JPH0446217Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446217Y2 JPH0446217Y2 JP18260487U JP18260487U JPH0446217Y2 JP H0446217 Y2 JPH0446217 Y2 JP H0446217Y2 JP 18260487 U JP18260487 U JP 18260487U JP 18260487 U JP18260487 U JP 18260487U JP H0446217 Y2 JPH0446217 Y2 JP H0446217Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- unit
- guide arm
- movable
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この考案は、基板検査装置用Ｘ−Ｙユニツトに
関する。
関する。
［従来の技術］
半導体素子等の部品が実装された被測定基板に
ついては、品質確保の観点から、所期の目的に従
つて性能を有しているか否かを検査する必要があ
る。
ついては、品質確保の観点から、所期の目的に従
つて性能を有しているか否かを検査する必要があ
る。
このような場合に用いられる基板検査装置に
は、通常、各一本ずつのテストプローブが取り付
けられた二組のＸ−Ｙユニツトが組み込まれてお
り、これらのテストプローブは、相互に干渉しな
い範囲でそれぞれＸ軸方向とＹ軸方向との任意方
向に移動可能となつて配設されている。
は、通常、各一本ずつのテストプローブが取り付
けられた二組のＸ−Ｙユニツトが組み込まれてお
り、これらのテストプローブは、相互に干渉しな
い範囲でそれぞれＸ軸方向とＹ軸方向との任意方
向に移動可能となつて配設されている。
第４図は、上記したＸ−Ｙユニツトについての
従来からあるタイプの構成例を示した平面図であ
る。
従来からあるタイプの構成例を示した平面図であ
る。
すなわち、Ｘ−Ｙユニツト２１は、平面からみ
て略Ｌ字形となつて配設されているＸ軸ガイド腕
２２とＹ軸ガイド腕２３とを有して構成されてお
り、Ｙ軸ガイド腕２３は、Ｘ軸ガイド腕２２にそ
の一端部にて支持されながら長手方向であるＸ軸
方向に移動可能となつて配設されている。また、
このようにして移動可能に配設されているＹ軸ガ
イド腕２３には、このＹ軸ガイド腕２３の長手方
向であるＹ軸方向に沿つて移動可能に設置された
移動部２４が搭載されており、この移動部２４の
内側部には、テストプロード２５が平面に対し昇
降可能となつて固設されている。
て略Ｌ字形となつて配設されているＸ軸ガイド腕
２２とＹ軸ガイド腕２３とを有して構成されてお
り、Ｙ軸ガイド腕２３は、Ｘ軸ガイド腕２２にそ
の一端部にて支持されながら長手方向であるＸ軸
方向に移動可能となつて配設されている。また、
このようにして移動可能に配設されているＹ軸ガ
イド腕２３には、このＹ軸ガイド腕２３の長手方
向であるＹ軸方向に沿つて移動可能に設置された
移動部２４が搭載されており、この移動部２４の
内側部には、テストプロード２５が平面に対し昇
降可能となつて固設されている。
なお、Ｘ軸ガイド腕２２に対するＹ軸ガイド腕
２３の移動と、このＹ軸ガイド腕２３に搭載され
ている移動部２４の移動とは、制御可能に配設さ
れたステツピングモータ２７と、このステツピン
グモータ２７により回転駆動されるボールねじ２
８により付与されるものである。
２３の移動と、このＹ軸ガイド腕２３に搭載され
ている移動部２４の移動とは、制御可能に配設さ
れたステツピングモータ２７と、このステツピン
グモータ２７により回転駆動されるボールねじ２
８により付与されるものである。
このようにして構成されているＸ−Ｙユニツト
２１は、各別に自由方向に移動可能な２本のテス
トプローブ２５を確保する必要から二組をセツト
として用い、かつ、平面からみて囲枠３０を形成
するように設置することで、この囲枠３０内にテ
ストプローブ２５の移動可能領域が形成されてい
る。このようにして形成される囲枠３０内には、
被測定基板３１を正確に位置決めして配置し、し
かる後、図示しないコントローラに予め与えられ
ている測定ポイントのデータに従い、各テストプ
ローブ２５をＸ軸とＹ軸方向に移動させること
で、測定ポイントである所定の位置へと到達させ
てこれを降下させて接触させることによりプロー
ビングし、情報を得ることができるようになつて
いる。このようにして得られた情報は、L.C.Rメ
ータ等の測定器に取り込まれ、良品基板から既に
得ている情報としての測定値と比較され、当該被
測定基板の良否を判定することができるようにな
つている。
２１は、各別に自由方向に移動可能な２本のテス
トプローブ２５を確保する必要から二組をセツト
として用い、かつ、平面からみて囲枠３０を形成
するように設置することで、この囲枠３０内にテ
ストプローブ２５の移動可能領域が形成されてい
る。このようにして形成される囲枠３０内には、
