JPH0616206A - クリーンルーム内搬送システム - Google Patents

クリーンルーム内搬送システム

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JPH0616206A
JPH0616206A JP4177218A JP17721892A JPH0616206A JP H0616206 A JPH0616206 A JP H0616206A JP 4177218 A JP4177218 A JP 4177218A JP 17721892 A JP17721892 A JP 17721892A JP H0616206 A JPH0616206 A JP H0616206A
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cassette
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JP4177218A
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Masanao Murata
正直 村田
Teppei Yamashita
哲平 山下
Miki Tanaka
幹 田中
Takahide Hoshiko
孝秀 星子
Atsuji Karita
充二 苅田
Hitoshi Kono
等 河野
Tsutomu Shintani
勉 新谷
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Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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    • H—ELECTRICITY
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    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハ搬送効率を向上することができ、効率
の良い多種処理を容易に可能にするクリーンルーム内搬
送システムを提供することを目的とする。 【構成】 工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをや
りとりするインターフェース装置、このインターフェー
ス装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置
間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され１つのライン
を構成する１もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上
記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセット
を搬送し、上記インターフェース装置４０は当該インタ
ーフェース装置へ搬送された１もしくは複数の上記カセ
ットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ライン
に専用のカセット１０１に移し替え、上記装置間搬送装
置は上記専用のカセットを移載して指定された上記ウエ
ハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウ
エハを枚葉でやりとりすることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームにおけ
るウエハ搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来の半導体処理システムのク
リーンルーム内に配設されている機器、装置の１例を示
したものである。同図において、９１は半導体処理装
置、例えばウエハの表面処理を行なう反応炉を内蔵した
装置、９２はウエハ検査装置、９３はカセットを搬送す
る自走型の移載ロボット、９７はカセット洗浄装置、９
４はウエハ保管庫、９４Ａおよび９４Ｂは搬入・搬出
部、９５は工程間搬送用の搬送装置（例えば、リニアモ
ータ式の搬送装置）である。
【０００３】この半導体製造システムでは、搬送装置で
搬送されてきたカセットをウエハ保管庫９４に移載し、
一旦、ウエハ保管庫９４の所定の棚に格納する。ここで
は、カセット１００を可搬式のコンテナ２００へ収納し
て保管する例を示している。ウエハ保管庫９４内にはス
タッカークレーン９６を設けてあり、搬入・搬出部９４
Ｂから搬入されたカセット１００をこのスタッカークレ
ーン９６で上記所定の棚に格納する。ウエハ保管庫９４
内でコンテナ２００に格納されたカセット１００はスタ
ッカークレーン９６で搬入・搬出部９４Ａへ搬出され
る。自走型の移載ロボット９３は搬入・搬出部９４Ａへ
搬出されたカセット１００をコンテナ２００に収納した
まま半導体処理装置９１へ搬送したり、処理を終えたウ
エハを収納しているカセットを格納したポッド２００を
ウエハ検査装置９２やカセット洗浄装置９７へ、またウ
エハ保管庫９４へ搬送する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
ウエハを多数枚（例えば、２５枚）収納するカセット１
００単位で装置から装置へ搬送するようにしている。
【０００５】しかし、近年、ＡＳＩＣの需要が増えるな
ど、１ロット当たりの製造個数が少なくなり、これに伴
い必要なウエハの枚数も１〜２枚程度の小枚数で済むこ
