JPH0446500A - 超音波探触子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は例えば医療用超音波診断装置に用いられる電子
走査形の超音波探触子に関するものである。

従来の技術 第７図乃至第９図は、この種の超音波探触子の構成を示
している。第７図乃至第９図において、１は電気信号を
機械的振動に変換する超音波振動子、２は超音波振動子
１の前面と一側端面および背面の一部を覆うように設け
られている負極電極、３は超音波振動子１の背面を覆う
ように設けられている正極電極、４は負極電極２に電気
ｆぎ号を供給する導体、５は正極電極３に電気信号を供
給する導体である。

これらの導体４．５はエツチング加工された金属薄板ま
たはパターンニングされたフレキシブルプリント配線板
などが用いられ、負極電極２および正極電極３に半田付
けもしくは導体性接着剤などにより電気的導通をなすべ
く接続されている。

特に、導体４は第１０図に示すように、金属薄板４ａの
一側縁に等間隔に形成した突片４ｂの中央に線状部４ｃ
を形成した形状をしており、２点鎖線位１ｔ４ｃｌから
賂直角に折り曲げ、その折り曲げ基部４ｅを第７１！ｌ
乃至第９図に示すように負極電２に導通性接着剤８で接
着した後、背面負荷材６に熱硬化性樹脂などにより接着
している。

この後、第７図に示すように、スライシングマシンなど
により高速回転する切断砥石（図示せず）によって超音
波振動子１、置局電極２、正極電［ｉ１３をスリット７
ａで完全に切断するとともに、背面負荷材６と導体４．
５の一部も同時に切断し、しかも導体４を線状部４Ｃと
同ピツチ毎にスリット７ａと同一の深さのスリット７ｂ
で完全に切断することにより、ｌ＝気的グループ内に複
数個の超音波振動子を有する超音波振動子アレイを形成
している。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記従来の超音波探触子では、。

超音波振動子ｌを切断分割する際に、導体４．５の一部
も同時に切断する必要があり、通常用いられるスライシ
ングマシン用の切断砥石では、その切断が非常に困難で
ある。また、砥石に対する目づまりなどが発生し、超音
波振動子１の切断に際し、その切削性が著しく低下する
。

その結果、超音波振動子１の割れ、欠け、電極２．３と
導体４．５との剥離などが発生してしまい、均一なピッ
チの超音波振動子アレイの形成は切断ピッチが細かくな
るに従い、より困難となる。このため、超音波振動子１
の高分解能化にともなう高精細ピッチの超音波振動子ア
レイの形成は非常に困難であるという問題があった。

また、図示例のような導体形状の場合、導体４の切断位
置との位置合わせにおいて、高精度の位置合わせが必要
となり、製作上工数がかかる上に、導体４のピッチ精度
も高いものが要求されるという問題があった。

本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、製作が容易で高精細ピッチの超音波振動子アレイを有
する高分解能な超音波探触子を提供することを目的とす
るものである。

課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、同一面上にその厚
さが他の部分の厚さより厚い一対の導体接続部分を形成
し、且つ両面にそれぞれ導体接続部分の一方に達する電
極を設けた超音波振動子と、導体接続部分に達した電極
に一定の間隔毎に接続され、且つこの電極に電気信号を
供給する多数の棒状導体とを備え、前記各棒状導体間の
中央において、前記超音波振動子を前記導体接続部分と
ともに電気的、機械的に完全に切断し、この切断された
超音波振動子を前記導体接続部分の途中まで機械的にの
み切断して、超音波振動子アレイを形成するようにした
。

作用 したがって、本発明によれば、超音波振動子を一定間隔
毎に接続された棒状導体の各棒状導体間において、導体
接続部分とともに切断し、また、この導体接続部分ぼ途
中まで切断する段這い切断を行うことにより、高精細ピ
ッチの超音波振動子アレイを容易に形成することができ
、高分解能な超音波探触子を得ることができるという効
果を有する。

実施例 第１図乃至第３図は本発明の一実施例の構成を示すもの
である。第１図乃至第３１！ｌにおいて、１１は、同一
面に一対の導体接続部分１１２．１１ｂを他の部分の厚
さよりも厚くなるように形成した超音波振動子、１２は
超音波振動子１１の前面と一側端面を覆い背面の導体接
続部分１１ａに達するように設けられた負極電極である
。

１３は超音波振動子１１の背面を覆い導体接続部分１１
ｂに達するように設けられている正極電橋、１４は負極
電極１２に電気信号を供給する導体、１５は正極電挟１
３に電気信号を供給すう導体であり、特に導体１４は第
４図に示すように、電極接続端部まで電気的に分離され
た形状、つまり棒状導体であり、ピッチ１８の間隔で接
続されている。

上記導体１４．１５は負極電極１２、正極電極１３に半
田付けもしくは導体性接着剤２３による接着など電気的
導通を得るように接続する。

１６は上記超音波振動子１１の背面および導体１４．１
５の一部に熱硬化性樹脂などにより接着形成した背面負
荷材であり、超音波振動子１１と導体１４．１５の間に
段差１９が生じる。

上記超音波振動子１１は、前期従来の超音波振動子と同
様に、スライシングマシンなどで切断加工するが、この
場合、上記各棒状導体間の中央において上記導体接続部
分とともに電気的、機械的に完全にスリット１７ａで切
断し、この切断された超音波振動子を上記導体接続部分
の途中まで機械的にのみスリット１７ｂで切断して段違
いの切断を行い、超音波振動子アレイを形成する。

この段這い接断により、スライシングマシンによって切
断分割すべき材質は、超音波振動子１１と背面負荷材１
６の一部のみとなり、同一電気グループ内の超音波振動
子はその一部が導体接続部分１１ａによって接続された
ままという状態となる。

このように、超音波振動子１１と背面負荷材１６の一部
のみ切断することにより、切断困難な銅ハタなどの導体
１４を切断する必要がなく、高精細な超音波振動子アレ
イを割れ、欠けや負極電極１２、正極電極１３と導体１
４．１５との剥離などを生ずることなく得ることができ
る。

また、導体接続部部分１１ａ、ｌｌｂで超音波振動子１
１の一部がつながったままという状態となるため、アレ
イは倒れ、傾きなどを生じることなく形成することがで
きるという利点を有する。

第２図は本発明の第２の実施例を示す要部構成図であり
、平板状の超音波振動子１１の前面と一側端面を覆い背
面の側縁部に達するように負極電極１２を設け、超音波
振動子１１の背面を覆うように正極電極１３を設けた後
、周面に導通性処理２４が施された棒材２０を半田付け
もしくは導通性接着剤などにより、超音波振動子１１の
背面両側縁部に固着して、この背面両側線部を他の部分
より厚く形成して導体接続部分１１ａ、ｌｌｂとする。

この場合、上記棒材２０の材質としては、超音波振動子
１１と同程度の切断性を有するものが望ましく、超音波
振動子１１と同材質または異種材質であってもよい。

第３図は本発明の第３の実施例を示す要部構成図であり
、負極型［１１２、正極電極１３を形成する以前の超音
波振動子１１の背面両側縁にあらかじめ棒材２１を固着
し、しかる後に、超音波振動子１１の前面と一側端面お
よび棒材２１の背面を覆うように負極電極１２を設け、
超音波振動子１１の背面と棒材２１の背面を覆うように
正極電極１３を設け、超音波振動子１１の背面両側縁部
を他より厚く形成して導体ｍ続部分１１ａ、ｌｌｂとし
ている。この場合、超音波振動子ｌｌと棒材２１を固着
する際の固着材２２は導通性を有する必要はない。

以上の各実施例のように形成された超音波振動子１１に
前記第１の実施例と同様に棒状導体を一定間隔毎に接続
し、切断分割を行った場合においても、第１の実施例を
同様の効果を有する。

また、第２の実施例においては、棒材２ｏは絶縁体であ
るという前提で説明したが、導電体であってもよい。導
電体の場合には、棒材に対する導電性処理は不要である
。

なお、上記各実施例では、リニアアレイ型の超音波探触
子について説明したが、湾曲したアレイ、例えば、コン
ベクス型超音波探触子などについても、同様の構成によ
り同様の効果を得ることができる。

発明の効果 本発明は上記実施例により明らかなように、同一面上に
その厚さが他の部分の厚さより厚い一対の導体接続部分
を形成し、且つ両面にそれぞれ導体接続部分の一方に達
する電極を設けた超音波振動子と、導体接続部分に達し
た電極に一定の間隔毎に接続され、且つこの電極に電気
信号を供給する多数の棒状導体とを備え、前記各棒状導
体間の中央において、前記超音波振動子を前記導体接続
部分とともに電気的、機械的に完全に切断し、この切断
された超音波振動子を前記導体接続部分の途中まで機械
的にのみ切断して、超音波振動子アレイを形成するよう
にしたので、超音波振動子を一定間隔毎に接続された棒
状導体の各棒状導体間において、導体接続部分とともに
切断し、また、この導体接続部分ぼ途中まで切断する段
違い切断を行うことにより、高精細ピッチの超音波振動
子アレイを容易に形成することができ、高分解能な超音
波探触子を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの実施例における超音波探触子の側面図、第
２図はこの超音波探触子の製作途中の側面図、第３（！
ｌは第２１！１ｍ−ＩＩＩ線に沿う横断面図、第４図は
その超音波探触子の構成要素である導体の正面図、第５
図、第６図は本発明の超音波探触子の構成要素である超
音波振動子の横断面図、第７図は従来の超音波探触子の
側面図、第８図は従来の超音波探触子の製作途中の側面
図、第９図は第８図ＩＸ−ＩＸ線に沿う横断面図、第１
０図は従来の超音波探触子の構成要素である導体の正面
図である。 １１・・・超音波振動子、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・導体接
続部分、１２・・・負極電極、１３・・・正極電極、１
４　、　１　　５　　＝・　導　体　、　　　１７ａ、
１７ｂ−ス　リ　　ッ　　ト　、　　２０．２１−・・
棒材。 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　同一面上にその厚さが他の部分の厚さより厚い一対の
   導体接続部分を形成し、且つ両面にそれぞれ導体接続部
   分の一方に達する電極を設けた超音波振動子と、導体接
   続部分に達した電極に一定の間隔毎に接続され、且つこ
   の電極に電気信号を供給する多数の棒状導体とを備え、
   前記各棒状導体間の中央において、前記超音波振動子を
   前記導体接続部分とともに電気的、機械的に完全に切断
   し、この切断された超音波振動子を前記導体接続部分の
   途中まで機械的にのみ切断して、超音波振動子アレイを
   形成した超音波探触子。