JPH0445049B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0445049B2 JPH0445049B2 JP24422684A JP24422684A JPH0445049B2 JP H0445049 B2 JPH0445049 B2 JP H0445049B2 JP 24422684 A JP24422684 A JP 24422684A JP 24422684 A JP24422684 A JP 24422684A JP H0445049 B2 JPH0445049 B2 JP H0445049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- value
- section
- division
- interpolated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
技術分野
本発明は、90°位相差の異なるsinθ信号とcosθ
信号を使用して、測角或は測長を行なうエンコー
ダ方式の測角、測長回路の改良に関する。
従来技術及びその問題点
通常、エンコーダ方式の測或は測長装置にあつ
ては、方向弁別及び分割数向上の為、90°位相の
異なる2つの正弦波信号sinθ信号及びcosθ信号を
用いる。第3図a,bは、sinθ信号及びcosθ信号
を示す波形であり、sinθ信号a及びcosθ信号b
は、コンパレータ等によつて第3図c,dに示す
如く2値化され、該2値化された信号c,dは、
弁別パルス発生回路等によつて第3図eに示す如
く、方向弁別されたパルス信号(これを4分割パ
ルスと呼ぶ)に変換され、この4分割パルス信号
のパルス数をカウンター等で数えて、その移動量
(これが測角値或は測長値である。)を求め、測
角、測長作業を行うものである。
また、この様な4分割パルスカウント方式で
は、例えば、1パルス周期が10μmになる様にエ
ンコーダが作成されていると、Nカウントの場
合、N×10μmという移動量に対応した測定値の
測定精度が可能となるが、更に、高い分解能を得
る為にこのパルス間を内挿処理によつてさらに分
割する種々の方式が提案されており、この内挿処
理の一方式にsinθ信号値とcosθ信号値との比を取
つてθ=tan-1sinθ/cosθ値で内挿角を得る方式があ
る。第4図は、前記内挿処理回路を備えた4分割
パルスカウント方式の測角、測長回路を示すブロ
ツク図であり、エンコーダ装置の一部を構成する
検出格子を通過した光線を受けると受光素子等か
ら出力されたSinθ信号a及びcosθ信号bは、コン
パレータ1,2を経由して例えば基準零点を閾値
にして2値化され、該2値化された波形信号(第
3図のc,dの信号)は、弁別パルス発生回路3
によつて方向弁別された4分割パルス信号(第3
図のeの信号)に変換され、該4分割パルス信号
は、カウンタ4のup端子或はdown端子に加えら
れカウントされて大目盛値を算出する。
一方、上記sinθ信号及びcosθ信号は、A/D変
換器5,6によつてデイジタル変換され、該A/
D変換器5,6からの出力に対して除算部7によ
つてsinθ/cosθ値なる除算が行われ、tan-1計算部8
に
よりそのtan-1を得ることでθが求められ、角度
変換部9で例えば、1パルス周期が10μmの場
合、10μm×θ/90°を求めることで小目盛値として
の内挿値が得られる。
この小目盛値としての内挿値と4分割パルスの
カウント値である大目盛値とを合成部10で合成
処理し、表示部11で表示することにより高分解
能な測定値が得られることになる。
ところで、上記測角・測長回路においては、大
目盛値を算出するためには、まず、コンパレータ
1,2によつてsinθ信号及びcosθ信号を2値化さ
れた波形信号に変換しなければならず、また、内
挿値を算出するためには、まず、A/D変換器
5,6によつてsinθ信号及びcosθ信号をデイジタ
ル信号に変換しなければならないため、上記コン
パレータ1,2によつ2値化された波形信号と
A/D変換器5,6によつて変換されたデイジタ
ル信号との間にコンパレータとA/D変換器の例
えば基準零点等にずれ等があると、表示部11で
表示される測定値の数値に飛びという現象が発生
する惧れがある。
第5図は、かかる飛びという現象を説明するた
めの図であり、第5図のaは、弁別パルス発生回
路3から出力される4分割パルスであり、第5図
のbは、角度変換部9から出力される理想的な内
挿値であるが、上述の如く、上記コンパレーター
1,2によつて2値化された波形信号とA/D変
換器5,6によつて変換されたデイジタル信号と
の間に各々の基準零点等のずれがあると、第5図
cに示す如く、角度変換部9からの出力される内
挿値の零地点が、4分割パルスのパルス発生地点
とずれた関係になり、この場合、合成部10にて
合成される測定値は、例えば、第5図のIの部分
について考えると、……18μm 19μm 10μm
21μm 22μmといつた合成値が得られ数値の飛
びという現象が発生することになる。このような
飛びの対策としては、従来、種々の提案がなされ
ているが、どれも処理が複雑であるという欠点が
ある。
目 的
本発明は、この様な問題点に鑑みて為されたも
のであり、簡単な処理回路によつて上記数値の飛
びという現象を軽減した内挿処理回路を備えた4
分割パルスカウント方式の測角・測長回路を提供
せんとするものである。
実施例の構成
以下、図面に従つて本発明の一実施例を説明す
る。第1図は、本発明に係るエンコーダ方式の測
角・測長回路の一実施例を示すブロツク図であ
り、従来例と同様のブロツクは、同一の符号を付
し説明は省略する。
従来例と本実施例の構成上の相違は、第1図か
ら明らかな如く、本実施例がコンパレータ1,2
によつて2値化されたsinθ信号とcosθ信号を取り
込んで、該sinθ信号とcosθ信号の正、負を判別
し、下表1に示す如く該sinθ信号とcosθ信号と
Technical field The present invention is based on a sinθ signal with a 90° phase difference and a cosθ signal with a different phase difference of 90°.
The present invention relates to improvements in encoder-type angle and length measurement circuits that measure angle or length using signals. Prior Art and its Problems Normally, encoder-type measuring or length measuring devices use two sinusoidal signals, a sin θ signal and a cos θ signal, with 90° different phases in order to discriminate directions and improve the number of divisions. Figure 3 a and b are waveforms showing sin θ signal and cos θ signal, sin θ signal a and cos θ signal b.
are binarized by a comparator or the like as shown in FIG. 3c and d, and the binarized signals c and d are
It is converted into a direction-discriminated pulse signal (this is called a 4-division pulse) by a discrimination pulse generation circuit or the like as shown in FIG. The amount of movement (this is the angle measurement value or length measurement value) is determined, and angle measurement and length measurement work is performed. In addition, in such a 4-division pulse counting method, for example, if the encoder is created so that one pulse period is 10 μm, in the case of N counts, the measurement accuracy of the measured value corresponding to the movement amount of N × 10 μm However, in order to obtain higher resolution, various methods have been proposed in which the pulse interval is further divided by interpolation processing. There is a method to obtain the interpolation angle by taking the ratio with the value of θ=tan -1 sinθ/cosθ. FIG. 4 is a block diagram showing a 4-division pulse counting type angle measurement and length measurement circuit equipped with the interpolation processing circuit. The sin θ signal a and the cos θ signal b output from the elements etc. are binarized via comparators 1 and 2 using, for example, the reference zero as a threshold, and the binarized waveform signals (c, d signal) is the discrimination pulse generation circuit 3
4-division pulse signal whose direction is discriminated by
The four-division pulse signal is added to the up terminal or down terminal of the counter 4 and counted to calculate the major scale value. On the other hand, the sin θ signal and cos θ signal are digitally converted by A/D converters 5 and 6, and the A/D converters 5 and 6 convert them into digital signals.
The outputs from the D converters 5 and 6 are divided into sinθ/cosθ values by the division unit 7, and the tan -1 calculation unit 8
By obtaining tan -1 , θ is obtained, and in the angle converter 9, for example, if one pulse period is 10 μm, the interpolated value as a small scale value can be obtained by obtaining 10 μm × θ/90°. . The interpolated value as the small scale value and the large scale value as the count value of the 4-division pulse are combined in the synthesis unit 10 and displayed on the display unit 11, thereby obtaining a high-resolution measurement value. . By the way, in the above angle measurement/length measurement circuit, in order to calculate the major scale value, the sin θ signal and the cos θ signal must first be converted into binary waveform signals by comparators 1 and 2. First, in order to calculate the interpolated value, the A/D converters 5 and 6 must first convert the sin θ signal and the cos θ signal into digital signals, so the comparators 1 and 2 must convert the sin θ signal and the cos θ signal into digital signals. If there is a deviation between the binary waveform signal and the digital signal converted by the A/D converters 5 and 6, for example in the reference zero point of the comparator and the A/D converter, the display will There is a possibility that a phenomenon in which the measured value displayed at 11 jumps may occur. FIG. 5 is a diagram for explaining the phenomenon of skipping, and a in FIG. 5 is a four-division pulse output from the discrimination pulse generation circuit 3, and b in FIG. 5 is a diagram for explaining the phenomenon of skipping. As mentioned above, the ideal interpolated value output from 9 is the waveform signal that is binarized by the comparators 1 and 2 and converted by the A/D converters 5 and 6. If there is a deviation between the reference zero points, etc. between the digital signal and the digital signal, the zero point of the interpolated value output from the angle converter 9 will be the pulse generation point of the 4-division pulse, as shown in Fig. 5c. In this case, the measured values synthesized in the synthesis section 10 are, for example, considering the part I in FIG. 5...18μm 19μm 10μm
A composite value of 21 μm and 22 μm is obtained, resulting in a phenomenon of numerical jumps. Various proposals have been made in the past as countermeasures against such jumps, but all of them have the drawback of complicated processing. Purpose The present invention has been made in view of these problems, and includes a four-way interpolation processing circuit that reduces the phenomenon of numerical jumps using a simple processing circuit.
The present invention aims to provide an angle measurement/length measurement circuit using a divided pulse counting method. Configuration of Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an encoder type angle measurement/length measurement circuit according to the present invention. Blocks similar to those in the conventional example are designated by the same reference numerals and a description thereof will be omitted. As is clear from FIG. 1, the difference in structure between the conventional example and this embodiment is that the present embodiment has comparators 1 and 2
The binarized sin θ signal and cos θ signal are taken in, and the positive and negative states of the sin θ signal and cos θ signal are determined, and the sin θ signal and cos θ signal are determined as shown in Table 1 below.
【表】
の正、負の関係から、第2図aに示される如く、
〜の各象限に分けられた4分割パルスにおい
て該4分割パルスが今第何象限にあるのから判定
し、該判定結果を合成部10に伝える象限発生部
13と、除算部7とtan-1計算部8との間に設け
られ第2図bに模式的に示す除算部7から出力さ
れたsinθ/cosθ値即ちtanθを入力し、第2図cに模
式
的に示す該tanθの絶対値を出力する絶対値処理部
12とを新たに設けた点に存する。
実施例の作用
次に上実施例の作用を第2図及び下表2を使つ
て説明すると、今、エンコーダーの検出素子にFrom the positive and negative relationships in [Table], as shown in Figure 2 a,
A quadrant generation unit 13 that determines which quadrant the four-divided pulse is currently in among the four-divided pulses divided into the respective quadrants, and transmits the determination result to the synthesis unit 10, the division unit 7, and tan -1 . Input the sinθ/cosθ value, that is, tanθ, output from the division unit 7, which is provided between the calculating unit 8 and schematically shown in FIG. 2b, and calculate the absolute value of tanθ, which is schematically shown in FIG. 2c. The difference lies in that an absolute value processing section 12 for outputting is newly provided. Effects of the Embodiment Next, the effects of the above embodiment will be explained using Fig. 2 and Table 2 below.
【表】
sinθとcosθとの信号が入ると、該sinθ信号とcosθ
信号とは、大目盛値を算出すべくコンパレータ
1,2に入力され2値化されると共に、内挿値を
得るべく、A/D変換器5,6にも入力されデイ
ジタル変換されるが、上記コンパレータ1,2に
よつて2値化された波形信号とA/D変換器5,
6によつて変換されたデイジタル信号の初期動作
にタイミングのずれが有り、絶対値処理部12か
ら出力されるtanθの絶対値が、第2図dに示され
る如く、4分割パルス(第2図のa)との相対関
係において、ずれを生じた場合を想定すると、合
成部10では、絶対値処理部12及び象限発生部
13からの情報を取り入れて以下に述べるような
延算処理を行なう。
前記合成部10は、前記絶対値処理部12から
出力されたtanθの絶対値を確認し、このtanθの絶
対値の値によつてあらかじめ定められた値を内挿
値として選択する。
ここで、あらかじめ定められた内挿値が選択さ
れるtanθの絶対値の範囲について説明する。
まず、10μm×tan-1|tanθ|/90°の算出を行う。
ここで、上式の分子をtan-1|tanθ|としている
のは、この分子の値を0°≦θ≦90°の範囲内とす
るためである。
そして、上式の算出値が「9」以上「10」未満
の範囲内となる、つまり、81°<tan-1|tanθ|<
90°の範囲内となるθの値を求め、このθの値、
81°<θ<99°、261°<θ<289°、441°<θ<459°
、
……、(180n+81)°<θ<(180n+99)°、…
…〔但し、θ=(180n+90)°を除く。n=0、
1、2、……〕の範囲内におけるtanθの絶対値の
値をAとする。
同様に、上式の算出値が「0」以上「1」未満
の範囲内となる、つまり、0°≦tan-1|tanθ|<9°
の範囲内となるθの値を求め、このθの値、0°≦
9°、171°<θ<189°、351°<θ<369°、……、
(180m−9)°<θ<(180m+9)°、……〔但
し、m=1、2,3,……〕の範囲内における
tanθの絶対値の値をBとする。
そして、絶対値処理部12から出力されるtanθ
の絶対値と、これに対応して合成部10にて割り
当てられる内挿値との関係を示す表2にあるよう
に、4分割パルスの象限が、でtanθの絶対値
が値Bの範囲内にある時には内挿値を「0μm」
とし、4分割パルスの象限が、でtanθの絶対
値が値Aの範囲内にある時には内挿値を「9μm」
としている。
また、4分割パルスの象限が、でtanθの絶
対値が値Aの範囲内にある時には内挿値を「0μ
m」とし、4分割パルスの象限が、でtanθの
絶対値が値Bの範囲内にある時には内挿値を
「9μm」と割り当てている。
従つて、合成部10では、絶対値処理部12か
ら出力され、tan-1計算部8、角度変換部9を経
て合成部10に入力されるtanθの絶対値の値を読
み取つてかかる値が前記値A或は値Bである場合
には、象限発生部13から入力される情報に基づ
いて表2に示す如く内挿値を算出し、かかる内挿
値と大目盛値を合成することにより測定値を算出
するものである。
このようにすれば、かかる合成値即ち測定値
は、第2図dのような場合には例えば、の部分
で……27μm、28μm、29μm、29μm、30μm、
31μm、μmといつた変化に止まり、従来例の如
く……19μm、10μm、21μm、といつた大きな飛
びはなくなるものである。
尚、第1図の点線内は、一般的にマイクロコン
ピユーター等で処理される。
効 果
本発明は、以上のように構成される所から、非
常に簡単な処理回路を加えることで、4分割パル
スによる大目盛と内挿処理による内挿値の合成の
際に生じる測定値の大きな飛びを防止することが
出来、結果的に測定精度が上がることになり、そ
の実用的効果は極めて大きい。[Table] When sinθ and cosθ signals are input, the sinθ signal and cosθ
The signal is input to comparators 1 and 2 to be binarized to calculate a major scale value, and is also input to A/D converters 5 and 6 to be digitally converted to obtain an interpolated value. The waveform signal binarized by the comparators 1 and 2 and the A/D converter 5,
6, there is a timing shift in the initial operation of the digital signal converted by Assuming that there is a deviation in the relative relationship with a), the synthesis section 10 takes in information from the absolute value processing section 12 and the quadrant generation section 13 and performs an addition process as described below. The synthesis unit 10 checks the absolute value of tanθ output from the absolute value processing unit 12, and selects a value predetermined based on the absolute value of tanθ as an interpolation value. Here, the range of the absolute value of tanθ from which a predetermined interpolated value is selected will be explained. First, 10 μm×tan −1 |tanθ|/90° is calculated. Here, the reason why the numerator in the above formula is tan −1 |tanθ| is to set the value of this numerator within the range of 0°≦θ≦90°. Then, the value calculated by the above formula is within the range of "9" or more and less than "10", that is, 81°<tan -1 |tanθ|<
Find the value of θ that falls within the range of 90°, and calculate the value of θ,
81°<θ<99°, 261°<θ<289°, 441°<θ<459°
,
……, (180n+81)°<θ<(180n+99)°,…
...[However, θ=(180n+90)° is excluded. n=0,
1, 2, ...], let A be the absolute value of tanθ. Similarly, the value calculated by the above formula is within the range of "0" or more and less than "1", that is, 0°≦tan -1 |tanθ|<9°
Find the value of θ that falls within the range of , and find the value of θ, 0°≦
9°, 171°<θ<189°, 351°<θ<369°,...
