JPH0447228A - 流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計 - Google Patents
流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計Info
- Publication number
- JPH0447228A JPH0447228A JP2157098A JP15709890A JPH0447228A JP H0447228 A JPH0447228 A JP H0447228A JP 2157098 A JP2157098 A JP 2157098A JP 15709890 A JP15709890 A JP 15709890A JP H0447228 A JPH0447228 A JP H0447228A
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- JP
- Japan
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- gas
- sensor
- temperature
- flow velocity
- gas composition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、熱式流速センサ（以下「フローセンサ」とい
う）及びこのフローセンサを低流量域での計測用に組み
込んだフルイディック流量計に関するものである。
う）及びこのフローセンサを低流量域での計測用に組み
込んだフルイディック流量計に関するものである。
［従来の技術］
フローセンサは、第３図に示すように、被測定ガスの流
路ｌ内にヒータ２と温度センサ３．３ａ及びガス温度を
検出するための周囲温度センサ４を挿入し、温度センサ
４て検出されるガス温から一定の温度だけヒータ２の温
度を上昇させ、温度センサ３．３ａの温度変化を検知す
ることにより、流速を計測する方式である。図中５はヒ
ータ駆動回路、６は流量検出回路である。
路ｌ内にヒータ２と温度センサ３．３ａ及びガス温度を
検出するための周囲温度センサ４を挿入し、温度センサ
４て検出されるガス温から一定の温度だけヒータ２の温
度を上昇させ、温度センサ３．３ａの温度変化を検知す
ることにより、流速を計測する方式である。図中５はヒ
ータ駆動回路、６は流量検出回路である。
［従来技術の課題］
このため、ガスの組成（ガス種）が異なると、ヒータの
放熱量も異なることから、所謂感度が変化して計測誤差
を生む。
放熱量も異なることから、所謂感度が変化して計測誤差
を生む。
そこで、従来はあらかしめガス種に合わせて二ローセン
サの感度調整を行っているが、この手表か面倒である。
サの感度調整を行っているが、この手表か面倒である。
又、都市ガスの場合にはカロリー調整のために数種類の
ガスを混合しており、こジ混合種か違ってくると感度に
影響することにな２か、その都度フローセンサの感度調
整を行うこきは実際上不可能である。
ガスを混合しており、こジ混合種か違ってくると感度に
影響することにな２か、その都度フローセンサの感度調
整を行うこきは実際上不可能である。
斯る点から、その都度感度調整を行わないでがむ所謂自
動感度調整機能付フローセンサの提案力望まれている。
動感度調整機能付フローセンサの提案力望まれている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、斯る点に鑑みて提案されるもので、その構成
は以下のとおりである。
は以下のとおりである。
１、被測定ガスの流速の影響を受けない位置にガス組成
検出温度センサを挿入し、このガス組成検出温度センサ
で検出されるガス組成に基づいてヒータの上昇温度を制
御することにより、ガス組成の変動て計測誤差を生じな
いように工夫した自動感度調整機能付流速センサ。
検出温度センサを挿入し、このガス組成検出温度センサ
で検出されるガス組成に基づいてヒータの上昇温度を制
御することにより、ガス組成の変動て計測誤差を生じな
いように工夫した自動感度調整機能付流速センサ。
２、一定流量以上の流量はフルイディック素子にて計測
し、以下の流量についてはフルイディック素子のノズル
部に挿入した流速センサて計測するように構成したフル
イディック流量計において、この流量計の一部であって
流速を感しない位置にガス組成検出温度センサを挿入し
、この温度センサで識別された組成に基づいて流速セン
サのヒータ温度の上昇を制御することにより、ガス組成
の変動で計測誤差を生じないように構成した流速センサ
付フルイディック流量計。
し、以下の流量についてはフルイディック素子のノズル
部に挿入した流速センサて計測するように構成したフル
イディック流量計において、この流量計の一部であって
流速を感しない位置にガス組成検出温度センサを挿入し
、この温度センサで識別された組成に基づいて流速セン
サのヒータ温度の上昇を制御することにより、ガス組成
の変動で計測誤差を生じないように構成した流速センサ
付フルイディック流量計。
流量計。
なお、上記構成において、組成検出温度センサはガス流
によっても放熱量が変化するので、ガス流の影響を受け
ないような工夫が必要である。この手段としては、組成
検出温度センサの上流側に防風カバーをつけるとか、非
常に細い金網で覆う等の手段か考えられる。
によっても放熱量が変化するので、ガス流の影響を受け
ないような工夫が必要である。この手段としては、組成
検出温度センサの上流側に防風カバーをつけるとか、非
常に細い金網で覆う等の手段か考えられる。
［作用］
組成検出温度センサには、僅かに電圧を印加してその抵
抗値からセンサ周囲の温度つまりガスの温度を測定する
。次に、この温度にしたがって温度センサをガスの温度
から一定温度たけ上昇するように電圧を印加する。この
ときセンサに投入される電力は、センサ表面における放
熱量の違いを反映するため、ガスの種類（組成）によっ
て放熱量か異なると、投入する電力が異なり、この値か
らガス種を判定できる。一方、フローセンサは、ヒータ
の上昇温度に比例した出力信号か得られることから、組
成検出温度センサへの投入電力にしたかってヒータの上
昇温度を制御すれば、フローセンサの出力信号は、ガス
の種類（組成）の影響を受けない。
抗値からセンサ周囲の温度つまりガスの温度を測定する
。次に、この温度にしたがって温度センサをガスの温度
から一定温度たけ上昇するように電圧を印加する。この
ときセンサに投入される電力は、センサ表面における放
熱量の違いを反映するため、ガスの種類（組成）によっ
て放熱量か異なると、投入する電力が異なり、この値か
らガス種を判定できる。一方、フローセンサは、ヒータ
の上昇温度に比例した出力信号か得られることから、組
成検出温度センサへの投入電力にしたかってヒータの上
昇温度を制御すれば、フローセンサの出力信号は、ガス
の種類（組成）の影響を受けない。
［実施例コ
第１図に本発明の実施例を示す。
１は都市ガスの流路、２はこの流路ｌ内に挿入されたフ
ローセンサのヒータ、３．３ａは温度センサ、７は流路
１内において、窪み８と金網９により形成された靜雰囲
気空間１０内に挿入された組成検出温度センサである。
ローセンサのヒータ、３．３ａは温度センサ、７は流路
１内において、窪み８と金網９により形成された靜雰囲
気空間１０内に挿入された組成検出温度センサである。
５はヒータ駆動回路、６は流量検出回路、１１はガス組
成判定回路にして、前記組成検出温度センサ７て検出さ
れたデータを基にガスの組成を判定し、この判定値に基
づいてヒータ駆動回路５に対してヒータ２の上昇温度を
制御（補正）する信号を送信する。
成判定回路にして、前記組成検出温度センサ７て検出さ
れたデータを基にガスの組成を判定し、この判定値に基
づいてヒータ駆動回路５に対してヒータ２の上昇温度を
制御（補正）する信号を送信する。
第２図はフルイディック素子１２内に本発明に係るフロ
ーセンサａを組み込んだ実施例にして、フルイディック
素子１２のノズル部１４内に７０−センサａを挿入し、
組成検出温度センサ７をノズル部１４の上流側コーナに
防風カバー１６て覆って形成した静雰囲気空間１５内に
挿入した構成である。１３は流体振動発生室である。な
お、図中からヒータ駆動回路５、流量検出回路６、ガス
組成判定回路１２は省略しであるが、各作用はすべて前
記第１図に示した実施例と同しである。
ーセンサａを組み込んだ実施例にして、フルイディック
素子１２のノズル部１４内に７０−センサａを挿入し、
組成検出温度センサ７をノズル部１４の上流側コーナに
防風カバー１６て覆って形成した静雰囲気空間１５内に
挿入した構成である。１３は流体振動発生室である。な
お、図中からヒータ駆動回路５、流量検出回路６、ガス
組成判定回路１２は省略しであるが、各作用はすべて前
記第１図に示した実施例と同しである。
［本発明の効果］
本発明は以上のように、ガスの組成を検出し、この組成
に基づいて自動的にヒータの温度を制御するようにした
。
に基づいて自動的にヒータの温度を制御するようにした
。
この結果、ガス種ごとに感度調整をいちいち行う必要か
ないと共に常時ガス組成を検出してヒー夕温度の制御を
行うことにより、例えば都市ガスのカロリー調整により
ガスの組成か変化したような場合でも、自動的に感度調
整か行われて流量の計測誤差を生じる心配がない。
ないと共に常時ガス組成を検出してヒー夕温度の制御を
行うことにより、例えば都市ガスのカロリー調整により
ガスの組成か変化したような場合でも、自動的に感度調
整か行われて流量の計測誤差を生じる心配がない。
第１図は本発明に係るフローセンサの実施例図、第２図
はノズル部に本発明に係るフローセンサを組み込んだフ
ルイディック素子の平面図、第３図はフローセンサの原
理説明図である。 １ ・・・ 流路 ２ ・・・ ヒータ３．
３ａ ・−温度センサ ４ ・・・ 周囲温度センサ ５ ・・・ ヒータ駆動回路 ６ ・・・ 流量検出回
路７ ・・・ 組成検出温度センサ １１・・・ 組成判定回路 １３・・−フルイディック素子 １４・・・ ノズル部 ａ ・・・ フローセン
サ第１ｍ１ ｊ１２ｒＩ！Ｊ
はノズル部に本発明に係るフローセンサを組み込んだフ
ルイディック素子の平面図、第３図はフローセンサの原
理説明図である。 １ ・・・ 流路 ２ ・・・ ヒータ３．
３ａ ・−温度センサ ４ ・・・ 周囲温度センサ ５ ・・・ ヒータ駆動回路 ６ ・・・ 流量検出回
路７ ・・・ 組成検出温度センサ １１・・・ 組成判定回路 １３・・−フルイディック素子 １４・・・ ノズル部 ａ ・・・ フローセン
サ第１ｍ１ ｊ１２ｒＩ！Ｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定ガスの流速の影響を受けない位置にガス組成
検出温度センサを挿入し、このガス組成検出温度センサ
で検出されるガス組成に基づいてヒータの上昇温度を制
御することにより、ガス組成の変動で計測誤差を生じな
いように工夫した自動感度調整機能付流速センサ。 ２、一定流量以上の流量はフルイディック素子にて計測
し、以下の流量についてはフルイディック素子のノズル
部に挿入した流速センサで計測するように構成したフル
イディック流量計において、この流量計の一部であって
流速を感じない位置にガス組成検出温度センサを挿入し
、この温度センサで識別された組成に基づいて流速セン
サのヒータ温度の上昇を制御することにより、ガス組成
の変動で計測誤差を生じないように構成した流速センサ
付フルイディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157098A JP2798184B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157098A JP2798184B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447228A true JPH0447228A (ja) | 1992-02-17 |
| JP2798184B2 JP2798184B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=15642202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2157098A Expired - Lifetime JP2798184B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 流速センサ及び流速センサ付フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2798184B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6474138B1 (en) | 2000-11-28 | 2002-11-05 | Honeywell International Inc. | Adsorption based carbon monoxide sensor and method |
| JP2007206083A (ja) * | 1997-10-15 | 2007-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス遮断装置 |
| WO2012147586A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | オムロン株式会社 | 流量測定装置 |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP2157098A patent/JP2798184B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007206083A (ja) * | 1997-10-15 | 2007-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス遮断装置 |
| US6474138B1 (en) | 2000-11-28 | 2002-11-05 | Honeywell International Inc. | Adsorption based carbon monoxide sensor and method |
| WO2012147586A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | オムロン株式会社 | 流量測定装置 |
| US9068871B2 (en) | 2011-04-28 | 2015-06-30 | Omron Corporation | Flow rate measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2798184B2 (ja) | 1998-09-17 |
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