JPH0442075Y2 - - Google Patents
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- JPH0442075Y2 JPH0442075Y2 JP1986115872U JP11587286U JPH0442075Y2 JP H0442075 Y2 JPH0442075 Y2 JP H0442075Y2 JP 1986115872 U JP1986115872 U JP 1986115872U JP 11587286 U JP11587286 U JP 11587286U JP H0442075 Y2 JPH0442075 Y2 JP H0442075Y2
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 41
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 29
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- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 4
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- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はレーザトリミング装置のレーザ光制御
回路に関し、特にトリミング目標値と測定値とを
比較する比較回路からの出力によつてレーザ光を
止めるレーザ光制御回路に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser beam control circuit for a laser trimming device, and in particular, the invention relates to a laser beam control circuit for a laser trimming device, and in particular, to stop the laser beam by an output from a comparison circuit that compares a trimming target value and a measured value. This invention relates to a laser light control circuit.
従来、この種のレーザ光制御回路は、トリミン
グ目標値と測定値との比較回路からの出力の状態
をCPUが読込んで判断し、ソフトウエアを介し
てレーザ発振を止めるか、あるいは比較回路の出
力状態に応じて直接レーザ発振を止めていた。
Conventionally, in this type of laser light control circuit, the CPU reads and judges the state of the output from the comparison circuit between the trimming target value and the measured value, and either stops laser oscillation via software or controls the output of the comparison circuit. Laser oscillation was directly stopped depending on the situation.
従来のレーザ光制御回路では、トリミング目標
値と測定値の比較がレーザ光パルスと非同期で行
われるか、あるいは同期していてもレーザ光を発
射した直後の測定値の安定時間を考慮していない
ため、高いトリミング精度が得られないことが多
かつた。特に、測定量が電圧などのトリミングに
おいては、トリミングする素子の近傍にトランジ
スタなどの能動素子があると、レーザ光による光
電効果によつて、例えばPN接合がオン状態にな
り、測定値が大きく変動して正常なトリミングが
不可能になることが多い。
In conventional laser beam control circuits, the comparison between the trimming target value and the measured value is performed asynchronously with the laser beam pulse, or even if it is synchronous, it does not take into account the stabilization time of the measured value immediately after the laser beam is emitted. Therefore, high trimming accuracy was often not achieved. In particular, when trimming a measured quantity such as voltage, if there is an active element such as a transistor in the vicinity of the element to be trimmed, the photoelectric effect caused by the laser light will turn on the PN junction, for example, and the measured value will fluctuate greatly. This often makes normal trimming impossible.
それ故、本考案の目的は簡単な構成で高精度の
トリミングを可能とするレーザ光制御回路を提供
することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a laser light control circuit that has a simple configuration and enables highly accurate trimming.
本考案による制御回路は、サンプリングパルス
を発生する発振器と、トリミング目標値と測定値
とを比較する比較回路の出力状態をサンプリング
パルスの前縁に同期して保持するフリツプフロツ
プと、このフリツプフロツプの出力と前記サンプ
リングパルスとを入力とするアンド回路と、この
アンド回路からのパルス状出力の後縁に同期した
パルスを生成するための単安定マルチバイブレー
タとを含んでいる。
The control circuit according to the present invention includes an oscillator that generates a sampling pulse, a flip-flop that maintains the output state of a comparator circuit that compares a trimming target value and a measured value in synchronization with the leading edge of the sampling pulse, and an output of this flip-flop. It includes an AND circuit which receives the sampling pulse as an input, and a monostable multivibrator for generating a pulse synchronized with the trailing edge of the pulsed output from the AND circuit.
