JPH0441562Y2 - - Google Patents
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- JPH0441562Y2 JPH0441562Y2 JP9849386U JP9849386U JPH0441562Y2 JP H0441562 Y2 JPH0441562 Y2 JP H0441562Y2 JP 9849386 U JP9849386 U JP 9849386U JP 9849386 U JP9849386 U JP 9849386U JP H0441562 Y2 JPH0441562 Y2 JP H0441562Y2
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- JP
- Japan
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- image
- sample
- sample image
- electron microscope
- photographing
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- Expired
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、電子顕微鏡つなぎ写真を作成するに
適した電子顕微鏡つなぎ写真撮影装置に関する。
適した電子顕微鏡つなぎ写真撮影装置に関する。
［従来技術］
電子顕微鏡によるつなぎ写真撮影装置では、例
えば蛍光板に予め低倍率の試料像を表示し、表示
された試料像によつて撮影視野（範囲）や、その
視野をいくつに分割するか決定し、その後、試料
を１コマ分移動させては順次撮影して一枚のつな
ぎ写真を作成している。
えば蛍光板に予め低倍率の試料像を表示し、表示
された試料像によつて撮影視野（範囲）や、その
視野をいくつに分割するか決定し、その後、試料
を１コマ分移動させては順次撮影して一枚のつな
ぎ写真を作成している。
［考案が解決しようとする問題点］
ところで、このように構成された従来装置で
は、蛍光板に表示された試料像のみによつて概略
の撮影範囲や、分割する視野数を決めていたた
め、つなぎ写真の全体像を正確に把握できず、従
つて、一枚のつなぎ写真を作成した場合に、特徴
のある部分が写真の中心よりずれたり、興味のあ
る特徴部分がつなぎ部分となつてしまい、質の良
いつなぎ写真を作成することができなかつた。
は、蛍光板に表示された試料像のみによつて概略
の撮影範囲や、分割する視野数を決めていたた
め、つなぎ写真の全体像を正確に把握できず、従
つて、一枚のつなぎ写真を作成した場合に、特徴
のある部分が写真の中心よりずれたり、興味のあ
る特徴部分がつなぎ部分となつてしまい、質の良
いつなぎ写真を作成することができなかつた。
本考案は以上の欠点に鑑みなされたもので、予
めつなぎ写真の全体像を把握して質の良いつなぎ
写真を作成することができる電子顕微鏡つなぎ写
真撮影装置を提供することを目的としている。
めつなぎ写真の全体像を把握して質の良いつなぎ
写真を作成することができる電子顕微鏡つなぎ写
真撮影装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
そのために本考案のつなぎ写真撮影装置は、電
子顕微鏡によつて得られる試料像を分割し、該分
割された各像を視野移動手段によつて移動させる
ことにより順次撮影し、得られた各像をつなぎ合
わせることによつて一枚の試料像を作成する電子
顕微鏡つなぎ写真撮影装置において、前記試料像
を表示する表示手段と、該表示手段に表示される
試料像につなぎ写真撮影する際のつなぎ部を表わ
す格子像を重畳させて表示するための手段とを備
えたことを特徴としている。
子顕微鏡によつて得られる試料像を分割し、該分
割された各像を視野移動手段によつて移動させる
ことにより順次撮影し、得られた各像をつなぎ合
わせることによつて一枚の試料像を作成する電子
顕微鏡つなぎ写真撮影装置において、前記試料像
を表示する表示手段と、該表示手段に表示される
試料像につなぎ写真撮影する際のつなぎ部を表わ
す格子像を重畳させて表示するための手段とを備
えたことを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本考案の実施例を説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を説明するためのブ
ロツク図である。図中、１は電子顕微鏡の試料ス
テージ、２は試料、３は電子ビーム、４はステー