(180m−9)°<θ<(180m+9)°, ...[However, within the range of m=1, 2, 3, ...]
Let B be the absolute value of tanθ. Then, tanθ output from the absolute value processing unit 12
As shown in Table 2, which shows the relationship between the absolute value of and the corresponding interpolated value assigned by the synthesis unit 10, the quadrant of the quadrant pulse is such that the absolute value of tanθ is within the range of value B. When it is, set the interpolated value to "0μm"
If the absolute value of tanθ is within the range of value A in the quadrant of the 4-part pulse, the interpolated value is set to 9 μm.
It is said that Also, when the absolute value of tanθ is within the range of value A in the quadrant of the 4-division pulse, the interpolated value is set to 0 μ
m", and when the absolute value of tan θ is within the range of value B in the quadrant of the 4-part pulse, the interpolated value is assigned as "9 μm". Therefore, in the synthesis section 10, the value of the absolute value of tanθ outputted from the absolute value processing section 12 and inputted to the synthesis section 10 via the tan -1 calculation section 8 and the angle conversion section 9 is read and the resulting value is calculated as the above value. If the value is A or B, the interpolated value is calculated as shown in Table 2 based on the information input from the quadrant generation unit 13, and the measurement is performed by combining the interpolated value and the major scale value. It calculates the value. In this way, such a composite value, that is, a measured value, for example, in the case shown in FIG.
The changes are limited to 31 μm, μm, and the large jumps of 19 μm, 10 μm, and 21 μm, as in the conventional example, are eliminated. Note that the areas within the dotted line in FIG. 1 are generally processed by a microcomputer or the like. Effects The present invention is configured as described above, and by adding a very simple processing circuit, the measurement value generated when combining the large scale by the 4-division pulse and the interpolated value by the interpolation process is improved. It is possible to prevent large jumps, and as a result, measurement accuracy is improved, which has an extremely large practical effect.
第1図は、本発明に係るエンコーダ方式の測
角・測長回路の一実施例を示すブロツク図、第2
図は、第1図のブロツクにおける信号を示す図、
第3図は、第4図のブロツクにおける信号を示す
図、第4図は、従来例を示すブロツク図、第5図
は、飛びの現象を説明する図である。
1,2:コンパレータ、3:弁別パルス発生回
路、4:カウンタ、5,6:A/D変換器、7:
除算部、8:tan-1計算部、9:角度変換部、1
0:合成部、11:表示部、12:絶対値処理
部、13:象限発生部。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an encoder type angle measurement/length measurement circuit according to the present invention, and FIG.
The figure shows the signals in the block of figure 1;
FIG. 3 is a diagram showing signals in the block of FIG. 4, FIG. 4 is a block diagram showing a conventional example, and FIG. 5 is a diagram explaining the phenomenon of skipping. 1, 2: Comparator, 3: Discrimination pulse generation circuit, 4: Counter, 5, 6: A/D converter, 7:
Division section, 8: tan -1 calculation section, 9: Angle conversion section, 1
0: synthesis section, 11: display section, 12: absolute value processing section, 13: quadrant generation section.
Claims (1)
通過した光線を受ける受光素子から出力された
sinθ信号とcosθ信号を2値化し、該2値化された
信号を弁別パルス発生回路等によつて4分割パル
ス信号に変換し、該パルス信号をカウンタでカウ
ントすることにより大目盛値を算出すると共に、
上記sinθ信号とcosθ信号をデイジタル変換し、該
デイジタル信号を除算部、tan-1計算部、角度変
換部にて内挿処理し、内挿値を算出し、上記大目
盛値と内挿値を合成部にて合成することにより測
定値を得る測角・測長回路において、 上記2値化されたsinθ信号とcosθ信号を取り込
んで、該sinθ信号とcosθ信号の正、負を判別し、
該sinθ信号とcosθ信号の正、負の関係から上記4
分割パルス信号の象限を判定し、該判定結果を合
成部に伝える象限発生部と、上記除算部とtan-1
計算部との間に設けられ、除算部から出力された
tanθ値の絶対値を出力する絶対値処理部とを設
け、上記合成部にて、絶対値処理部から出力され
る絶対値の値と象限発生部の判定結果とに基づい
て内挿値を選択し、かかる内挿値を大目盛値と合
成することにより、測定値を得ることを特徴とす
るエンコーダ方式の測角・測長回路。[Claims] 1. A light beam output from a light receiving element that receives a light beam that has passed through a detection element that constitutes a part of the encoder device.
Binarize the sinθ signal and cosθ signal, convert the binarized signal into a 4-division pulse signal using a discrimination pulse generation circuit, etc., and calculate the major scale value by counting the pulse signal with a counter. With,
The above sin θ signal and cos θ signal are digitally converted, and the digital signals are interpolated in the division section, tan -1 calculation section, and angle conversion section to calculate the interpolated value, and the above major scale value and interpolated value are In the angle measurement/length measurement circuit that obtains a measured value by combining in a synthesis section, the binarized sin θ signal and cos θ signal are taken in, and the sin θ signal and cos θ signal are determined to be positive or negative,
From the positive and negative relationship between the sinθ signal and cosθ signal, the above 4.
a quadrant generation unit that determines the quadrant of the divided pulse signal and transmits the determination result to the synthesis unit; the division unit; and tan -1;
Provided between the calculation section and output from the division section
An absolute value processing section that outputs the absolute value of the tanθ value is provided, and the interpolation value is selected in the synthesis section based on the absolute value output from the absolute value processing section and the determination result of the quadrant generation section. An encoder type angle measurement/length measurement circuit characterized in that a measured value is obtained by combining the interpolated value with a large scale value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24422684A JPS61120920A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Encoder type angle and length measuring circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24422684A JPS61120920A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Encoder type angle and length measuring circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120920A JPS61120920A (en) | 1986-06-09 |
| JPH0445049B2 true JPH0445049B2 (en) | 1992-07-23 |
Family
ID=17115615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24422684A Granted JPS61120920A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Encoder type angle and length measuring circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120920A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62187210A (en) * | 1986-02-14 | 1987-08-15 | Fanuc Ltd | Pulse distribution type position detecting device |
| JPS63290914A (en) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | Okuma Mach Works Ltd | Encoder interpolating circuit |
| JPH022607U (en) * | 1988-06-17 | 1990-01-09 |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP24422684A patent/JPS61120920A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61120920A (en) | 1986-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4527120A (en) | System for converting mechanical movement to a digital signal | |
| US4346447A (en) | Divisional reading device for sine signals | |
| KR920010015B1 (en) | Displacement Detector for Encoder | |
| RU2020752C1 (en) | Shaft angle-of-turn-to-code converter | |
| JP2003121135A (en) | Reader for linear scale | |
| US7099790B2 (en) | Sensor signal processor | |
| JPH0445049B2 (en) | ||
| JPS61189415A (en) | Scale for measuring absolute position | |
| EP1959241B1 (en) | Rotation-angle detecting apparatus | |
| JPH0726858B2 (en) | Signal processing circuit for encoder | |
| JPH0524445B2 (en) | ||
| JPH0529045B2 (en) | ||
| JP2764722B2 (en) | Interpolation method of encoder read signal | |
| US4644659A (en) | Transit | |
| JP3365913B2 (en) | Position detection device | |
| JPH052808Y2 (en) | ||
| JPH01141308A (en) | Measuring instrument using encoder | |
| JPH01212314A (en) | Signal processing circuit of measuring device | |
| JPS6188108A (en) | Encoder type angle and length measuring circuit | |
| JPS61176815A (en) | Method for interpolating length measuring instrument or angle measuring instrument | |
| JPH0712510A (en) | Phase difference measuring device for heterodyne interferometer | |
| JPH02186221A (en) | Interpolation apparatus of encoder | |
| SU1524177A2 (en) | Displacement digitizer | |
| JP3047946B2 (en) | Angular position signal generator for sine and cosine signals | |
| JPH07128088A (en) | Circuit for standardizing detection signal of measuring equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |