JPH0444409A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH0444409A JPH0444409A JP15331490A JP15331490A JPH0444409A JP H0444409 A JPH0444409 A JP H0444409A JP 15331490 A JP15331490 A JP 15331490A JP 15331490 A JP15331490 A JP 15331490A JP H0444409 A JPH0444409 A JP H0444409A
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- JP
- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- voltage
- thin film
- wave device
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、弾性表面波装置に係り、特に衛星放送受信機
のＩＦ回路に好適な弾性表面波装置に関する。
のＩＦ回路に好適な弾性表面波装置に関する。
（従来の技術）
従来から弾性表面波装置は、各種装置のフィルタ等とし
て広く利用されている。このような弾性表面波装置の一
つとして、周波数特性の異なる複数対の櫛形電極を備え
たいわゆるデュアルタイプの弾性表面波装置が知られて
いる。このような弾性表面波装置は、主に衛星放送受信
機のＩＦ回路等に使用されている。
て広く利用されている。このような弾性表面波装置の一
つとして、周波数特性の異なる複数対の櫛形電極を備え
たいわゆるデュアルタイプの弾性表面波装置が知られて
いる。このような弾性表面波装置は、主に衛星放送受信
機のＩＦ回路等に使用されている。
第８図にこのような従来のデュアルタイプの弾性表面波
装置の一例の構成を示す。同図において、符号１は弾性
表面波フィルタ素子の外囲器を示しており、この外囲器
１内に、櫛形電極からなる入力側電極２と出力側電極３
ａ、３ｂが設けられている。
装置の一例の構成を示す。同図において、符号１は弾性
表面波フィルタ素子の外囲器を示しており、この外囲器
１内に、櫛形電極からなる入力側電極２と出力側電極３
ａ、３ｂが設けられている。
上記入力側電極２は、入力端子４．５に接続されており
、出力側電極３ａ、３ｂは、外付けされたスイッチング
回路６に接続されている。スイッチング回路６は、ダイ
オード７ ａ ｓ ７ ｂ、増幅器ｇａ、ｓｂ、抵抗器
９等から構成されており、コントロール端子１０に印加
する電圧を切換ることにより、出力側電極３ａ、３ｂの
一方を選択して出力端子１１ａ、ｌｌｂから所望特性の
出力を得るよう構成されている。
、出力側電極３ａ、３ｂは、外付けされたスイッチング
回路６に接続されている。スイッチング回路６は、ダイ
オード７ ａ ｓ ７ ｂ、増幅器ｇａ、ｓｂ、抵抗器
９等から構成されており、コントロール端子１０に印加
する電圧を切換ることにより、出力側電極３ａ、３ｂの
一方を選択して出力端子１１ａ、ｌｌｂから所望特性の
出力を得るよう構成されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した従来の弾性表面波装置では、周
波数特性切換を行うために、ダイオード等を用いた外付
けのスイッチング回路を必要とするため、部品点数が増
加するとともに、ＰＣ板パターンの引き回しによる浮遊
容量が原因となって特性のバラツキが生じるという問題
があった。
波数特性切換を行うために、ダイオード等を用いた外付
けのスイッチング回路を必要とするため、部品点数が増
加するとともに、ＰＣ板パターンの引き回しによる浮遊
容量が原因となって特性のバラツキが生じるという問題
があった。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたものて
、従来に較べて部品点数を削減して低コスト化を図るこ
とができるとともに、従来に較べてＰＣ板パターンの引
き回しによる浮遊容量を削減して特性の均一化を図るこ
とのできる弾性表面波装置を提供しようとするものであ
る。
、従来に較べて部品点数を削減して低コスト化を図るこ
とができるとともに、従来に較べてＰＣ板パターンの引
き回しによる浮遊容量を削減して特性の均一化を図るこ
とのできる弾性表面波装置を提供しようとするものであ
る。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
すなわち、本発明の弾性表面波装置は、絶縁基板と、前
記絶縁基板に形成された複数対の櫛形電極およびこれら
の櫛形電極を覆うように形成された酸化亜鉛化合物薄膜
からなり、少なくとも周波数特性の異なる２種類の出力
を得ることのできるように構成された弾性表面波フィル
タ素子と、前記絶縁基板上間隔を設けて形成された導電
性薄膜からなる電極対およびこの電極対の間に介在する
