JPH0446573A - 波動モータ - Google Patents
波動モータInfo
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- JPH0446573A JPH0446573A JP2150165A JP15016590A JPH0446573A JP H0446573 A JPH0446573 A JP H0446573A JP 2150165 A JP2150165 A JP 2150165A JP 15016590 A JP15016590 A JP 15016590A JP H0446573 A JPH0446573 A JP H0446573A
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- JP
- Japan
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- stator
- wave
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- circuit
- waveform
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Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明の波動モータは、連続駆動とステップ駆動の切り
換えが容易な超音波モータに関する。
換えが容易な超音波モータに関する。
[従来の技術]
従来の超音波モータは特開昭58−93477号公報、
特公昭59−37673号公報、特開昭59−1223
85号公報、特開昭60−51478号公報等、多くの
構成が提案されているが、それらは進行波でステータを
励振するものがほとんどで、間欠的に駆動する場合には
検出手段を付加し、駆動を「断」 ・「続」する事によ
って実現していた。一方、特願平1−273082の如
く、定在波の振動の節を利用したステップ駆動方式も提
案されている。
特公昭59−37673号公報、特開昭59−1223
85号公報、特開昭60−51478号公報等、多くの
構成が提案されているが、それらは進行波でステータを
励振するものがほとんどで、間欠的に駆動する場合には
検出手段を付加し、駆動を「断」 ・「続」する事によ
って実現していた。一方、特願平1−273082の如
く、定在波の振動の節を利用したステップ駆動方式も提
案されている。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、従来の進行波を用いた超音波モータでは回転
角を規定する用途において、前述の検出手段が必要であ
り、小型、低コスト化の妨げになっていた。また、単に
ステップ駆動するだけでは、特に定速で滑らかな駆動が
できないし、連続の高速送りが難しい為、用途に制約が
あった。
角を規定する用途において、前述の検出手段が必要であ
り、小型、低コスト化の妨げになっていた。また、単に
ステップ駆動するだけでは、特に定速で滑らかな駆動が
できないし、連続の高速送りが難しい為、用途に制約が
あった。
そこで本発明の波動モータの目的は、進行波による連続
駆動と、定在波によるステップ駆動を簡単に選択できる
構成を提供するところにある。
駆動と、定在波によるステップ駆動を簡単に選択できる
構成を提供するところにある。
[課題を解決するための手段]
本発明の波動モータは、複数の振動要素から成る振動子
を添付したステータの微小振動により、前記ステータと
接触するロータを摩擦力で駆動する波動モータにおいて
、前記振動要素の駆動波形の位相を切り換える事により
、前記ステータの振動モードを定在波と進行波に選択可
能にした事を特徴とする。
を添付したステータの微小振動により、前記ステータと
接触するロータを摩擦力で駆動する波動モータにおいて
、前記振動要素の駆動波形の位相を切り換える事により
、前記ステータの振動モードを定在波と進行波に選択可
能にした事を特徴とする。
[実 施 例]
第1図は本発明の概要を示すブロック図であり、100
は、波動モータのステップ駆動と制御する制御回路、1
01は振動子3を添付したステータを振動させる信号を
作り出す発振回路、102は同じく位相を90°ずらす
位相シフタ、103はステップ駆動の駆動波形を作り出
す波形形成回路A、104は進行波の駆動波形を作り出
す波形形成回路Bである。
は、波動モータのステップ駆動と制御する制御回路、1
01は振動子3を添付したステータを振動させる信号を
作り出す発振回路、102は同じく位相を90°ずらす
位相シフタ、103はステップ駆動の駆動波形を作り出
す波形形成回路A、104は進行波の駆動波形を作り出
す波形形成回路Bである。
切換回路105は、ステップ駆動の場合は波形形成回路
Aの出力を、連続駆動の場合は波形形成回路Bの出力を
、ドライバー回路106に送出し、ステータ2を加振す
る。
Aの出力を、連続駆動の場合は波形形成回路Bの出力を
、ドライバー回路106に送出し、ステータ2を加振す
る。
第2図は本発明の波動モータの構成例を示す断面図、第
3図は第2図におけるロータ、ステータ振動子、振動要
素の関係を示す平面図である。