ジを駆動制御するステージ制御回路、５は電子ビ
ーム３を試料２に照射して得られる透過試料像を
撮影する撮像管、６はビデオアンプ、７は透過試
料像を表示する陰極線管、８はコンピユータ等で
構成された制御部、９はキーボード等の条件入力
装置である。
ロツク図である。図中、１は電子顕微鏡の試料ス
テージ、２は試料、３は電子ビーム、４はステー
ジを駆動制御するステージ制御回路、５は電子ビ
ーム３を試料２に照射して得られる透過試料像を
撮影する撮像管、６はビデオアンプ、７は透過試
料像を表示する陰極線管、８はコンピユータ等で
構成された制御部、９はキーボード等の条件入力
装置である。
以上の様に構成された装置において、先ず条件
入力装置９（又は電子顕微鏡本体の倍率調整ツマ
ミ）によつて観察倍率を低倍率（例えば100倍）
にすると、制御部８は図示しない電子顕微鏡の電
子レンズ系に制御信号Ｓを出力して電子レンズ系
を制御する。この制御によつて、試料２の低倍率
試料像は撮像管５によつて撮影され、該撮像管５
よりのビデオ信号はビデオアンプ６を介して陰極
線管７に供給されるため、陰極線管７には第２図
に示すような低倍率の透過試料像Ａが表示され
る。この透過試料像Ａによつて、つなぎ写真を作
成する視野を決める。
入力装置９（又は電子顕微鏡本体の倍率調整ツマ
ミ）によつて観察倍率を低倍率（例えば100倍）
にすると、制御部８は図示しない電子顕微鏡の電
子レンズ系に制御信号Ｓを出力して電子レンズ系
を制御する。この制御によつて、試料２の低倍率
試料像は撮像管５によつて撮影され、該撮像管５
よりのビデオ信号はビデオアンプ６を介して陰極
線管７に供給されるため、陰極線管７には第２図
に示すような低倍率の透過試料像Ａが表示され
る。この透過試料像Ａによつて、つなぎ写真を作
成する視野を決める。
次に、陰極線管７に表示された低倍率の透過試
料像Ａに基づいて、フイルムサイズ等を考慮し
て、透過試料像Ａを何分割するかを決定し、条件
入力装置９により分割する数を入力する。この操
作によつて制御部８は、ビデオアンプ６へつなぎ
写真撮影する際のつなぎ部分を表わす格子像を表
示するための信号を出力する。ビデオアンプ６
は、該撮像管５よりのビデオ信号と前記した制御
部８よりの格子像を表示するための信号を陰極線
管７に出力する。従つて、陰極線管７には、第３
図に示すように透過試料像Ａにつなぎ写真撮影を
する際のつなぎ部を表わす格子像Ｂが重畳されて
表示される。そのため、陰極線管７に表示された
像を見て、特徴のある部分に格子像Ｂが重畳され
て表示されている場合には、特徴のある部分が写
真のつなぎ部分に当ることとなるため、特徴のあ
る部分に格子像が重畳しないように試料を移動す
る。
料像Ａに基づいて、フイルムサイズ等を考慮し
て、透過試料像Ａを何分割するかを決定し、条件
入力装置９により分割する数を入力する。この操
作によつて制御部８は、ビデオアンプ６へつなぎ
写真撮影する際のつなぎ部分を表わす格子像を表
示するための信号を出力する。ビデオアンプ６
は、該撮像管５よりのビデオ信号と前記した制御
部８よりの格子像を表示するための信号を陰極線
管７に出力する。従つて、陰極線管７には、第３
図に示すように透過試料像Ａにつなぎ写真撮影を
する際のつなぎ部を表わす格子像Ｂが重畳されて
表示される。そのため、陰極線管７に表示された
像を見て、特徴のある部分に格子像Ｂが重畳され
て表示されている場合には、特徴のある部分が写
真のつなぎ部分に当ることとなるため、特徴のあ
る部分に格子像が重畳しないように試料を移動す
る。
このようにして、つなぎ写真を作成する視野と
分割する数を決めた後、制御部８の指令に基づい
て、ステージ制御回路４により、試料ステージ１
を写真撮影開始点に設定し、電子ビーム３を試料
２に照射して得られる透過試料像を、図示しない
写真撮影装置にて写真撮影する。次に、ステージ
制御回路４により試料ステージ１を１コマ分移動
させては順次撮影する。従つて、このような装置
では、陰極線管７に透過試料像Ａと共に格子像Ｂ
を重畳して表示しているため、つなぎ写真の全体
像を正確に把握できると共に、特徴のある部分が
つなぎ部分に当ることが極力防止されるため、品
質の良いつなぎ写真を作成することができる。
分割する数を決めた後、制御部８の指令に基づい
て、ステージ制御回路４により、試料ステージ１
を写真撮影開始点に設定し、電子ビーム３を試料
２に照射して得られる透過試料像を、図示しない
写真撮影装置にて写真撮影する。次に、ステージ
制御回路４により試料ステージ１を１コマ分移動
させては順次撮影する。従つて、このような装置
では、陰極線管７に透過試料像Ａと共に格子像Ｂ
を重畳して表示しているため、つなぎ写真の全体
