JPH0444375A - Alignment device for laser oscillator - Google Patents
Alignment device for laser oscillatorInfo
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- JPH0444375A JPH0444375A JP15295890A JP15295890A JPH0444375A JP H0444375 A JPH0444375 A JP H0444375A JP 15295890 A JP15295890 A JP 15295890A JP 15295890 A JP15295890 A JP 15295890A JP H0444375 A JPH0444375 A JP H0444375A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ共振器のアライメント装置に係り、特に
レーザ共振器を正確にアライメントすることができるよ
うにしたアライメント装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an alignment device for a laser resonator, and more particularly to an alignment device that can accurately align a laser resonator.
一般に、レーザチャンバを挾んで出力側ミラーと全反射
側ミラーとを光学的に対向配置してなるレーザ共振器は
知られている。この種のものでは、出力側ミラーと全反
射側ミラーとを光学的に対向配置させること（以下、ア
ライメントという）が難しく、これを簡単にするために
、従来、種々のアライメント装置が提案されている（例
えば、特開昭６３−５４７９１号公報参照）。Generally, a laser resonator is known in which an output side mirror and a total reflection side mirror are optically arranged to face each other with a laser chamber in between. With this kind of device, it is difficult to optically arrange the output side mirror and the total reflection side mirror to face each other (hereinafter referred to as alignment), and in order to make this easier, various alignment devices have been proposed in the past. (See, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-54791).
この種の従来のアライメント装置は、第３図に示すよう
に、全反射側ミラー１の側から、アライメント用レーザ
３の可視光ａを、スリット５を通して入射し、全反射側
ミラー１により反射されて戻る可視光ａと、レーザチャ
ンバ９内を通して出力側ミラー７により反射されて戻る
可視光ａとをスリット５上に投影させ、そこにできるス
ポットを目視により判定することにより、それぞれのミ
ラー１． ７の光学的な位置関係をアライメントしてい
る。As shown in FIG. 3, in this type of conventional alignment device, visible light a from an alignment laser 3 is incident from the side of the total reflection side mirror 1 through a slit 5, and is reflected by the total reflection side mirror 1. By projecting the visible light a that returns through the laser chamber 9 and the visible light a that passes through the laser chamber 9 and returns after being reflected by the output side mirror 7 onto the slit 5 and visually determining the spots formed thereon, the visible light a that returns from each mirror 1. The optical positional relationship of 7 is aligned.
しかしながら、従来の構成では、各ミラー１゜７により
反射されて戻る可視光ａを、スリット５上に投影させて
、そこにできるスポットを目視により判定するので、正
確なアライメントができないという問題がある。However, in the conventional configuration, the visible light a reflected by each mirror 1.7 is projected onto the slit 5 and the spot formed there is determined visually, so there is a problem that accurate alignment cannot be achieved. .
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する
問題点を解消し、レーザ共振器を正確にアライメントす
ることができるようにしたアライメント装置を提供する
ことにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an alignment device that eliminates the problems of the above-mentioned conventional techniques and can accurately align a laser resonator.
上記目的を達成するために、本発明は、レーザチャンバ
を挾んで出力側ミラーと全反射側ミラーとを光学的に対
向配置してなるレーザ共振器のアライメント装置におい
て、出力側ミラー及び全反射側ミラーに可視光を入射す
るアライメント用レーザと、出力側ミラーで反射する可
視光及び全反射側ミラーで反射する可視光を干渉縞にし
てスクリーン上に投影する投影機構とを有し、該スクリ
ーン上の干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判定
できるようにしたことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention provides a laser resonator alignment device in which an output side mirror and a total reflection side mirror are arranged optically opposite to each other with a laser chamber in between. It has an alignment laser that injects visible light into the mirror, and a projection mechanism that projects the visible light reflected by the output side mirror and the visible light reflected by the total reflection side mirror onto a screen as interference fringes. The present invention is characterized in that an alignment shift can be determined based on the number of interference fringes.
本発明によれば、出力側ミラーで反射する可視光と全反
射側ミラーで反射する可視光との２つの可視光は、スク
リーン上に投影されて、干渉縞となって表われる。アラ
イメントがずれている場合には、干渉縞はその縞数が多
くなる。この場合には、干渉縞の縞数が少なくなるよう
に、全反射側ミラーと出力側ミラーとをアライメントす
る。アライメントが完了すると、干渉縞は縞数が少な（
なるので、干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判
定することができる。According to the present invention, two types of visible light, the visible light reflected by the output side mirror and the visible light reflected by the total reflection side mirror, are projected onto the screen and appear as interference fringes. When the alignment is out of alignment, the number of interference fringes increases. In this case, the total reflection side mirror and the output side mirror are aligned so that the number of interference fringes is reduced. Once the alignment is complete, the interference fringes will have a small number of fringes (
Therefore, the misalignment can be determined based on the number of interference fringes.
