JPH0442899A - Carrying method for ingot - Google Patents
Carrying method for ingotInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、シリコンインゴットなどを運搬するための
インゴット運搬方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application This invention relates to an ingot transport method for transporting silicon ingots and the like.
従来技術
単結晶引上機から垂直に引上げられたインゴット、たと
えばシリコンインゴットは、クリーンルーム内において
処理台へ載せて種々の処理をする。このために、垂直に
吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬し
て作業台に水平に載せていた。BACKGROUND OF THE INVENTION An ingot, such as a silicon ingot, pulled up vertically from a conventional single crystal pulling machine is placed on a processing table in a clean room and subjected to various treatments. For this purpose, the vertically suspended ingot was carried by the worker and placed horizontally on the workbench.
発明が解決しようとする課題
しかし、近年半導体ウェーハの大口径化に伴いシリコン
インゴットがたとえば３０ｋｇから６０ｋｇへと重くな
り、長さもたとえば約６００ｍｍから約１５０’Ｏｍｍ
となった。しかもづ上げ直後のインゴットは約３００℃
くらいの高温となっている。このため、インゴットを安
全かつ確実に作業員の力により垂直状態から水平にして
運搬するのが不可能となってきた。Problems to be Solved by the Invention However, in recent years, as the diameter of semiconductor wafers has increased, the weight of silicon ingots has increased from, for example, 30 kg to 60 kg, and the length has also increased from, for example, about 600 mm to about 150' Omm.
It became. Moreover, the temperature of the ingot immediately after hoisting is approximately 300℃.
The temperature is about that high. For this reason, it has become impossible to safely and reliably transport the ingot from a vertical position to a horizontal position using the force of a worker.
発明の目的
この発明は、引上げ直後のインゴットを簡単かつ安全に
次の工程へ運搬できるインゴット運搬方法を提供するこ
とを目的とする。OBJECTS OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ingot transport method that allows an ingot immediately after being pulled to be easily and safely transported to the next process.
発明の要旨
この発明は特許請求の範囲に記載のインゴット運搬方法
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ingot transportation method as set forth in the claims.
課題を解決するための手段 第３図〜第６図を参照して説明する。Means to solve problems This will be explained with reference to FIGS. 3 to 6.
第３図に示すように、インゴット製造装置６０により製
造されたインゴット３０を支持手段であるワイヤ６７や
シードチャック６８などにより引上げて垂直につり下げ
る。As shown in FIG. 3, the ingot 30 manufactured by the ingot manufacturing apparatus 60 is pulled up by a wire 67, a seed chuck 68, etc., which are supporting means, and suspended vertically.
第５図のように、インゴット製造装置６０からインゴッ
ト３０をつり下げて支持したまま、第１の位置である収
容部７８に対応する位置に移す。As shown in FIG. 5, while the ingot 30 is suspended and supported from the ingot manufacturing apparatus 60, it is moved to a position corresponding to the storage section 78, which is the first position.
垂直に支持されたインゴット３０を第５図のようにイン
ゴット運搬装置１によりつかんでしっかりと保持する。The vertically supported ingot 30 is gripped and firmly held by the ingot conveying device 1 as shown in FIG.
このあとインゴット３０と、ワイヤ６７などとを、たと
えば第４図のＬ−Ｌ線で切断することにより分離する。Thereafter, the ingot 30 and the wire 67 are separated by, for example, cutting along the line LL in FIG. 4.
インゴット運搬装置１により第６図のインゴット３０を
第１の位置から第２の位置である処理台５０に運搬する
。The ingot conveying device 1 conveys the ingot 30 shown in FIG. 6 from a first position to a processing table 50, which is a second position.
実 施 例
まず、第１図と第２図を参照して、インゴット運搬装置
１を説明する。Embodiment First, an ingot conveying device 1 will be explained with reference to FIGS. 1 and 2.
