JPH0441247A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH0441247A JPH0441247A JP14923490A JP14923490A JPH0441247A JP H0441247 A JPH0441247 A JP H0441247A JP 14923490 A JP14923490 A JP 14923490A JP 14923490 A JP14923490 A JP 14923490A JP H0441247 A JPH0441247 A JP H0441247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric transducer
- alloy
- metal plate
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 23
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 9
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インクジェット記録に係わるもので、特にイ
ンク中において、圧力発生器を駆動させ、ノズル開口部
よりインクを吐出させて印字を行うインクジェットプリ
ンタのヘッド構造に関する。
ンク中において、圧力発生器を駆動させ、ノズル開口部
よりインクを吐出させて印字を行うインクジェットプリ
ンタのヘッド構造に関する。
［従来の技＃Ｔ］
従来、圧電変換器の金属層を構成する方法としては、大
判の圧電セラミクスに選択的にめっきを施し、ベース基
板に貼り付は後、分割して使用する方法がとられていた
。また、分割した圧電セラミクスへ、所定の形状に加工
した金属板を接合し、ベース基板へ個別に接合して使用
する場合もあった。
判の圧電セラミクスに選択的にめっきを施し、ベース基
板に貼り付は後、分割して使用する方法がとられていた
。また、分割した圧電セラミクスへ、所定の形状に加工
した金属板を接合し、ベース基板へ個別に接合して使用
する場合もあった。
［発明が解決しようとする課題］
従来の方法である金属層をめっきにより構成する方法で
は、めっきを施す際に、所謂エッチ効果により、厚みが
ばらついてしまう。更には、めっき法により付与できる
金属である、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒ ＳＡ ｕ 、Ａ ｇな
どの熱膨張係数は、圧電セラミクスに対し、数倍から数
十倍大きな値をとる。
は、めっきを施す際に、所謂エッチ効果により、厚みが
ばらついてしまう。更には、めっき法により付与できる
金属である、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒ ＳＡ ｕ 、Ａ ｇな
どの熱膨張係数は、圧電セラミクスに対し、数倍から数
十倍大きな値をとる。
このため、めっき、加熱硬化接着剤による接合、あるい
は使用状態等で加熱されると、圧電変換器に反りを生じ
させる、という問題があった。また、分割した圧電セラ
ミクスに金属板を接合する方法では、位置決め精度によ
り、圧電変換器としての性能にばらつきが出る。
は使用状態等で加熱されると、圧電変換器に反りを生じ
させる、という問題があった。また、分割した圧電セラ
ミクスに金属板を接合する方法では、位置決め精度によ
り、圧電変換器としての性能にばらつきが出る。
［課題を解決するための手段］
複数のノズル開口部に、ある間隔を持って対向してイン
ク中に配置された圧電変換器を備え、該圧電変換器をイ
ンク中で動作させ、前記ノズル開口部近傍のインクの圧
力を高めて前記ノズル開口部よりインク滴を吐出させる
オンデイマント型インクジェットヘッドにおいて、圧電
変換器を構成する金属層として、エツチングした板材を
使用することを特徴とする。
ク中に配置された圧電変換器を備え、該圧電変換器をイ
ンク中で動作させ、前記ノズル開口部近傍のインクの圧
力を高めて前記ノズル開口部よりインク滴を吐出させる
オンデイマント型インクジェットヘッドにおいて、圧電
変換器を構成する金属層として、エツチングした板材を
使用することを特徴とする。
［作用］
本発明の構成によれば、金属層として厚み精度が良く、
圧電セラミクスと同等の熱膨張係数の材料を選択できる
。また、金属板を接合後に、圧電セラミクスを加工する
ため、精度のよい位置決めが可能となる。
圧電セラミクスと同等の熱膨張係数の材料を選択できる
。また、金属板を接合後に、圧電セラミクスを加工する
ため、精度のよい位置決めが可能となる。
［実施例］
第１図に、本発明におけるインクジェットヘッドの主要
断面斜視図を示す。複数本のお互いに平行に配列された
圧電変換器ｌは、圧電セラミクス１３と、その片面に形
成されたＡｕなどの薄膜金属からなる電極層１４と、こ
の電極層１４とは反対側の面に形成されたＮｉ−Ｆｅ合
金の金属板１２とからなる三部材で構成されている。８
は金属製のノズル形成部材であり、圧電変換器１と対向
して配設されたノズル開口部９を有している。ノズル形
成部材８は、導電性接着剤１０により圧電変換器１と接
合されている。導電性を有しなし）ベース基板１１の上
側には、圧電変換器１に対応するようにストライブ状に
パターニングされた電極層１５がある。そして、この電
極層１５に、導電性接着剤１０により圧電変換器１を固
定してし＼る。
断面斜視図を示す。複数本のお互いに平行に配列された
圧電変換器ｌは、圧電セラミクス１３と、その片面に形
成されたＡｕなどの薄膜金属からなる電極層１４と、こ
の電極層１４とは反対側の面に形成されたＮｉ−Ｆｅ合
金の金属板１２とからなる三部材で構成されている。８
は金属製のノズル形成部材であり、圧電変換器１と対向
して配設されたノズル開口部９を有している。ノズル形
成部材８は、導電性接着剤１０により圧電変換器１と接
合されている。導電性を有しなし）ベース基板１１の上
側には、圧電変換器１に対応するようにストライブ状に
