JPH0443000U - - Google Patents
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- JPH0443000U JPH0443000U JP8558790U JP8558790U JPH0443000U JP H0443000 U JPH0443000 U JP H0443000U JP 8558790 U JP8558790 U JP 8558790U JP 8558790 U JP8558790 U JP 8558790U JP H0443000 U JPH0443000 U JP H0443000U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pipe
- liquid
- leak detection
- gas piping
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 4
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Regulation And Control Of Combustion (AREA)
Description
第１図は本考案に係るガス漏れ検知用ガス配管
構造を示す説明図、第２図は従来のガス漏れ検知
用ガス配管構造の実施例を示す説明図である。 １０……ガス配管、１２……ガスボンベ、１４
……薄膜形成装置、２２……クリーンルーム、３
４……パイプ、３６……市水、４６，５４……通
気孔、５０……排気主ダクト。
構造を示す説明図、第２図は従来のガス漏れ検知
用ガス配管構造の実施例を示す説明図である。 １０……ガス配管、１２……ガスボンベ、１４
……薄膜形成装置、２２……クリーンルーム、３
４……パイプ、３６……市水、４６，５４……通
気孔、５０……排気主ダクト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 通気孔が形成された透明材質のパイプをガ
ス配管の外側に設けて二重管構造とし、このガス
配管とパイプとの間に液体を封入したことを特徴
とするガス漏れ検知用ガス配管構造。 (2) 前記ガス配管から前記液体を介して漏れた
ガスを検知するガス検知センサを、前記パイプの
通気孔に取付けたことを特徴とする請求項(1)記
載のガス漏れ検知用ガス配管構造。 (3) 前記ガス配管から漏れて前記液体中に溶け
たガスの溶存成分を検出するガス成分検出センサ
を、液体中に取付けたことを特徴とする請求項(1
)記載のガス漏れ検知用ガス配管構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8558790U JPH0443000U (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8558790U JPH0443000U (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443000U true JPH0443000U (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=31634805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8558790U Pending JPH0443000U (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443000U (ja) |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP8558790U patent/JPH0443000U/ja active Pending
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