［カ − ト ２ ］
カート２は車体３と上下案内部材４および車輪５を有し
ている。車体３の後端に上下案内部材４が垂直に立てて
設けられている。４つの車輪５が車体３の４隅に配置さ
れている。[Cart 2] The cart 2 has a vehicle body 3, a vertical guide member 4, and wheels 5. A vertical guide member 4 is provided vertically at the rear end of the vehicle body 3. Four wheels 5 are arranged at the four corners of the vehicle body 3.
この車輪５は好ましくは走行中の振動を吸収するために
、ゴムなどの弾性材料で作られている。上下案内部材４
には作業者か手で押す把手６か設けられている。The wheels 5 are preferably made of an elastic material such as rubber in order to absorb vibrations during running. Vertical guide member 4
is provided with a handle 6 that is pushed by the operator or by hand.
［上下高さ調整機構７コ
上下案内部材４には、上下高さ調整機構７の台８かかみ
合っている。台８は油圧ポンプ９の駆動力により、上下
案内部材４に沿って矢印Ａ方向に上下動可能である。油
圧ポンプ９は台８に固定されている。[Vertical height adjustment mechanism 7] The vertical guide member 4 engages with the base 8 of the vertical height adjustment mechanism 7. The table 8 can be moved up and down in the direction of arrow A along the vertical guide member 4 by the driving force of the hydraulic pump 9. Hydraulic pump 9 is fixed to stand 8.
［インゴットの回転機構部１０］
台８には、回転機構部１０の軸受部１１が固定されてい
る。軸受部１１には第２図に示すように水平軸１２がＳ
方向に回転可能に支持されていて、ハンドル１３を矢印
Ｓ方向（第１図）に回すことにより、この水平軸１２を
回転できる。[Ingot Rotation Mechanism Section 10] A bearing section 11 of the rotation mechanism section 10 is fixed to the stand 8. A horizontal shaft 12 is attached to the bearing part 11 as shown in FIG.
The horizontal shaft 12 can be rotated by turning the handle 13 in the direction of arrow S (FIG. 1).
［インゴットハンドリング部１４］
水平軸１２の一端には、インゴットハンドリング部１４
が固定されている。ガイド部材１５には爪部１６．１７
か相反する方向に移動できるようになっている。爪部１
６，１７はたとえばアルミニウムやステンレスなどで作
られている。爪部１６，１７の内側には、たとえばテフ
ロンゴムやフッソゴム等で作られた押圧部材１８．１９
がそれぞれ固定されている。ハンドル２０を一方の方向
に回すことにより爪部１６，１７は近ずき、他方向に回
すことにより遠さかる。[Ingot handling section 14] At one end of the horizontal shaft 12, an ingot handling section 14 is provided.
is fixed. The guide member 15 has claws 16 and 17.
It is now possible to move in opposite directions. Claw part 1
6 and 17 are made of aluminum or stainless steel, for example. Inside the claws 16 and 17, there are pressing members 18 and 19 made of Teflon rubber, fluorocarbon rubber, etc.
are each fixed. By turning the handle 20 in one direction, the pawls 16, 17 are moved closer together, and by turning the handle 20 in the other direction, the claws 16 and 17 are moved away.
爪部１６，１７の間にはインゴット３０が保持されてい
る。このインゴット３０は、たとえば大型の８インチの
シリコンウェーハを作るだめのものである。An ingot 30 is held between the claws 16 and 17. This ingot 30 is used to make, for example, a large 8-inch silicon wafer.
なお、爪部１６，１７の間に挾む際には、水平軸１２の
回転中心Ｒとインゴット３０の重心位置Ｃを一致又は近
似させる。Note that when the ingot 30 is sandwiched between the claws 16 and 17, the rotation center R of the horizontal shaft 12 and the gravity center position C of the ingot 30 are made to coincide or approximate each other.
また第２図においては処理台５０が配置されている。Further, in FIG. 2, a processing table 50 is arranged.
［シリコン単結晶引上げ用のインゴット製造装置６０コ
次にインゴット製造装置６０を第３図と第４図により説
明する。[Ingot Manufacturing Apparatus 60 for Pulling Silicon Single Crystals Next, the ingot manufacturing apparatus 60 will be explained with reference to FIGS. 3 and 4.
