JPH0442449A - ディスクの現像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はディスクの現像装置に関し、より詳細には露光
後のレジスト板を現像して露光溝を形成する光ディスク
の現像装置の改良に関する。

（従来の技術） 先ディスク原盤のスタンバ製作工程において、ガラス板
上にレジストを塗布したレジスト板を露光する露光工程
と、露光されたレジスト板を現像する現像工程は、スタ
ンバの溝形状を決定する上で重要な工程である。

露光工程に用いられるＡｒ”レーザは、温度や湿度等の
外乱によって影響を受けやすく、同じ露光量で露光して
も溝形状を一定にすることが困難であることに加え、Ａ
ｒ”レーザ自体の光量変動も数％程度存している。

そこで、露光工程後の現像工程において、現像時間の調
整を行なうことにより、現像後の溝形状を一定にする現
像方式がある。この現像方式は、レジスト板を現像しな
がら該レジスト板に露光面と直交する方向よりＨｅ−Ｎ
ｅレーザ光を照射したときに、現像によって経時的に形
成される露光溝が回折格子となり、この回折格子によっ
て得られるレーザ光の回折光量をモニタしてこの値が設
定回折光量になるまで現像を行なうものである。

従来のこの種の現像装置は、例えば第２図に示すように
、露光後のレジスト板ｌをバキュームエアにより露光面
１ａを上向きにした状態で吸着載置するチャッキングテ
ーブル３と、チャッキングデープル３を回転駆動する回
転モータ５と１回転するレジスト板１の回転中心部の上
方に配置されて露光面ｌａ上に現像液７を滴下する現像
液口９とを備え、現像液口９より滴下された現像液７が
回転するレジスト板ｌの遠心力によりその中心部から外
縁部に向けて渦巻き状に流れることにより、露光面１ａ
全面が現像されるよう構成されている（いわゆるスピン
現像）、このような露光後の現像工程により、例えば第
３図（ａ）　、　（ｂ）に示すように、ガラス板ＩＡ上
に塗布されたレジストＩＢの露光部が現像時間が経過す
るに従って深く侵食され露光溝ＩＣが形成される。

回転モータ５の下方にはＨｅ−Ｎｅレーザ光源ｌ】が配
置され、このレーザ光源ＩＩはＨｅ−Ｎｅレーザ光（図
中で一点ａｍ図示）をミラー１２を介してレジスト板ｌ
の下方より露光面！ａと直交する方向に照射するもので
ある。Ｈｅ−Ｎｅレーザ光はレジスト板ｌを透過し、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ光の照射方向の０次回折光（−点鎖線図
示）と、現像により形成されて回折格子となる露光溝Ｉ
Ｃに回折された１次回折光（二点鎖線図示）とに回折さ
れる。そして、チャッキングテーブル３の上方には、！
次回折光の光量をモニタする回折光量モニタ１３が配設
され、回折光量モニタＩ３により検出される回折光量が
設定値となるまで現像が行なわれる。

第４図はこのような現像工程における現像時間と回折光
量との相関図であって、現像工程の経過により露光溝ｔ
Ｃの形状、即ち回折格子としての形状も変化して回折光
量も変動するため、現像開始直後は回折光量が比較的急
激に上昇するのに対し、ある程度現像が進行すると回折
光量の上昇率が鈍化している。従って、所定形状の露光
溝ｌＣを得るための回折光量を予め設定するとともに。

回折光量モニタ１３の検出による回折光量がこの設定回
折光量となるまで現像を行なうことにより、所定形状の
露光７１１１ｃを得ることができる。

しかしながら、このような従来の現像装置にあっては２
回転するレジスト板１ｋに滴下された現像液７が渦巻き
状に広がりながら現像が行なわれるため、レジスト板】
上を流れる現像液７の厚さを径方向に沿ってみると波状
となって変動し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１１の透過部におけ
る透過率が変動して回折光量が変動する。このようにレ
ジスト板１上において変動する現像液７の厚さが一定の
部分を求めることは困難であり、各ディスク毎における
溝形状のばら付きを招来していた。

（発明の目的） 本発明は、上記課題に着目してなされたもので、露光量
が変動しても現像工程にて露光溝の形状を一定にするこ
とができ、且つレジスト板上にある現像液の厚さを一定
にすることができて各ディスク毎における露光溝の再現
を高精度なものとすることができるディスクの現像装置
の提供を目的とする。

（発明の構成） 上記目的を達成するため、本発明は、レジスト板の露光
面を現像液に浸して露光溝を形成するとともに、前記レ
ジスト板の露光面と直交する方向にレーザ光を照射し、
該レーザ光がレジスト板を透過する際に露光溝を回折格
子として回折された回折光の光量を検出し、この検出光
量が所定量に達したとき現像を終了することにより所定
形状の露光溝を形成するディスクの現像装置であって。

ｎ記現像液を収容した容器と、ｎｋＮ光面が該容器内の
現俸液面に対面するようにレジスト板の上面を吸着する
チャッキングテーブルと、このチャッキングテーブルを
昇降移動する昇降機構とを備えている。

この昇降機構は、現像時に前記レジスト板の露光面だけ
を現像液面に浸漬する高さにチャッキングテーブルを下
降する一方、現像終了後に前記レジスト板の露光面を現
像液面から上昇させることを特徴としている。