とがあり、このような場合、従来の上記搬送系を用いる
システムでは、カセット１００に１〜２枚のウエハを収
納して搬送することになるので、その効率が低下する。
【０００６】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、ウエハ搬送効率を向上することができ、効率
の良い多種処理を容易に可能にするクリーンルーム内搬
送システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、工程間搬送用の搬送装置との
間でウエハをやりとりするインターフェース装置、この
インターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上
を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設さ
れ１つのラインを構成する１もしくは複数のウエハ処理
装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収
納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置は
当該インターフェース装置へ搬送された１もしくは複数
の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して
上記ラインに専用のカセットもしくは所定のウエハ収納
箇所に移し替え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセ
ットもしくは上記移し替えられたウエハ／ウエハ群を移
載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該
ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりする構
成とした。
【０００８】請求項２では、上記インターフェース装置
は、工程間搬送用の搬送装置との間でウエハを直接枚葉
でもしくは枚葉型のカセットに収納してやりとりし、上
記装置間搬送装置は上記インターフェース装置との間で
上記ウエハもしくはカセットを移載して指定された上記
ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間
でウエハを枚葉でやりとりする構成とした。
【０００９】請求項３では、装置間搬送装置の搬送台車
はウエハ枚葉移載型の移載ロボットを搭載し、ウエハ処
理装置はウエハ枚葉授受口を備えている構成とした。
【００１０】請求項４では、装置間搬送装置はウエハ枚
葉搬送型の小形搬送装置である構成とした。
【００１１】請求項５では、請求項２および４の発明に
おいて、ウエハ処理装置はウエハ枚葉授受口を通して小
形搬送装置とウエハをやりとりする移載装置を内蔵して
いる構成とした。
【００１２】請求項６では、装置間搬送装置は磁気浮上
型のリニアモータ式搬送装置である構成とした。
【００１３】請求項７では、装置間搬送装置の搬送台車
はウエハ落下防止装置を備えている構成とした。
【００１４】
【作用】請求項１の発明では、工程間搬送用の搬送装置
との間でウエハを収納したカセットをやりとりするイン
ターフェース装置を有し、当該インターフェース装置へ
搬送された１もしくは複数のカセットから指定された枚
数のウエハを抽出してウエハをクリーンルーム内専用の
カセットに移し替えて集合し、装置間搬送装置がこのク
リーンルーム内専用のカセットを移載して指定された上
記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との
間でウエハを枚葉でやりとりする。
【００１５】請求項２の発明では、インターフェース装
置は、工程間搬送用の搬送装置との間でウエハを直接も
しくはカセットに収納して枚葉でやりとりし、上記装置
間搬送装置は上記インターフェース装置との間で上記ウ
エハもしくはカセットを移載して指定された上記ウエハ
処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエ
ハを枚葉でやりとりする。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
【００１７】図１は、クリーンルーム内における機器、
装置の配設例を示したもので、１０は搬送レール、２０
は搬送レール１０上を走行する装置間搬送装置（この例
では、磁気浮上型のリニアモータ式搬送装置）であり、
図２の（Ａ）に示すように、台車２１上に移載装置（ウ
エハ枚葉移載可能な移載ロボット）２２を備えている。
台車２１は、また、ウエハ落下防止装置２３を備えてい
る。このウエハ落下防止装置２３は台車幅方向に移動可
能なスライド式である。３１〜３７はウエハを処理する
ためのウエハ処理装置であって、搬送レール１０に沿っ
て配設され、１つの処理ラインを構成している。これら
のウエハ処理装置３１〜３７はウエハ枚葉授受口ＡとＢ
を有している。３８は移載装置用の電源装置（例えば、
バッテリの自動充電／自動交換装置）である。
【００１８】４０は工程間搬送用の搬送装置（例えば、
リニアモータ式の搬送装置）９５からクリーンルーム内
へカセットを搬入したり、クリーンルーム内から工程間
搬送用の搬送装置９５へカセットを搬出したりするため
のインターフェース装置（Ｉ／Ｆ装置）である。
【００１９】熱拡散処理等の他の工程（上記ラインとは
異なるクリーンルーム内の他の工程）で処理されたウエ
ハはカセット１００に格納されて工程間搬送用の搬送装
置（例えば、リニアモータ式の搬送装置）９５で移送さ