パターニングされた電極層１５がある。そして、この電
極層１５に、導電性接着剤１０により圧電変換器１を固
定してし＼る。
ここで電極層１５は、圧電変換器１へ、外部からの動作
電気信号を伝えるための役割をなし、接着層１０を介し
て薄膜電極１４と導通されている。
電気信号を伝えるための役割をなし、接着層１０を介し
て薄膜電極１４と導通されている。
ノズル形成部材８は、共通電極の働きを兼ねている。同
様な構成は、対称な形に二列配置され、共通のノズル形
成部材８とベース基板１１とにより一体化されている。
様な構成は、対称な形に二列配置され、共通のノズル形
成部材８とベース基板１１とにより一体化されている。
圧電変換器１とノズル形成部材８との間には、図示しな
いインクが潤たされている。インクは、圧電変換器１の
ノズル形成部材側とは反対側より供給される。圧電変換
器１は外部からの動作電気信号により変位して、ノズル
開口部９近傍のインク圧力を高め、ノズル開口部９より
インク滴を吐出させ、ノズル形成部材８に隣接した、図
示しない紙などの記録媒体上にインクイ象を形成する。
いインクが潤たされている。インクは、圧電変換器１の
ノズル形成部材側とは反対側より供給される。圧電変換
器１は外部からの動作電気信号により変位して、ノズル
開口部９近傍のインク圧力を高め、ノズル開口部９より
インク滴を吐出させ、ノズル形成部材８に隣接した、図
示しない紙などの記録媒体上にインクイ象を形成する。
このようなインクジェットヘッドは、圧電変換器１の変
位特性がインク吐出に大きな影響をあたえるため、これ
を均一かつ一定のとすることが重要である電圧電変換器
ｌの変位特性は、主に、圧電セラミクスの圧電特性、電
気信号の条件、圧電変換器１の長さ、厚み等の各部寸法
、などにより決まる。
位特性がインク吐出に大きな影響をあたえるため、これ
を均一かつ一定のとすることが重要である電圧電変換器
ｌの変位特性は、主に、圧電セラミクスの圧電特性、電
気信号の条件、圧電変換器１の長さ、厚み等の各部寸法
、などにより決まる。
第２図に本発明における一実施例の製造工程を表す概念
図を示す。図中（ａ）において、２枚の大判の圧電セラ
ミクス１３を、エツチングしたＦｅ−Ｎｉ合金１２へ、
導電性接着剤１０で貼り付ける。
図を示す。図中（ａ）において、２枚の大判の圧電セラ
ミクス１３を、エツチングしたＦｅ−Ｎｉ合金１２へ、
導電性接着剤１０で貼り付ける。
ここで、大判の圧電セラミクスには両面に電極層１４が
形成されている。また、金属板として、Ｆｅ−Ｎｉ合金
を使用するのは、圧電セラミクスと同等の熱膨張を得ら
れるからであり、Ｆｅ−Ｎｉ合金を採用することで、熱
硬化タイプの導電性接着層１０を使用しても温度により
変位しない圧電変換器が得られる。Ｆｅ−Ｎｉ合金は、
圧延法により製造されたものであり、熱膨張を安定させ
るため、エツチング前に熱処理されている。本実施例に
おいては、金属板１２の厚みの中央値を５０７としたが
、圧延により、厚みばらつきを、１％以内におさめるこ
とは容易である。しかし、めっきにより金属層を製造−
した場合、同等のばらつきにおさめることは、困難であ
る。第２図（ｂ）において、ベース基板１１と圧電セラ
ミクスとを、導電性接着剤１０で接合する。（Ｃ）にお
いて、金属板１２の接続部を切り離す。また、圧電セラ
ミクス１３を金属板１２のエツチングパターンに合わせ
分割して、個別の圧電変換器１を得る。（ｄｌにおいて
、ノズル形成部材８と圧電変換器１とを、導電性接着剤
１０により接合する。
形成されている。また、金属板として、Ｆｅ−Ｎｉ合金
を使用するのは、圧電セラミクスと同等の熱膨張を得ら
れるからであり、Ｆｅ−Ｎｉ合金を採用することで、熱
硬化タイプの導電性接着層１０を使用しても温度により
変位しない圧電変換器が得られる。Ｆｅ−Ｎｉ合金は、
圧延法により製造されたものであり、熱膨張を安定させ
るため、エツチング前に熱処理されている。本実施例に
おいては、金属板１２の厚みの中央値を５０７としたが
、圧延により、厚みばらつきを、１％以内におさめるこ
とは容易である。しかし、めっきにより金属層を製造−
した場合、同等のばらつきにおさめることは、困難であ
る。第２図（ｂ）において、ベース基板１１と圧電セラ
ミクスとを、導電性接着剤１０で接合する。（Ｃ）にお
いて、金属板１２の接続部を切り離す。また、圧電セラ
ミクス１３を金属板１２のエツチングパターンに合わせ
分割して、個別の圧電変換器１を得る。（ｄｌにおいて
、ノズル形成部材８と圧電変換器１とを、導電性接着剤
１０により接合する。
以上、第２図に示した一実施例の説明を行なったが、本
発明は、この実施例に限るものではなく、金属板として
、モリブデン、タングステンなどの材料を使用すること
も可能である。また、圧電セラミクスと金属板とを接合
後、ベース基板に接合してから、分割したが、ベース基
板に接合前に分割を行なっても良い。また、片持ち梁構
造のインクジェットヘッドに限らず、両持ち梁構造にお
いても適用は容易である。
発明は、この実施例に限るものではなく、金属板として
、モリブデン、タングステンなどの材料を使用すること
も可能である。また、圧電セラミクスと金属板とを接合
後、ベース基板に接合してから、分割したが、ベース基
板に接合前に分割を行なっても良い。また、片持ち梁構
造のインクジェットヘッドに限らず、両持ち梁構造にお
いても適用は容易である。
［発明の効果］
本発明によれば、めっき法によらず、金属層が構成でき
るため、厚みのばらつきが少ない。また、熱変形の少な
い圧電変換器を構成することも容易となった。更に、圧
電セラミクスとの位置ずれを小さくできる。従って、安
定した変位特性を持った圧電変換器が製造可能となった
。
るため、厚みのばらつきが少ない。また、熱変形の少な
い圧電変換器を構成することも容易となった。更に、圧
電セラミクスとの位置ずれを小さくできる。従って、安
定した変位特性を持った圧電変換器が製造可能となった
。
第１図は、本発明におけるインクジェットヘッドの主要
断面斜視図。第２図は、本発明におけるインクジェット
ヘッドの製造工程の概念図。 ８ ノズル形成部材 １１ ベース基板 １２ 金属層 第７図 圧電セラミクス 電極層 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木婁三部 ｆｔ！！１名（ａ） （ｂ） （Ｃ） Ｃｄ） ！、’ｓ ２図
断面斜視図。第２図は、本発明におけるインクジェット
ヘッドの製造工程の概念図。 ８ ノズル形成部材 １１ ベース基板 １２ 金属層 第７図 圧電セラミクス 電極層 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木婁三部 ｆｔ！！１名（ａ） （ｂ） （Ｃ） Ｃｄ） ！、’ｓ ２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数のノズル開口部に、ある間隔を持って対向してイン
ク中に配置された圧電変換器を備え、該圧電変換器をイ
ンク中で動作させ、前記ノズル開口部近傍のインクの圧
力を高めて前記ノズル開口部よりインク滴を吐出させる
インクジェットヘッドにおいて、 圧電変換器を構成する金属層として、エッチングした板
材を使用することを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14923490A JPH0441247A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14923490A JPH0441247A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0441247A true JPH0441247A (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=15470812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14923490A Pending JPH0441247A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0441247A (ja) |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP14923490A patent/JPH0441247A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0337429B1 (en) | Ink jet head | |
| US4879568A (en) | Droplet deposition apparatus | |
| US4992808A (en) | Multi-channel array, pulsed droplet deposition apparatus | |
| US5003679A (en) | Method of manufacturing a droplet deposition apparatus | |
| JPWO1999042292A1 (ja) | 圧電アクチユエータ及びその製造方法並びにインクジエツトプリントヘツド | |
| KR0144654B1 (ko) | 잉크 제트 헤드 | |
| US6500354B1 (en) | Inkjet printer head actuator and method for manufacturing the same | |
| JPWO2001072519A1 (ja) | マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP2976479B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2000246888A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP4032283B2 (ja) | マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP3175269B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| US7661801B2 (en) | Printer including an ink-jet recording head | |
| JP3861532B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JPH0441247A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3134305B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3567970B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| JP2000062173A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| JP2000006395A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| KR100327251B1 (ko) | 잉크젯 프린트헤드 액츄에이터와 그의 제조방법 | |
| JP2004066537A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
| JPH0441248A (ja) | インクジェットヘッド | |
| KR100327252B1 (ko) | 잉크젯 프린트헤드 액츄에이터와 그의 제조방법 | |
| JP3414495B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びこれに適した駆動体の製造方法 | |
| JP3365486B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |