JPH0443395U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0443395U JPH0443395U JP1990083075U JP8307590U JPH0443395U JP H0443395 U JPH0443395 U JP H0443395U JP 1990083075 U JP1990083075 U JP 1990083075U JP 8307590 U JP8307590 U JP 8307590U JP H0443395 U JPH0443395 U JP H0443395U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- elastic body
- surface wave
- brazing
- soldering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は、本考案に使用する真空用表面波モー
ターの原理を示す側面図、第２図は、本考案の真
空用表面波モーターの側面図を示す。第３図は、
本考案の一実施例を示す側面図を示す。
ターの原理を示す側面図、第２図は、本考案の真
空用表面波モーターの側面図を示す。第３図は、
本考案の一実施例を示す側面図を示す。
Claims (1)
- 真空内系で、各種処理を行う真空装置において
、使用する回転のための駆動源として、圧電体の
弾性体への接合を樹脂接合でなく、圧電体を半田
付けや蝋付け又超音波溶接等によつて、弾性体に
溶接することにより、真空内で使用可能とした真
空用表面波モーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990083075U JPH0443395U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990083075U JPH0443395U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443395U true JPH0443395U (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=31630446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990083075U Pending JPH0443395U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443395U (ja) |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP1990083075U patent/JPH0443395U/ja active Pending