JPH0443933A - Pressure sensor - Google Patents
Pressure sensorInfo
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- JPH0443933A JPH0443933A JP2149839A JP14983990A JPH0443933A JP H0443933 A JPH0443933 A JP H0443933A JP 2149839 A JP2149839 A JP 2149839A JP 14983990 A JP14983990 A JP 14983990A JP H0443933 A JPH0443933 A JP H0443933A
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- pressure detecting
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧力検知部とダイアフラムとの間に圧力伝
達液が封入された圧力センサに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pressure sensor in which a pressure transmitting liquid is sealed between a pressure sensing portion and a diaphragm.
第２図は従来エンジンの燃焼室内の圧力を検出するため
に用いられた圧力センサの一例を示す縦断面図であり、
１はエンジンに取り付けられたステンレス製のケース、
２はケース１の下端部に設けられたダイアフラム、３は
ケース１内に設けられた絶縁材からなるベース、４はベ
ース３にろう付溶接で溶着されたセラミック製の台座、
５は台座４に接着されたシリコン製の半導体ストレンゲ
ージからなる圧力検知部で、この圧力検知部５とダイア
フラム２との間には圧力伝達液として高沸点のシリコン
オイル１０が封入されている。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of a pressure sensor conventionally used to detect the pressure inside the combustion chamber of an engine.
1 is a stainless steel case attached to the engine,
2 is a diaphragm provided at the lower end of the case 1; 3 is a base made of an insulating material provided inside the case 1; 4 is a ceramic pedestal welded to the base 3 by brazing;
Reference numeral 5 denotes a pressure sensing section consisting of a semiconductor strain gauge made of silicone bonded to a pedestal 4, and a high boiling point silicone oil 10 is sealed between the pressure sensing section 5 and the diaphragm 2 as a pressure transmission fluid.
６はベース３に取り付けられた端子、７は端子６と圧力
検知部５とを接続するボンディングワイヤ、８はケース
１に嵌着されたプラグ、９はプラグ８を貫通して端子６
と接続された出力線である。6 is a terminal attached to the base 3, 7 is a bonding wire that connects the terminal 6 and the pressure sensing part 5, 8 is a plug fitted to the case 1, and 9 is a wire that passes through the plug 8 to connect the terminal 6.
This is the output line connected to.
上記のように構成された圧力センサにおいては、燃焼室
内の圧力上昇によりダイアフラム２が変形し、その変形
に伴いシリコンオイル１０内の圧力が上昇し、その上昇
圧力を圧力検知部５が検知する。In the pressure sensor configured as described above, the diaphragm 2 deforms due to the rise in pressure within the combustion chamber, and the pressure within the silicone oil 10 rises with the deformation, and the pressure detection section 5 detects the increased pressure.
この圧力検知部らでは、その圧力変化に応じた電気信号
がボンディングワイヤ７、端子６および出力線９により
外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火プラ
グの点火時期が制御される。In this pressure detection section, an electric signal corresponding to the pressure change is outputted to the outside through the bonding wire 7, the terminal 6, and the output line 9, and the ignition timing of the spark plug is controlled according to the combustion state in the combustion chamber.
上記のように構成された従来の圧力センサにおいては、
大気と接する圧力検知部５の表側とシリコンオイル１０
の接する圧力検知部５の裏側との間でエンジンの定常運
転時には例えば８００℃程度の温度差が生じることもあ
り、圧力検知部５の温度補償が困難である等の問題点が
あった。In the conventional pressure sensor configured as above,
The front side of the pressure sensing part 5 in contact with the atmosphere and the silicone oil 10
During steady operation of the engine, a temperature difference of, for example, about 800° C. may occur between the back side of the pressure sensing portion 5 which is in contact with the pressure sensing portion 5, and this poses problems such as difficulty in temperature compensation of the pressure sensing portion 5.
この発明は、かかる問題点を解消するためになされたも
ので、この発明の第１の発明は温度補償が容易な圧力セ
ンサを得ることを目的とする。The present invention has been made to solve such problems, and a first aspect of the present invention aims to obtain a pressure sensor that can easily perform temperature compensation.