被測定基板３１を正確に位置決めして配置し、し
かる後、図示しないコントローラに予め与えられ
ている測定ポイントのデータに従い、各テストプ
ローブ２５をＸ軸とＹ軸方向に移動させること
で、測定ポイントである所定の位置へと到達させ
てこれを降下させて接触させることによりプロー
ビングし、情報を得ることができるようになつて
いる。このようにして得られた情報は、L.C.Rメ
ータ等の測定器に取り込まれ、良品基板から既に
得ている情報としての測定値と比較され、当該被
測定基板の良否を判定することができるようにな
つている。
［考案の解決しようとする問題点］
このように、従来例のように二組のＸ−Ｙユニ
ツト２１を用いるならば、２本のテストプローブ
２５を相互に干渉し合わない範囲で任意の方向へ
と移動させることができるので、所望する測定ポ
イントに各テストプローブ２５を容易に移動させ
ることができる。
ツト２１を用いるならば、２本のテストプローブ
２５を相互に干渉し合わない範囲で任意の方向へ
と移動させることができるので、所望する測定ポ
イントに各テストプローブ２５を容易に移動させ
ることができる。
しかしながら、このような従来例によるとき
は、必然的に二組のＸ−Ｙユニツト２１が必要と
なり、かつ、被測定基板３１を囲繞するようにし
て囲枠３０を形成しなければならず、この囲枠３
０内への被測定基板３１のセツテイングや、検査
後の囲枠３０内からの被測定基板３１の取り出し
のための作業が煩雑化するという問題があつた。
は、必然的に二組のＸ−Ｙユニツト２１が必要と
なり、かつ、被測定基板３１を囲繞するようにし
て囲枠３０を形成しなければならず、この囲枠３
０内への被測定基板３１のセツテイングや、検査
後の囲枠３０内からの被測定基板３１の取り出し
のための作業が煩雑化するという問題があつた。
また、このような用いられ方をするＸ−Ｙユニ
ツト２１は、精密な機構を有して形成されている
ことから必然的に高価であり、このような高価な
機材が二組も必要となることから、その全体コス
トがより高いものとなつてしまうという問題もあ
つた。
ツト２１は、精密な機構を有して形成されている
ことから必然的に高価であり、このような高価な
機材が二組も必要となることから、その全体コス
トがより高いものとなつてしまうという問題もあ
つた。
［問題点を解決するための手段］
この考案は、上記従来技術の問題点に鑑みてな
されたものであり、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ
ユニツトを構成するいずれか一方のガイド腕を他
方のガイド腕に沿わせて往復移動可能に配設する
とともに、前記移動可能なガイド腕には、被測定
基板に接触させるための固定プローブと回転移動
可能な回転プローブとを有し、さらにこれらを一
体として回転、かつ昇降可能とした移動ユニツト
部を移動可能に配設したことにある。
されたものであり、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ
ユニツトを構成するいずれか一方のガイド腕を他
方のガイド腕に沿わせて往復移動可能に配設する
とともに、前記移動可能なガイド腕には、被測定
基板に接触させるための固定プローブと回転移動
可能な回転プローブとを有し、さらにこれらを一
体として回転、かつ昇降可能とした移動ユニツト
部を移動可能に配設したことにある。
［実施例］
以下、図面に基づいてこの考案の一実施例を説
明する。
明する。
第１図は、この考案に係るＸ−Ｙユニツト１の
好ましい概略構成例を示す平面図であり、適宜の
図示しない昇降機構に連結されて昇降可能に形成
されているＸ軸ガイド腕２には、予め回転制御さ
れているステツピングモータ１５により回転駆動
されるボールねじ１６などのような適宜の制御さ
れた駆動機構を介することで、長手方向であるＸ
軸方向への往復移動を可能としたＹ軸ガイド腕３
がその一端部を介して支持されている。このよう
にしてＸ軸ガイド腕２に支持されているＹ軸ガイ
ド腕３には、同じく、予め回転制御されているス
テツピングモータ１７により回転駆動されるボー
ルねじ１８などのような適宜の制御された駆動機
構を介することで、その長手方向であるＹ軸方向
への往復移動を可能とした移動ユニツト部４が支
持部１４を介することで搭載されている。
好ましい概略構成例を示す平面図であり、適宜の
図示しない昇降機構に連結されて昇降可能に形成
されているＸ軸ガイド腕２には、予め回転制御さ
れているステツピングモータ１５により回転駆動
されるボールねじ１６などのような適宜の制御さ
れた駆動機構を介することで、長手方向であるＸ
軸方向への往復移動を可能としたＹ軸ガイド腕３
がその一端部を介して支持されている。このよう
にしてＸ軸ガイド腕２に支持されているＹ軸ガイ
ド腕３には、同じく、予め回転制御されているス
テツピングモータ１７により回転駆動されるボー
ルねじ１８などのような適宜の制御された駆動機
構を介することで、その長手方向であるＹ軸方向
への往復移動を可能とした移動ユニツト部４が支
持部１４を介することで搭載されている。