3図は第2図におけるロータ、ステータ振動子、振動要
素の関係を示す平面図である。
点鎖線で示したlは例えば圧電素子からなる振動子3を
添付したステータ2と凸部2aで接するロータであり、
電極パターン3aにリード綿8を介して電圧を印加する
事により、ステータ2が撓み振動をし、ロータ1が回転
する。7はロータに嵌合し輪列受5によって位置決めさ
れ、外部に回転力を取り出す歯形を有するピニオン9は
ロータ1をステータ2に押し付ける押えばねである。ス
テータ2は止めネジ6によってフレーム4に固定されて
いる。ロータ1は半径方向に、複数の突起部1aを有し
、破線で示した振動子3は複数の振動要素30から成っ
ている。尚、本実施例では突起部1aが4ケで振動要素
30が12ケの場合について示したが、本実施例に限定
するものではない。
添付したステータ2と凸部2aで接するロータであり、
電極パターン3aにリード綿8を介して電圧を印加する
事により、ステータ2が撓み振動をし、ロータ1が回転
する。7はロータに嵌合し輪列受5によって位置決めさ
れ、外部に回転力を取り出す歯形を有するピニオン9は
ロータ1をステータ2に押し付ける押えばねである。ス
テータ2は止めネジ6によってフレーム4に固定されて
いる。ロータ1は半径方向に、複数の突起部1aを有し
、破線で示した振動子3は複数の振動要素30から成っ
ている。尚、本実施例では突起部1aが4ケで振動要素
30が12ケの場合について示したが、本実施例に限定
するものではない。
第4図は前述のステータに定在波で2んの振動モード(
2波長の振動姿態)を励起する場合の励振の方法を示す
説明図であり、十と−でそれぞれ逆の位相で3ケずつ変
形させる事によって一点鎖線の方向に振動のノード(節
)ができる。ステップ振動の場合は、ロータの突起部が
ノードの位1に吸引される為、同時に駆動する振動要素
の組み合わせを徐々にずらす事によって、実現できる。
2波長の振動姿態)を励起する場合の励振の方法を示す
説明図であり、十と−でそれぞれ逆の位相で3ケずつ変
形させる事によって一点鎖線の方向に振動のノード(節
)ができる。ステップ振動の場合は、ロータの突起部が
ノードの位1に吸引される為、同時に駆動する振動要素
の組み合わせを徐々にずらす事によって、実現できる。
+、−の変形は、電圧の正、負または分極の方向の正逆
等によって可能である。
等によって可能である。
第5図は前述のステータに3λの振動モードを励起する
場合の説明図で、2ケずつ駆動する事により、3本の節
が形成される。
場合の説明図で、2ケずつ駆動する事により、3本の節
が形成される。
第6図は前述のステータに3えの進行波の振動モードを
励起する場合の例を示す説明図であり、A部を基準とし
た場合、1/4え分離れたB部に位相が90°ずれた波
形とその逆相の波形を印加する事により実現できる。
励起する場合の例を示す説明図であり、A部を基準とし
た場合、1/4え分離れたB部に位相が90°ずれた波
形とその逆相の波形を印加する事により実現できる。
尚、本発明の意図は進行波と定在波を切り換える事にあ
るので、振動モードは前述の実施例のモードに限定する
ものではない。
るので、振動モードは前述の実施例のモードに限定する
ものではない。
第7図は本発明の波動モータの駆動回路の一例を示す回
路図であり2えの定在波と3えの進行波を切り換える場
合について説明する。この場合、発振回路は、2入用1
01aと3入用101bの2ケを有し、位相シフタ10
2は発振回路BIO1bの波形に対し、90°位相がず
れた波形を形成している。
路図であり2えの定在波と3えの進行波を切り換える場
合について説明する。この場合、発振回路は、2入用1
01aと3入用101bの2ケを有し、位相シフタ10
2は発振回路BIO1bの波形に対し、90°位相がず
れた波形を形成している。
以下、定在波の振動モードでステップ送りをする場合に
ついて説明する。第8区は第7図の■〜■の部分の信号
状態を示すタイミングチャートである。切換回路105
はステータ2に添付した振動子3の振動要素a−ρ、及
びそれらを駆動するドライバー回路106内のドライバ
ー19〜30に対応したスイッチ31〜42を有してい
る。スイッチ31〜42は連動しており、ステップ駆動
の場合は全てa側、即ち波形形成回路AlO3の側に倒
れている。制御回路100の出力信号■はステップ送り
をするタイミングであり、シフトレジスタ107と1/
6分周回路108により◎、◎、■の様に位相がずれた
信号を作り出している。発振回路A101aはステータ
2を共振させる為の信号のを送出しイクスクルーシブ素
子11.12.13によって順次位相を反転させた信号
の、G、[F]を形成している0本実施例においては第
4図に示した様な組み合わせをしており、例えば振動要
素30のd、e、f、j、h、I2に対し、a、b、c
、g、h、iを逆相で駆動する事に対応している。1ス
テツプ送る場合にはe、f、gt h、 I2、aに対
し、h、1、J、b、c、dは逆位相で駆動すれば良く
、順次組み合わせをずらしていく事により、ステップ駆
動が実現する。この場合、どの様な組み合わせてあって
も、対向する位置の振動要素、例えばaとgは同相で、
90゛ずれた位置、例えばdとjは常に逆相になってい
る。この様な関係をインバータ14.15.16を用い
た接続で実現している。
ついて説明する。第8区は第7図の■〜■の部分の信号
状態を示すタイミングチャートである。切換回路105
はステータ2に添付した振動子3の振動要素a−ρ、及
びそれらを駆動するドライバー回路106内のドライバ
ー19〜30に対応したスイッチ31〜42を有してい
る。スイッチ31〜42は連動しており、ステップ駆動
の場合は全てa側、即ち波形形成回路AlO3の側に倒
れている。制御回路100の出力信号■はステップ送り
をするタイミングであり、シフトレジスタ107と1/
6分周回路108により◎、◎、■の様に位相がずれた
信号を作り出している。発振回路A101aはステータ
2を共振させる為の信号のを送出しイクスクルーシブ素
子11.12.13によって順次位相を反転させた信号
の、G、[F]を形成している0本実施例においては第
4図に示した様な組み合わせをしており、例えば振動要
素30のd、e、f、j、h、I2に対し、a、b、c
、g、h、iを逆相で駆動する事に対応している。1ス
テツプ送る場合にはe、f、gt h、 I2、aに対
し、h、1、J、b、c、dは逆位相で駆動すれば良く
、順次組み合わせをずらしていく事により、ステップ駆
動が実現する。この場合、どの様な組み合わせてあって
も、対向する位置の振動要素、例えばaとgは同相で、
90゛ずれた位置、例えばdとjは常に逆相になってい
る。この様な関係をインバータ14.15.16を用い
た接続で実現している。
したがって本構成においては■のタイミングで30°ず
つステップ送りが可能であるが、振動要素の数とそれら
を駆動するタイミングを変更する事により異なった角度
で駆動する事もてきるので本実施例の組み合わせに限定
するものではない。
つステップ送りが可能であるが、振動要素の数とそれら
を駆動するタイミングを変更する事により異なった角度
で駆動する事もてきるので本実施例の組み合わせに限定
するものではない。
次に進行波の振動モードで連続回転をさせる場合につい
て説明する0発振回路B101bはステータ2に3λの
共振周波数で発振し、位相シック102は90°ずれた
信号を形成している。切換回路105のスイッチ31〜
42は連動してbの側に倒れている。波形形成回路B1
04はインバータ17.18を有し、発振回路B101
b及び位相シフタ1020反転波形を作り振動要素30
に供給している。したがって3尤の進行波の振動モード
が実現し、ロータは連続で回転するが、進行波の作り方
については各種方式が提案されており、本実施例に限定
するものではない。また本実施例においては定在波が2
え、進行波が3λの組み合わせについて詳述したが、定
在波と進行波が切り換えて励振できれば良いのであって
何らこの組み合わせに限定するものではない。
て説明する0発振回路B101bはステータ2に3λの
共振周波数で発振し、位相シック102は90°ずれた
信号を形成している。切換回路105のスイッチ31〜
42は連動してbの側に倒れている。波形形成回路B1
04はインバータ17.18を有し、発振回路B101
b及び位相シフタ1020反転波形を作り振動要素30
に供給している。したがって3尤の進行波の振動モード
が実現し、ロータは連続で回転するが、進行波の作り方
については各種方式が提案されており、本実施例に限定
するものではない。また本実施例においては定在波が2
え、進行波が3λの組み合わせについて詳述したが、定
在波と進行波が切り換えて励振できれば良いのであって
何らこの組み合わせに限定するものではない。
また、ステップ駆動の場合はノードの位置を移動させる
方向を逆にし、連続駆動の場合は、一方に印加する駆動
波形の位相を逆転して進行波の方向を逆にすれば逆転も
容易に実現できる。
方向を逆にし、連続駆動の場合は、一方に印加する駆動
波形の位相を逆転して進行波の方向を逆にすれば逆転も
容易に実現できる。
[発明の効果1
以上詳述した様に本発明によれば、フィードバック手段
等が不要なシーケンス制御でステップ駆動が可能な為、
回転位置制御が容易である。また、進行波による連続駆
動もできる為、滑らかな回転及び高速送りも可能である
。したがって、本発明の効果は絶大である。
等が不要なシーケンス制御でステップ駆動が可能な為、
回転位置制御が容易である。また、進行波による連続駆
動もできる為、滑らかな回転及び高速送りも可能である
。したがって、本発明の効果は絶大である。
第1図は本発明の概要を示すブロック図。
第2図は本発明の波動モータの構成例を示す断面図。
第3図は第2図におけるロータ、ステータ、振動子、振
動要素の関係を示す平面図。 第4図は2λの振動モードを励起する場合の励振の方法
を示す説明図。 第5図は3尤の振動モードを励起する場合の説明図。 第6図は、3尤の進行波の振動モードを励起する場合の
一例を示す説明図。 第7図は本発明の波動モータの駆動回路の一例を示す回
路図。 第8図は第7図の駆動回路のタイミングチャト。 100 ・ ・ 101 ・ ・ 102 ・ ・ 103 ・ ・ 106 ・ ・ 3 ・ ] ・ ・ a 2 a ・ ・制御回路 ・発振回路 ・位相シック ・波形形成回路へ 波形形成回1iJB 切換回路 ドライバ回路 ・ステータ ・振動子 振動要素 ・ロータ ・突起部 ・凸部 以上 第 図 第 図 第4 図 第 図 第5 図
