JPH0442075Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はレーザトリミング装置のレーザ光制御
回路に関し、特にトリミング目標値と測定値とを
比較する比較回路からの出力によつてレーザ光を
止めるレーザ光制御回路に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のレーザ光制御回路は、トリミン
グ目標値と測定値との比較回路からの出力の状態
をCPUが読込んで判断し、ソフトウエアを介し
てレーザ発振を止めるか、あるいは比較回路の出
力状態に応じて直接レーザ発振を止めていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来のレーザ光制御回路では、トリミング目標
値と測定値の比較がレーザ光パルスと非同期で行
われるか、あるいは同期していてもレーザ光を発
射した直後の測定値の安定時間を考慮していない
ため、高いトリミング精度が得られないことが多
かつた。特に、測定量が電圧などのトリミングに
おいては、トリミングする素子の近傍にトランジ
スタなどの能動素子があると、レーザ光による光
電効果によつて、例えばPN接合がオン状態にな
り、測定値が大きく変動して正常なトリミングが
不可能になることが多い。

それ故、本考案の目的は簡単な構成で高精度の
トリミングを可能とするレーザ光制御回路を提供
することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案による制御回路は、サンプリングパルス
を発生する発振器と、トリミング目標値と測定値
とを比較する比較回路の出力状態をサンプリング
パルスの前縁に同期して保持するフリツプフロツ
プと、このフリツプフロツプの出力と前記サンプ
リングパルスとを入力とするアンド回路と、この
アンド回路からのパルス状出力の後縁に同期した
パルスを生成するための単安定マルチバイブレー
タとを含んでいる。

〔実施例〕

第１図は本考案の一実施例である。比較回路１
でトリミング目標値と測定値とが比較され、その
大小関係に応じて比較回路出力が“１”あるいは
“０”になる。比較回路１の出力状態は方形波の
発振器３から周期的に発生されるサンプリングパ
ルスの前縁に同期してフリツプフロツプ２に保持
される。サンプリングパルスは、アンド回路４に
よりフリツプフロツプ２の反転出力と論理積が
とられ単安定マルチバイブレータ５へ入力され
る。この単安定マルチバイブレータ５はサンプリ
ングパルスの後縁でトリガされ、サンプリングパ
ルスの後縁に同期した適当な幅のパルスを作り出
す。このパルスに同期してレーザ光が発射され
る。

第２図は上記の動作を説明する信号波形図であ
る。周期的に発生されるサンプリングパルス１０
の前縁に同期して、トリミング目標値１６と測定
値１５との比較結果である比較回路１の出力１１
をフリツプフロツプ２に記憶する。この時レーザ
光はまだ発射されておらず、従つて測定値１５に
変化はなく、トリミング目標値１６よりも小さけ
れば比較回路１の出力１１は“０”の状態であ
り、フリツプフロツプ２の出力１２も“０”とな
る。このときフリツプフロツプ２の反転出力は
“１”となる。従つて、フリツプフロツプ２の反
転出力と論理積がとられたサンプリングパルス１
０は単安定マルチバイブレータ５に入力される。
単安定マルチバイブレータ５はサンプリングパル
スの後縁に同期したパルス１３を発生し、これに
同期してレーザ光１４が発射される。レーザ光が
照射されることによつて光電効果などの影響で測
定値が大きく変動する。その結果、トリミング目
標値１６を越えたとすると、比較回路１の出力１
１は“１”になる。しかし、この時点ではまだ次
のサンプリングパルス１０はあらわれないので、
フリツプフロツプ２の出力１２は“０”のままで
変化せず元の状態を保つたままである。

ここで、サンプリングパルス１０の周期が測定
値のレーザ光による変動の時定数よりも充分長け
れば、次のサンプリングパルスが来たときには測
定値は定常状態に達しており、一定の値を示すこ
とになる。この時測定値が目標値を下回つていれ
ばフリツプフロツプ２の反転出力は“１”のま
まで変化せず、従つてサンプリングパルスの後縁
に同期して次のレーザ光が発射されることにな
る。逆に、目標値を越えていると、比較回路１の
出力１１は“１”となり、フリツプフロツプ２の
出力も“１”に変化し、反転出力は“０”とな
る。従つて、サンプリングパルスはアンド回路４
で阻止され、単安定マルチバイブレータ５へのト
リガ入力も止り、レーザ光も発射されなくなる。
よつて、サンプリングパルスの周期が、レーザ光
による測定値の変動の時定数よりも充分長けれ
ば、常に測定値の安定した時点で目標値との比較
が出来、高精度のトリミングが可能となる。

第３図は本考案の第２の実施例であり、発振器
３からアンド回路４に至るラインに遅延回路６を
挿入したものである。トリミング目標値と測定値
が比較回路１で比較され、測定値がトリミング目
標値よりも大きくなつた時その出力は“１”にな
る。この状態は発振器３から発生されるサンプリ
ングパルス１０の前縁に同期してフリツプフロツ
プ２に保持される。サンプリングパルス１０は遅
延回路６によつて適当な時間だけ遅延されてアン
ド回路４に入る。アンド回路４のもう一方の入力
にはフリツプフロツプ２の反転出力が入つてお
り、このフリツプフロツプ２の反転出力の状態
によつて単安定マルチバイブレータ５へのサンプ
リングパルスが規制されることになる。即ち、測
定値がトリミング目標値よりも大きくなりフリツ
プフロツプ２の出力が“１”になつた時、その反
転出力は“０”で、アンド回路４によつてサン
プリングパルスは阻止された状態になる。

ところで、比較回路１の出力状態がサンプリン
グパルス１０の前縁に同期してフリツプフロツプ
２に保持されてその出力に現われるが、必ずサン
プリングパルスの前縁からの遅れがある。従つ
て、比較回路１の出力が“１”となつてフリツプ
フロツプ２の反転出力が状態“０”になつても
アンド回路４の出力にはこの遅れ分と同程度の幅
を持つたパルスが現われる。この遅れを補償する
ため遅延回路６によつて、サンプリングパルスも
フリツプフロツプ２による遅れ分と同程度以上遅
らせてアンド回路４に入力するようにしている。
アンド回路４の出力は単安定マルチバイブレータ
５へ入力され、この単安定マルチバイブレータ５
は適当な時間遅延されたサンプリングパルスの後
縁に同期したパルスを発生し、このパルスに同期
してレーザ光が発射される。

第４図は上記の動作を説明する信号波形図であ
る。比較回路１の出力１１の状態をサンプリング
パルス１０の前縁に同期させてフリツプフロツプ
２に保持する。この時レーザ光はまだ発射されて
いないので測定値１５には変化はなく、トリミン
グ目標値１６よりも小さければ比較回路１の出力
１１は“０”であり、フリツプフロツプ２の反転
出力は“１”である。したがつて、比較回路１
の出力が“０”の時サンプリングパルス１０′は
アンド回路４を通過して単安定マルチバイブレー
タ５に入る。単安定マルチバイブレータ５はサン
プリングパルス１０′の後縁に同期してパルス１
３を発生し、これに同期してレーザ光１４が発射
される。レーザ光によつて測定値１５が図の如く
変動し、トリミング目標値１６を越えたとする
と、比較回路１の出力１１は“１”になるが、こ
の時点ではまだ次のサンプリングパルス１０は来
ていないのでフリツプフロツプ２の反転出力は
変化せず、元の状態を保つている。

ここで、サンプリングパルス１０の周期が測定
値のレーザ光による変動の時定数よりも充分長け
れば、次のサンプリングパルス１０が来たときに
は測定値は定常状態になつており、測定値１５が
トリミング目標値１６よりも小さければフリツプ
フロツプ２の反転出力は“１”のままで次のレ
ーザ光が発射されることになる。サンプリングパ
ルス１０の前縁が来たときに測定値１５がトリミ
ング目標値１６を越えていると、フリツプフロツ
プ２の出力は“１”になり、反転出力は“０”
になる。このとき、サンプリングパルス１０′は
アンド回路４で阻止されることになるが、フリツ
プフロツプ２の反転出力がサンプリングパルス
１０の前縁に同期して“０”に変化するとき遅れ
１９がある。この遅れ１９は、上述したように、
アンド回路４から遅れ時間幅のパルスが出力され
る原因となり、このパルスにもとづいて単安定マ
ルチバイブレータ５から余分なパルス２０が出力
され、余分なレーザ光２１が出力されてしまう。
この遅れ１９を補償するために遅延回路６で適当
な時間だけ遅らせたサンプリングパルス１０′を
アンド回路４に入力してやることによつて余分な
パルス発生を防ぎ、余分なレーザ光２１の出力の
を防ぐことが出来る。

第４図から、サンプリングパルスは常に１周期
分前に発射されたレーザ光による測定値の変化を
サンプリングしていることになる。それ故、サン
プリングパルスの周期が測定値の変動の時定数よ
り充分に長く、またパルス幅を周期と変動の時定
数との差より狭くすることにより、常に定常状態
の測定値とトリミング目標値との比較結果によつ
てレーザ光を制御できることがわかる。

〔考案の効果〕

以上説明した様に本考案は、トリミング目標値
と測定値との比較結果をサンプリングパルスの前
縁に同期してフリツプフロツプに保持し、これに
よつてサンプリングパルスの後縁に同期して発射
するレーザ光を止めることによつて、常に測定値
の安定した時点でトリミング目標値と測定値との
比較ができ、精度の良いトリミングを可能にす
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例の構成図、第２
図は第１図の動作状態における各信号の波形図、
第３図は本考案の第２の実施例の構成図、第４図
は第３図の各部の信号波形図。 １……比較回路、２……フリツプフロツプ、３
……発振器、５……単安定マルチバイブレータ、
６……遅延回路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レーザトリミング装置のトリミング目標値と測
   定値とを比較する比較回路の出力でレーザ光を止
   めるレーザ光制御回路において、サンプリングパ
   ルス発生用の発振器と、このサンプリングパルス
   の前縁と同期して前記比較回路の出力を保持する
   ためのフリツプフロツプと、このフリツプフロツ
   プの出力と前記サンプリングパルスとを入力とす
   るアンド回路と、該アンド回路からのパルス状出
   力の後縁でトリガされる単安定マルチバイブレー
   タとを含むことを特徴とするレーザトリミング装
   置のレーザ光制御回路。