JPH0443933A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0443933A JPH0443933A JP2149839A JP14983990A JPH0443933A JP H0443933 A JPH0443933 A JP H0443933A JP 2149839 A JP2149839 A JP 2149839A JP 14983990 A JP14983990 A JP 14983990A JP H0443933 A JPH0443933 A JP H0443933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- silicone oil
- diaphragm
- detecting part
- pressure detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧力検知部とダイアフラムとの間に圧力伝
達液が封入された圧力センサに関するものである。
達液が封入された圧力センサに関するものである。
第２図は従来エンジンの燃焼室内の圧力を検出するため
に用いられた圧力センサの一例を示す縦断面図であり、
１はエンジンに取り付けられたステンレス製のケース、
２はケース１の下端部に設けられたダイアフラム、３は
ケース１内に設けられた絶縁材からなるベース、４はベ
ース３にろう付溶接で溶着されたセラミック製の台座、
５は台座４に接着されたシリコン製の半導体ストレンゲ
ージからなる圧力検知部で、この圧力検知部５とダイア
フラム２との間には圧力伝達液として高沸点のシリコン
オイル１０が封入されている。
に用いられた圧力センサの一例を示す縦断面図であり、
１はエンジンに取り付けられたステンレス製のケース、
２はケース１の下端部に設けられたダイアフラム、３は
ケース１内に設けられた絶縁材からなるベース、４はベ
ース３にろう付溶接で溶着されたセラミック製の台座、
５は台座４に接着されたシリコン製の半導体ストレンゲ
ージからなる圧力検知部で、この圧力検知部５とダイア
フラム２との間には圧力伝達液として高沸点のシリコン
オイル１０が封入されている。
６はベース３に取り付けられた端子、７は端子６と圧力
検知部５とを接続するボンディングワイヤ、８はケース
１に嵌着されたプラグ、９はプラグ８を貫通して端子６
と接続された出力線である。
検知部５とを接続するボンディングワイヤ、８はケース
１に嵌着されたプラグ、９はプラグ８を貫通して端子６
と接続された出力線である。
上記のように構成された圧力センサにおいては、燃焼室
内の圧力上昇によりダイアフラム２が変形し、その変形
に伴いシリコンオイル１０内の圧力が上昇し、その上昇
圧力を圧力検知部５が検知する。
内の圧力上昇によりダイアフラム２が変形し、その変形
に伴いシリコンオイル１０内の圧力が上昇し、その上昇
圧力を圧力検知部５が検知する。
この圧力検知部らでは、その圧力変化に応じた電気信号
がボンディングワイヤ７、端子６および出力線９により
外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火プラ
グの点火時期が制御される。
がボンディングワイヤ７、端子６および出力線９により
外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火プラ
グの点火時期が制御される。
上記のように構成された従来の圧力センサにおいては、
大気と接する圧力検知部５の表側とシリコンオイル１０
の接する圧力検知部５の裏側との間でエンジンの定常運
転時には例えば８００℃程度の温度差が生じることもあ
り、圧力検知部５の温度補償が困難である等の問題点が
あった。
大気と接する圧力検知部５の表側とシリコンオイル１０
の接する圧力検知部５の裏側との間でエンジンの定常運
転時には例えば８００℃程度の温度差が生じることもあ
り、圧力検知部５の温度補償が困難である等の問題点が
あった。
この発明は、かかる問題点を解消するためになされたも
ので、この発明の第１の発明は温度補償が容易な圧力セ
ンサを得ることを目的とする。
ので、この発明の第１の発明は温度補償が容易な圧力セ
ンサを得ることを目的とする。
また、この発明の第２の発明は第１の発明の目的に加え
て測定精度が向上する圧力センサを得ることを目的とす
る。
て測定精度が向上する圧力センサを得ることを目的とす
る。
この発明の第１の発明の圧力センサは、圧力検知部が圧
力伝達液に浸漬されたものである。
力伝達液に浸漬されたものである。
第２の発明の圧力センサは、半導体ストレンゲージが圧
力伝達液に浸漬されているとともに、その半導体ストレ
ンゲージの表側がダイアフラム側に指向しているもので
ある。
力伝達液に浸漬されているとともに、その半導体ストレ
ンゲージの表側がダイアフラム側に指向しているもので
ある。
この発明の第１の発明においては、圧力検知部を圧力伝
達液に浸漬したことにより、圧力検知部は大気温度の影
響を受けない。
達液に浸漬したことにより、圧力検知部は大気温度の影
響を受けない。
第２の発明においては、半導体ストレンゲージを圧力伝
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大する。
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大する。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の第１および第２の発明の一実施例を
示すもので、第２図と同一または相当部分は同一符号を
付し、その説明は省略する。
示すもので、第２図と同一または相当部分は同一符号を
付し、その説明は省略する。
図において、２０は導圧通路２０ａを有するケース、２
１はケース２０内にろう付は溶接された炭素鋼からなる
ステムで、このステム２１にセラミック製の台座４が接
着されている。２２は表側がシリコンオイル１０に接し
て台座４に接着された半導体ストレインゲージからなる
圧力検知部である。２３はステム２１を貫通した出力線
９の端子で、この端子２３の先端はボンディングワイヤ
７を介して圧力検知部２２と接続されている。なお、２
４はステム２１と端子２３とをシールするためのハーネ
チックシールである。
１はケース２０内にろう付は溶接された炭素鋼からなる
ステムで、このステム２１にセラミック製の台座４が接
着されている。２２は表側がシリコンオイル１０に接し
て台座４に接着された半導体ストレインゲージからなる
圧力検知部である。２３はステム２１を貫通した出力線
９の端子で、この端子２３の先端はボンディングワイヤ
７を介して圧力検知部２２と接続されている。なお、２
４はステム２１と端子２３とをシールするためのハーネ
チックシールである。
上記のように構成された圧力センサにおいては、圧力検
知部２２は温度が不安定な大気と接することなく、また
圧力検知部２２の多くはシリコンオイル１０と接してい
るために、圧力検知部２２は温度による悪影響を受けに
くくなり、圧力検知部２２はダイアフラム２、シリコン
オイル１０を介して伝達された燃焼室内の燃焼状態を正
確に検知することができる。
知部２２は温度が不安定な大気と接することなく、また
