JPH0442899A - インゴット運搬方法 - Google Patents
インゴット運搬方法Info
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- JPH0442899A JPH0442899A JP14621390A JP14621390A JPH0442899A JP H0442899 A JPH0442899 A JP H0442899A JP 14621390 A JP14621390 A JP 14621390A JP 14621390 A JP14621390 A JP 14621390A JP H0442899 A JPH0442899 A JP H0442899A
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- Japan
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、シリコンインゴットなどを運搬するための
インゴット運搬方法に関する。
インゴット運搬方法に関する。
従来技術
単結晶引上機から垂直に引上げられたインゴット、たと
えばシリコンインゴットは、クリーンルーム内において
処理台へ載せて種々の処理をする。このために、垂直に
吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬し
て作業台に水平に載せていた。
えばシリコンインゴットは、クリーンルーム内において
処理台へ載せて種々の処理をする。このために、垂直に
吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬し
て作業台に水平に載せていた。
発明が解決しようとする課題
しかし、近年半導体ウェーハの大口径化に伴いシリコン
インゴットがたとえば３０ｋｇから６０ｋｇへと重くな
り、長さもたとえば約６００ｍｍから約１５０’Ｏｍｍ
となった。しかもづ上げ直後のインゴットは約３００℃
くらいの高温となっている。このため、インゴットを安
全かつ確実に作業員の力により垂直状態から水平にして
運搬するのが不可能となってきた。
インゴットがたとえば３０ｋｇから６０ｋｇへと重くな
り、長さもたとえば約６００ｍｍから約１５０’Ｏｍｍ
となった。しかもづ上げ直後のインゴットは約３００℃
くらいの高温となっている。このため、インゴットを安
全かつ確実に作業員の力により垂直状態から水平にして
運搬するのが不可能となってきた。
発明の目的
この発明は、引上げ直後のインゴットを簡単かつ安全に
次の工程へ運搬できるインゴット運搬方法を提供するこ
とを目的とする。
次の工程へ運搬できるインゴット運搬方法を提供するこ
とを目的とする。
発明の要旨
この発明は特許請求の範囲に記載のインゴット運搬方法
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
第３図〜第６図を参照して説明する。
第３図に示すように、インゴット製造装置６０により製
造されたインゴット３０を支持手段であるワイヤ６７や
シードチャック６８などにより引上げて垂直につり下げ
る。
造されたインゴット３０を支持手段であるワイヤ６７や
シードチャック６８などにより引上げて垂直につり下げ
る。
第５図のように、インゴット製造装置６０からインゴッ
ト３０をつり下げて支持したまま、第１の位置である収
容部７８に対応する位置に移す。
ト３０をつり下げて支持したまま、第１の位置である収
容部７８に対応する位置に移す。
垂直に支持されたインゴット３０を第５図のようにイン
ゴット運搬装置１によりつかんでしっかりと保持する。
ゴット運搬装置１によりつかんでしっかりと保持する。
このあとインゴット３０と、ワイヤ６７などとを、たと
えば第４図のＬ−Ｌ線で切断することにより分離する。
えば第４図のＬ−Ｌ線で切断することにより分離する。
インゴット運搬装置１により第６図のインゴット３０を
第１の位置から第２の位置である処理台５０に運搬する
。
第１の位置から第２の位置である処理台５０に運搬する
。
実 施 例
まず、第１図と第２図を参照して、インゴット運搬装置
１を説明する。
１を説明する。
［カ − ト ２ ］
カート２は車体３と上下案内部材４および車輪５を有し
ている。車体３の後端に上下案内部材４が垂直に立てて
設けられている。４つの車輪５が車体３の４隅に配置さ
れている。
ている。車体３の後端に上下案内部材４が垂直に立てて
設けられている。４つの車輪５が車体３の４隅に配置さ
れている。
この車輪５は好ましくは走行中の振動を吸収するために
、ゴムなどの弾性材料で作られている。上下案内部材４
には作業者か手で押す把手６か設けられている。
、ゴムなどの弾性材料で作られている。上下案内部材４
には作業者か手で押す把手６か設けられている。
［上下高さ調整機構７コ
上下案内部材４には、上下高さ調整機構７の台８かかみ
合っている。台８は油圧ポンプ９の駆動力により、上下
案内部材４に沿って矢印Ａ方向に上下動可能である。油
圧ポンプ９は台８に固定されている。
合っている。台８は油圧ポンプ９の駆動力により、上下
案内部材４に沿って矢印Ａ方向に上下動可能である。油
圧ポンプ９は台８に固定されている。
［インゴットの回転機構部１０］
台８には、回転機構部１０の軸受部１１が固定されてい
る。軸受部１１には第２図に示すように水平軸１２がＳ
方向に回転可能に支持されていて、ハンドル１３を矢印
Ｓ方向（第１図）に回すことにより、この水平軸１２を
回転できる。
る。軸受部１１には第２図に示すように水平軸１２がＳ
方向に回転可能に支持されていて、ハンドル１３を矢印
Ｓ方向（第１図）に回すことにより、この水平軸１２を
回転できる。
［インゴットハンドリング部１４］
水平軸１２の一端には、インゴットハンドリング部１４
が固定されている。ガイド部材１５には爪部１６．１７
か相反する方向に移動できるようになっている。爪部１
６，１７はたとえばアルミニウムやステンレスなどで作
られている。爪部１６，１７の内側には、たとえばテフ
ロンゴムやフッソゴム等で作られた押圧部材１８．１９
がそれぞれ固定されている。ハンドル２０を一方の方向
に回すことにより爪部１６，１７は近ずき、他方向に回
すことにより遠さかる。
が固定されている。ガイド部材１５には爪部１６．１７
か相反する方向に移動できるようになっている。爪部１
６，１７はたとえばアルミニウムやステンレスなどで作
られている。爪部１６，１７の内側には、たとえばテフ
ロンゴムやフッソゴム等で作られた押圧部材１８．１９
がそれぞれ固定されている。ハンドル２０を一方の方向
に回すことにより爪部１６，１７は近ずき、他方向に回
すことにより遠さかる。
爪部１６，１７の間にはインゴット３０が保持されてい
る。このインゴット３０は、たとえば大型の８インチの
シリコンウェーハを作るだめのものである。
る。このインゴット３０は、たとえば大型の８インチの
シリコンウェーハを作るだめのものである。
なお、爪部１６，１７の間に挾む際には、水平軸１２の
回転中心Ｒとインゴット３０の重心位置Ｃを一致又は近
似させる。
回転中心Ｒとインゴット３０の重心位置Ｃを一致又は近
似させる。
また第２図においては処理台５０が配置されている。
［シリコン単結晶引上げ用のインゴット製造装置６０コ
次にインゴット製造装置６０を第３図と第４図により説
明する。
明する。
引上炉６１は上部６２と下部６３から成る。
上部６２は支柱６４のアーム６５により支持されている
。
。
上部６２は、支柱６４を中心にしてＦ方向に回転するこ
とができる。上部６２の中は中空であり下端がラッパ状
に拡がって開口している。上部６２の中にはすでに引上
げたシリコン単結晶の大形のインゴット３０がつり下げ
られている。上部６２の上端にはインゴット３０の回転
機構６６が設けられている。
とができる。上部６２の中は中空であり下端がラッパ状
に拡がって開口している。上部６２の中にはすでに引上
げたシリコン単結晶の大形のインゴット３０がつり下げ
られている。上部６２の上端にはインゴット３０の回転
機構６６が設けられている。
インゴット３０の支持手段は、第４図のワイヤ６７、シ
ードチャック６８、ピン７０を有している。
ードチャック６８、ピン７０を有している。
インゴット３０はワイヤ６７とシードチャック６８を用
いてつり下げられている。ワイヤ６７は回転機構６６に
支持され、しかも図示しない装置により巻上げることが
できる。
いてつり下げられている。ワイヤ６７は回転機構６６に
支持され、しかも図示しない装置により巻上げることが
できる。
第４図に示すように、ワイヤ６７にはシードチャック６
８が連結されている。このシードチャック６８の穴６９
にはインゴット３０の種結晶部３０ａが挿入されピン７
０により固定されている。
８が連結されている。このシードチャック６８の穴６９
にはインゴット３０の種結晶部３０ａが挿入されピン７
０により固定されている。
一方、第３図の引上炉６１の下部６３は、ベース７１の
上に固定され、保温筒７２、石英ルツボ７３、カーボン
ルツボ７４、ヒータ７５を収容している。石英ルツボ７
３の中には残留シリコン７６がある。カーボンルツボ７
４は回転機構７７により回転可能である。
上に固定され、保温筒７２、石英ルツボ７３、カーボン
ルツボ７４、ヒータ７５を収容している。石英ルツボ７
３の中には残留シリコン７６がある。カーボンルツボ７
４は回転機構７７により回転可能である。
第５図に示すように、インゴット製造装置６０の付近の
フロア７９には、シリコンインゴット３０を降ろしたと
きに収容するための収容部７８が設けられている。また
すてに述べたインゴット運搬装置１はこのフロア７９の
上を走行するようになっている。
フロア７９には、シリコンインゴット３０を降ろしたと
きに収容するための収容部７８が設けられている。また
すてに述べたインゴット運搬装置１はこのフロア７９の
上を走行するようになっている。
インゴット運搬操作
次にインゴット３０の運搬操作を説明する。
まず第３図を参照する。
インゴット運搬装置１のインゴットハンドリング部１４
は、インゴットを支持していない状態である。しかもイ
ンゴットハンドリング部１４のガイド部材１５は水平に
なっている。また収容部７８にはインゴット３０が収容
されていない。
は、インゴットを支持していない状態である。しかもイ
ンゴットハンドリング部１４のガイド部材１５は水平に
なっている。また収容部７８にはインゴット３０が収容
されていない。
一方、インゴット３０は引上炉６１の上部６２の中につ
り下げられている。上部６２かインゴット３０とともに
図示しない駆動源により支柱６４を中心として矢印方向
Ｆに１８０°回転される。そうすると、上部６２は第５
図の状態になる。つまり、上部６２は第１の位置である
収容部７８に対応する位置にくる。 図示しない装置に
よりインゴット３０が降ろされ、インゴット３０の下部
３０ｂが収容部７８内に入る。
り下げられている。上部６２かインゴット３０とともに
図示しない駆動源により支柱６４を中心として矢印方向
Ｆに１８０°回転される。そうすると、上部６２は第５
図の状態になる。つまり、上部６２は第１の位置である
収容部７８に対応する位置にくる。 図示しない装置に
よりインゴット３０が降ろされ、インゴット３０の下部
３０ｂが収容部７８内に入る。
この状態で、インゴット運搬装置１をインゴット３０に
近づけて、すでに第１図に示したようにインゴット３０
の重心位置Ｃを水平軸１１の回転中心Ｒに一致又は近似
するところて爪部１６，１７によりインゴット３０をし
っかりと挾む。そして第４図に示すこのインゴット３０
の種結晶部３０ａのＬ−Ｌ線のところでペンチ等でイン
ゴット３０とシールドチャック６８とを切り離す。
近づけて、すでに第１図に示したようにインゴット３０
の重心位置Ｃを水平軸１１の回転中心Ｒに一致又は近似
するところて爪部１６，１７によりインゴット３０をし
っかりと挾む。そして第４図に示すこのインゴット３０
の種結晶部３０ａのＬ−Ｌ線のところでペンチ等でイン
ゴット３０とシールドチャック６８とを切り離す。
次に第６図のように引上炉６１の上部が１８０°回転し
てもとの位置にもどされ次の単結晶引上げ操作にかかる
。
てもとの位置にもどされ次の単結晶引上げ操作にかかる
。
一方、第１図の油圧ポンプ９を作動してインボッｈ３０
を上下案内部材４に沿って所定高さ持上げて、インゴッ
ト３０を収容部７８から出す。そのあと、オペレータが
第１図のハンドル１３を回転して、インゴット３０を第
２図のように水平にする。そしてオペレータは把手６を
持ってカート２を押して処理台５０に移動し、爪部１６
．１７からインゴット３０を放しインゴット３０を処理
台５０の上にしずかに置く。
を上下案内部材４に沿って所定高さ持上げて、インゴッ
ト３０を収容部７８から出す。そのあと、オペレータが
第１図のハンドル１３を回転して、インゴット３０を第
２図のように水平にする。そしてオペレータは把手６を
持ってカート２を押して処理台５０に移動し、爪部１６
．１７からインゴット３０を放しインゴット３０を処理
台５０の上にしずかに置く。
このようにして、製造されたまだ高温のインゴット３０
をオペレータが直接されらずに処理台５０へ安全かつ確
実に運搬できるのである。
をオペレータが直接されらずに処理台５０へ安全かつ確
実に運搬できるのである。
ところで、この発明を実施するためのインゴット運搬装
置やインゴット製造装置は上述の実施例に限定されるも
のではない。たとえば、カート２はリモートコントロー
ル式の自走式カートとしてもよい。また、手動式ハンド
ル１３や２０に代えてモータなどの駆動手段を設けて自
動化してもよい。
置やインゴット製造装置は上述の実施例に限定されるも
のではない。たとえば、カート２はリモートコントロー
ル式の自走式カートとしてもよい。また、手動式ハンド
ル１３や２０に代えてモータなどの駆動手段を設けて自
動化してもよい。
発明の効果
この発明によれば、製造された高温状態の重いインゴッ
トを、人手を直接介さずに簡単かつ安全にインゴットに
損傷を与えずに次の段階に運搬できる。これによりイン
ゴットの運搬と処理の時間短縮が図れる。また、インゴ
ットが直接人間の手に触れることがないため引上げ直後
の高温状態（約３００℃）であっても容易にインゴット
を移すことができる。
トを、人手を直接介さずに簡単かつ安全にインゴットに
損傷を与えずに次の段階に運搬できる。これによりイン
ゴットの運搬と処理の時間短縮が図れる。また、インゴ
ットが直接人間の手に触れることがないため引上げ直後
の高温状態（約３００℃）であっても容易にインゴット
を移すことができる。
これにより次の単結晶引上げの準備にすぐかかれるので
、引上用の製造装置の稼働率を上げることができる。
、引上用の製造装置の稼働率を上げることができる。
第１図はこの発明のインゴット運搬方法を実施するため
の好適なインゴット運搬装置の側面図であり、インゴッ
トを垂直に保持している状態を示す図、第２図は同運搬
装置の側面図であり、インゴットを水平に保持している
状態を示す図、第３図はインゴット製造装置とインゴッ
ト運搬装置を示す図、第４図はインゴットのつり下げ用
の連結部分を示す図、第５図はインゴットを下げてイン
ゴット運搬装置のハンドリング部に垂直に保持した状態
を示す図、第６図はインゴットを処理台へ移す作業を説
明するための図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・インゴット運搬装置
４・・・・・・・・・・・・・・・上下案内部材６・・
・・・・・・・・・・・・・把 手７・・・・・・・・
・・・・・・・上下高さ調整機構１０・・・・・・・・
・・・・回転機構部１４・・・・・・・・・・・・イン
ゴットハンドリング部１６．１７・・・爪 部 ３０・・・・・・・・・・・インゴット５０・・・・・
・・・・・・・処理台（第２の位置）６０・・・・・・
・・・・・インゴット製造装置６２・・・・・・・・・
・・・引上炉の上部７８・・・・・・・・・・・・収容
部（第１の位置）ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、３ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、４
の好適なインゴット運搬装置の側面図であり、インゴッ
トを垂直に保持している状態を示す図、第２図は同運搬
装置の側面図であり、インゴットを水平に保持している
状態を示す図、第３図はインゴット製造装置とインゴッ
ト運搬装置を示す図、第４図はインゴットのつり下げ用
の連結部分を示す図、第５図はインゴットを下げてイン
ゴット運搬装置のハンドリング部に垂直に保持した状態
を示す図、第６図はインゴットを処理台へ移す作業を説
明するための図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・インゴット運搬装置
４・・・・・・・・・・・・・・・上下案内部材６・・
・・・・・・・・・・・・・把 手７・・・・・・・・
・・・・・・・上下高さ調整機構１０・・・・・・・・
・・・・回転機構部１４・・・・・・・・・・・・イン
ゴットハンドリング部１６．１７・・・爪 部 ３０・・・・・・・・・・・インゴット５０・・・・・
・・・・・・・処理台（第２の位置）６０・・・・・・
・・・・・インゴット製造装置６２・・・・・・・・・
・・・引上炉の上部７８・・・・・・・・・・・・収容
部（第１の位置）ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、３ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 インゴット製造装置により製造されたイン ゴットを支持手段により垂直に支持し、 インゴット製造装置からインゴットを垂直 に支持したまま第１の位置に移し、 第１の位置で垂直に支持されたインゴット をインゴット運搬装置により保持し、 インゴットと支持手段とを分離し、 インゴット運搬装置により第１の位置から 第２の位置に運搬することを特徴とするインゴット運搬
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | インゴット運搬方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | インゴット運搬方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442899A true JPH0442899A (ja) | 1992-02-13 |
| JP2835868B2 JP2835868B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=15402672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14621390A Expired - Fee Related JP2835868B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | インゴット運搬方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2835868B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026052186A1 (de) * | 2024-09-09 | 2026-03-12 | Pva Tepla Ag | Automatische beladung einer kristallzüchtungsanlage |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882884B1 (ko) * | 2007-12-06 | 2009-02-09 | 주식회사 실트론 | 잉곳 가공시스템 |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP14621390A patent/JP2835868B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026052186A1 (de) * | 2024-09-09 | 2026-03-12 | Pva Tepla Ag | Automatische beladung einer kristallzüchtungsanlage |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2835868B2 (ja) | 1998-12-14 |
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