JPH0442791A - 静電チヤツク基板 - Google Patents
静電チヤツク基板Info
- Publication number
- JPH0442791A JPH0442791A JP2145295A JP14529590A JPH0442791A JP H0442791 A JPH0442791 A JP H0442791A JP 2145295 A JP2145295 A JP 2145295A JP 14529590 A JP14529590 A JP 14529590A JP H0442791 A JPH0442791 A JP H0442791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- attracting
- electrostatic chuck
- edge parts
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、対象物を吸着させた状態で移動させる静電
チャック基板に関するものである。
チャック基板に関するものである。
［従来の技術］
一般に、ある対象物を被対象物に取り付ける場合、その
対象物を被対象物に当接させ、接着等の方法によって固
定する。但し、次々に対象物を変換するような場合は着
脱時間の短い真空吸着等の手段によっている。ところが
この方法は空気中では問題ないが、真空中では使用でき
ないため、この場合は電界による吸引力を利用した静電
チャックが使用されている。
対象物を被対象物に当接させ、接着等の方法によって固
定する。但し、次々に対象物を変換するような場合は着
脱時間の短い真空吸着等の手段によっている。ところが
この方法は空気中では問題ないが、真空中では使用でき
ないため、この場合は電界による吸引力を利用した静電
チャックが使用されている。
静電チャックは第６図に示すように基台２上の電極１を
絶縁膜３で覆ったもので、この絶縁膜は経済性等の理由
からスピンコートによって形成される。そして、電極に
供給した電圧子Ｅ、−Ｅによって電界が発生するので、
その電界によって対象物４に吸引力を与えるようになっ
ている。
絶縁膜３で覆ったもので、この絶縁膜は経済性等の理由
からスピンコートによって形成される。そして、電極に
供給した電圧子Ｅ、−Ｅによって電界が発生するので、
その電界によって対象物４に吸引力を与えるようになっ
ている。
［発明が解決しようとする課Ｍ］
しかしながら絶縁膜は液状の絶縁物を電極面に付着させ
た後に凝固させたものであるから、実際の絶縁物は第６
図のように理想的な形状に形成することはできず、第７
図に示すように周縁部に盛り上がり３１ができ、この盛
り上がり３１のために対象物を吸着させたときその対象
物とこの静電チャックの平面の間に距離ｄの隙間ができ
、このため電極から対象物までの距離が遠くなり、吸着
力が低下するという課題があった。例えば、絶縁コート
剤としてポリイミドを用い２０μｍの絶縁膜を作る場合
、外側端の盛り上がりは６μｍ程度になり、隙間のない
場合に比べて２５パーセントの力しか対象物に及ばない
ことになる。
た後に凝固させたものであるから、実際の絶縁物は第６
図のように理想的な形状に形成することはできず、第７
図に示すように周縁部に盛り上がり３１ができ、この盛
り上がり３１のために対象物を吸着させたときその対象
物とこの静電チャックの平面の間に距離ｄの隙間ができ
、このため電極から対象物までの距離が遠くなり、吸着
力が低下するという課題があった。例えば、絶縁コート
剤としてポリイミドを用い２０μｍの絶縁膜を作る場合
、外側端の盛り上がりは６μｍ程度になり、隙間のない
場合に比べて２５パーセントの力しか対象物に及ばない
ことになる。
［課題を解決するための手段］
この課題を解決するためにこの発明は、吸着面の周縁部
が吸着面よりも基台側に位置するように形成したもので
ある。
が吸着面よりも基台側に位置するように形成したもので
ある。
［作用］
対象物と吸着面との隙間がなくなり、対象物に吸引力が
無駄なく、確実に作用するようになる。
無駄なく、確実に作用するようになる。
［実施例］
第１図はこの発明の一実施例であり、基台２、電極１、
絶縁膜３で構成され、対象物の着脱のため、−例として
中央部に穴の開いたものを使用している。このように構
成された第１図の、Ａ−Ａ矢視断面図で説明すると、例
えば第２図に示すように、基台２の端部にテーパ部２□
を設け、基台の平面部に電極１を蒸着等の方法で形成し
た後、絶縁膜３をスピンコート等の方法で形成する。こ
のようにすると、従来通り端部に盛り上がりができるが
、この盛り上がりの頂部は吸着面よりも基台側に位置す
るようになるので、対象物は周縁部の盛り上がり３□に
当接することがなく、吸着面に密着するので、必要な吸
着力が確保される。
絶縁膜３で構成され、対象物の着脱のため、−例として
中央部に穴の開いたものを使用している。このように構
成された第１図の、Ａ−Ａ矢視断面図で説明すると、例
えば第２図に示すように、基台２の端部にテーパ部２□
を設け、基台の平面部に電極１を蒸着等の方法で形成し
た後、絶縁膜３をスピンコート等の方法で形成する。こ
のようにすると、従来通り端部に盛り上がりができるが
、この盛り上がりの頂部は吸着面よりも基台側に位置す
るようになるので、対象物は周縁部の盛り上がり３□に
当接することがなく、吸着面に密着するので、必要な吸
着力が確保される。
第３図は他の実施例であり、基台２は絶縁性を有し電極
１にテーパ部１１を設けている。この例では電極は板状
の材料を用い、その端部を削るなどして形成することが
できるので、製作が容易であるという特徴がある。
１にテーパ部１１を設けている。この例では電極は板状
の材料を用い、その端部を削るなどして形成することが
できるので、製作が容易であるという特徴がある。
第３図は他の実施例であって、基台２上の端部をテーパ
状に形成し、その基台上に銀ペースト等の導電性コート
剤をスピンコートして電極１を形成し、絶縁性コート剤
をスピンコートし、絶縁膜３を形成する。この方法は電
極、絶縁膜ともにスピンコートで製作するので、製作が
容易でかつ厚みの薄いものが容易に形成できる。
状に形成し、その基台上に銀ペースト等の導電性コート
剤をスピンコートして電極１を形成し、絶縁性コート剤
をスピンコートし、絶縁膜３を形成する。この方法は電
極、絶縁膜ともにスピンコートで製作するので、製作が