れる。このカセット１００は多数枚のウエハを収納して
いる。
【００２０】Ｉ／Ｆ装置４０は、異なる工程から搬送さ
れてきたカセット１００Ａ〜１００ＣからウエハＷ１〜
Ｗ３を所要枚数（例えば１〜２枚づつ）取り出して上記
ラインに専用のカセット１０１へうつしかえる。各工程
（上記ラインとは別のライン）から搬送されてくるカセ
ット１００Ａ〜１００Ｃは上記のように多数枚のウエハ
を収納している。
【００２１】この例では、専用のカセット１０１に移替
えているが、例えばカセット１００Ａが空である場合に
は、このカセット１００Ａに移替え、当該カセット１０
０Ａを上記専用のカセットとしてもよい。
【００２２】また、専用のカセット１０１へうつしかえ
る代わりに、Ｉ／Ｆ装置４０内に設けたウエハ収納棚
（図示しない）へうつしかえる構成としてもよい。
【００２３】Ｉ／Ｆ装置４０はこの専用カセット１０１
を移載ロボット４０Ａで搬送装置２０の台車２１上へ移
載する。
【００２４】専用カセット１０１を、図２の（Ａ）に示
すように、所定位置に移載された装置間搬送装置２０
は、装置３１〜３７のうちの指定された装置（例えば、
ウエハ処理装置３２）の前まで走行して所定位置に停止
する。装置間搬送装置２０の走行時はウエハ落下防止装
置２３が台車２１上の専用カセット１０１の全面までス
ライドされ、専用カセット１０１からのウエハの抜け出
しを防いでいる。
【００２５】所定位置に停止した装置間搬送装置２０の
移載ロボット２２は専用カセット１０１から指定された
ウエハ（例えば、ウエハＷ１）を指定された枚数だけピ
ックアツプし、ウエハ処理装置３２のウエハ枚葉授受口
Ａからウエハ処理装置３２内の図示しない移載装置へ移
載する。ウエハＷ１を受け取ったウエハ処理装置３２は
当該ウエハＷ１を処理したのち、装置間搬送装置２０が
処理済みのウエハＷ１を集荷に来るのを待つ。処理済み
ウエハを集荷する装置間搬送装置２０は、指定された１
もしくは複数のウエハ処理装置のウエハ枚葉授受口Ｂを
通して処理済みのウエハを受取り、台車２１上の専用カ
セット１０１に格納してＩ／Ｆ装置４０まで走行する。
【００２６】なお、カセツト１００Ａ〜１００Ｃ、専用
カセット１０１のトラッキングや、クリーンルーム内で
のウエハのトラッキング、また搬送装置２０や移載ロボ
ット２０、４０Ａ等の制御は、図示しないホスト制御装
置とこれらの間で無線通信により行ない、カセツト１０
０Ａ〜１００Ｃ、専用カセット１０１、クリーンルーム
内でのウエハのトラッキングのためにこれらにＩＤを付
し、搬送装置２０や移載ロボット２０、４０Ａ等の制
御、トラッキング情報の授受は、図示しないホスト制御
装置とこれらの間で無線通信により行なう。
【００２７】このように、本実施例では、Ｉ／Ｆ装置４
０を介してクリーンルーム内の他の工程と自分のライン
（前記した処理ライン）とを連絡し、Ｉ／Ｆ装置４０
で、前記各工程で処理されたウエハのうち、このライン
が備えるウエハ処理装置での処理を要するウエハだけを
選択的に取込み、互いに異なる他の工程からのウエハを
１つの専用カセットに集める機能を持たせてあるから、
専用カセット１０１を空の状態や少枚数（１もしくは２
枚程度）格納状態で搬送するような効率の悪い搬送態様
が殆ど生じない。
【００２８】また、上記ライン内では、異なるウエハ処
理を行なう複数台のウエハ処理装置３１〜３７を設け
て、Ｉ／Ｆ装置４０およびこれらのウエハ処理装置３１
〜３７間を搬送路１０で結び、この搬送路１０を走行す
る搬送装置の搬送台車には移載ロボット２２を搭載し
て、ウエハ処理装置３１〜３７との間でウエハ枚葉授受
の機能を持たせてあるから、１つのラインで多種類のウ
エハ処理を効率よく行なうことができる。
【００２９】上記実施例では、装置間搬送装置２０は、
ウエハを専用カセット１０１に収納して搬送している
が、前記した図示しないウエハ収納棚からウエハ群を移
載されて搬送する場合もある。
【００３０】なお、図２の（Ｂ）に装置間搬送装置２２
の他の例を示す。この例では、専用カセット１０１を載
せる上下機構（昇降機構）２４を設けてある。
【００３１】上記実施例では、Ｉ／Ｆ装置４０がカセッ
ト１００Ａ〜１００ＣからウエハＷ１〜Ｗ３を所要枚数
（例えば１〜２枚づつ）取り出してクリーンルーム内専
用カセット１０１へうつしかえ、この専用カセット１０
１を移載ロボット４０Ａで搬送装置２０の台車２１上へ
移載する機能を有していたが、工程間搬送用の搬送装置
９５が、ウエハを直接、または１もしくは２枚のウエハ
を収納したカセットを搬送してくるようなシステムの場
合は、Ｉ／Ｆ装置４０として、このウエハを専用カセッ
ト１０１にうつしかえることなく、装置間搬送装置へ移
載する機能を持たせる場合もある。この場合、装置間搬
送装置としては、図３に符号２６で示すような枚葉搬送
機能だけを持つ小形の装置間搬送装置とし、ウエハ処理
装置側に、装置間搬送装置２６上のウエハＷｎを取り込
み、また装置間搬送装置２６上へウエハＷｎを移載する
枚葉移載型の移載ロボット２５を内蔵させる。
【００３２】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ウエハ処理
装置へのウエハの搬入／搬出をカセット単位で行なうの
ではなく、枚葉単位で行なうから、ウエハ搬送効率を向
上することができ、効率の良い多種処理を容易に可能に
する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の構成を示す配置図である。
【図２】上記実施例における装置間搬送装置を示す図で
ある。
【図３】上記実施例における装置間搬送装置の他の例を
示す図である。