動要素の関係を示す平面図。 第4図は2λの振動モードを励起する場合の励振の方法
を示す説明図。 第5図は3尤の振動モードを励起する場合の説明図。 第6図は、3尤の進行波の振動モードを励起する場合の
一例を示す説明図。 第7図は本発明の波動モータの駆動回路の一例を示す回
路図。 第8図は第7図の駆動回路のタイミングチャト。 100 ・ ・ 101 ・ ・ 102 ・ ・ 103 ・ ・ 106 ・ ・ 3 ・ ] ・ ・ a 2 a ・ ・制御回路 ・発振回路 ・位相シック ・波形形成回路へ 波形形成回1iJB 切換回路 ドライバ回路 ・ステータ ・振動子 振動要素 ・ロータ ・突起部 ・凸部 以上 第 図 第 図 第4 図 第 図 第5 図
Claims (1)
- 複数の振動要素から成る振動子を添付したステータの
微小振動により、前記ステータと接触するロータを摩擦
力で駆動する波動モータにおいて、前記振動要素の駆動
波形の位相を切り換える事により、前記ステータの振動
モードを定在波と進行波に選択可能にした事を特徴とす
る波動モータ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2150165A JP3018400B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 波動モータ |
| DE69030481T DE69030481T2 (de) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | Ultraschallmotor |
| KR1019900016594A KR910008930A (ko) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | 초음파 모터 |
| EP90311426A EP0424139B1 (en) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | Ultrasonic motor |
| US07/602,444 US5247220A (en) | 1989-10-20 | 1990-10-22 | Ultrasonic motor |
| US08/363,557 US5521455A (en) | 1989-10-20 | 1994-12-22 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2150165A JP3018400B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 波動モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0446573A true JPH0446573A (ja) | 1992-02-17 |
| JP3018400B2 JP3018400B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=15490929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2150165A Expired - Fee Related JP3018400B2 (ja) | 1989-10-20 | 1990-06-08 | 波動モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018400B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04236175A (ja) * | 1991-01-17 | 1992-08-25 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ |
| JP2011254661A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Hoya Corp | 超音波モータ |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP2150165A patent/JP3018400B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04236175A (ja) * | 1991-01-17 | 1992-08-25 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ |
| JP2011254661A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Hoya Corp | 超音波モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3018400B2 (ja) | 2000-03-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100107 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |