JPH0442947A - カセットストッカー - Google Patents
カセットストッカーInfo
- Publication number
- JPH0442947A JPH0442947A JP2148067A JP14806790A JPH0442947A JP H0442947 A JPH0442947 A JP H0442947A JP 2148067 A JP2148067 A JP 2148067A JP 14806790 A JP14806790 A JP 14806790A JP H0442947 A JPH0442947 A JP H0442947A
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- JP
- Japan
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- cassette
- stocker
- cassettes
- transport
- cassette stocker
- Prior art date
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- Granted
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分動１
本発明は、半導体製造におけるカセットストッカーの構
造に関する。
造に関する。
〔従来の技術１
従来の技術としては、第２図に示すようにカセットスト
ッカーｌは、カセッｌ−ｌｌｌｌ部２、移載機３、入出
庫口４、搬送系との受は渡し部５、制御部６から構成さ
れており、カセットの入手または自動による出し入れ、
ＩＤ認識、および保管、管理を行う。また、保管できる
カセッ１−は１種類である。
ッカーｌは、カセッｌ−ｌｌｌｌ部２、移載機３、入出
庫口４、搬送系との受は渡し部５、制御部６から構成さ
れており、カセットの入手または自動による出し入れ、
ＩＤ認識、および保管、管理を行う。また、保管できる
カセッ１−は１種類である。
［発明が解決しようとオる課題］
しかし、かかる従来のカセットス１−ツカ−は、カセッ
トの入手または自動による出し入れ、Ｉ Ｄ認１識、お
よび保管、管理の機能１２かな（、また保管できるのは
ｌｆｉ類のカセットたけである。従って２種類以上のカ
セットが混在する工程、たとえ１；ｆカセットの交換で
、安価で軽量な搬送用力セラ１−からｉ［ｉ１薬品性の
処理用カセットへのウェハの移替えを必要とする場合に
は、カセットチェンジャーおよびそれぞれのカセットを
空カセッ１−も含めて保管、笥理する２ｆＩｌ顆のカセ
ットストッカーが必要となり、設置スペースが大きくな
るという問題、屯を有していた。
トの入手または自動による出し入れ、Ｉ Ｄ認１識、お
よび保管、管理の機能１２かな（、また保管できるのは
ｌｆｉ類のカセットたけである。従って２種類以上のカ
セットが混在する工程、たとえ１；ｆカセットの交換で
、安価で軽量な搬送用力セラ１−からｉ［ｉ１薬品性の
処理用カセットへのウェハの移替えを必要とする場合に
は、カセットチェンジャーおよびそれぞれのカセットを
空カセッ１−も含めて保管、笥理する２ｆＩｌ顆のカセ
ットストッカーが必要となり、設置スペースが大きくな
るという問題、屯を有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
め、１台でウェハの移替えおよび２種類以上のカセット
の保管ができる省スペースのカセットストッカーを提供
することを目的とする。
め、１台でウェハの移替えおよび２種類以上のカセット
の保管ができる省スペースのカセットストッカーを提供
することを目的とする。
また、従来のカセットストッカーは、別置のカセットチ
ェンジャーとカセットストッカー間でのカセットの受は
渡しで必要となり、全自動化することは難しいという問
題点を有していた。
ェンジャーとカセットストッカー間でのカセットの受は
渡しで必要となり、全自動化することは難しいという問
題点を有していた。
本発明の他の目的は、カセットストッカー内にカセット
チャンジャーを組み込むことにより、カセットの受は渡
しを不要として、自動化し易いカセットストッカーを提
供することを目的とする。
チャンジャーを組み込むことにより、カセットの受は渡
しを不要として、自動化し易いカセットストッカーを提
供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段Ｊ
上記ｒｓ！ＰＩを解決するため、本発明のカセットスト
ッカーは半導体製造におけるカセットストッカーにおい
て、前記カセットストッカー内に２つのカセット間でウ
ェハの移替えを行うカセットチェンジャーを有し、２種
類以上のカセットを任意の位置に混在して保管すること
を特徴とする。
ッカーは半導体製造におけるカセットストッカーにおい
て、前記カセットストッカー内に２つのカセット間でウ
ェハの移替えを行うカセットチェンジャーを有し、２種
類以上のカセットを任意の位置に混在して保管すること
を特徴とする。
〔実 施 例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、カセットストッカーｌは従来からあるカ
セット棚２、移載機３、手動用入出庫口４、自動用入出
庫口（搬送系との受は渡し部）５ａ、５ｂ、制御部６に
加えてカセットチェンジャー７を備えている。
１図において、カセットストッカーｌは従来からあるカ
セット棚２、移載機３、手動用入出庫口４、自動用入出
庫口（搬送系との受は渡し部）５ａ、５ｂ、制御部６に
加えてカセットチェンジャー７を備えている。
またこのカセットストッカー１には２系統の搬送系、工
程間搬送８と工程内搬送９（カセットストッカー１と製
造装置１０の間）が接続されている。搬送されるカセッ
トは、工程間搬送８においては安価で軽量な搬送用カセ
ット１１であり、工程内搬送９においては耐薬品性、耐
熱性のある処理用カセット１２である。
程間搬送８と工程内搬送９（カセットストッカー１と製
造装置１０の間）が接続されている。搬送されるカセッ
トは、工程間搬送８においては安価で軽量な搬送用カセ
ット１１であり、工程内搬送９においては耐薬品性、耐
熱性のある処理用カセット１２である。
工程間搬送８により搬送されてきた搬送用カセット１１
は、自動用入出庫口５ａからカセットストッカー１内に
収納される０次にカセットストッカー１内に収納されて
いる空の処理用カセット１２とウェハの入った搬送用カ
セット１１は、移載機３によりカセットチェンジャー７
のカセットステージ部へおかれ、ここでウェハを搬送用
カセット１１から処理用カセット１２へ移替えられる。
は、自動用入出庫口５ａからカセットストッカー１内に
収納される０次にカセットストッカー１内に収納されて
いる空の処理用カセット１２とウェハの入った搬送用カ