【図４】従来の半導体処理システムの１例を示す図であ
る。
【符号の説明】
１０ 搬送レール ２０ 搬送装置 ２１ 搬送台車 ２２ 移載ロボット ２３ ウエハ落下防止装置 ２５ 搬送装置 ２６ 移載ロボット ３１〜３７ ウエハ処理装置 １００Ａ〜１００Ｃ カセット １０１ 専用カセット ４０ インターフェース装置 ４０Ａ 移載ロボット Ａ、Ｂ ウエハ枚葉授受口 Ｗ１〜Ｗ３ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星子 孝秀 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 苅田 充二 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 新谷 勉 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 工程間搬送用の搬送装置との間でウエハ
    をやりとりするインターフェース装置、このインターフ
    ェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する
    装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され１つのラ
    インを構成する１もしくは複数のウエハ処理装置を備
    え、 上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセッ
    トを搬送し、上記インターフェース装置は当該インター
    フェース装置へ搬送された１もしくは複数の上記カセッ
    トから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに
    専用のカセットもしくは所定のウエハ収納箇所に移し替
    え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセットもしくは
    上記移し替えられたウエハ／ウエハ群群を移載して指定
    された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理
    装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴と
    するクリーンルーム内搬送システム。
  2. 【請求項２】 工程間搬送用の搬送装置との間でウエハ
    をやりとりするインターフェース装置、このインターフ
    ェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する
    装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され１つのラ
    インを構成する１もしくは複数のウエハ処理装置を備
    え、 上記インターフェース装置は、工程間搬送用の搬送装置
    との間でウエハを直接枚葉でもしくは枚葉型カセットに
    収納してやりとりし、上記装置間搬送装置は上記インタ
    ーフェース装置との間で上記ウエハもしくはカセットを
    移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当
    該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりする
    ことを特徴とするクリーンルーム内搬送システム。
  3. 【請求項３】 装置間搬送装置の搬送台車はウエハ枚葉
    移載型の移載ロボットを搭載し、ウエハ処理装置はウエ
    ハ枚葉授受口を備えていることを特徴とする請求項１ま
    たは２記載のクリーンルーム内搬送システム。
  4. 【請求項４】 装置間搬送装置はウエハ枚葉搬送型の小
    形搬送装置であることを特徴とする請求項２記載のクリ
    ーンルーム内搬送システム。
  5. 【請求項５】 ウエハ処理装置はウエハ枚葉授受口を通
    して小形搬送装置とウエハをやりとりする移載装置を内
    蔵していることを特徴とする請求項４記載のクリーンル
    ーム内搬送システム。
  6. 【請求項６】 装置間搬送装置は磁気浮上型のリニアモ
    ータ式搬送装置であることを特徴とする請求項１〜５記
    載のクリーンルーム内搬送システム。
  7. 【請求項７】 装置間搬送装置の搬送台車はウエハ落下
    防止装置を備えていることを特徴とする請求項１〜５記
    載のクリーンルーム内搬送システム。
JP4177218A 1992-07-03 1992-07-03 クリーンルーム内搬送システム Pending JPH0616206A (ja)

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JP4177218A JPH0616206A (ja) 1992-07-03 1992-07-03 クリーンルーム内搬送システム
TW082105113A TW257878B (ja) 1992-07-03 1993-06-28
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US08/085,109 US5443346A (en) 1992-07-03 1993-07-02 Wafer conveying system in a clean room

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