JPH0445265Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0445265Y2 JPH0445265Y2 JP1985058529U JP5852985U JPH0445265Y2 JP H0445265 Y2 JPH0445265 Y2 JP H0445265Y2 JP 1985058529 U JP1985058529 U JP 1985058529U JP 5852985 U JP5852985 U JP 5852985U JP H0445265 Y2 JPH0445265 Y2 JP H0445265Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- tube
- sealed
- indium
- flanges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案はガラス管内にレーザガスを封入した封
止管ガスレーザに関するものである。
止管ガスレーザに関するものである。
従来の技術
従来例の封止管CO2レーザ放電管の原理構成図
を第２図に示す。同図に示すのは内部鏡形封止管
であつて１は放電管、２は水冷用ジヤケツト、３
は出力結合鏡、４は全反射鏡である。実際には図
に示す他にも放電用電極、放電用電源、冷却水出
入口、光学アラインメント用機構などの構成要素
が用いられるが、それらは本考案に関係がなく、
かつ公知の技術であるのでここでは省略する。出
力結合鏡３および全反射鏡４は通常はガラス製の
放電管１に接着剤５を用いて接合されている。
を第２図に示す。同図に示すのは内部鏡形封止管
であつて１は放電管、２は水冷用ジヤケツト、３
は出力結合鏡、４は全反射鏡である。実際には図
に示す他にも放電用電極、放電用電源、冷却水出
入口、光学アラインメント用機構などの構成要素
が用いられるが、それらは本考案に関係がなく、
かつ公知の技術であるのでここでは省略する。出
力結合鏡３および全反射鏡４は通常はガラス製の
放電管１に接着剤５を用いて接合されている。
考案が解決しようとする問題点
上記した従来の封止管CO2レーザは構造が簡単
で製造も容易であるが、温度変化に対して気密性
の破壊が生じやすい欠点がある。すなわち、出力
結合鏡３、全反射鏡４などの光学部品と、放電管
１と、接着剤５の熱膨張係数がそれぞれ異なつて
いるので、レーザ管に温度変化が起きたときに放
電管１と光学部品との気密性が変化し、リークを
生じてレーザ管としての動作が不可能になつてし
まう。
で製造も容易であるが、温度変化に対して気密性
の破壊が生じやすい欠点がある。すなわち、出力
結合鏡３、全反射鏡４などの光学部品と、放電管
１と、接着剤５の熱膨張係数がそれぞれ異なつて
いるので、レーザ管に温度変化が起きたときに放
電管１と光学部品との気密性が変化し、リークを
生じてレーザ管としての動作が不可能になつてし
まう。
He−Neレーザ管ではこの気密性の破壊を防ぐ
ためにフリツトガラスにより放電管と光学部品を
接着しているが、CO2レーザでは放電管と光学部
品の材質が異なつているため、フリツトガラスを
使用することもできない。
ためにフリツトガラスにより放電管と光学部品を
接着しているが、CO2レーザでは放電管と光学部
品の材質が異なつているため、フリツトガラスを
使用することもできない。
本考案は以上のような問題点を解消するもの
で、封止管CO2レーザのリークの発生を防止し、
十分長い寿命を達成させるようにしたものであ
る。
で、封止管CO2レーザのリークの発生を防止し、
十分長い寿命を達成させるようにしたものであ
る。
問題点を解決するための手段
本考案は出力結合鏡や全反射鏡などの光学部品
をインジウムを介してフランジ間に挟持し、フラ
ンジを金属パイプを介して放電管に接続した封止
管CO2レーザである。
をインジウムを介してフランジ間に挟持し、フラ
ンジを金属パイプを介して放電管に接続した封止
管CO2レーザである。
作 用
出力結合鏡や全反射鏡などの光学部品はフラン
ジ間にインジウムのワイヤを介して挟持されてお
り、フランジを加圧することによりインジウムが
圧着され、フランジと光学部品とは気密封着され
る。一方フランジは金属パイプと接続しており、
この金属パイプが放電管にガラス封着される。し
たがつて各封着部は温度変化に対して安定に気密
性が保たれ、リークが生じることはない。
ジ間にインジウムのワイヤを介して挟持されてお
り、フランジを加圧することによりインジウムが
圧着され、フランジと光学部品とは気密封着され
る。一方フランジは金属パイプと接続しており、
この金属パイプが放電管にガラス封着される。し
たがつて各封着部は温度変化に対して安定に気密
