JPH044400A - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
- Publication number
- JPH044400A JPH044400A JP10290390A JP10290390A JPH044400A JP H044400 A JPH044400 A JP H044400A JP 10290390 A JP10290390 A JP 10290390A JP 10290390 A JP10290390 A JP 10290390A JP H044400 A JPH044400 A JP H044400A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- gas
- cylinder
- bomb
- supply line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はボンベ付ガス供給装置に関するものである。
（従来の技術）
第３図は従来のボンへ付半導体材料ガス供給装置を示し
、ｌａ、Ｉｂは夫々シラン、ボスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンへｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。
、ｌａ、Ｉｂは夫々シラン、ボスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンへｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。
３ｂに介挿したボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低
圧開閉弁、６はパージ用Ｎ２ガス源、７ａ。
圧開閉弁、６はパージ用Ｎ２ガス源、７ａ。
７ｂは夫々このＮ２ガス源６と上記ガス供給ライン３ａ
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はヘントロ、１０ａ、１０ｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるヘントライン
、１１ａ。
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はヘントロ、１０ａ、１０ｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるヘントライン
、１１ａ。
１１ｂは夫々上記ヘントライン１０ａ、１０ｂに介挿さ
れた開閉弁、１２は上記ヘントロ９に真空を作用せしめ
るためのエゼクタ−１１３はこのエゼクタ−１２にエゼ
クタ−作用を生ぜしめるために流す高圧Ｎ２ガスのガス
源、１４はその供給ラインである。
れた開閉弁、１２は上記ヘントロ９に真空を作用せしめ
るためのエゼクタ−１１３はこのエゼクタ−１２にエゼ
クタ−作用を生ぜしめるために流す高圧Ｎ２ガスのガス
源、１４はその供給ラインである。
このような従来のボンへ付ガス供給装置においては、例
えばボンベ１ａ切のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンへ１ｂを使用するようにし、ボンベ１ｂを使用して
いる間にボンベ１ａを新しいボンへに交換するようにし
ている。
えばボンベ１ａ切のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンへ１ｂを使用するようにし、ボンベ１ｂを使用して
いる間にボンベ１ａを新しいボンへに交換するようにし
ている。
このボンベ１ａの交換に際してはガス供給ライン３ａ内
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立ってガス供給ラ
イン３ａ内の高圧及び低圧開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パ
ージライン７ａ内の開閉弁８ａ及びヘントライン１０ａ
内の開閉弁１１ａを開いてパージ用Ｎ２ガス源６からパ
ージ用Ｎ２ガスをパージライン７ａ、ボンへ側のガス供
給ライン３ａ及びベントライン１０ａを介してベントロ
９から排出せしめ、この際エゼクタ−１２による真空排
気作用が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン
３ａ内から有害又は危険性のあるガスが完全にベントガ
ス処理機構（図示せず）内に排出処理されるようにして
いる。
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立ってガス供給ラ
イン３ａ内の高圧及び低圧開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パ
ージライン７ａ内の開閉弁８ａ及びヘントライン１０ａ
内の開閉弁１１ａを開いてパージ用Ｎ２ガス源６からパ
ージ用Ｎ２ガスをパージライン７ａ、ボンへ側のガス供
給ライン３ａ及びベントライン１０ａを介してベントロ
９から排出せしめ、この際エゼクタ−１２による真空排
気作用が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン
３ａ内から有害又は危険性のあるガスが完全にベントガ
ス処理機構（図示せず）内に排出処理されるようにして
いる。
（発明が解決しようとする課題）
然しなから上記のような従来のボンへ付ガス供給装置に
おいては、ボンベの弁口と、ガス供給ラインのボンベ接
続部分間には若干の連絡通路が存在し、ボンへを交換し
て新しいボンベを上記ガス供給ラインに接続した際上記
連絡通路に空気が入り込み、この空気がガス供給を開始
した際、ガス供給ラインに送り込まれる不都合があった
。このような空気は、例えば半導体材料ガスにとっては
不純物であり、極めて僅かでも許されないことである。
おいては、ボンベの弁口と、ガス供給ラインのボンベ接
続部分間には若干の連絡通路が存在し、ボンへを交換し
て新しいボンベを上記ガス供給ラインに接続した際上記
連絡通路に空気が入り込み、この空気がガス供給を開始
した際、ガス供給ラインに送り込まれる不都合があった
。このような空気は、例えば半導体材料ガスにとっては
不純物であり、極めて僅かでも許されないことである。
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
（課題を解決するための手段）
本発明のボンへ付ガス供給装置はガス供給口とボンへ間
をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際しガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってヘントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装置
において、上記ガス供給ラインに接続される上記ガスボ
ンベの口金部分において、上記ガス供給ライン端部から
ボンベの弁口に達する通路を設け、この通路にボンベ交
換の際上記パージ用ガスを導入するように構成したこと
を特徴とする。
をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際しガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってヘントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装置
において、上記ガス供給ラインに接続される上記ガスボ
ンベの口金部分において、上記ガス供給ライン端部から
ボンベの弁口に達する通路を設け、この通路にボンベ交
換の際上記パージ用ガスを導入するように構成したこと
を特徴とする。
（作 用）
本発明のボンベ付ガス供給装置においてはボンベ交換の
ために供給ラインをボンペロ金部より外す時にボンベの
弁口とガス供給ラインのボンベ接続部分間の連絡通路内