像を正確に把握できると共に、特徴のある部分が
つなぎ部分に当ることが極力防止されるため、品
質の良いつなぎ写真を作成することができる。
尚、上記実施例は例示であり変型が可能であ
る。上記実施例装置では、透過試料像Ａに格子像
Ｂを重畳させて表示するようにしたが、撮影が終
了したら格子像内を輝度を変えて表示して撮影終
了区画を表示するようにしても良い。
る。上記実施例装置では、透過試料像Ａに格子像
Ｂを重畳させて表示するようにしたが、撮影が終
了したら格子像内を輝度を変えて表示して撮影終
了区画を表示するようにしても良い。
［考案の効果］
以上詳述したように本考案によれば、表示装置
に試料像を表示すると共に該試料像に重畳してつ
なぎ部を表わす格子像を重畳させて表示するよう
にしたため、一枚のつなぎ写真を作成する場合
に、特徴のある部分が格子像の中心よりずれた
り、又、特徴のある部分がつなぎ部分に位置して
いる場合には、試料を移動させて修正できるた
め、質の良いつなぎ写真を作成することができる
電子顕微鏡つなぎ写真撮影装置が提供される。
に試料像を表示すると共に該試料像に重畳してつ
なぎ部を表わす格子像を重畳させて表示するよう
にしたため、一枚のつなぎ写真を作成する場合
に、特徴のある部分が格子像の中心よりずれた
り、又、特徴のある部分がつなぎ部分に位置して
いる場合には、試料を移動させて修正できるた
め、質の良いつなぎ写真を作成することができる
電子顕微鏡つなぎ写真撮影装置が提供される。
第１図は本考案の一実施例を説明するためのブ
ロツク図、第２図及び第３図は本考案を説明する
ための図である。 １……試料ステージ、２……試料、３……電子
ビーム、４……ステージ制御回路、５……撮像
管、６……ビデオアンプ、７……陰極線管、８…
…制御部、９……条件入力装置。
ロツク図、第２図及び第３図は本考案を説明する
ための図である。 １……試料ステージ、２……試料、３……電子
ビーム、４……ステージ制御回路、５……撮像
管、６……ビデオアンプ、７……陰極線管、８…
…制御部、９……条件入力装置。
Claims (1)
- 電子顕微鏡によつて得られる試料像を分割し、
該分割された各像を視野移動手段によつて移動さ
せることにより順次撮影し、得られた各像をつな
ぎ合わせることによつて一枚の試料像を作成する
電子顕微鏡つなぎ写真撮影装置において、前記試
料像を表示する表示手段と、該表示手段に表示さ
れる試料像につなぎ写真撮影する際のつなぎ部を
表わす格子像を重畳させて表示するための手段と
を備えたことを特徴とする電子顕微鏡つなぎ写真
撮影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9849386U JPH0441562Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9849386U JPH0441562Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS634056U JPS634056U (ja) | 1988-01-12 |
| JPH0441562Y2 true JPH0441562Y2 (ja) | 1992-09-30 |
Family
ID=30966476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9849386U Expired JPH0441562Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0441562Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4596881B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2010-12-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過型電子顕微鏡装置 |
| JP5066056B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-11-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP9849386U patent/JPH0441562Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS634056U (ja) | 1988-01-12 |
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