性が保たれ、リークが生じることはない。
実施例
以下本考案の実施例について図面とともに詳細
に説明する。
に説明する。
第１図に本考案の一実施例を示す。放電管１及
び冷却水用ジヤケツト２は従来技術の第１図のも
のと同一であるが、本考案では放電管１の両端に
はガラス封着された金属製パイプ６及び６′が設
けられている。これらのパイプ６，６′の端部に
はフランジ８及び８′が一体構造又は別体で設け
られている。出力結合鏡３及び全反射鏡４はそれ
らのフランジ８，８′と外側のフランジ９，９′の
間に格納される。出力結合鏡３の場合にはその内
側の面とフランジ８間及び外側の面とフランジ９
の間にインジウムワイヤ７をリング状に設置す
る。又全反射鏡４とフランジ８′の間にも同様に
インジウムワイヤ７′をリング状に設置する。こ
れらのインジウムワイヤリング７，７′はリング
をはさむ両側のフランジ８，９，８′，９′にボル
ト締めを行つて加圧圧着させる。第１図ではボル
トは図示していないが、破線の位置１０，１０′，
１１，１１′で示されている位置に配置すればよ
い。インジウムワイヤ７，７′はその両端が重な
り合うように１ターン巻き付けることが必要であ
る。インジウムワイヤとしては純度99.9％、直径
0.5mm程度のものが使用できる。
び冷却水用ジヤケツト２は従来技術の第１図のも
のと同一であるが、本考案では放電管１の両端に
はガラス封着された金属製パイプ６及び６′が設
けられている。これらのパイプ６，６′の端部に
はフランジ８及び８′が一体構造又は別体で設け
られている。出力結合鏡３及び全反射鏡４はそれ
らのフランジ８，８′と外側のフランジ９，９′の
間に格納される。出力結合鏡３の場合にはその内
側の面とフランジ８間及び外側の面とフランジ９
の間にインジウムワイヤ７をリング状に設置す
る。又全反射鏡４とフランジ８′の間にも同様に
インジウムワイヤ７′をリング状に設置する。こ
れらのインジウムワイヤリング７，７′はリング
をはさむ両側のフランジ８，９，８′，９′にボル
ト締めを行つて加圧圧着させる。第１図ではボル
トは図示していないが、破線の位置１０，１０′，
１１，１１′で示されている位置に配置すればよ
い。インジウムワイヤ７，７′はその両端が重な
り合うように１ターン巻き付けることが必要であ
る。インジウムワイヤとしては純度99.9％、直径
0.5mm程度のものが使用できる。
上記構成による封止管CO2レーザについてその
リークを検査したところ、Heリーク量は10-9
Torr・c.c.／sec以下と極くわずかであり、このリ
ーク量だけから見ればレーザ管寿命は10年以上の
長期にわたることが可能である。インジウムの融
点は157℃であるので、封止管CO2レーザは通常
は157℃より低い温度で使用される。この場合、
インジウムの蒸気圧は450℃で10-8Torr以下であ
るので、157℃以下の状態ではインジウム蒸気の
発生は十分無視できる。
リークを検査したところ、Heリーク量は10-9
Torr・c.c.／sec以下と極くわずかであり、このリ
ーク量だけから見ればレーザ管寿命は10年以上の
長期にわたることが可能である。インジウムの融
点は157℃であるので、封止管CO2レーザは通常
は157℃より低い温度で使用される。この場合、
インジウムの蒸気圧は450℃で10-8Torr以下であ
るので、157℃以下の状態ではインジウム蒸気の
発生は十分無視できる。
出力結合鏡３としてZnSe、全反射鏡４として
Siフランジ８，８′および金属パイプ６，６′とし
てSUS３０３、放電管として石英を使用した場
合、各々の熱膨張係数はZnSe…8.5×10-6／℃、
Si…2.4×10-6／℃、SUS３０３…16.4×10-6／
℃、石英…0.4×10-6／℃と互いに大幅に異なつ
ているが、これらの異種材料間の接合でもインジ
ウムの延性が大きいため熱膨張によるずれをイン
ジウムが十分吸収するので気密性を全く損なわ
ず、かつ対熱シヨツクに対して十分な強度を持た
せることができる。
Siフランジ８，８′および金属パイプ６，６′とし
てSUS３０３、放電管として石英を使用した場
合、各々の熱膨張係数はZnSe…8.5×10-6／℃、
Si…2.4×10-6／℃、SUS３０３…16.4×10-6／
℃、石英…0.4×10-6／℃と互いに大幅に異なつ
ているが、これらの異種材料間の接合でもインジ
ウムの延性が大きいため熱膨張によるずれをイン
ジウムが十分吸収するので気密性を全く損なわ
ず、かつ対熱シヨツクに対して十分な強度を持た
せることができる。
考案の効果
以上のように本考案は出力結合鏡や全反射鏡な
どの光学部品をフランジ間にインジウムを介して
挟持し、このフランジを金属パイプによつて放電
管にガラス封着した封止管ガスレーザで、放電管
と光学部品間の気密性接合を接着剤を用いずに加
圧したインジウム圧着法を用いて行つている為熱
膨張係数の異つた材料間で温度変化が生じた場合
でも真空リークが発生せず、レーザ管としての寿
命が著しく延長する。
どの光学部品をフランジ間にインジウムを介して
挟持し、このフランジを金属パイプによつて放電
管にガラス封着した封止管ガスレーザで、放電管
と光学部品間の気密性接合を接着剤を用いずに加
圧したインジウム圧着法を用いて行つている為熱
膨張係数の異つた材料間で温度変化が生じた場合
でも真空リークが発生せず、レーザ管としての寿
命が著しく延長する。
第１図は本考案による封止管ガスレーザの構成
を示す概略断面図、第２図は従来の封止管ガスレ
ーザの構成を示す概略断面図である。 １……放電管、３……出力結合鏡、４……全反
射鏡、６，６′……金属パイプ、７，７′……イン
ジウムワイヤ、８，８′，９，９′……フランジ。
を示す概略断面図、第２図は従来の封止管ガスレ
ーザの構成を示す概略断面図である。 １……放電管、３……出力結合鏡、４……全反
射鏡、６，６′……金属パイプ、７，７′……イン
ジウムワイヤ、８，８′，９，９′……フランジ。
Claims (1)
- 放電管と、前記放電管の少なくとも一端で光学
部品を挟持したフランジと、前記放電管と前記フ
ランジとを連続する金属パイプとを備え、前記フ
ランジの少なくとも１つは前記金属パイプと一体
構造に形成され、前記放電管と前記金属パイプは
ガラス封着されており、前記光学部品と前記フラ
ンジ間にインジウムが機械的に加圧圧着されてい
ることを特徴とする封止管ガスレーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985058529U JPH0445265Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985058529U JPH0445265Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61174763U JPS61174763U (ja) | 1986-10-30 |
| JPH0445265Y2 true JPH0445265Y2 (ja) | 1992-10-23 |
Family
ID=30584116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985058529U Expired JPH0445265Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0445265Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11837429B2 (en) | 2021-06-02 | 2023-12-05 | Nuflare Technology, Inc. | Blanking aperture array unit |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58178580A (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ管の光学部品封着方法 |
| JPS59181405U (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-04 | 松下電器産業株式会社 | 光学部品保持装置 |
| JPS59222983A (ja) * | 1983-06-02 | 1984-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ管の光学部品封着法 |
| JPS6060791A (ja) * | 1983-09-13 | 1985-04-08 | Hitachi Ltd | レ−ザビ−ム用窓 |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP1985058529U patent/JPH0445265Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11837429B2 (en) | 2021-06-02 | 2023-12-05 | Nuflare Technology, Inc. | Blanking aperture array unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61174763U (ja) | 1986-10-30 |
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