圧力検知部２２の多くはシリコンオイル１０と接してい
るために、圧力検知部２２は温度による悪影響を受けに
くくなり、圧力検知部２２はダイアフラム２、シリコン
オイル１０を介して伝達された燃焼室内の燃焼状態を正
確に検知することができる。
また、圧力検知部２２の表側をシリコンオイル１０に接
し、その受圧面積を大きくしたために、導圧通路２０ａ
を小さくすることができる。その結果、シリコンオイル
１０の体積を減少させることができ、シリコンオイルＩ
Ｏの熱膨張による圧力検知部２２のオフセット増を小さ
くすることができるとともに圧力センサを小形化するこ
とができる。
し、その受圧面積を大きくしたために、導圧通路２０ａ
を小さくすることができる。その結果、シリコンオイル
１０の体積を減少させることができ、シリコンオイルＩ
Ｏの熱膨張による圧力検知部２２のオフセット増を小さ
くすることができるとともに圧力センサを小形化するこ
とができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明の第１の発明の圧力セン
サによれば、圧力検知部を圧力伝達液に浸漬したことに
より、圧力検知部は大気温度の影響を受けず、それだけ
温度補償が容易であるという効果がある。
サによれば、圧力検知部を圧力伝達液に浸漬したことに
より、圧力検知部は大気温度の影響を受けず、それだけ
温度補償が容易であるという効果がある。
第２の発明においては、半導体ストレンゲージを圧力伝
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大し、測定精度が向上するという
効果がある。
達液に浸漬しているとともに、その半導体ストレンゲー
ジの表側をダイアフラム側に指向したことにより、圧力
検知部の受圧面積は増大し、測定精度が向上するという
効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の圧力センサの一例を示す縦断面図である。 図において、２はダイヤフラム、４は台座、１０はシリ
コンオイル、２０はケース、２１はステム、２２は圧力
検知部、２３は端子である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のである。
従来の圧力センサの一例を示す縦断面図である。 図において、２はダイヤフラム、４は台座、１０はシリ
コンオイル、２０はケース、２１はステム、２２は圧力
検知部、２３は端子である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のである。
Claims (2)
- （１）ケースに設けられたダイアフラムと、前記ケース
内の台座に設けられ圧力を検知する圧力検知部と、この
圧力検知部と前記ダイアフラムとの間に封入された圧力
伝達液とを備えた圧力センサにおいて、前記圧力検知部
が前記圧力伝達液に浸漬されたことを特徴とする圧力セ
ンサ。 - （２）ケースに設けられたダイアフラムと、前記ケース
内の台座に設けられ圧力を検知する半導体ストレンゲー
ジと、この圧力検知部と前記ダイアフラムとの間に封入
された圧力伝達液とを備えた圧力センサにおいて、前記
半導体ストレンゲージが前記圧力伝達液に浸漬されてい
るとともに、その半導体ストレンゲージの表側が前記ダ
イアフラム側に指向していることを特徴とする圧力セン
サ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149839A JPH0443933A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 圧力センサ |
| KR1019910009005A KR930011091B1 (ko) | 1990-06-08 | 1991-05-31 | 압력 센서 |
| US07/710,987 US5212989A (en) | 1990-06-08 | 1991-06-06 | Pressure sensor |
| DE4118824A DE4118824C2 (de) | 1990-06-08 | 1991-06-07 | Drucksensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149839A JPH0443933A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443933A true JPH0443933A (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=15483786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2149839A Pending JPH0443933A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-11 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443933A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019023594A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-14 | 京セラ株式会社 | タイヤ空気圧検知装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073428A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-25 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | 燃焼圧力センサ |
| JPH0267938A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Nippon Denso Co Ltd | 圧力センサ |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP2149839A patent/JPH0443933A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073428A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-25 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | 燃焼圧力センサ |
| JPH0267938A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-07 | Nippon Denso Co Ltd | 圧力センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019023594A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-14 | 京セラ株式会社 | タイヤ空気圧検知装置 |
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