JPH0447225A - 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 - Google Patents
熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計Info
- Publication number
- JPH0447225A JPH0447225A JP2157100A JP15710090A JPH0447225A JP H0447225 A JPH0447225 A JP H0447225A JP 2157100 A JP2157100 A JP 2157100A JP 15710090 A JP15710090 A JP 15710090A JP H0447225 A JPH0447225 A JP H0447225A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- heater
- sensor
- temperature
- fluidic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、熱式流速センサ（以下「フローセンサ」とい
う）及びこのフローセンサを利用したフルイディック流
量計に関するものである。
う）及びこのフローセンサを利用したフルイディック流
量計に関するものである。
［従来の技術］
フローセンサは、第３図に示すように、被測定ガスの流
路ｌ内にヒータ２と温度センサ３．３ａ及びガス温度を
検出するための周囲温度センサ４を挿入し、周囲温度セ
ンサ４て検出されるガス塩から一足の温度たけヒータ２
の温度を上昇させ、温度センサ３．３ａの温度変化を検
知することにより、流速を計測する方式である。図中５
はヒータ駆動回路、６は流量検出回路である。
路ｌ内にヒータ２と温度センサ３．３ａ及びガス温度を
検出するための周囲温度センサ４を挿入し、周囲温度セ
ンサ４て検出されるガス塩から一足の温度たけヒータ２
の温度を上昇させ、温度センサ３．３ａの温度変化を検
知することにより、流速を計測する方式である。図中５
はヒータ駆動回路、６は流量検出回路である。
［従来技術の課題］
このため、ガスの組成（ガス種）か異なると、ヒータの
放熱量も異なることから、所謂感度か変化して計測誤差
を生む。第４図は１３Ａガスと空気に対する従来の７０
−センサの感度を示したものである。
放熱量も異なることから、所謂感度か変化して計測誤差
を生む。第４図は１３Ａガスと空気に対する従来の７０
−センサの感度を示したものである。
そこで、従来はあらかじめガス種に合わせてフローセン
サの感度調整を行フているか、この手続か面倒である。
サの感度調整を行フているか、この手続か面倒である。
又、都市ガスの場合にはカロリー調整のために数種類の
ガスを混合しており、この混合種が違ってくると感度に
影響することになるか、その都度フローセンサの感度調
整を行うことは実際上不可能である。
ガスを混合しており、この混合種が違ってくると感度に
影響することになるか、その都度フローセンサの感度調
整を行うことは実際上不可能である。
斯る点から、その都度感度調整を行わないで済むフロー
センサの提案が望まれている。
センサの提案が望まれている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、斯る点に鑑みて提案されるもので、その構成
は以下のとおりである。
は以下のとおりである。
１、ヒータを一定電力で駆動するように構成した熱式流
速センサ。
速センサ。
２．２つの温度センサの中間に挿入されるヒータを一定
電力で駆動する駆動電子回路と、前記温度センサて検出
される流速に起因する温度の変化を抵抗値として検出す
る検出電子回路と、前記検出電子回路で検出された抵抗
値から流量を演算する流量演算回路と、 から成る熱式流速センサとフルイディック素子とを組み
合わせて成るフルイディック流量計。
電力で駆動する駆動電子回路と、前記温度センサて検出
される流速に起因する温度の変化を抵抗値として検出す
る検出電子回路と、前記検出電子回路で検出された抵抗
値から流量を演算する流量演算回路と、 から成る熱式流速センサとフルイディック素子とを組み
合わせて成るフルイディック流量計。
なお、上記２つのガス流量計において、一定流量以上の
流量はフルイディック素子にて流量を検出し、以下につ
いてはｌに記載したフローセンサを用いて流量を検出す
るようにすると、夫々の特性を活かすことができる。
流量はフルイディック素子にて流量を検出し、以下につ
いてはｌに記載したフローセンサを用いて流量を検出す
るようにすると、夫々の特性を活かすことができる。
［作用］
ヒータに対しては一定電力を供給して発熱させ２温度セ
ンサでこのヒータの上流側と下流側の温度変化つまり抵
抗値を検出し、この抵抗値の変化を基に流量を演算する
。このように、ヒータを一定電力て駆動すると例えばガ
スの組成が変化することによりガスの吸熱量が変化して
もこれにつれてヒータ温度が上下して温度センサから発
散される熱量は変化しない。この結果、流速を同じくす
る組成の異なるガスに対しても同一の感度を示すことに
なる。第２図は１３Ａガスと空気に対する本発明フロー
センサの感度を示したちのて、第４図に示したヒータ温
度を一定にする従来のフローセンサに比較して、感度の
改善が認められる。
ンサでこのヒータの上流側と下流側の温度変化つまり抵
抗値を検出し、この抵抗値の変化を基に流量を演算する
。このように、ヒータを一定電力て駆動すると例えばガ
スの組成が変化することによりガスの吸熱量が変化して
もこれにつれてヒータ温度が上下して温度センサから発
散される熱量は変化しない。この結果、流速を同じくす
る組成の異なるガスに対しても同一の感度を示すことに
なる。第２図は１３Ａガスと空気に対する本発明フロー
センサの感度を示したちのて、第４図に示したヒータ温
度を一定にする従来のフローセンサに比較して、感度の
改善が認められる。
［実施例］
第１図に本発明に係るフローセンサを示す。符号の１は
ガスの流路、２はヒータ、３．３ａは温度センサ、７は
前記ヒータ２を駆動するためのヒータ駆動回路にｔ、て
、ヒータ２に対してはこの回路７から一定電力か供給さ