ように形成された前記酸化亜鉛化合物薄膜からなる複数
の電圧依存性抵抗素子とを具備し、前記電圧依存性抵抗
素子に印加する電圧を切換て、前記弾性表面波フィルタ
素子の出力の周波数特性を選択するよう構成したことを
特徴とする。
記絶縁基板に形成された複数対の櫛形電極およびこれら
の櫛形電極を覆うように形成された酸化亜鉛化合物薄膜
からなり、少なくとも周波数特性の異なる２種類の出力
を得ることのできるように構成された弾性表面波フィル
タ素子と、前記絶縁基板上間隔を設けて形成された導電
性薄膜からなる電極対およびこの電極対の間に介在する
ように形成された前記酸化亜鉛化合物薄膜からなる複数
の電圧依存性抵抗素子とを具備し、前記電圧依存性抵抗
素子に印加する電圧を切換て、前記弾性表面波フィルタ
素子の出力の周波数特性を選択するよう構成したことを
特徴とする。
（作 用）
上記構成の本発明の弾性表面波装置では、電圧依存性抵
抗素子によるスイッチング回路と弾性表面波フィルタ素
子とが同一チップ上に配置されている。また、弾性表面
波の伝搬媒体および電圧依存性抵抗素子の材料として酸
化亜鉛化合物薄膜を用いているのて、電圧依存性抵抗素
子によるスイッチング回路と弾性表面波フィルタ素子と
を同時に形成することができる。
抗素子によるスイッチング回路と弾性表面波フィルタ素
子とが同一チップ上に配置されている。また、弾性表面
波の伝搬媒体および電圧依存性抵抗素子の材料として酸
化亜鉛化合物薄膜を用いているのて、電圧依存性抵抗素
子によるスイッチング回路と弾性表面波フィルタ素子と
を同時に形成することができる。
したがって、スイッチング回路と弾性表面波フィルタ素
子とを同一パッケージに収納することにより、部品点数
および製造工程数を削減して低コスト化を図ることがで
きるとともに、スイッチング回路におけるＰＣ板パター
ンの引き回しによる浮遊容量を減少させることができ、
特性の均一化を図ることができる。
子とを同一パッケージに収納することにより、部品点数
および製造工程数を削減して低コスト化を図ることがで
きるとともに、スイッチング回路におけるＰＣ板パター
ンの引き回しによる浮遊容量を減少させることができ、
特性の均一化を図ることができる。
（実施例）
以下、本発明の詳細を図面を参照して実施例について説
明する。
明する。
第１図および第２図は本発明の一実施例の弾性表面波装
置の構成を示すものである。
置の構成を示すものである。
この実施例の弾性表面波装置は、まず絶縁基板としての
ガラス基板２０上に、アルミニウム薄膜（導電性薄膜）
の蒸着により、櫛形電極からなる弾性表面波フィルタ素
子の入力側電極２１および出力側電極２２ａ、２２ｂと
、電圧依存性抵抗素子を構成するための電極対２３ａお
よび電極対２３ｂを形成する。
ガラス基板２０上に、アルミニウム薄膜（導電性薄膜）
の蒸着により、櫛形電極からなる弾性表面波フィルタ素
子の入力側電極２１および出力側電極２２ａ、２２ｂと
、電圧依存性抵抗素子を構成するための電極対２３ａお
よび電極対２３ｂを形成する。
この後、弾性表面波伝搬媒体および電圧依存性抵抗素子
材料としてのＺｎＯを、適当なマスクを介してスパッタ
リングにより被着させ、入力側電極２１および出力側電
極２２ａ、２２ｂ上部にＺｎｏ薄膜２４を形成するとと
もに、電極対２３１１問および電極対２３ｂ間に、Ｚｎ
Ｏ薄膜２５ａ１２５ｂを形成して、弾性表面波フィルタ
素子２６と電圧依存性抵抗素子２７ａ、２７ｂとを同時
に形成する。
材料としてのＺｎＯを、適当なマスクを介してスパッタ
リングにより被着させ、入力側電極２１および出力側電
極２２ａ、２２ｂ上部にＺｎｏ薄膜２４を形成するとと
もに、電極対２３１１問および電極対２３ｂ間に、Ｚｎ
Ｏ薄膜２５ａ１２５ｂを形成して、弾性表面波フィルタ
素子２６と電圧依存性抵抗素子２７ａ、２７ｂとを同時
に形成する。
なお、第１図において、２８ａ、２８ｂは入力ボンディ
ングパッド、２９ｇ、２９ｂは出力ボンディングパッド
、３０はコントロールポンディングパッドを示しており
、各電極とともにガラス基板２０上に形成する。
ングパッド、２９ｇ、２９ｂは出力ボンディングパッド
、３０はコントロールポンディングパッドを示しており
、各電極とともにガラス基板２０上に形成する。
ここて、ＺｎＯ薄膜を用いた電圧依存性抵抗素子２７ｇ
、２７ｂは、第３図に示すように、対向するように設け
られた電極対２３ａ （２３ｂ）間に、ＺｎＯ薄膜２５
ａ （２５ｂ）を介在させた構造となっている。このよ
うな素子では、縦軸を電流、横軸を電圧とした第４図の
グラフに示すような特性を有する。すなわち、たとえば
電極断面積が５００μｍ２て、電極間距離３００μｍの
時、電極間に１，５ｖ以上の外部電圧を印加することに
よって、電流が流れる特性を有している。
、２７ｂは、第３図に示すように、対向するように設け
られた電極対２３ａ （２３ｂ）間に、ＺｎＯ薄膜２５
ａ （２５ｂ）を介在させた構造となっている。このよ
うな素子では、縦軸を電流、横軸を電圧とした第４図の