容易でかつ厚みの薄いものが容易に形成できる。
第５図は他の実施例を示す平面図であり、ハ・ツチング
しである部分を傾斜部としている。
しである部分を傾斜部としている。
なお、以上の実施例は外側の膜に絶縁膜を使用している
が、絶縁膜の代わりに導電性または半導体の膜をコート
することによってジョンソンラーベック効果を利用した
静電チャック基板を形成しても良い、また、テーバの形
状は単純な直線状のテーバの代わりに、曲線上のテーバ
（Ｒ）を設けても良い。
が、絶縁膜の代わりに導電性または半導体の膜をコート
することによってジョンソンラーベック効果を利用した
静電チャック基板を形成しても良い、また、テーバの形
状は単純な直線状のテーバの代わりに、曲線上のテーバ
（Ｒ）を設けても良い。
［発明の効果］
以上のようにこの発明は吸着面の周縁部を吸着面より基
台側に位置するようにしたので、吸着面と対象物との密
着性が良くなり、必要な吸着力を確実に確保することが
できるという効果を有する。
台側に位置するようにしたので、吸着面と対象物との密
着性が良くなり、必要な吸着力を確実に確保することが
できるという効果を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図から
第４図はそれぞれ異なった応用例を示したものでそれぞ
れ第１図のＡ−Ａ矢視断面図、第５図は他の実施例を示
す平面図、第６図および第７図は従来の一例を示す断面
図である。 １・・・−電極、２・・・・基台、３・・・・絶縁膜４
・・・・対象物。
第４図はそれぞれ異なった応用例を示したものでそれぞ
れ第１図のＡ−Ａ矢視断面図、第５図は他の実施例を示
す平面図、第６図および第７図は従来の一例を示す断面
図である。 １・・・−電極、２・・・・基台、３・・・・絶縁膜４
・・・・対象物。
Claims (1)
- スピンコート法を用いて基台上面に吸着面となる膜を形
成した静電チャック基板において、吸着面の周縁部の少
なくとも一部が吸着面よりも基台側に位置するように形
成したことを特徴とする静電チャック基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2145295A JP2979425B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 静電チヤツク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2145295A JP2979425B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 静電チヤツク基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442791A true JPH0442791A (ja) | 1992-02-13 |
| JP2979425B2 JP2979425B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=15381842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2145295A Expired - Lifetime JP2979425B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 静電チヤツク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979425B2 (ja) |
-
1990
- 1990-06-05 JP JP2145295A patent/JP2979425B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2979425B2 (ja) | 1999-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63194345A (ja) | 静電チヤツク | |
| JP2767282B2 (ja) | 基板保持装置 | |
| JPS63283037A (ja) | 静電吸着装置 | |
| JP2004503450A5 (ja) | ||
| JP2004047979A (ja) | 静電把持装置及びそれを製造する方法 | |
| JPH0442791A (ja) | 静電チヤツク基板 | |
| KR940027288A (ko) | 압전진동자구체 및 그 제조방법 | |
| JPH0152899B2 (ja) | ||
| JP4056599B2 (ja) | 静電チャックを用いた液晶表示装置用ガラス基板の吸着方法 | |
| JPH11168132A (ja) | 静電吸着装置 | |
| JP2919837B2 (ja) | ウエーハ搬送具 | |
| JP2000183143A (ja) | 静電チャック | |
| JP3818412B2 (ja) | 静電チャックによる吸着電極形成絶縁基板の吸着方法 | |
| JP4934907B2 (ja) | 静電チャック | |
| JPH0243752A (ja) | 静電チャック型ウエハホルダ | |
| JP2000113850A (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH06198533A (ja) | 静電チャック | |
| JPS6346133Y2 (ja) | ||
| JPH04342155A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH0248145A (ja) | 静電チャック | |
| JPH07321186A (ja) | 静電吸着装置 | |
| JPS58102537A (ja) | 静電吸着式チヤツキング装置 | |
| JPH0145223B2 (ja) | ||
| JPH0615130B2 (ja) | 静電チヤツク | |
| JP2026037070A (ja) | 静電吸着治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100917 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100917 Year of fee payment: 11 |