JPH0446545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446545U JPH0446545U JP8903490U JP8903490U JPH0446545U JP H0446545 U JPH0446545 U JP H0446545U JP 8903490 U JP8903490 U JP 8903490U JP 8903490 U JP8903490 U JP 8903490U JP H0446545 U JPH0446545 U JP H0446545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage cassette
- board
- board storage
- mounting table
- transfer arm
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の一実施例に係り
、第１図は基板収納カセツト載置台の外観斜視図
、第２図はその作用説明図である。第３図は従来
例の問題点の説明に供する図である。 １０……基板収納カセツト、１３……カセツト
連結部材、２０……基板載置台、２３……ピン（
突出体）、３０……搬送アーム。
、第１図は基板収納カセツト載置台の外観斜視図
、第２図はその作用説明図である。第３図は従来
例の問題点の説明に供する図である。 １０……基板収納カセツト、１３……カセツト
連結部材、２０……基板載置台、２３……ピン（
突出体）、３０……搬送アーム。
Claims (1)
- 基板を多段に収納した基板収納カセツトから搬
送アームを用いて基板を取り出すために、前記基
板収納カセツトが載置される基板収納カセツト載
置台に、前記基板収納カセツト内の最下段の基板
を、最下段基板下面とカセツト連結部材上面の間
隙を前記搬送アームの厚み以上に確保するための
突出体を配設したことを特徴とする基板収納カセ
ツト載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8903490U JP2505476Y2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 基板収納カセット載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8903490U JP2505476Y2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 基板収納カセット載置台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0446545U true JPH0446545U (ja) | 1992-04-21 |
| JP2505476Y2 JP2505476Y2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=31822738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8903490U Expired - Lifetime JP2505476Y2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 基板収納カセット載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505476Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086656A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物搬出入装置並びに板状物の搬出方法及び搬入方法 |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP8903490U patent/JP2505476Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086656A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物搬出入装置並びに板状物の搬出方法及び搬入方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2505476Y2 (ja) | 1996-07-31 |
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