れ、温度センサ３．３ａて流速を検出し、これを基に流
量検出回路６において流量を演算する。
ガスの流路、２はヒータ、３．３ａは温度センサ、７は
前記ヒータ２を駆動するためのヒータ駆動回路にｔ、て
、ヒータ２に対してはこの回路７から一定電力か供給さ
れ、温度センサ３．３ａて流速を検出し、これを基に流
量検出回路６において流量を演算する。
［本発明の効果］
本発明によれば以上のように、ヒータを一定温度に上昇
させるのではなく、ヒータを一定電力で駆動するため、
ガス組成つまり被測定流体の放熱特性の変化に影響され
ない、感度良好なる７０−センサを得ることがてきる。
させるのではなく、ヒータを一定電力で駆動するため、
ガス組成つまり被測定流体の放熱特性の変化に影響され
ない、感度良好なる７０−センサを得ることがてきる。
第１図は本発明に係るフローセンサの実施例図、第２図
は本発明フローセンサを使用した場合の１３Ａガスと空
気との出力特性（感度）を示した説明図、第３図は従来
のフローセンサの説明図、第４図は従来のフローセンサ
を使用した場合の１３Ａガスと空気との出力特性 だ説明図である。 ｌ ・・・ ガスの通路 ２ ・・・ ヒータ ３．３ａ ・・・ 温度センサ ６ ・・・ 流量検出回路 ７ ・・・ ヒータ駆動回路 （感度） を示し 第１図 第２図 第３図 會 ＩＩ！Ｊ４図
は本発明フローセンサを使用した場合の１３Ａガスと空
気との出力特性（感度）を示した説明図、第３図は従来
のフローセンサの説明図、第４図は従来のフローセンサ
を使用した場合の１３Ａガスと空気との出力特性 だ説明図である。 ｌ ・・・ ガスの通路 ２ ・・・ ヒータ ３．３ａ ・・・ 温度センサ ６ ・・・ 流量検出回路 ７ ・・・ ヒータ駆動回路 （感度） を示し 第１図 第２図 第３図 會 ＩＩ！Ｊ４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ヒータを一定電力で駆動するように構成した熱式流
速センサ。 ２、２つの温度センサの中間に挿入されるヒータを一定
電力で駆動する駆動電子回路と、前記温度センサで検出
される流速に起因する温度の変化を抵抗値として検出す
る検出電子回路と、 前記検出電子回路で検出された抵抗値から流量を演算す
る流量演算回路と、 から成る熱式流速センサとフルイディック素子とを組み
合わせて成るフルイディック流量計。 ３、一定流量以上の流量はフルイディック素子にて流量
を検出し、以下については請求項１記載の熱式流速セン
サを用いて流量を検出する請求項２記載のフルイディッ
ク流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157100A JPH0447225A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157100A JPH0447225A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447225A true JPH0447225A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15642240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2157100A Pending JPH0447225A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447225A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106886A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
| JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
| JP2007332593A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Nittoc Constr Co Ltd | グラウト材注入システムおよびグラウト材 |
| KR100828005B1 (ko) * | 2007-09-17 | 2008-05-08 | 이승희 | 공기 유동량 검출장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443919A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-13 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ヒータ温度制御回路 |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP2157100A patent/JPH0447225A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443919A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-13 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ヒータ温度制御回路 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106886A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
| JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
| JP2007332593A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Nittoc Constr Co Ltd | グラウト材注入システムおよびグラウト材 |
| KR100828005B1 (ko) * | 2007-09-17 | 2008-05-08 | 이승희 | 공기 유동량 검출장치 |
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