以下１本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説
明する。

第１図は本発明の一実施例に係るディスクの現像装置の
構成図を示し、従来例と同様な構成要素には同符合を附
して説明を省略する。

本実施例において特徴的な点は、現像液７が収容された
容器１５と、レジスト板１を露光面！ａが下向きに位置
するよう吸着するチャッキングテーブル１７と、このチ
ャッキングテーブル１７を昇降移動する昇降機構１９と
を備え、この昇降機構１９は、現像時においてレジスト
板ｌの露光面１ａが現像液７の水面と平行な位置にて現
像液７に浸漬され、且つ露光面１ａと反対側に位置する
チャッキング面ｌｂ側に現像液７が回り込まない位２に
チャッキングテーブル１７を下降する一方、現像終了時
においてはレジスト板ｌの露光面１ａを現像液面Ｓから
離間させる位置までチャッキングテーブル１７を上昇す
る位置関係を有して成る点に存する。

そして、Ｈｅ−ＮｅレーザＩ＋は容器１５の下方に配置
され、該レーザ夏１より照射されたＨｅ−Ｎｅレーザ光
はミラー１２を介して現像液７を透過してレジスト板ｌ
の露光面＋ａより入射する。また、回折光量モニタ１３
は、容器１５の上方であって現像により露光面１ａに形
成された露光溝ＩＣを回折格子として得られた１次回折
光をモニタする位置に配置されている。

次に作用を説明する。

上記構成において、露光されたレジスト板ｌを露光面１
ａを下に向けた状態でチャッキングテーブル１７で吸着
し、昇降機構１９を駆動することにより、露光面１ａが
現像液７に浸され、且つ露光面１ａと反対側に位置する
チャツキング面（上面）ｌｂ側に現像液７が回り込まな
い位置にチャッキングテーブル１７が下降する。この結
果、時間の経過とともに現像が進行し、露光部に露光溝
ＩＣが形成されて回折格子となる。

Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１１より出射されたレーザ光はレ
ジスト板ｌに照射されており、現像が進行するに従い上
記回折格子により回折光が発生する。この回折光は回折
光量モニタ１３により検出され、予め設定された回折光
量が得られるまでレジスト板！がその位置にて保持され
る。設定された回折光量が得られたら、昇降機構１９を
駆動することにより、チャッキングテーブル１７が上方
へ移動されて露光面ｔａが現像液面Ｓから離間して現像
が中止された後、水による洗浄工程に移行される。

容器１５内の現像液量が変化し水位が変化したときは、
昇降機構１９はレジスト板ｌの露光面ｌａが現像液７の
水面と平行な位置にて現像液７に浸され、且つ露光面１
ａと反対側に位置するチャッキング面ｌｂ側に現像液７
が回り込まない位置にチャッキングテーブル１７を下降
するよう構成されていると共に１図示しない現像液補給
装置より現像液７が補給される。

このように回折光量モニタ１３によってモニタされた回
折光量に基づいて現像の進行状態を判断することにより
、露光工程における露光光量が適正でなくとも溝形状を
一定に形成することができる。しかも、現像液７の厚さ
（容器Ｉ５の底部から露光面１ａまでの高さ）は、レジ
スト板ｌの露光面＋ａ全全面渡って同一となるため、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ光の透析率が露光面１ａ全面にて均一と
なり、従来のように現像液の厚さが変動して回折光ｍが
変動することはない、従って、いずれかの位置における
回折格子の回折光量を回折光量モニタ１３により検出す
れば、その検出値に基づいて得られたディスク毎の溝形
状のばら付きを抑えることができ安定して再現性を得る
ことができる。

また、現像時においても、レジスト板１のチャツキング
面１ｂに現像液７が回り込まず、レジスト板ｌのチャツ
キング面１ｂにおける屈折率が大気中においてｎ＝１で
あるため、現像液７の回り込みによる回折光の屈折率変
化を防止することができ、高精度な回折光量のモニタを
行なうことができる。

さらに、レジスト板ｌは、露光面１ａを下方にしてチャ
ッキングテーブル１７に吸着されるため、露光面１ａに
塵埃が付着することによる不具合を解消することができ
る。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、レジスト板を露
光面が下向きとなるようチャッキングテーブルに吸着し
、且つ昇降機構によりチャッキングテーブルの高さを調
整しつつ現像を行なうことができる構成としたため、露
光量が変動しても現像工程にて露光溝の形状を一定にす
ることができ、且つレジスト板上にある現像液の厚さを
一定にすることができて各ディスク毎における露光溝の
再現を高精度なものとすることができるという効果を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るディスクの現像装置の一実施例を
示す構成図、第２図は従来列に係る現像装置の構成図、
第３図（ａ）　、　（ｂｌは現像時間とともに露光溝が
形成される過程を示す図、第４図は現像時間と回折光量
との相関図である。 ｌ・・・レジスト板、ｌａ・・・露光面、Ｉｂ・・・チ
ャツキング面、ＩＣ・・・露光溝、７・・・現像液、Ｉ
ｂ・・・容器、１７・・・チャッキングテーブル、１９
・・・昇降機構 特許出頓大　　　株式会社リコー 第１図 第３図 （Ｏ） （ｂ） Ｂ Ａ Ｂ Ａ 第２図 芋４図 菜　灸　時背

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 レジスト板の露光面を現像液に浸して露光溝を形成する
   とともに、前記レジスト板の露光面と直交する方向にレ
   ーザ光を照射し、該レーザ光がレジスト板を透過する際
   に露光溝を回折格子として回折された回折光の光量を検
   出し、この検出光量が所定量に達したとき現像を終了す
   ることにより所定形状の露光溝を形成するディスクの現
   像装置であって、 前記現像液を収容した容器と、前記露光面が該容器内の
   現像液面に対面するようにレジスト板の上面を吸着する
   チャッキングテーブルと、このチャッキングテーブルを
   昇降移動する昇降機構とを備え、 この昇降機構は、現像時に前記レジスト板の露光面だけ
   を現像液面に浸漬する高さにチャッキングテーブルを下
   降する一方、現像終了後に前記レジスト板の露光面を現
   像液面から上昇させることを特徴とするディスクの現像
   装置。