第２図は、この移動ユニツト部４の具体的な構
成を示す側面図であり、第１モータ６が載置固定
されている第１モータ用取付板５には、その下底
周縁部に垂設された固定プローブ１０と、前記第
１モータ６の回転軸７に固着され、かつ、その周
縁部に垂設された回転プローブ９を有する回転体
８とが配設されている。このうち、固定プローブ
１０と回転プローブ９との位置関係については、
第１モータ６の回転軸７の回転と共に回転する回
転体８における回転プローブ９の回転半径から若
干離間させた部位、つまり、第３図における間隔
ａを隔てた位置の第１モータ用取付板５に固定プ
ローブ１０が垂設されている。
成を示す側面図であり、第１モータ６が載置固定
されている第１モータ用取付板５には、その下底
周縁部に垂設された固定プローブ１０と、前記第
１モータ６の回転軸７に固着され、かつ、その周
縁部に垂設された回転プローブ９を有する回転体
８とが配設されている。このうち、固定プローブ
１０と回転プローブ９との位置関係については、
第１モータ６の回転軸７の回転と共に回転する回
転体８における回転プローブ９の回転半径から若
干離間させた部位、つまり、第３図における間隔
ａを隔てた位置の第１モータ用取付板５に固定プ
ローブ１０が垂設されている。
一方、前記第１モータ用取付板５は、その上方
に配置されている第２モータ用取付板１１に載置
固定されている第２モータ１２からの回転軸１３
が固着されて、回転可能となつてこれに支持され
ている。また、この第２モータ用取付板１１は、
油圧やモータなどの適宜の駆動機構により昇降可
能に形成されている。
に配置されている第２モータ用取付板１１に載置
固定されている第２モータ１２からの回転軸１３
が固着されて、回転可能となつてこれに支持され
ている。また、この第２モータ用取付板１１は、
油圧やモータなどの適宜の駆動機構により昇降可
能に形成されている。
この考案は、このようにして構成されているの
で、測定時における測定ポイントへの固定プロー
ブ１０と回転プローブ９との移動は次のようにし
て行なわれる。
で、測定時における測定ポイントへの固定プロー
ブ１０と回転プローブ９との移動は次のようにし
て行なわれる。
すなわち、Ｘ−Ｙユニツト１の移動可能領域内
にセツトされた被測定基板（図示せず）に対して
は、まず、Ｙ軸ガイド腕３を予め定められている
測定ポイントのデータに基づき、Ｘ軸ガイド腕２
の長手方向であるＸ軸方向の所定の位置まで移動
させる。次いで、固定プローブ１０と回転プロー
ブ９とを有する移動ユニツト部４をＹ軸ガイド腕
３に沿わせて所定の位置まで移動させる。このよ
うにして被測定基板における測定ポイントのおお
よその位置に移動ユニツト部４を移動させた後
は、第１モータ６によりその回転軸７に直結され
ている回転体８を回転させて回転プローブ９と固
定プローブ１０との間の間隔を測定ポイントであ
る２点間の間隔と一致させる。この際における回
転プローブ９と固定プローブ１０との間の間隔に
ついては、第３図に示すように、最小がａ、最大
がｂとなる範囲で適宜の間隔を設定することがで
きる。
にセツトされた被測定基板（図示せず）に対して
は、まず、Ｙ軸ガイド腕３を予め定められている
測定ポイントのデータに基づき、Ｘ軸ガイド腕２
の長手方向であるＸ軸方向の所定の位置まで移動
させる。次いで、固定プローブ１０と回転プロー
ブ９とを有する移動ユニツト部４をＹ軸ガイド腕
３に沿わせて所定の位置まで移動させる。このよ
うにして被測定基板における測定ポイントのおお
よその位置に移動ユニツト部４を移動させた後
は、第１モータ６によりその回転軸７に直結され
ている回転体８を回転させて回転プローブ９と固
定プローブ１０との間の間隔を測定ポイントであ
る２点間の間隔と一致させる。この際における回
転プローブ９と固定プローブ１０との間の間隔に
ついては、第３図に示すように、最小がａ、最大
がｂとなる範囲で適宜の間隔を設定することがで
きる。
このようにして回転プローブ９と固定プローブ
１０との間の間隔を設定した後は、第２モータ１
２によりその回転軸１３に直結させた第１モータ
取付板５を必要とする角度だけ回転させることに
より、回転プローブ９と固定プローブ１０とを測
定ポイントの位置に一致させることができる。こ
のようにして回転プローブ９と固定プローブ１０
とを測定ポイントの位置に一致させた後は、第２
モータ取付板１１を降下させることで、被測定基
板の測定ポイントに回転プローブ９と固定プロー
ブ１０とを接触させることができる。
１０との間の間隔を設定した後は、第２モータ１
２によりその回転軸１３に直結させた第１モータ
取付板５を必要とする角度だけ回転させることに
より、回転プローブ９と固定プローブ１０とを測
定ポイントの位置に一致させることができる。こ
のようにして回転プローブ９と固定プローブ１０
とを測定ポイントの位置に一致させた後は、第２
モータ取付板１１を降下させることで、被測定基
板の測定ポイントに回転プローブ９と固定プロー
ブ１０とを接触させることができる。
かくして得られた測定値は、L.C.Rメータ等の