引上炉６１は上部６２と下部６３から成る。The pulling furnace 61 consists of an upper part 62 and a lower part 63.
上部６２は支柱６４のアーム６５により支持されている
。The upper part 62 is supported by an arm 65 of a column 64.
上部６２は、支柱６４を中心にしてＦ方向に回転するこ
とができる。上部６２の中は中空であり下端がラッパ状
に拡がって開口している。上部６２の中にはすでに引上
げたシリコン単結晶の大形のインゴット３０がつり下げ
られている。上部６２の上端にはインゴット３０の回転
機構６６が設けられている。The upper part 62 can rotate in the F direction about the support column 64. The inside of the upper part 62 is hollow, and the lower end expands into a trumpet shape and opens. A large ingot 30 of silicon single crystal that has already been pulled is suspended in the upper part 62. A rotating mechanism 66 for the ingot 30 is provided at the upper end of the upper portion 62 .
インゴット３０の支持手段は、第４図のワイヤ６７、シ
ードチャック６８、ピン７０を有している。The supporting means for the ingot 30 includes a wire 67, a seed chuck 68, and a pin 70 shown in FIG.
インゴット３０はワイヤ６７とシードチャック６８を用
いてつり下げられている。ワイヤ６７は回転機構６６に
支持され、しかも図示しない装置により巻上げることが
できる。The ingot 30 is suspended using a wire 67 and a seed chuck 68. The wire 67 is supported by the rotating mechanism 66 and can be wound up by a device not shown.
第４図に示すように、ワイヤ６７にはシードチャック６
８が連結されている。このシードチャック６８の穴６９
にはインゴット３０の種結晶部３０ａが挿入されピン７
０により固定されている。As shown in FIG. 4, the wire 67 has a seed chuck 6.
8 are connected. Hole 69 of this seed chuck 68
The seed crystal part 30a of the ingot 30 is inserted into the pin 7.
It is fixed at 0.
一方、第３図の引上炉６１の下部６３は、ベース７１の
上に固定され、保温筒７２、石英ルツボ７３、カーボン
ルツボ７４、ヒータ７５を収容している。石英ルツボ７
３の中には残留シリコン７６がある。カーボンルツボ７
４は回転機構７７により回転可能である。On the other hand, the lower part 63 of the pulling furnace 61 in FIG. Quartz crucible 7
There is a residual silicon 76 inside 3. Carbon crucible 7
4 is rotatable by a rotation mechanism 77.
第５図に示すように、インゴット製造装置６０の付近の
フロア７９には、シリコンインゴット３０を降ろしたと
きに収容するための収容部７８が設けられている。また
すてに述べたインゴット運搬装置１はこのフロア７９の
上を走行するようになっている。As shown in FIG. 5, a storage section 78 is provided on the floor 79 near the ingot manufacturing apparatus 60 to store the silicon ingot 30 when it is unloaded. Furthermore, the ingot conveying device 1 described above runs on this floor 79.
インゴット運搬操作 次にインゴット３０の運搬操作を説明する。Ingot transport operation Next, the transportation operation of the ingot 30 will be explained.
まず第３図を参照する。First, refer to FIG.
インゴット運搬装置１のインゴットハンドリング部１４
は、インゴットを支持していない状態である。しかもイ
ンゴットハンドリング部１４のガイド部材１５は水平に
なっている。また収容部７８にはインゴット３０が収容
されていない。Ingot handling section 14 of ingot transport device 1
is a state in which the ingot is not supported. Moreover, the guide member 15 of the ingot handling section 14 is horizontal. Moreover, the ingot 30 is not accommodated in the accommodation portion 78 .