に外気が入り込まないようにポンペロ金との接続部より
ガス供給に先立ってパージ用Ｎ２ガスが吹き出す。
ために供給ラインをボンペロ金部より外す時にボンベの
弁口とガス供給ラインのボンベ接続部分間の連絡通路内
に外気が入り込まないようにポンペロ金との接続部より
ガス供給に先立ってパージ用Ｎ２ガスが吹き出す。
（実 施 例）
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第１図に示すようにパージ用Ｎ２ガス
源６と、上記ガス供給うイン３ａ、３ｂ内の高圧開閉弁
４ａ、４ｂのボンベ側開口間を夫々開閉弁１８ａ、１８
ｂを有する補助パージライン１９ａ、１９ｂによって連
通せしめると共に、−４＝ 第２図に示すようにパージライン７ａ、 ７ｔ＋を夫
々ボンベＩ？、Ｉｂの口金部分に袋ナツト１５を介して
接続しこのパージライン７ａ、７ｂ端部の外周を取り巻
き、ボンベの弁口１６に達するガス通路１７を形成し、
このガス通路１７に上記ガス供給ライン３ａ、３ｂのボ
ンベ側開口を接続し、ボンへ交換に際しては例えばボン
ベ１ａの交換に際してはパージライン７ａの開閉弁８ａ
及び補助パージライン１９ａの開閉弁１８ａを開いてパ
ージ用Ｎ２ガスを上記ガス通路１７及び上記ボンベ側の
ガス供給ライン３ａの末端を介してボンへの弁口１６に
向かって吹き出すようにする。
源６と、上記ガス供給うイン３ａ、３ｂ内の高圧開閉弁
４ａ、４ｂのボンベ側開口間を夫々開閉弁１８ａ、１８
ｂを有する補助パージライン１９ａ、１９ｂによって連
通せしめると共に、−４＝ 第２図に示すようにパージライン７ａ、 ７ｔ＋を夫
々ボンベＩ？、Ｉｂの口金部分に袋ナツト１５を介して
接続しこのパージライン７ａ、７ｂ端部の外周を取り巻
き、ボンベの弁口１６に達するガス通路１７を形成し、
このガス通路１７に上記ガス供給ライン３ａ、３ｂのボ
ンベ側開口を接続し、ボンへ交換に際しては例えばボン
ベ１ａの交換に際してはパージライン７ａの開閉弁８ａ
及び補助パージライン１９ａの開閉弁１８ａを開いてパ
ージ用Ｎ２ガスを上記ガス通路１７及び上記ボンベ側の
ガス供給ライン３ａの末端を介してボンへの弁口１６に
向かって吹き出すようにする。
本発明のボンへ付ガス供給装置は上記のような構成であ
るからボンベ交換時にボンベの弁口１６に向かって吹き
出すパージ用Ｎ２ガスによってガス供給ラインのボンベ
側開口及びパージラインのボンへ側聞口より入り込んで
来る空気が阻止され、ボンへを安全に交換出来るように
なる。
るからボンベ交換時にボンベの弁口１６に向かって吹き
出すパージ用Ｎ２ガスによってガス供給ラインのボンベ
側開口及びパージラインのボンへ側聞口より入り込んで
来る空気が阻止され、ボンへを安全に交換出来るように
なる。
（発明の効果）
上記のように本発明のボンへ付ガス供給装置によればボ
ンへ交換の際各ラインに対する空気の混入を未然に防止
することが出来る。
ンへ交換の際各ラインに対する空気の混入を未然に防止
することが出来る。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置の構成図、第２
図はボンベ接続金具の断面図、第３図は従来のボンベ付
ガス供給装置の構成図である。 ｌａ、ｌｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、３ａ、
３ｂ、１４・・・ガス供給ライン、４ａ。 ４ｂ・・・高圧開閉弁、５ａ、５ｂ・・・低圧開閉弁、
６，１３・・・Ｎ２ガス源、７ａ、７ｂ・・・バージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ヘントライン、１
２・・・エゼクタ−１１５・・・袋ナツト、１６・・・
弁口、１７・・・ガス通路、１８ａ、１８ｂ・・・開閉
弁、１９ａ、１９ｂ・・・補助パージライン。 ７一
図はボンベ接続金具の断面図、第３図は従来のボンベ付
ガス供給装置の構成図である。 ｌａ、ｌｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、３ａ、
３ｂ、１４・・・ガス供給ライン、４ａ。 ４ｂ・・・高圧開閉弁、５ａ、５ｂ・・・低圧開閉弁、
６，１３・・・Ｎ２ガス源、７ａ、７ｂ・・・バージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ヘントライン、１
２・・・エゼクタ−１１５・・・袋ナツト、１６・・・
弁口、１７・・・ガス通路、１８ａ、１８ｂ・・・開閉
弁、１９ａ、１９ｂ・・・補助パージライン。 ７一
Claims (1)
- （１）ガス供給口とボンベ間をガス供給ラインによって
連通し、ボンベ交換に際しガス供給ライン内のガスをパ
ージ用ガスによってベントラインを介して排気するよう
にしたボンベ付ガス供給装置において、上記ガス供給ラ
インに接続される上記ガスボンベの口金部分において、
上記ガス供給ライン端部からボンベの弁口に達する通路
を設け、この通路にボンベ交換の際上記パージ用ガスを
導入するように構成したことを特徴とするボンベ付ガス
供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10290390A JPH044400A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10290390A JPH044400A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044400A true JPH044400A (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=14339823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10290390A Pending JPH044400A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044400A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798168B2 (en) | 2002-06-10 | 2010-09-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Pressure-based gas delivery system and method for reducing risks associated with storage and delivery of high pressure gases |
| CN110307468A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-10-08 | 深圳融科半导体装备有限公司 | 一种易燃易爆炸气体安全输送装置 |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP10290390A patent/JPH044400A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798168B2 (en) | 2002-06-10 | 2010-09-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Pressure-based gas delivery system and method for reducing risks associated with storage and delivery of high pressure gases |
| CN110307468A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-10-08 | 深圳融科半导体装备有限公司 | 一种易燃易爆炸气体安全输送装置 |
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