また、この発明の第２の発明は第１の発明の目的に加え
て測定精度が向上する圧力センサを得ることを目的とす
る。In addition to the object of the first invention, a second invention of the present invention aims to obtain a pressure sensor with improved measurement accuracy.
この発明の第１の発明の圧力センサは、圧力検知部が圧
力伝達液に浸漬されたものである。In the pressure sensor according to the first aspect of the present invention, the pressure sensing portion is immersed in a pressure transmission liquid.
第２の発明の圧力センサは、半導体ストレンゲージが圧
力伝達液に浸漬されているとともに、その半導体ストレ
ンゲージの表側がダイアフラム側に指向しているもので
ある。In the pressure sensor of the second aspect of the invention, a semiconductor strain gauge is immersed in a pressure transmission liquid, and the front side of the semiconductor strain gauge is directed toward the diaphragm side.
この発明の第１の発明においては、圧力検知部を圧力伝
達液に浸漬したことにより、圧力検知部は大気温度の影
響を受けない。In the first aspect of the present invention, since the pressure sensing portion is immersed in the pressure transmission liquid, the pressure sensing portion is not affected by atmospheric temperature.
第２の発明においては、半導体ストレンゲージを圧力伝
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大する。In the second invention, the semiconductor strain gauge is immersed in the pressure transmission liquid and the front side of the semiconductor strain gauge is oriented toward the diaphragm, so that the pressure receiving area of the pressure sensing portion is increased.
以下、この発明の実施例を図について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図はこの発明の第１および第２の発明の一実施例を
示すもので、第２図と同一または相当部分は同一符号を
付し、その説明は省略する。FIG. 1 shows an embodiment of the first and second aspects of the present invention, and the same or corresponding parts as in FIG. 2 are given the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted.
図において、２０は導圧通路２０ａを有するケース、２
１はケース２０内にろう付は溶接された炭素鋼からなる
ステムで、このステム２１にセラミック製の台座４が接
着されている。２２は表側がシリコンオイル１０に接し
て台座４に接着された半導体ストレインゲージからなる
圧力検知部である。２３はステム２１を貫通した出力線
９の端子で、この端子２３の先端はボンディングワイヤ
７を介して圧力検知部２２と接続されている。なお、２
４はステム２１と端子２３とをシールするためのハーネ
チックシールである。In the figure, 20 is a case having a pressure guiding passage 20a;
Reference numeral 1 denotes a stem made of carbon steel that is brazed or welded into a case 20, and a ceramic pedestal 4 is bonded to this stem 21. Reference numeral 22 denotes a pressure detection section consisting of a semiconductor strain gauge whose front side is in contact with the silicone oil 10 and is adhered to the pedestal 4. Reference numeral 23 denotes a terminal of the output line 9 passing through the stem 21, and the tip of this terminal 23 is connected to the pressure sensing section 22 via the bonding wire 7. In addition, 2
4 is a harness seal for sealing the stem 21 and the terminal 23.
上記のように構成された圧力センサにおいては、圧力検
知部２２は温度が不安定な大気と接することなく、また
圧力検知部２２の多くはシリコンオイル１０と接してい
るために、圧力検知部２２は温度による悪影響を受けに
くくなり、圧力検知部２２はダイアフラム２、シリコン
オイル１０を介して伝達された燃焼室内の燃焼状態を正
確に検知することができる。In the pressure sensor configured as described above, the pressure sensing portion 22 does not come into contact with the atmosphere whose temperature is unstable, and most of the pressure sensing portion 22 is in contact with the silicone oil 10. is less likely to be adversely affected by temperature, and the pressure sensing portion 22 can accurately detect the combustion state within the combustion chamber, which is transmitted via the diaphragm 2 and the silicone oil 10.
また、圧力検知部２２の表側をシリコンオイル１０に接
し、その受圧面積を大きくしたために、導圧通路２０ａ
を小さくすることができる。その結果、シリコンオイル
１０の体積を減少させることができ、シリコンオイルＩ
Ｏの熱膨張による圧力検知部２２のオフセット増を小さ
くすることができるとともに圧力センサを小形化するこ
とができる。In addition, since the front side of the pressure sensing portion 22 is in contact with the silicone oil 10 and its pressure receiving area is increased, the pressure guiding passage 20a
can be made smaller. As a result, the volume of silicone oil 10 can be reduced, and silicone oil I
It is possible to reduce the increase in the offset of the pressure sensing portion 22 due to thermal expansion of O, and it is also possible to downsize the pressure sensor.