第1図は本考案の一実施例である。比較回路1
でトリミング目標値と測定値とが比較され、その
大小関係に応じて比較回路出力が“1”あるいは
“0”になる。比較回路1の出力状態は方形波の
発振器3から周期的に発生されるサンプリングパ
ルスの前縁に同期してフリツプフロツプ2に保持
される。サンプリングパルスは、アンド回路4に
よりフリツプフロツプ2の反転出力と論理積が
とられ単安定マルチバイブレータ5へ入力され
る。この単安定マルチバイブレータ5はサンプリ
ングパルスの後縁でトリガされ、サンプリングパ
ルスの後縁に同期した適当な幅のパルスを作り出
す。このパルスに同期してレーザ光が発射され
る。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. Comparison circuit 1
The trimming target value and the measured value are compared, and the comparison circuit output becomes "1" or "0" depending on the magnitude relationship. The output state of the comparator circuit 1 is held in a flip-flop 2 in synchronization with the leading edge of a sampling pulse periodically generated by a square wave oscillator 3. The sampling pulse is logically ANDed with the inverted output of the flip-flop 2 by an AND circuit 4 and inputted to a monostable multivibrator 5. This monostable multivibrator 5 is triggered at the trailing edge of the sampling pulse and produces a pulse of appropriate width that is synchronized with the trailing edge of the sampling pulse. Laser light is emitted in synchronization with this pulse.
第2図は上記の動作を説明する信号波形図であ
る。周期的に発生されるサンプリングパルス10
の前縁に同期して、トリミング目標値16と測定
値15との比較結果である比較回路1の出力11
をフリツプフロツプ2に記憶する。この時レーザ
光はまだ発射されておらず、従つて測定値15に
変化はなく、トリミング目標値16よりも小さけ
れば比較回路1の出力11は“0”の状態であ
り、フリツプフロツプ2の出力12も“0”とな
る。このときフリツプフロツプ2の反転出力は
“1”となる。従つて、フリツプフロツプ2の反
転出力と論理積がとられたサンプリングパルス1
0は単安定マルチバイブレータ5に入力される。
単安定マルチバイブレータ5はサンプリングパル
スの後縁に同期したパルス13を発生し、これに
同期してレーザ光14が発射される。レーザ光が
照射されることによつて光電効果などの影響で測
定値が大きく変動する。その結果、トリミング目
標値16を越えたとすると、比較回路1の出力1
1は“1”になる。しかし、この時点ではまだ次
のサンプリングパルス10はあらわれないので、
フリツプフロツプ2の出力12は“0”のままで
変化せず元の状態を保つたままである。 FIG. 2 is a signal waveform diagram illustrating the above operation. Periodically generated sampling pulse 10
Output 11 of comparator circuit 1, which is the comparison result between trimming target value 16 and measured value 15, is synchronized with the leading edge of
is stored in flip-flop 2. At this time, the laser beam has not yet been emitted, so there is no change in the measured value 15. If it is smaller than the trimming target value 16, the output 11 of the comparator circuit 1 is in the "0" state, and the output 12 of the flip-flop 2 is in the state of "0". also becomes “0”. At this time, the inverted output of flip-flop 2 becomes "1". Therefore, sampling pulse 1 ANDed with the inverted output of flip-flop 2
0 is input to the monostable multivibrator 5.
The monostable multivibrator 5 generates a pulse 13 synchronized with the trailing edge of the sampling pulse, and a laser beam 14 is emitted in synchronization with this. Measured values fluctuate greatly due to effects such as photoelectric effects due to laser light irradiation. As a result, if the trimming target value 16 is exceeded, the output 1 of the comparator circuit 1
1 becomes "1". However, at this point, the next sampling pulse 10 has not yet appeared, so
The output 12 of the flip-flop 2 remains at "0" and remains unchanged, maintaining its original state.
ここで、サンプリングパルス10の周期が測定
値のレーザ光による変動の時定数よりも充分長け
れば、次のサンプリングパルスが来たときには測
定値は定常状態に達しており、一定の値を示すこ
とになる。この時測定値が目標値を下回つていれ
ばフリツプフロツプ2の反転出力は“1”のま
まで変化せず、従つてサンプリングパルスの後縁
に同期して次のレーザ光が発射されることにな
る。逆に、目標値を越えていると、比較回路1の
出力11は“1”となり、フリツプフロツプ2の
出力も“1”に変化し、反転出力は“0”とな
る。従つて、サンプリングパルスはアンド回路4
で阻止され、単安定マルチバイブレータ5へのト
リガ入力も止り、レーザ光も発射されなくなる。
よつて、サンプリングパルスの周期が、レーザ光
による測定値の変動の時定数よりも充分長けれ
ば、常に測定値の安定した時点で目標値との比較
が出来、高精度のトリミングが可能となる。 Here, if the period of the sampling pulse 10 is sufficiently longer than the time constant of the fluctuation of the measured value due to the laser beam, the measured value will have reached a steady state and will show a constant value when the next sampling pulse arrives. Become. If the measured value is below the target value at this time, the inverted output of flip-flop 2 remains "1" and does not change, and therefore the next laser beam is emitted in synchronization with the trailing edge of the sampling pulse. become. Conversely, if the target value is exceeded, the output 11 of the comparison circuit 1 becomes "1", the output of the flip-flop 2 also changes to "1", and the inverted output becomes "0". Therefore, the sampling pulse is passed through the AND circuit 4
, the trigger input to the monostable multivibrator 5 is also stopped, and the laser beam is no longer emitted.
Therefore, if the period of the sampling pulse is sufficiently longer than the time constant of the fluctuation of the measured value due to the laser beam, the measured value can always be compared with the target value when it becomes stable, making it possible to perform highly accurate trimming.
第3図は本考案の第2の実施例であり、発振器
3からアンド回路4に至るラインに遅延回路6を
挿入したものである。トリミング目標値と測定値
が比較回路1で比較され、測定値がトリミング目
標値よりも大きくなつた時その出力は“1”にな
る。この状態は発振器3から発生されるサンプリ
ングパルス10の前縁に同期してフリツプフロツ
プ2に保持される。サンプリングパルス10は遅
延回路6によつて適当な時間だけ遅延されてアン
ド回路4に入る。アンド回路4のもう一方の入力
にはフリツプフロツプ2の反転出力が入つてお
り、このフリツプフロツプ2の反転出力の状態
によつて単安定マルチバイブレータ5へのサンプ
リングパルスが規制されることになる。即ち、測
定値がトリミング目標値よりも大きくなりフリツ
プフロツプ2の出力が“1”になつた時、その反
転出力は“0”で、アンド回路4によつてサン
プリングパルスは阻止された状態になる。 FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention, in which a delay circuit 6 is inserted in the line from the oscillator 3 to the AND circuit 4. The trimming target value and the measured value are compared in the comparison circuit 1, and when the measured value becomes larger than the trimming target value, its output becomes "1". This state is held in the flip-flop 2 in synchronization with the leading edge of the sampling pulse 10 generated by the oscillator 3. The sampling pulse 10 is delayed by a suitable amount of time by the delay circuit 6 and then enters the AND circuit 4. The other input of the AND circuit 4 receives the inverted output of the flip-flop 2, and the sampling pulse to the monostable multivibrator 5 is regulated by the state of the inverted output of the flip-flop 2. That is, when the measured value becomes larger than the trimming target value and the output of the flip-flop 2 becomes "1", its inverted output becomes "0" and the sampling pulse is blocked by the AND circuit 4.
ところで、比較回路1の出力状態がサンプリン
グパルス10の前縁に同期してフリツプフロツプ
2に保持されてその出力に現われるが、必ずサン
プリングパルスの前縁からの遅れがある。従つ
て、比較回路1の出力が“1”となつてフリツプ
フロツプ2の反転出力が状態“0”になつても
アンド回路4の出力にはこの遅れ分と同程度の幅
を持つたパルスが現われる。この遅れを補償する
ため遅延回路6によつて、サンプリングパルスも
フリツプフロツプ2による遅れ分と同程度以上遅
らせてアンド回路4に入力するようにしている。
アンド回路4の出力は単安定マルチバイブレータ
5へ入力され、この単安定マルチバイブレータ5
は適当な時間遅延されたサンプリングパルスの後
縁に同期したパルスを発生し、このパルスに同期
してレーザ光が発射される。 Incidentally, although the output state of the comparator circuit 1 is held in the flip-flop 2 in synchronization with the leading edge of the sampling pulse 10 and appears at its output, there is always a delay from the leading edge of the sampling pulse. Therefore, even if the output of the comparator circuit 1 becomes "1" and the inverted output of the flip-flop 2 becomes the state "0", a pulse with a width comparable to this delay will appear at the output of the AND circuit 4. . In order to compensate for this delay, the sampling pulse is also input to the AND circuit 4 with a delay equal to or more than the delay caused by the flip-flop 2 by the delay circuit 6.
The output of the AND circuit 4 is input to the monostable multivibrator 5, and this monostable multivibrator 5
generates a pulse synchronized with the trailing edge of the sampling pulse delayed by an appropriate time, and laser light is emitted in synchronization with this pulse.
第4図は上記の動作を説明する信号波形図であ
る。比較回路1の出力11の状態をサンプリング
パルス10の前縁に同期させてフリツプフロツプ
2に保持する。この時レーザ光はまだ発射されて
いないので測定値15には変化はなく、トリミン
グ目標値16よりも小さければ比較回路1の出力
11は“0”であり、フリツプフロツプ2の反転
出力は“1”である。したがつて、比較回路1
の出力が“0”の時サンプリングパルス10′は
アンド回路4を通過して単安定マルチバイブレー
タ5に入る。単安定マルチバイブレータ5はサン
プリングパルス10′の後縁に同期してパルス1
3を発生し、これに同期してレーザ光14が発射
される。レーザ光によつて測定値15が図の如く
変動し、トリミング目標値16を越えたとする
と、比較回路1の出力11は“1”になるが、こ
の時点ではまだ次のサンプリングパルス10は来
ていないのでフリツプフロツプ2の反転出力は
変化せず、元の状態を保つている。 FIG. 4 is a signal waveform diagram illustrating the above operation. The state of the output 11 of the comparison circuit 1 is held in the flip-flop 2 in synchronization with the leading edge of the sampling pulse 10. At this time, the laser beam has not yet been emitted, so there is no change in the measured value 15, and if it is smaller than the trimming target value 16, the output 11 of the comparator circuit 1 is "0", and the inverted output of the flip-flop 2 is "1". It is. Therefore, comparison circuit 1
When the output of is "0", the sampling pulse 10' passes through the AND circuit 4 and enters the monostable multivibrator 5. The monostable multivibrator 5 pulses 1 in synchronization with the trailing edge of the sampling pulse 10'.
3 is generated, and a laser beam 14 is emitted in synchronization with this. If the measured value 15 changes due to the laser beam as shown in the figure and exceeds the trimming target value 16, the output 11 of the comparator circuit 1 becomes "1", but at this point the next sampling pulse 10 has not yet arrived. Therefore, the inverted output of flip-flop 2 does not change and maintains its original state.
ここで、サンプリングパルス10の周期が測定
値のレーザ光による変動の時定数よりも充分長け
れば、次のサンプリングパルス10が来たときに
は測定値は定常状態になつており、測定値15が
トリミング目標値16よりも小さければフリツプ
フロツプ2の反転出力は“1”のままで次のレ
ーザ光が発射されることになる。サンプリングパ
ルス10の前縁が来たときに測定値15がトリミ
ング目標値16を越えていると、フリツプフロツ
プ2の出力は“1”になり、反転出力は“0”
になる。このとき、サンプリングパルス10′は
アンド回路4で阻止されることになるが、フリツ
プフロツプ2の反転出力がサンプリングパルス
10の前縁に同期して“0”に変化するとき遅れ
19がある。この遅れ19は、上述したように、
アンド回路4から遅れ時間幅のパルスが出力され
る原因となり、このパルスにもとづいて単安定マ
ルチバイブレータ5から余分なパルス20が出力
され、余分なレーザ光21が出力されてしまう。
この遅れ19を補償するために遅延回路6で適当
な時間だけ遅らせたサンプリングパルス10′を
アンド回路4に入力してやることによつて余分な
パルス発生を防ぎ、余分なレーザ光21の出力の
を防ぐことが出来る。 Here, if the period of the sampling pulse 10 is sufficiently longer than the time constant of the fluctuation of the measured value due to the laser beam, the measured value will be in a steady state when the next sampling pulse 10 comes, and the measured value 15 will be the trimming target. If the value is smaller than 16, the inverted output of flip-flop 2 remains at "1" and the next laser beam is emitted. If the measured value 15 exceeds the trimming target value 16 when the leading edge of the sampling pulse 10 arrives, the output of the flip-flop 2 becomes "1" and the inverted output becomes "0".
become. At this time, the sampling pulse 10' is blocked by the AND circuit 4, but there is a delay 19 when the inverted output of the flip-flop 2 changes to "0" in synchronization with the leading edge of the sampling pulse 10. This delay 19 is, as mentioned above,
This causes a pulse with a delayed time width to be output from the AND circuit 4, and based on this pulse, an extra pulse 20 is output from the monostable multivibrator 5, and an extra laser beam 21 is output.
In order to compensate for this delay 19, the sampling pulse 10' delayed by an appropriate amount of time in the delay circuit 6 is inputted to the AND circuit 4, thereby preventing the generation of extra pulses and preventing the output of extra laser light 21. I can do it.
第4図から、サンプリングパルスは常に1周期
分前に発射されたレーザ光による測定値の変化を
サンプリングしていることになる。それ故、サン
プリングパルスの周期が測定値の変動の時定数よ
り充分に長く、またパルス幅を周期と変動の時定
数との差より狭くすることにより、常に定常状態
の測定値とトリミング目標値との比較結果によつ
てレーザ光を制御できることがわかる。 From FIG. 4, it can be seen that the sampling pulse always samples the change in the measured value due to the laser beam emitted one cycle before. Therefore, by making the period of the sampling pulse sufficiently longer than the time constant of the fluctuation of the measured value and the pulse width narrower than the difference between the period and the time constant of the fluctuation, the steady-state measured value and the trimming target value can always be matched. It can be seen from the comparison results that the laser beam can be controlled.
以上説明した様に本考案は、トリミング目標値
と測定値との比較結果をサンプリングパルスの前
縁に同期してフリツプフロツプに保持し、これに
よつてサンプリングパルスの後縁に同期して発射
するレーザ光を止めることによつて、常に測定値
の安定した時点でトリミング目標値と測定値との
比較ができ、精度の良いトリミングを可能にす
る。
As explained above, the present invention stores the comparison result between the trimming target value and the measured value in a flip-flop in synchronization with the leading edge of the sampling pulse, thereby causing the laser to emit in synchronization with the trailing edge of the sampling pulse. By stopping the light, the trimming target value and the measured value can be compared at any time when the measured value is stable, enabling highly accurate trimming.
第1図は本考案の第1の実施例の構成図、第2
図は第1図の動作状態における各信号の波形図、
第3図は本考案の第2の実施例の構成図、第4図
は第3図の各部の信号波形図。
1……比較回路、2……フリツプフロツプ、3
……発振器、5……単安定マルチバイブレータ、
6……遅延回路。
Figure 1 is a configuration diagram of the first embodiment of the present invention;
The figure is a waveform diagram of each signal in the operating state of Figure 1,
FIG. 3 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a signal waveform diagram of each part in FIG. 3. 1...Comparison circuit, 2...Flip-flop, 3
...oscillator, 5...monostable multivibrator,
6...Delay circuit.
Claims (1)
定値とを比較する比較回路の出力でレーザ光を止
めるレーザ光制御回路において、サンプリングパ
ルス発生用の発振器と、このサンプリングパルス
の前縁と同期して前記比較回路の出力を保持する
ためのフリツプフロツプと、このフリツプフロツ
プの出力と前記サンプリングパルスとを入力とす
るアンド回路と、該アンド回路からのパルス状出
力の後縁でトリガされる単安定マルチバイブレー
タとを含むことを特徴とするレーザトリミング装
置のレーザ光制御回路。 In a laser light control circuit that stops laser light using the output of a comparison circuit that compares a trimming target value and a measured value of a laser trimming device, the laser beam control circuit includes an oscillator for generating a sampling pulse, and the comparison circuit in synchronization with the leading edge of the sampling pulse. a flip-flop for holding the output of the flip-flop, an AND circuit receiving the output of the flip-flop and the sampling pulse as inputs, and a monostable multivibrator triggered by the trailing edge of the pulsed output from the AND circuit. A laser light control circuit for a laser trimming device characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986115872U JPH0442075Y2 (en) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986115872U JPH0442075Y2 (en) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6325281U JPS6325281U (en) | 1988-02-19 |
| JPH0442075Y2 true JPH0442075Y2 (en) | 1992-10-02 |
Family
ID=30999934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986115872U Expired JPH0442075Y2 (en) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442075Y2 (en) |
-
1986
- 1986-07-30 JP JP1986115872U patent/JPH0442075Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6325281U (en) | 1988-02-19 |
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