一方、インゴット３０は引上炉６１の上部６２の中につ
り下げられている。上部６２かインゴット３０とともに
図示しない駆動源により支柱６４を中心として矢印方向
Ｆに１８０°回転される。そうすると、上部６２は第５
図の状態になる。つまり、上部６２は第１の位置である
収容部７８に対応する位置にくる。 図示しない装置に
よりインゴット３０が降ろされ、インゴット３０の下部
３０ｂが収容部７８内に入る。On the other hand, the ingot 30 is suspended in the upper part 62 of the pulling furnace 61. The upper part 62 and the ingot 30 are rotated by 180 degrees in the direction of arrow F about the support 64 by a driving source (not shown). Then, the upper part 62 is the fifth
It will be in the state shown in the figure. In other words, the upper portion 62 is at a position corresponding to the first position, which is the accommodating portion 78 . The ingot 30 is unloaded by a device not shown, and the lower part 30b of the ingot 30 enters the storage part 78.
この状態で、インゴット運搬装置１をインゴット３０に
近づけて、すでに第１図に示したようにインゴット３０
の重心位置Ｃを水平軸１１の回転中心Ｒに一致又は近似
するところて爪部１６，１７によりインゴット３０をし
っかりと挾む。そして第４図に示すこのインゴット３０
の種結晶部３０ａのＬ−Ｌ線のところでペンチ等でイン
ゴット３０とシールドチャック６８とを切り離す。In this state, the ingot conveying device 1 is brought close to the ingot 30 and the ingot 30 is moved as shown in FIG.
The ingot 30 is firmly held between the claws 16 and 17 when the center of gravity C of the ingot 30 coincides with or approximates the center of rotation R of the horizontal shaft 11. And this ingot 30 shown in Fig. 4
Separate the ingot 30 and the shield chuck 68 at the L-L line of the seed crystal portion 30a using pliers or the like.
次に第６図のように引上炉６１の上部が１８０°回転し
てもとの位置にもどされ次の単結晶引上げ操作にかかる
。Next, as shown in FIG. 6, the upper part of the pulling furnace 61 is rotated 180 degrees and returned to its original position for the next single crystal pulling operation.
一方、第１図の油圧ポンプ９を作動してインボッｈ３０
を上下案内部材４に沿って所定高さ持上げて、インゴッ
ト３０を収容部７８から出す。そのあと、オペレータが
第１図のハンドル１３を回転して、インゴット３０を第
２図のように水平にする。そしてオペレータは把手６を
持ってカート２を押して処理台５０に移動し、爪部１６
．１７からインゴット３０を放しインゴット３０を処理
台５０の上にしずかに置く。Meanwhile, operate the hydraulic pump 9 shown in FIG.
is lifted to a predetermined height along the vertical guide member 4, and the ingot 30 is taken out from the storage section 78. Thereafter, the operator turns the handle 13 in FIG. 1 to level the ingot 30 as shown in FIG. 2. Then, the operator pushes the cart 2 by the handle 6 and moves it to the processing table 50, and
．． The ingot 30 is released from 17 and gently placed on the processing table 50.
このようにして、製造されたまだ高温のインゴット３０
をオペレータが直接されらずに処理台５０へ安全かつ確
実に運搬できるのである。In this way, the still hot ingot 30 produced
can be safely and reliably transported to the processing table 50 without being directly handled by an operator.
ところで、この発明を実施するためのインゴット運搬装
置やインゴット製造装置は上述の実施例に限定されるも
のではない。たとえば、カート２はリモートコントロー
ル式の自走式カートとしてもよい。また、手動式ハンド
ル１３や２０に代えてモータなどの駆動手段を設けて自
動化してもよい。By the way, the ingot transporting device and ingot manufacturing device for carrying out the present invention are not limited to the above-mentioned embodiments. For example, the cart 2 may be a remote-controlled self-propelled cart. Further, instead of the manual handles 13 and 20, a driving means such as a motor may be provided for automation.
発明の効果
この発明によれば、製造された高温状態の重いインゴッ
トを、人手を直接介さずに簡単かつ安全にインゴットに
損傷を与えずに次の段階に運搬できる。これによりイン
ゴットの運搬と処理の時間短縮が図れる。また、インゴ
ットが直接人間の手に触れることがないため引上げ直後
の高温状態（約３００℃）であっても容易にインゴット
を移すことができる。Effects of the Invention According to the present invention, a manufactured heavy ingot in a high temperature state can be easily and safely transported to the next stage without any direct manual intervention, without damaging the ingot. This reduces the time required to transport and process the ingots. Furthermore, since the ingot does not come into direct contact with human hands, the ingot can be easily transferred even in a high temperature state (approximately 300° C.) immediately after being pulled.
これにより次の単結晶引上げの準備にすぐかかれるので
、引上用の製造装置の稼働率を上げることができる。This allows preparations for the next single crystal pulling to be started immediately, thereby increasing the operating rate of the pulling production equipment.
第１図はこの発明のインゴット運搬方法を実施するため
の好適なインゴット運搬装置の側面図であり、インゴッ
トを垂直に保持している状態を示す図、第２図は同運搬
装置の側面図であり、インゴットを水平に保持している
状態を示す図、第３図はインゴット製造装置とインゴッ
ト運搬装置を示す図、第４図はインゴットのつり下げ用
の連結部分を示す図、第５図はインゴットを下げてイン
ゴット運搬装置のハンドリング部に垂直に保持した状態
を示す図、第６図はインゴットを処理台へ移す作業を説
明するための図である。
１・・・・・・・・・・・・・・・インゴット運搬装置
４・・・・・・・・・・・・・・・上下案内部材６・・
・・・・・・・・・・・・・把 手７・・・・・・・・
・・・・・・・上下高さ調整機構１０・・・・・・・・
・・・・回転機構部１４・・・・・・・・・・・・イン
ゴットハンドリング部１６．１７・・・爪 部
３０・・・・・・・・・・・インゴット５０・・・・・
・・・・・・・処理台（第２の位置）６０・・・・・・
・・・・・インゴット製造装置６２・・・・・・・・・
・・・引上炉の上部７８・・・・・・・・・・・・収容
部（第１の位置）ＦＩＧ、１
ＦＩＧ、３
ＦＩＧ、２
ＦＩＧ、４FIG. 1 is a side view of a preferred ingot transportation device for carrying out the ingot transportation method of the present invention, showing a state in which ingots are held vertically, and FIG. 2 is a side view of the same transportation device. Figure 3 shows the ingot manufacturing device and ingot transport device, Figure 4 shows the connecting part for hanging the ingot, and Figure 5 shows the ingot being held horizontally. FIG. 6 is a diagram showing a state in which the ingot is lowered and held vertically on the handling section of the ingot transport device, and FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of transferring the ingot to the processing table. 1... Ingot transport device 4... Vertical guide member 6...
・・・・・・・・・・・・ Handle 7・・・・・・・・・
......Vertical height adjustment mechanism 10...
...Rotating mechanism part 14...Ingot handling part 16.17...Claw part 30...Ingot 50...
......Processing table (second position) 60...
・・・・・・Ingot manufacturing device 62 ・・・・・・・・・
... Upper part 78 of the pulling furnace ...... Storage section (first position) FIG, 1 FIG, 3 FIG, 2 FIG, 4
Claims (1)
方法。[Claims] An ingot manufactured by an ingot manufacturing device is vertically supported by a supporting means, the ingot is moved from the ingot manufacturing device to a first position while being vertically supported, and the ingot is vertically supported in the first position. An ingot transporting method comprising: holding an ingot by an ingot transporting device; separating the ingot from a supporting means; and transporting the ingot from a first position to a second position by the ingot transporting device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442899A true JPH0442899A (en) | 1992-02-13 |
| JP2835868B2 JP2835868B2 (en) | 1998-12-14 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14621390A Expired - Fee Related JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2835868B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026052186A1 (en) * | 2024-09-09 | 2026-03-12 | Pva Tepla Ag | Automatic charging of a crystal growing system |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882884B1 (en) * | 2007-12-06 | 2009-02-09 | 주식회사 실트론 | Ingot Processing System |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP14621390A patent/JP2835868B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026052186A1 (en) * | 2024-09-09 | 2026-03-12 | Pva Tepla Ag | Automatic charging of a crystal growing system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2835868B2 (en) | 1998-12-14 |
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