以下、本発明によるレーザ共振器のアライメント装置の
一実施例を、第３図と同一部分に同一符号を付して示し
た第１図及び第２図を参照して説明する。Hereinafter, an embodiment of a laser resonator alignment apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2, in which the same parts as in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.
第１図において、１は全反射側ミラーを示し、７は出力
側ミラーを示している。この全反射側ミラー１と出力側
ミラー７とは、レーザチャンバ９を挟んで、光学的に対
向配置されている。この種のガスレーザは、通常、全反
射側ミラー１と出力側ミラー７の間で光を共振、増幅さ
せて、出力側ミラー７の側からレーザ光を出力する構成
になっている。したがって、各ミラー１，７が正確に対
向配置されているかどうかは、ガスレーザの出力性能に
大きな影響を及ぼす。In FIG. 1, 1 indicates a total reflection side mirror, and 7 indicates an output side mirror. The total reflection side mirror 1 and the output side mirror 7 are optically arranged to face each other with the laser chamber 9 in between. This type of gas laser usually has a configuration in which light is resonated and amplified between a total reflection side mirror 1 and an output side mirror 7, and a laser beam is output from the output side mirror 7 side. Therefore, whether the mirrors 1 and 7 are accurately arranged to face each other has a great influence on the output performance of the gas laser.
この実施例によれば、全反射側ミラー１の外側に、ハー
フミラ−１０を挟んでアライメント用レーザ３が配置さ
れている。このアライメント用レーザ３は、可視光ａを
放射し、ここから放射される可視光ａは、−旦、ハーフ
ミラ−１０を透過した後、全反射側ミラー１により反射
されて戻り、ハーフミラ−１０により反射されて、スク
リーン１１上に投影される。これらハーフミラ−１０及
びスクリーン１１は投影機構を構成している。According to this embodiment, an alignment laser 3 is placed outside the total reflection side mirror 1 with a half mirror 10 in between. This alignment laser 3 emits visible light a, and the visible light a emitted from here first passes through the half mirror 10 and then is reflected by the total reflection side mirror 1 and returns to the half mirror 10. It is reflected and projected onto the screen 11. These half mirror 10 and screen 11 constitute a projection mechanism.
また、可視光ａの一部は、全反射側ミラー１を透過し、
レーザチャンバ９内を通して出力側ミラー７により反射
されて戻り、再び、全反射側ミラ１を透過して、ハーフ
ミラ−１０により反射されて、スクリーン１１上に投影
される。In addition, a part of the visible light a passes through the total reflection side mirror 1,
The light passes through the laser chamber 9 and is reflected back by the output side mirror 7, passes through the total reflection side mirror 1 again, is reflected by the half mirror 10, and is projected onto the screen 11.
スクリーン１１上に投影される２つの可視光ａは、第２
図（ａ）及び第２図（ｂ）に示すように、干渉縞１２ａ
、１２ｂとなって表われる。アライメントがずれている
場合には、干渉縞１２ａは、第２図（ａ）に示すように
縞数が多くなる。この場合には、全反射側ミラーｌと出
力側ミラー７とをアライメントする。アライメントが完
了すると、干渉縞１２ｂは、第２図（ｂ）に示すように
縞数が少なくなる。すなわち、干渉縞１２ａの縞数が多
く、アライメントにずれがある場合には、その縞数を少
なくするように、全反射側ミラー１と出力側ミラー７と
をアライメントすればよい。The two visible lights a projected onto the screen 11 are
As shown in FIG. 2(a) and FIG. 2(b), interference fringes 12a
, 12b. When the alignment is out of alignment, the number of interference fringes 12a increases as shown in FIG. 2(a). In this case, the total reflection side mirror 1 and the output side mirror 7 are aligned. When the alignment is completed, the number of interference fringes 12b decreases as shown in FIG. 2(b). That is, if the number of interference fringes 12a is large and there is a misalignment, the total reflection side mirror 1 and the output side mirror 7 may be aligned so as to reduce the number of interference fringes.
しかして、この実施例によれば、アライメントのずれを
干渉縞１２ａ、１２ｂの縞数で判定することができるの
で、スポットを目視することによる従来の判定方式に比
べて、より正確なアライメントを行うことができる。According to this embodiment, alignment deviation can be determined based on the number of interference fringes 12a and 12b, so more accurate alignment can be achieved than in the conventional determination method based on visually observing the spots. be able to.
また、全反射側ミラー１と出力側ミラー７のアライメン
トは、通常、各ミラー１，７の支持台（図示せず）に取
付けられたミラー調節ねじ（図示せず）により行われる
。よって、他の実施例として、このミラー調節ねじをモ
ータ駆動にすれば、自動アライメントを行うことができ
る。Further, the alignment of the total reflection side mirror 1 and the output side mirror 7 is normally performed using a mirror adjustment screw (not shown) attached to a support stand (not shown) of each mirror 1, 7. Therefore, as another embodiment, if this mirror adjustment screw is driven by a motor, automatic alignment can be performed.
この場合には、スクリーン１１上の干渉縞１２ａ、１２
ｂの移動をフォトダイオードアレイ（図示せず）などに
より検出し、この干渉縞１２ａ、１２ｂの移動に応答さ
せて、ミラー調節ねじをモータ駆動するように構成すれ
ばよい。In this case, the interference fringes 12a, 12 on the screen 11
The mirror adjustment screw may be configured to detect the movement of b by a photodiode array (not shown) or the like, and drive the mirror adjustment screw by a motor in response to the movement of the interference fringes 12a, 12b.
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、出力
側ミラーで反射する可視光と、全反射側ミラーで反射す
る可視光とを、干渉縞にしてスクリーン上に投影させて
、そこに表れる干渉縞の縞数により、アライメントのず
れを判定できるようにしたので、レーザ共振器を正確に
アライメントすることができる。As is clear from the above description, according to the present invention, the visible light reflected by the output side mirror and the visible light reflected by the total reflection side mirror are projected onto the screen as interference fringes. Since the misalignment can be determined based on the number of interference fringes that appear, it is possible to accurately align the laser resonator.
第１図は本発明によるレーザ共振器のアライメント装置
の一実施例を示す配置図、第２図（ａ）及び第２図（ｂ
）はスクリーン上の干渉縞を示す平面図、第３図は従来
のレーザ共振器のアライメント装置を示す配置図である
。
１・・・全反射側ミラー、３・・・アライメント用レー
ザ、７・・・出力側ミラー、９・・・レーザチャンバ、
１０・・・ハーフミラ−１１１・・・スクリーン、１２
・・・干渉縞。FIG. 1 is a layout diagram showing an embodiment of a laser resonator alignment device according to the present invention, FIG. 2(a) and FIG. 2(b).
) is a plan view showing interference fringes on a screen, and FIG. 3 is a layout diagram showing a conventional laser resonator alignment device. 1... Total reflection side mirror, 3... Laser for alignment, 7... Output side mirror, 9... Laser chamber,
10...Half mirror-111...Screen, 12
...Interference fringes.
Claims (1)
とを光学的に対向配置してなるレーザ共振器のアライメ
ント装置において、出力側ミラー及び全反射側ミラーに
可視光を入射するアライメント用レーザと、出力側ミラ
ーで反射する可視光及び全反射側ミラーで反射する可視
光を干渉縞にしてスクリーン上に投影する投影機構とを
有し、該スクリーン上の干渉縞の縞数によりアライメン
トのずれを判定できるようにしたことを特徴とするレー
ザ共振器のアライメント装置。In a laser resonator alignment device in which an output side mirror and a total reflection side mirror are arranged optically opposite to each other with a laser chamber in between, an alignment laser that injects visible light into the output side mirror and the total reflection side mirror; It has a projection mechanism that converts the visible light reflected by the output side mirror and the visible light reflected by the total reflection side mirror into interference fringes and projects them onto a screen, and determines the misalignment based on the number of interference fringes on the screen. A laser resonator alignment device characterized by being able to perform.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15295890A JPH0444375A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | Alignment device for laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15295890A JPH0444375A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | Alignment device for laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444375A true JPH0444375A (en) | 1992-02-14 |
Family
ID=15551883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15295890A Pending JPH0444375A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | Alignment device for laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444375A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0756361A1 (en) * | 1995-07-21 | 1997-01-29 | Hewlett-Packard GmbH | Method and arrangement for adjusting a mirror to a laser resonator |
| JP2008539329A (en) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | Alkaline electroplating bath with filtration membrane |
| CN105680300A (en) * | 2016-04-29 | 2016-06-15 | 江苏师范大学 | Accurate calibration method for He-Ne |
-
1990
- 1990-06-12 JP JP15295890A patent/JPH0444375A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0756361A1 (en) * | 1995-07-21 | 1997-01-29 | Hewlett-Packard GmbH | Method and arrangement for adjusting a mirror to a laser resonator |
| JP2008539329A (en) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | Alkaline electroplating bath with filtration membrane |
| CN105680300A (en) * | 2016-04-29 | 2016-06-15 | 江苏师范大学 | Accurate calibration method for He-Ne |
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