０
０ｍＡ、３０ｋＨｚである。駆動アンプ５１には、Ｚ方
向用の信号発生器５２とＸＹ方向用の可変位相２出゛力
信号発生器５３が接続されている。これらの信号発生器
５２５３から、駆動アンプ５１を介して各アクチュエー
タ２０，２４ｘ、２４ｙに所定の周波数からなる電圧を
印加して、各アクチュエータ２０，２４ｘ、２４）＋２
２ｘ、２２）’の駆動を制御する。

工具本体１０の下面には、非磁性体からなる筒状体３０
が取りつけられている。筒状体３０の中間部（第１図の
右側側面部）には、アクチュエータ２４ｘ、２４ｙや各
アクチュエータの駆動配線５０等を挿入する開口３１が
個形成されている。

筒状部３０の下部には、リング状の磁性体からなる接続
体３２がねじ込み接続されている。接続体３２の内周部
分の一部は、中央ヨーク２３の外周面に近接する位置ま
で延びている。接続体３２には、その外周側面から内周
下面に向けて貫通する流体供給路３３が形成され、流体
供給路３３の外周端には流体供給パイプ３４が接続され
ている。

この流体供給パイプ３４に磁性研磨流体を供給すると、
磁性研磨流体が流体供給路３３から中央ヨーク２３の先
端外周付近に滴下し供給される。接続体３２の下端には
リング状のＳ　ｍ　−Ｃｏ磁石からなる永久磁石４０が
取り付けられている。永久磁石４０の磁力の強さは、例
えば５にガウス程度である。永久磁石４０の下端には磁
性体からなる対向ヨーク３５が取り付けられている。対
向ヨーク３５は、下端に向けて円錐状に狭まっており、
先端内周部分が先細り状に尖っていて、この先端内周部
分が、中央ヨーク２３の先端との間に一定の隙間をあけ
て対向配置されている。その結果、永久磁石４０から接
続体３２、中央ヨーク２３を経て対向ヨーク３５から永
久磁石４０へと戻る磁気回路が構成されるとともに、中
央ヨーク２３と対向ヨーク３５の間にはドーナツツ状の
磁気ギャップが構成されることになる。

中央ヨーク２３および対向ヨーク３５の下方には、荷重
検出手段となるロードセル６０が設置されでおり、被研
磨材Ｗはこのロードセル６０の上に載せられた状態で研
磨加工が行われる。ロードセル６０の検出出力は、コン
トローラ６１を経て駆動アンプ５１へと入力されるよう
になっており、２方向アクチユエータ２０から被研磨材
Ｗに加わる加圧力がフィードバンク制御されるようにな
っている。

駆動アンプ５１にはまた、Ｚ方向アクチュエータ２０の
加圧力に振動を付与するために、ＦＣゼネレータ７０か
ら振動付与信号が入力されるようになっている。

このよ°うな構造の研磨装置を用いて行なう、この発明
の磁気微小研磨方法を、以下に具体的に説明する。

被研磨材Ｗをロードセル６０の上に載せた状態で研磨工
具１を被研磨材Ｗの上に配置する。流体供給パイプ３４
から中央ヨーク２３の先端部分に磁性研磨流体Ｍを供給
すると、磁性研磨流体Ｍは中央ヨーク２３と対向ヨーク
３５の間の磁気ギャップ付近に磁気的に保持される。こ
の状態では、第２図に模式的に示すように、磁性研磨流
体Ｍが中央ヨーク２３の先端下面部分まで覆って保持さ
れることになるので、磁気的な作用で磁性研磨流体Ｍが
被研磨材Ｗの表面に押し付けられた状態になる。

つぎに、Ｚ方向アクチュエータ２０に周期的な電圧を印
加すると、Ｚ方向アクチュエータ２０が被研磨材Ｗの研
磨面に垂直方向（第１図で見て上下方向）に微小の伸縮
運動を起こす。それに伴って、中央ヨーク２３の先端た
る研磨部２６が第２図で見て上下方向（直線矢印方向）
に微小運動を行い、磁性研磨流体Ｍを被研磨材Ｗの表面
（研磨面）に押しつけ加圧する。また、ＸＹ方向アクチ
ュエータ２４Ｘ、２４ｙにも周期的な電圧が印加され、
ｘｙ方向アクチュエータ２４Ｘ、２４ｙの各先端が当接
されたブロック２２が水平方向（図で見て左右方向）に
揺動する。その結果、研磨部２６が球対隅状の連結部２
１を中心にして第２図に円孤形矢印で示すように大きく
揺動する。この揺動は、被研磨材Ｗの表面（研磨面）に
対して水平方向（ＸＹ方向）の微小運動となる。このＸ
Ｙ方向の微小運動と前記Ｚ方向の微小運動が磁性研磨流
体Ｍに伝達されて、磁性研磨流体Ｍが被研磨材Ｗの表面
（研磨面）を研磨加工する。磁性研磨流体Ｍは、中央ヨ
ーク２３の先端と被研磨材Ｗの間に挟まれた部分付近の
みで被研磨材Ｗを加圧して研磨作用を行うので、被研磨
材Ｗには、はぼ中央ヨーク２３の先端形状に相当する大
きさの加工痕Ｈが形成される。

このような研磨作用を行わせながら、研磨工具１全体を
所定の研磨面形状に従って水平方向あるいは三次元方向
に移動させて、上記加工［Ｈを被研磨材Ｗの研磨面全体
に広げ終えると、平面や球面あるいは自由曲面等の所望
の研磨面を自由に得ることが出来る。

この間、被研磨材Ｗを載置したロードセル６０では、研
磨工具１の研磨部２６が磁性研磨流体Ｍを介して被研磨
材Ｗに加える加圧力が加圧荷重値として検出されており
、この加圧荷重信号がコントローラ６１を経て駆動アン
プ５１にフィードバックされている。そのため、例えば
、被研磨材Ｗに加わる加圧力が規定の値以上になれば、
駆動アンプ５１でＺ方向アクチュエータ２０への印加電
圧を下げる等して加圧力が小さくなるように制御され、
逆に、被研磨材Ｗに加わる加圧力が規定の値以下になれ
ば、駆動アンプ５１でＺ方向アクチュエータ２０への印
加電圧を上げる等して加圧力が大きくなるように制御さ
れる。他方、加工痕１個の加工を行う過程においては、
加圧力が時間の経過とともに減少する傾向があるので、
ロードセル６０は、この傾向も検出して検出結果を駆動
アンプ５１にフィードバックすることにより、加圧力が
常に一定となるようにする。また、Ｚ方向用の信号発生
器５２は、加工痕１個の加工を行う過程において、初期
は加圧力が大きく、中期は加圧力が中程度に、そして終
期は加圧力が小さくなるように、駆動アンプ５１に対し
て制御信号を発する。その間、ＦＣゼネレータ７０は、
駆動アンプ５１に対してＺ方向アクチュエータ２０の加
圧力に振動を付与するための振動付与信号を発し続ける
。

〔発明の効果〕

この発明は、以上のようにＸＹ方向のアクチュエータと
して伸縮方向をＸ方向とする積層型の電歪素子と伸縮方
向をＹ方向とする積層型の電歪素子とを組み合わせて用
いるようにするため、ＸＹ方向の微小運動の振幅が大き
くなるとともに、外力の大小で変動しないようになり、
そのため、制御が容易となる。さらに、この発明によれ
ば、研磨部がポリウレタンシートで構成されている場合
に、ＸＹ方向のアクチュエータの微小運動の振幅をポリ
ウレタンシートの気孔径よりも大きくするようにすると
、部分的研磨が起きないようになる、また、Ｚ方向のア
クチュエータと研磨部の間に研磨部のｘｙ方向の微小運
動を自在とする球対隅状の連結部を設けて、ＸＹ方向の
アクチュエータの作用点をこの連結部と前記研磨部の間
に設けることにより、研磨部のＸＹ方向の微小運動を妨
げずにＺ方向のアクチュエータの加圧力を研磨部に伝え
ることが出来るようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる微小研磨方法の実施に用いる
研磨装置の主要部たる研磨工具の断面図、第２図はこの
発明の研磨作用の説明図、第３図はこの発明に用いる積
層型の電歪素子の特性を表すグラフ、第４図は屈曲型の
電歪素子の特性を表すグラフである。 １・・・研磨工具　２０・・・Ｚ方向アクチュエータ２
１・・・球対隅状の連結部　２３・・・中央ヨーク　２
４ｘ・・・Ｘ方向アクチュエータ　２４ｙ・・・Ｙ方向
アクチュエータ　２６・・・研磨部　３５・・・対向ヨ
ークＭ・・・磁性研磨流体　Ｗ・・・被研磨材第 図 退動数 （Ｈｚ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　研磨工具先端の研磨部と被研磨材の間に研磨材を保
   持した状態で、前記研磨部を電歪素子からなるアクチュ
   エータで研磨面と平行なＸＹ方向および／または研磨面
   と垂直なＺ方向に微小運動させ、かつ、前記ＸＹ方向の
   アクチュエータとしては伸縮方向をＸ方向とする積層型
   の電歪素子と伸縮方向をＹ方向とする積層型の電歪素子
   とを組み合わせて用いるようにするとともに前記Ｚ方向
   のアクチュエータとしては伸縮方向をＺ方向とする積層
   型の電歪素子を用いるようにして、被研磨材を研磨する
   ようにする微小研磨方法。 ２　研磨部がポリウレタンシートで構成されている場合
   に、前記ＸＹ方向のアクチュエータの微小運動の振幅を
   前記ポリウレタンシートの気孔径よりも大きくするよう
   にする請求項１記載の微小研磨方法。 ３　Ｚ方向のアクチュエータと研磨部の間に研磨部のＸ
   Ｙ方向の微小運動を自在とする球対隅状の連結部を設け
   て、ＸＹ方向のアクチュエータの作用点をこの連結部と
   前記研磨部の間に設けるようにする請求項１または２記
   載の微小研磨方法。 ４　研磨材が磁性研磨流体であってその保持を磁力で行
   うようにする請求項１から３までのいずれかに記載の微
   小研磨方法。 ５　被研磨材の研磨面に対面する研磨部と、積層型の電
   歪素子からなりその伸縮作用により前記研磨部を研磨面
   と平行なＸ方向に微小運動させるＸ方向アクチュエータ
   と、積層型の電歪素子からなりその伸縮作用により前記
   研磨部を研磨面と平行で前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に微
   小運動させるＹ方向アクチュエータと、積層型の電歪素
   子からなりその伸縮作用により前記研磨部を研磨面と垂
   直なＺ方向に微小運動させるＺ方向アクチュエータとを
   備える微小研磨工具。 ６　Ｚ方向のアクチュエータと研磨部の間に研磨部のＸ
   Ｙ方向の微小運動を自在とする球対隅状の連結部を備え
   、ＸＹ方向のアクチュエータの作用点がこの連結部と前
   記研磨部の間に設けられている請求項５記載の微小研磨
   工具。 ７　先端に研磨部を有する中央ヨークと、前記研磨部の
   周囲に磁気ギャップを作るための対向ヨークと、これら
   のヨークに磁気を流す磁気発生手段とを備えた請求項５
   または６記載の微小研磨工具。