測定器に情報として取り込むことで、既に良品基
板から得てあるデータと比較することができ、被
測定基板の良否の判定を行なうことができる。
測定器に情報として取り込むことで、既に良品基
板から得てあるデータと比較することができ、被
測定基板の良否の判定を行なうことができる。
［考案の効果］
以上述べたようにこの考案によれば、一組のＸ
−Ｙユニツトを用いるのみで被測定基板の任意の
測定ポイントを自由に測定することができるの
で、従来のように配置された二組のＸ−Ｙユニツ
トにより形成される囲枠内に被測定基板をセツト
しなければならない煩雑さを解消して作業性を改
善することができるのみならず、比較的高価なＸ
−Ｙユニツトは一組で用が足り、全体コストの低
減化に寄与させることができる。
−Ｙユニツトを用いるのみで被測定基板の任意の
測定ポイントを自由に測定することができるの
で、従来のように配置された二組のＸ−Ｙユニツ
トにより形成される囲枠内に被測定基板をセツト
しなければならない煩雑さを解消して作業性を改
善することができるのみならず、比較的高価なＸ
−Ｙユニツトは一組で用が足り、全体コストの低
減化に寄与させることができる。
第１図は、この考案に係る基板検査装置用Ｘ−
Ｙユニツトの一実施例としての概略構成を示す平
面図、第２図は、Ｘ−ＹユニツトにおけるＹ軸ガ
イド腕に搭載されている移動ユニツト部の構成を
示す側面図、第３図は、移動ユニツト部における
固定プローブと回転プローブとの間の位置関係を
示す説明図、第４図は、従来からあるＸ−Ｙユニ
ツトの構成例を示す平面図である。 １……Ｘ−Ｙユニツト、２……Ｘ軸ガイド腕、
３……Ｙ軸ガイド腕、４……移動ユニツト部、５
……第１モータ取付板、６……第１モータ、７…
…回転軸、８……回転体、９……回転プローブ、
１０……固定プローブ、１１……第２モータ取付
板、１２……第２モータ、１３……回転軸、１４
……支持部、１５……ステツピングモータ、１６
……ボールねじ、１７……ステツピングモータ、
１８……ボールねじ。
Ｙユニツトの一実施例としての概略構成を示す平
面図、第２図は、Ｘ−ＹユニツトにおけるＹ軸ガ
イド腕に搭載されている移動ユニツト部の構成を
示す側面図、第３図は、移動ユニツト部における
固定プローブと回転プローブとの間の位置関係を
示す説明図、第４図は、従来からあるＸ−Ｙユニ
ツトの構成例を示す平面図である。 １……Ｘ−Ｙユニツト、２……Ｘ軸ガイド腕、
３……Ｙ軸ガイド腕、４……移動ユニツト部、５
……第１モータ取付板、６……第１モータ、７…
…回転軸、８……回転体、９……回転プローブ、
１０……固定プローブ、１１……第２モータ取付
板、１２……第２モータ、１３……回転軸、１４
……支持部、１５……ステツピングモータ、１６
……ボールねじ、１７……ステツピングモータ、
１８……ボールねじ。
Claims (1)
- Ｘ−Ｙユニツトを構成するいずれか一方のガイ
ド腕を他方のガイド腕に沿わせて往復移動可能に
配設するとともに、前記移動可能なガイド腕に
は、被測定基板に接触させるための固定プローブ
と回転移動可能な回転プローブとを有し、さらに
これらを一体として回転、かつ昇降可能とした移
動ユニツト部を移動可能に配設したことを特徴と
する基板検査装置用Ｘ−Ｙユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18260487U JPH0446217Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18260487U JPH0446217Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187264U JPH0187264U (ja) | 1989-06-08 |
| JPH0446217Y2 true JPH0446217Y2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=31474051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18260487U Expired JPH0446217Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446217Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18260487U patent/JPH0446217Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
| US7071716B2 (en) | 2001-11-16 | 2006-07-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0187264U (ja) | 1989-06-08 |
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