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明の第１の発明の圧力セン
サによれば、圧力検知部を圧力伝達液に浸漬したことに
より、圧力検知部は大気温度の影響を受けず、それだけ
温度補償が容易であるという効果がある。[Effects of the Invention] As explained above, according to the pressure sensor of the first aspect of the present invention, since the pressure sensing portion is immersed in the pressure transmission liquid, the pressure sensing portion is not affected by atmospheric temperature. This has the effect of making temperature compensation that much easier.
第２の発明においては、半導体ストレンゲージを圧力伝
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大し、測定精度が向上するという
効果がある。In the second invention, the semiconductor strain gauge is immersed in the pressure transmission liquid, and the front side of the semiconductor strain gauge is oriented toward the diaphragm, so that the pressure receiving area of the pressure sensing part increases and measurement accuracy improves. It has the effect of
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の圧力センサの一例を示す縦断面図である。
図において、２はダイヤフラム、４は台座、１０はシリ
コンオイル、２０はケース、２１はステム、２２は圧力
検知部、２３は端子である。
なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のである。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of a conventional pressure sensor. In the figure, 2 is a diaphragm, 4 is a base, 10 is silicone oil, 20 is a case, 21 is a stem, 22 is a pressure sensing portion, and 23 is a terminal. In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (2)
内の台座に設けられ圧力を検知する圧力検知部と、この
圧力検知部と前記ダイアフラムとの間に封入された圧力
伝達液とを備えた圧力センサにおいて、前記圧力検知部
が前記圧力伝達液に浸漬されたことを特徴とする圧力セ
ンサ。(1) A pressure sensor comprising a diaphragm provided in a case, a pressure detection section provided on a pedestal within the case to detect pressure, and a pressure transmission fluid sealed between the pressure detection section and the diaphragm. A pressure sensor, wherein the pressure sensing portion is immersed in the pressure transmission liquid.
内の台座に設けられ圧力を検知する半導体ストレンゲー
ジと、この圧力検知部と前記ダイアフラムとの間に封入
された圧力伝達液とを備えた圧力センサにおいて、前記
半導体ストレンゲージが前記圧力伝達液に浸漬されてい
るとともに、その半導体ストレンゲージの表側が前記ダ
イアフラム側に指向していることを特徴とする圧力セン
サ。(2) A pressure sensor comprising a diaphragm provided in a case, a semiconductor strain gauge provided on a pedestal within the case to detect pressure, and a pressure transmission fluid sealed between the pressure detection section and the diaphragm. A pressure sensor characterized in that the semiconductor strain gauge is immersed in the pressure transmission liquid, and a front side of the semiconductor strain gauge is oriented toward the diaphragm.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149839A JPH0443933A (en) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | Pressure sensor |
| KR1019910009005A KR930011091B1 (en) | 1990-06-08 | 1991-05-31 | Pressure sensor |
| US07/710,987 US5212989A (en) | 1990-06-08 | 1991-06-06 | Pressure sensor |
| DE4118824A DE4118824C2 (en) | 1990-06-08 | 1991-06-07 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149839A JPH0443933A (en) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | Pressure sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443933A true JPH0443933A (en) | 1992-02-13 |
Family
ID=15483786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2149839A Pending JPH0443933A (en) | 1990-06-08 | 1990-06-11 | Pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443933A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019023594A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-14 | 京セラ株式会社 | Tire air pressure detection device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073428A (en) * | 1983-09-19 | 1985-04-25 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | Combustion pressure sensor |
| JPH0267938A (en) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Nippon Denso Co Ltd | Pressure sensor |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP2149839A patent/JPH0443933A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073428A (en) * | 1983-09-19 | 1985-04-25 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | Combustion pressure sensor |
| JPH0267938A (en) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Nippon Denso Co Ltd | Pressure sensor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2019023594A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-14 | 京セラ株式会社 | Tire air pressure detection device |
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