セット１１は、移載機３によりカセットチェンジャー７
のカセットステージ部へおかれ、ここでウェハを搬送用
カセット１１から処理用カセット１２へ移替えられる。
ウェハの入った処理用カセット１２は移載機３により、
工程内搬送９と受は渡しを行う自動用入出庫口５ｂに出
され、空の搬送用カセット１１は空いているカセット棚
２に収納される。自動用入出庫口５ｂに出された処理用
カセット１２は、工程内搬送９により製造装置１０へ運
ばれて処理される。
工程内搬送９と受は渡しを行う自動用入出庫口５ｂに出
され、空の搬送用カセット１１は空いているカセット棚
２に収納される。自動用入出庫口５ｂに出された処理用
カセット１２は、工程内搬送９により製造装置１０へ運
ばれて処理される。
また、製ｉ！装置１０で処理された処理用カセット１２
内のウェハは、上記と逆の手順によりカセットストッカ
ー１へ運ばれ、搬送用カセットｌｌ内へカセットチェン
ジをされた後、工程間搬送８によって次工程のカセット
ストッカーへ搬送される。
内のウェハは、上記と逆の手順によりカセットストッカ
ー１へ運ばれ、搬送用カセットｌｌ内へカセットチェン
ジをされた後、工程間搬送８によって次工程のカセット
ストッカーへ搬送される。
以上のような実施例において、１台のカセットストッカ
ー１の内部でカセットチェンジ（ウェハの移替え）を行
い、搬送用カセット１１と処理用カセット１２の両方を
保管、管理することができる。また、カセット棚２は搬
送カセット用、処理カセット用と専用化せず、任意の位
置に混在させて保管できるようにするとカセット棚２は
有効に利用できるため、より省スペースなカセットスト
ッカー１が構成できる。
ー１の内部でカセットチェンジ（ウェハの移替え）を行
い、搬送用カセット１１と処理用カセット１２の両方を
保管、管理することができる。また、カセット棚２は搬
送カセット用、処理カセット用と専用化せず、任意の位
置に混在させて保管できるようにするとカセット棚２は
有効に利用できるため、より省スペースなカセットスト
ッカー１が構成できる。
なお、上記のような構成のカセットストッカー１は２作
業者が介在することなしに製造装置１０までのカセット
の自動搬送が可能となるため、自動化にはきわめて有効
である。
業者が介在することなしに製造装置１０までのカセット
の自動搬送が可能となるため、自動化にはきわめて有効
である。
［発明の効果１
本発明のカセットストッカーは、以上説明したように、
カセットストッカー内にカセットチェンジャーを有し、
ウェハの移替えを行うとともに。
カセットストッカー内にカセットチェンジャーを有し、
ウェハの移替えを行うとともに。
２種類以上のカセットを任意の位置に混在して保管する
ことによって、１台のカセットストッカーでウェハの移
替えおよび２種類以上のカセットの保管を省スペースで
実現できるという効果がある。また、カセットストッカ
ー内にカセットチェンジャーを組み込むことにより、入
手によるカセットの受は渡しが不要となり、自動化し易
いという効果がある。
ことによって、１台のカセットストッカーでウェハの移
替えおよび２種類以上のカセットの保管を省スペースで
実現できるという効果がある。また、カセットストッカ
ー内にカセットチェンジャーを組み込むことにより、入
手によるカセットの受は渡しが不要となり、自動化し易
いという効果がある。
第１図は、本発明のカセットストッカーの構成第２図は
、 従来のカセッ トストラカーの構成 ・カセットストッカー ・カセッ１〜棚 ・移載機 ・手動用入出庫口 ・自動用入出庫口 ・制御部 ・カセットチェンジャー ・工程間搬送 ・工程内搬送 ・製造装置 ・搬送用カセット ・処理用カセット 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１ 第２図
、 従来のカセッ トストラカーの構成 ・カセットストッカー ・カセッ１〜棚 ・移載機 ・手動用入出庫口 ・自動用入出庫口 ・制御部 ・カセットチェンジャー ・工程間搬送 ・工程内搬送 ・製造装置 ・搬送用カセット ・処理用カセット 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１ 第２図
Claims (1)
- （１）半導体製造におけるカセットストッカーにおいて
、前記カセットストッカー内に２つのカセット間でウェ
ハの移替えを行うカセットチェンジャーを有し、２種類
以上のカセットを任意の位置に混在して保管することを
特徴とするカセットストッカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14806790A JP3000624B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | カセットストッカー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14806790A JP3000624B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | カセットストッカー |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9788899A Division JP3267266B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | カセットストッカー及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442947A true JPH0442947A (ja) | 1992-02-13 |
| JP3000624B2 JP3000624B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=15444467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14806790A Expired - Fee Related JP3000624B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | カセットストッカー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3000624B2 (ja) |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP14806790A patent/JP3000624B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3000624B2 (ja) | 2000-01-17 |
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