JPH0443668Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0443668Y2 JPH0443668Y2 JP13911987U JP13911987U JPH0443668Y2 JP H0443668 Y2 JPH0443668 Y2 JP H0443668Y2 JP 13911987 U JP13911987 U JP 13911987U JP 13911987 U JP13911987 U JP 13911987U JP H0443668 Y2 JPH0443668 Y2 JP H0443668Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- flange
- valve
- pressure regulating
- motor
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
真空技術を応用した装置は近年ますますその応
用分野を広げてきており、真空技術が装置の性能
を大きく左右するイオン、プラズマ、電子ビーム
応用装置など、半導体製造の分野への進出も目覚
ましいものがある。これらの装置の大多数は真空
室内に特定のガスを導入して圧力調整弁によつて
一定の圧力に制御した状態で様々な処理を行う。
用分野を広げてきており、真空技術が装置の性能
を大きく左右するイオン、プラズマ、電子ビーム
応用装置など、半導体製造の分野への進出も目覚
ましいものがある。これらの装置の大多数は真空
室内に特定のガスを導入して圧力調整弁によつて
一定の圧力に制御した状態で様々な処理を行う。
本考案はこれらの装置に用いられる圧力調整弁
に関する。
に関する。
第２図はガス導入弁２と圧力センサ３と圧力調
整弁４とによつて反応室１内を一定の圧力に制御
することの可能な従来の真空装置の一例である。
整弁４とによつて反応室１内を一定の圧力に制御
することの可能な従来の真空装置の一例である。
ガス導入弁２より反応室１内に導入されたガス
は圧力調整弁４を経て真空排気用ポンプ７により
排気されるが、この真空系の排気速度はモータ５
の回転軸９に取付けられた円板状の弁体６の位置
により変化するので、反応室１の圧力を圧力セン
サ３で検出しモータ５の回転角度をフイードバツ
ク制御することにより圧力制御が可能となる。
は圧力調整弁４を経て真空排気用ポンプ７により
排気されるが、この真空系の排気速度はモータ５
の回転軸９に取付けられた円板状の弁体６の位置
により変化するので、反応室１の圧力を圧力セン
サ３で検出しモータ５の回転角度をフイードバツ
ク制御することにより圧力制御が可能となる。
しかしながら上記従来例にあつては、導入ガス
が反応性ガスの場合、その反応生成物は直接ガス
にさらされる圧力調整弁４の弁体６に最も付着し
易く、弁機構の保守および弁体の動作による生成
物が塵埃となつて反応室１内に戻る事を防ぐため
には定期的に分解、清掃、組立てが不可欠となつ
ている。このような構造の圧力調整弁の場合、分
解、組立の際その周辺の排気管１０やポンプ７ま
で取り外さざるを得ず作業性が良いとは言えな
い。また必要以上の部分の気密シール部を分解す
るので組立て後の気密不良発生の頻度も増すとい
う問題点があつた。
が反応性ガスの場合、その反応生成物は直接ガス
にさらされる圧力調整弁４の弁体６に最も付着し
易く、弁機構の保守および弁体の動作による生成
物が塵埃となつて反応室１内に戻る事を防ぐため
には定期的に分解、清掃、組立てが不可欠となつ
ている。このような構造の圧力調整弁の場合、分
解、組立の際その周辺の排気管１０やポンプ７ま
で取り外さざるを得ず作業性が良いとは言えな
い。また必要以上の部分の気密シール部を分解す
るので組立て後の気密不良発生の頻度も増すとい
う問題点があつた。
本考案は反応ガスを用いる反応室に接続された
圧力調整弁４の保守性を向上させ、圧力調整弁４
の周辺の排気管１０等を分解することなく、圧力
調整弁４の清掃、保守点検を容易に行え、作業性
の向上を図り、気密部分の分解個所も必要最小限
にとどめ、組立て後の気密不良発生の頻度を大幅
に低減できる圧力調整弁を提供しようとするもの
である。
圧力調整弁４の保守性を向上させ、圧力調整弁４
の周辺の排気管１０等を分解することなく、圧力
調整弁４の清掃、保守点検を容易に行え、作業性
の向上を図り、気密部分の分解個所も必要最小限
にとどめ、組立て後の気密不良発生の頻度を大幅
に低減できる圧力調整弁を提供しようとするもの
である。
即ち、本考案圧力調整弁４は、第１図示のよう
に反応室１に気密に接続された排気管１０と反応
室１内を排気する真空排気用ポンプ７との間に、
弁本体１２を気密に接続し、この弁本体１２内に
弁体６を配置し、上記弁本体１２の一側に弁体取
出し用貫通孔１３を形成し、この貫通孔１３の周
部にこれを密閉するフランジ１１を着脱可能に取
付け、このフランジ１１に固定されたモータ５の
回転軸９をフランジ１１に気密に支承すると共
に、この回転軸９に弁体６を取付けてなる構成と
したものである。
に反応室１に気密に接続された排気管１０と反応
室１内を排気する真空排気用ポンプ７との間に、
弁本体１２を気密に接続し、この弁本体１２内に
弁体６を配置し、上記弁本体１２の一側に弁体取
出し用貫通孔１３を形成し、この貫通孔１３の周
部にこれを密閉するフランジ１１を着脱可能に取
付け、このフランジ１１に固定されたモータ５の
回転軸９をフランジ１１に気密に支承すると共
に、この回転軸９に弁体６を取付けてなる構成と
したものである。
圧力調整弁４の分解は、弁本体１２からモータ
５を固定したフランジ１１を取外し、モータ５の
回転軸９に取付けられた弁体６を弁体取出し用貫
通孔１３より弁本体１２外に取出すことにより達
成される。
５を固定したフランジ１１を取外し、モータ５の
回転軸９に取付けられた弁体６を弁体取出し用貫
通孔１３より弁本体１２外に取出すことにより達
成される。
このように弁本体１２からモータ５、弁体６及
び回転軸９と共にフランジ１１を取外すだけで、
弁本体１２、排気管１０及び真空排気用ポンプ７
等の重量物を分解する必要がなく、また必要以上
の部分の気密シール部を分解する必要もなく、作
業性が向上し、主に弁体６に付着した反応生成物
を除去し清掃することができ、保守点検も容易に
行うことができる。
び回転軸９と共にフランジ１１を取外すだけで、
弁本体１２、排気管１０及び真空排気用ポンプ７
等の重量物を分解する必要がなく、また必要以上
の部分の気密シール部を分解する必要もなく、作
業性が向上し、主に弁体６に付着した反応生成物
を除去し清掃することができ、保守点検も容易に
行うことができる。
また、圧力調整弁４の組立ては、弁本体１２
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
以下図面により本考案の実施例を説明する。
第１図は本考案圧力調整弁の一実施例を示す断
面図で、１０は反応室１（第１図参照）に気密に
接続された排気管、１２はこの排気管１０に気密
に接続された弁本体、７はこの弁本体１２に気密
に接続された真空排気用ポンプである。
面図で、１０は反応室１（第１図参照）に気密に
接続された排気管、１２はこの排気管１０に気密
に接続された弁本体、７はこの弁本体１２に気密
に接続された真空排気用ポンプである。
弁本体１２内には円板状の弁体６が配置されて
おり、弁本体１２の一側には弁体取出し用貫通孔
１３が形成されている。この貫通孔１３の周部に
はこれを密閉するフランジ１１がボルト、ネジ等
のボルト類８により気密に取付けられ、このフラ
ンジ１１にはモータ５が固定されており、このモ
ータ５の回転軸９がフランジ１１に気密に支承さ
れている。この回転軸９には弁本体１２内の円板
状の弁体６が取付けられている。１４は気密保持
用シール材である。
おり、弁本体１２の一側には弁体取出し用貫通孔
１３が形成されている。この貫通孔１３の周部に
はこれを密閉するフランジ１１がボルト、ネジ等
のボルト類８により気密に取付けられ、このフラ
ンジ１１にはモータ５が固定されており、このモ
ータ５の回転軸９がフランジ１１に気密に支承さ
れている。この回転軸９には弁本体１２内の円板
状の弁体６が取付けられている。１４は気密保持
用シール材である。
このような構成において真空排気用ポンプ７を
作動して反応室１内を排気し、真空状態にする。
次いでガス導入弁２を開いて反応ガスを反応室１
内に導入しつつ真空排気用ポンプ７により排気す
る。この場合、モータ５を駆動して回転軸９を回
転させ、弁体６を水平状態から垂直状態（破線で
示す）まで回転位置制御することにより反応室１
内の圧力制御を行う。
作動して反応室１内を排気し、真空状態にする。
次いでガス導入弁２を開いて反応ガスを反応室１
内に導入しつつ真空排気用ポンプ７により排気す
る。この場合、モータ５を駆動して回転軸９を回
転させ、弁体６を水平状態から垂直状態（破線で
示す）まで回転位置制御することにより反応室１
内の圧力制御を行う。
圧力調整弁４の分解は、ボルト類８を取外すこ
とにより弁本体１２からモータ５を固定したフラ
ンジ１１を取外し、モータ５の回転軸９に取付け
られた円板状の弁体６を水平状態にして弁体取出
し用貫通孔１３より弁本体１２外に取出すことに
より達成される。
とにより弁本体１２からモータ５を固定したフラ
ンジ１１を取外し、モータ５の回転軸９に取付け
られた円板状の弁体６を水平状態にして弁体取出
し用貫通孔１３より弁本体１２外に取出すことに
より達成される。
このように弁本体１２からモータ５、弁体６及
び回転軸９と共にフランジ１１を取外すだけで、
弁本体１２、排気管１０及び真空排気用ポンプ７
等の重量物を分解する必要がなく、また必要以上
の部分の気密シール部を分解する必要もなく、作
業性が向上し、主に弁体６に付着した反応生成物
を除去し清掃することができ、保守点検も容易に
行うことができる。
び回転軸９と共にフランジ１１を取外すだけで、
弁本体１２、排気管１０及び真空排気用ポンプ７
等の重量物を分解する必要がなく、また必要以上
の部分の気密シール部を分解する必要もなく、作
業性が向上し、主に弁体６に付着した反応生成物
を除去し清掃することができ、保守点検も容易に
行うことができる。
また、圧力調整弁４の組立ては、弁本体１２
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
上述のように本考案によれば、弁本体１２から
モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフランジ１
１を取外すだけで、弁本体１２、排気管１０及び
真空排気用ポンプ７等の重量物を分解する必要が
なく、また必要以上の部分の気密シール部を分解
する必要もなく、作業性が向上し、主に弁体６に
付着した反応生成物を除去し清掃することがで
き、保守点検も容易に行うことができる。
モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフランジ１
１を取外すだけで、弁本体１２、排気管１０及び
真空排気用ポンプ７等の重量物を分解する必要が
なく、また必要以上の部分の気密シール部を分解
する必要もなく、作業性が向上し、主に弁体６に
付着した反応生成物を除去し清掃することがで
き、保守点検も容易に行うことができる。
また、圧力調整弁４の組立ては、弁本体１２
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
に、モータ５、弁体６及び回転軸９と共にフラン
ジ１１を取付けるだけで容易に達成できるため組
立て後の気密不良の発生の頻度を大幅に軽減する
ことができる。
更に排気管１０、弁体６及びポンプ７等による
排気系周辺のスペースが従来に比して小さい場合
でも適用でき、最小限の部品分解によつて保守点
検ができるから、装置の保守性に大きく寄与する
ことができる。
排気系周辺のスペースが従来に比して小さい場合
でも適用でき、最小限の部品分解によつて保守点
検ができるから、装置の保守性に大きく寄与する
ことができる。
第１図は本考案圧力調整弁の一実施例を示す断
面図、第２図は従来の圧力調整弁を用いた真空装
置の一例を示す断面図である。 １……反応室、４……圧力調整弁、５……モー
タ、６……弁体、７……真空排気用ポンプ、８…
…ボルト類、９……回転軸、１０……排気管、１
１……フランジ、１２……弁本体、１３……弁体
取出し用貫通孔、１４……気密保持用シール材。
面図、第２図は従来の圧力調整弁を用いた真空装
置の一例を示す断面図である。 １……反応室、４……圧力調整弁、５……モー
タ、６……弁体、７……真空排気用ポンプ、８…
…ボルト類、９……回転軸、１０……排気管、１
１……フランジ、１２……弁本体、１３……弁体
取出し用貫通孔、１４……気密保持用シール材。
Claims (1)
- 反応室１に気密に接続された排気管１０と反応
室１内を排気する真空排気用ポンプ７との間に、
弁本体１２を気密に接続し、この弁本体１２内に
弁体６を配置し、上記弁本体１２の一側に弁体取
出し用貫通孔１３を形成し、この貫通孔１３の周
部にこれを密閉するフランジ１１を着脱可能に取
付け、このフランジ１１に固定されたモータ５の
回転軸９をフランジ１１に気密に支承すると共
に、この回転軸９に弁体６を取付けてなる圧力調
整弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13911987U JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13911987U JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6443280U JPS6443280U (ja) | 1989-03-15 |
| JPH0443668Y2 true JPH0443668Y2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=31402082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13911987U Expired JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443668Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH700100B1 (de) * | 2008-12-12 | 2013-02-28 | Inficon Gmbh | Ventil. |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP13911987U patent/JPH0443668Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6443280U (ja) | 1989-03-15 |
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