JPH044355Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、ESCAやオージエ電子分光等の分析
に使用して好適な静電半球形エネルギーアナライ
ザに関する。

(ロ) 従来技術とその問題点 従来のこの種の分散形エネルギーアナライザに
は、第３図に示すものがある。この静電半球形エ
ネルギーアナライザａは、半球形の内側電極ｐと
外側電極ｑとが一点を中心ｏとして同心に配置さ
れており、これらの電極ｐ，ｑが外部磁界の影響
を防ぐためにμメタルなどの高透磁率材料ででき
た磁気シールドｍで覆われている。そして、両電
極ｐ，ｑ間に所定の電圧Ｖが印加される。

したがつて、試料ｓからＸ線や電子線などによ
つて励起、放射された電子、イオンなどの荷電粒
子はレンズ系ｌで収束された後、入射スリツトｉ
を通過して両電極ｐ，ｑ間に形成された電場内に
導かれる。電場内の荷電粒子は、両電極ｐ，ｑに
より吸引、反発を受けながらその軌道が変えら
れ、両電極ｐ，ｑ間に通つた荷電粒子が出射スリ
ツトｊを通過した後、検出器ｄで検出される。そ
して、両電極に印加する電圧Ｖを走査することに
よつて、あるエネルギー幅の荷電粒子が順次取り
出されるので、これによつて試料ｓから放出され
る荷電粒子のエネルギースペクトルが測定され
る。

ところで、このような構成を有する従来例の場
合は、内側電極と外側電極とを素材から切り出し
てNC研削機などで加工するので、加工に手数を
要し量産性に欠けるとともに、コストアツプとな
る。また、内側電極と外側電極とを同心に配置す
るための位置決めが難しく、調整に長時間を要す
る。しかも、内側電極ｐと外側電極ｑとを磁気シ
ールドｍで覆つているので、真空ハウジングの容
積もこれに伴なつて大きくなり、装置全体が大型
化するとともに、真空引きにも時間がかかること
になつて分析が手間取る。さらに、荷電粒子の通
過路となる内側電極と外側電極の間の空間部は入
射、出射スリツトｉ，ｊ側で解放された構造とな
つているため、外部磁界を遮へいする効果が未だ
不十分である等の問題がある。

本考案は、従来のこのような不都合を解消し、
簡単かつ低コストに製作でき、また、内側電極と
外側電極との位置決め調整も容易で、しかも、装
置全体がコンパクトな形状となるようにすること
を目的とする。

(ハ) 問題点を解決するための手段 本考案のエネルギーアナライザは、上記の目的
を達成するために、板材を半球形に成型してなる
内側電極と外側電極とを同心に配置し、両電極の
外周縁部にフランジ部を形成し、内側電極のフラ
ンジ部に荷電粒子の入出射用の透孔を設ける一
方、両フランジ部を入射スリツト、出射スリツト
および絶縁スペーサを挟んで互いに固定してい
る。

(ニ) 実施例 第１図は、本考案の実施例に係る静電半球形エ
ネルギーアナライザの縦断面図である。この実施
例の静電半球形エネルギーアナライザ１は、半球
形の内側電極２と外側電極４とを備える。両電極
２，４は、共にμメタル、パーマロイ、Co−
Netic等の磁気シールド用の高透磁率材料の板材
を素材として絞り加工、プレス加工、水中放電成
型加工等によつて形成したもので、互いに一点Ｏ
を中心として同心に配置されている。

また、内側電極２と外側電極４は、その各外周
縁部にフランジ部６，８が形成されている。そし
て、各フランジ部６，８の外周縁は折り返されて
軸合わせ調整部１０，１２が形成され、また、内
側電極２のフランジ部６には荷電粒子の入出射用
の透孔１４、１４が設けられている。この各透孔
１４，１４は、荷電粒子の入出射の障害とならな
いようにその直径が設定される。さらに、内側電
極２と外側電極４の各フランジ部６，８は、荷電
粒子の入射側で入射スリツト１６と絶縁スペーサ
１８，２０を挟んで、また、荷電粒子の出射側で
は出射スリツト２２と絶縁スペーサ１８，２０を
挟んで互いにボルト２４、ナツト２６で固定され
ている。そして、入射スリツト１６と出射スリツ
ト２２とは、その荷電粒子通過面が互いに内側電
極と外側電極の共通する軸心Ｏに一致するように
設定されている。

なお、３０は分析対象となる試料、３２は試料
３０から放出された荷電粒子を両電極２，４間で
形成される電場内に導くための収束レンズ系、３
２は両電極２，４間を通過した荷電粒子を検出す
るエルクトロンマルチプライヤ等の検出器、３４
は内側電極２と外側電極４とに印加される電圧走
査用の電源である。

したがつて、この静電半球形エネルギーアナラ
イザ１では、内側電極２と外側電極４とが共に板
材の絞り加工やプレス加工等で成型されるもの
で、製作加工が従来よりも容易である。また、そ
の組み立てに際しては、内側電極２と外側電極４
を同心に配置する必要があるが、そのための図中
上下方向の位置調整は、絶縁スペーサ１８，２０
の厚さΔ_tを変えることにより、また、図中水平
方向の位置調整は、内側電極２と外側電極４の各
軸合わせ調整部１０，１２の間隔Δ_lが周方向に沿
つて一定となるようにそれぞれ行なうことができ
る。位置調整後は、両フランジ部６，８をボルト
２４、ナツト２６で固定する。こうして組み立て
られた静電半球形エネルギーアナライザ１は、荷
電粒子の通過路となる内側電極２と外側電極４の
間の空間部の入射、出射端が内側電極２のフラン
ジ部６で覆われるので、従来に比べて外部磁界か
らの影響を一層受けにくくなる。

(ホ) 効果 以上のように本考案によれば、内側電極と外側
電極が共に板材を絞り加工やプレス加工等で成型
しているので、低コストで製作することができ、
かつ、量産化が可能となる。また、内側電極と外
側電極とに形成したフランジ部の重ね合わせ位置
と絶縁スペーサの厚さとを調整することによつ
て、内側電極と外側電極の軸心を精度良く一致さ
せることができる。また、荷電粒子の通過路とな
る内側電極と外側電極の間の空間は荷電粒子の入
射、出射端において内側電極のフランジ部で覆わ
れた構造となるため、従来よりも外部磁界の影響
を受けにくくなる等の優れた効果が発揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の静電半球形エネルギ
ーアナライザの縦断面図、第２図は第１図の内側
電極と外側電極の各フランジ部を拡大して示す断
面図、第３図は従来の静電半球形エネルギーアナ
ライザの縦断面図である。 １……静電半球形エネルギーアナライザ、２…
…内側電極、４……外側電極、６……メツシユ電
極。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 板材を半球形に成型してなる内側電極と外側
   電極とを同心に配置し、前記両電極の外周縁部
   にフランジ部を形成し、内側電極のフランジ部
   に荷電粒子の入出射用の透孔を設ける一方、両
   フランジ部を入射スリツト、出射スリツトおよ
   び絶縁スペーサを挟んで互いに固定したことを
   特徴とする静電半球形エネルギーアナライザ。 (2) 内側電極と外側電極とは共に磁気シールド用
   の高透磁率材料でできたものである実用新案登
   録請求の範囲第１項に記載の静電半球形エネル
   ギーアナライザ。