グラフに示すような特性を有する。すなわち、たとえば
電極断面積が５００μｍ２て、電極間距離３００μｍの
時、電極間に１，５ｖ以上の外部電圧を印加することに
よって、電流が流れる特性を有している。
この実施例の弾性表面波装置では、上記特性を利用して
、第２図に示すように、外部回路のＩＣ３１ａ、３１ｂ
からは、常に＋１．５ｖのバイアス電圧を印加するとと
もに、スイッチ３２によりコントロール端子３３から、
抵抗３４を介して＋３ｖ以上の電圧をオン／オフ（ＯＮ
ｌｏＦＦ ）することにより出力の選択を行う。
、第２図に示すように、外部回路のＩＣ３１ａ、３１ｂ
からは、常に＋１．５ｖのバイアス電圧を印加するとと
もに、スイッチ３２によりコントロール端子３３から、
抵抗３４を介して＋３ｖ以上の電圧をオン／オフ（ＯＮ
ｌｏＦＦ ）することにより出力の選択を行う。
すなわち、スイッチ３２オンとしてコントロール端子３
３から＋３ｖ以上の電圧を印加すると、外部回路のＩＣ
３１ａ、３１ｂからは、常に＋１，５ｖのバイアス電圧
が印加されているため、電位差が＋１．５ｖ以上となり
、電圧依存性抵抗素子２７ｂに電流が流れ、ショートと
なる。このため、出力側電極２２ｂもショートになり、
入力端子３５ａ１３５ｂから入力され、入力側電極２１
から伝搬してきた波は、出力側電極２２ａのみが受け、
出力端子３６ａに出力が生ずる。
３から＋３ｖ以上の電圧を印加すると、外部回路のＩＣ
３１ａ、３１ｂからは、常に＋１，５ｖのバイアス電圧
が印加されているため、電位差が＋１．５ｖ以上となり
、電圧依存性抵抗素子２７ｂに電流が流れ、ショートと
なる。このため、出力側電極２２ｂもショートになり、
入力端子３５ａ１３５ｂから入力され、入力側電極２１
から伝搬してきた波は、出力側電極２２ａのみが受け、
出力端子３６ａに出力が生ずる。
逆に、スイッチ３２オフとしてコントロール端子３３か
ら無人力の場合、ＩＣ３１ａ、３１ｂからのバイアス電
圧により、電圧依存性抵抗素子２７ａに電流が流れ、出
力端子３６ｂに出力が生ずる。
ら無人力の場合、ＩＣ３１ａ、３１ｂからのバイアス電
圧により、電圧依存性抵抗素子２７ａに電流が流れ、出
力端子３６ｂに出力が生ずる。
このように、弾性表面波フィルタ素子２６の伝搬媒体お
よび電圧依存性抵抗素子２７ａ、２７ｂの材料にＺｎＯ
薄膜を用いることにより、電圧依存性抵抗素子２７ａ、
２７ｂによるスイッチング回路と、弾性表面波フィルタ
素子２６を同一チップ（ガラス基板２０）上に構成し、
同一パッケージ３７に収納することが可能となる。この
ため、第８図に示した従来の弾性表面波装置の場合に較
べて、外部回路のダイオード７ａ、７ｂを削減すること
ができる。また、これに伴って、スイッチング回路にお
けるＰＣ板パターンの引き回しによる浮遊容量を減少さ
せることができ、浮遊容量による特性のばらつきを減少
させることができる。
よび電圧依存性抵抗素子２７ａ、２７ｂの材料にＺｎＯ
薄膜を用いることにより、電圧依存性抵抗素子２７ａ、
２７ｂによるスイッチング回路と、弾性表面波フィルタ
素子２６を同一チップ（ガラス基板２０）上に構成し、
同一パッケージ３７に収納することが可能となる。この
ため、第８図に示した従来の弾性表面波装置の場合に較
べて、外部回路のダイオード７ａ、７ｂを削減すること
ができる。また、これに伴って、スイッチング回路にお
けるＰＣ板パターンの引き回しによる浮遊容量を減少さ
せることができ、浮遊容量による特性のばらつきを減少
させることができる。
なお、第５図に示すように外部回路に差動増幅器３１を
使用すれば、誘導を無くすことができるとともに、さら
に部品点数を削減することができる。
使用すれば、誘導を無くすことができるとともに、さら
に部品点数を削減することができる。
また、上記実施例では、１つの入力側電極２１および２
つめ出力側電極２２ａ、、２２ｂによって、２種類の異
なる周波数特性を実現させた弾性表面波フィルタ素子２
６の場合について説明したが、弾性表面波フィルタ素子
２６は可逆性の素子であるため、第６図に示すように、
入力側電極２１ａ。
つめ出力側電極２２ａ、、２２ｂによって、２種類の異
なる周波数特性を実現させた弾性表面波フィルタ素子２
６の場合について説明したが、弾性表面波フィルタ素子
２６は可逆性の素子であるため、第６図に示すように、
入力側電極２１ａ。
２１ｂを２つ、出力側電極２２を１つ設けてもよい。
また、第７図に示すように、２つの入力側電極２１ａ、
２１ｂおよび２つの出力側電極２２ａ、２２ｂを設けた
場合も、同様に本発明を適用することができる。このよ
うに、周波数特性毎に１対ずつ入力側電極２１ｇおよび
出力側電極２２ａと、入力側電極２１ｂおよび出力側電
極２２ｂを用いるようにすれば、それぞれ電気的に分離
することができ、２つの異なる周波数特性の相互の干渉
を無くすことができる。
２１ｂおよび２つの出力側電極２２ａ、２２ｂを設けた
場合も、同様に本発明を適用することができる。このよ
うに、周波数特性毎に１対ずつ入力側電極２１ｇおよび
出力側電極２２ａと、入力側電極２１ｂおよび出力側電
極２２ｂを用いるようにすれば、それぞれ電気的に分離
することができ、２つの異なる周波数特性の相互の干渉
を無くすことができる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の弾性表面波装置によれば
、従来に較べて部品点数を削減して低コスト化を図るこ
とができるとともに、従来に較べてＰＣ板パターンの引
き回しによる浮遊容量を削減して特性の均一化を図るこ
とができる。
、従来に較べて部品点数を削減して低コスト化を図るこ
とができるとともに、従来に較べてＰＣ板パターンの引
き回しによる浮遊容量を削減して特性の均一化を図るこ
とができる。
第１図および第２図は本発明の一実施例の弾性表面波装
置の構成を示す図、第３図は電圧依存性抵抗素子の構成
を示す図、第４図は電圧依存性抵抗素子の特性を示すグ
ラフ、第５図ないし第７図は他の実施例の弾性表面波装
置の構成を示す図、第８図は従来の弾性表面波装置の構
成を示す図である。 ２０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ガラ
ス基板２１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
入力側電極２２ｇ、２２ｂ・・・・・・出力側電極２３
ａ、２３ｂ・・・・・・電極対 ２４・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ｚｎ
Ｏ薄膜２５ ａ、 ２５ ｂ−−−−−・Ｚ ｎ Ｏ薄
膜２６・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・弾
性表面波フィルタ素子２７ａ、２７ｂ・・・・・・電圧
依存性抵抗素子出願人 株式会社 東芝 出願人 東芝電子デバイス エンジニアリング株式会社
置の構成を示す図、第３図は電圧依存性抵抗素子の構成
を示す図、第４図は電圧依存性抵抗素子の特性を示すグ
ラフ、第５図ないし第７図は他の実施例の弾性表面波装
置の構成を示す図、第８図は従来の弾性表面波装置の構
成を示す図である。 ２０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ガラ
ス基板２１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
入力側電極２２ｇ、２２ｂ・・・・・・出力側電極２３
ａ、２３ｂ・・・・・・電極対 ２４・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ｚｎ
Ｏ薄膜２５ ａ、 ２５ ｂ−−−−−・Ｚ ｎ Ｏ薄
膜２６・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・弾
性表面波フィルタ素子２７ａ、２７ｂ・・・・・・電圧
依存性抵抗素子出願人 株式会社 東芝 出願人 東芝電子デバイス エンジニアリング株式会社
Claims (1)
- 絶縁基板と、前記絶縁基板面に形成された複数対の櫛
形電極およびこれらの櫛形電極を覆うように形成された
酸化亜鉛化合物薄膜からなり、少なくとも周波数特性の
異なる２種類の出力を得ることのできるように構成され
た弾性表面波フィルタ素子と、前記絶縁基板面に間隔を
設けて形成された導電性薄膜からなる電極対およびこの
電極対の間に介在するように形成された前記酸化亜鉛化
合物薄膜からなる複数の電圧依存性抵抗素子とを具備し
、前記電圧依存性抵抗素子に印加する電圧を切換て、前
記弾性表面波フィルタ素子の出力の周波数特性を選択す
るよう構成したことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15331490A JPH0444409A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15331490A JPH0444409A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444409A true JPH0444409A (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15559787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15331490A Pending JPH0444409A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444409A (ja) |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP15331490A patent/JPH0444409A/ja active Pending
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