JPH0447548A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH0447548A JPH0447548A JP15670890A JP15670890A JPH0447548A JP H0447548 A JPH0447548 A JP H0447548A JP 15670890 A JP15670890 A JP 15670890A JP 15670890 A JP15670890 A JP 15670890A JP H0447548 A JPH0447548 A JP H0447548A
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- magneto
- layer
- coercive force
- rare earth
- magnetic layer
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザービームと外部磁界を用いて、反転磁
区のビットを形成することによって、情報の記録を行い
、偏光されたレーザービームによって、磁気光学効果を
利用し、情報の読み出しを行う光磁気記録媒体に関する
。
区のビットを形成することによって、情報の記録を行い
、偏光されたレーザービームによって、磁気光学効果を
利用し、情報の読み出しを行う光磁気記録媒体に関する
。
消去可能な光メモリとして、光磁気メモリが知られてい
る。光磁気メモリは、従来の磁気ヘッドを使った磁気記
録媒体と比べて高密度記録、非接触での記録再生などが
可能であるという長所がある反面、記録前に一度記録部
分を消去しなければならない(一方向に着磁しなければ
ならない)という欠点があつた。この欠点を補う為に、
記録再生用ヘッドと消去用ヘッドを別々に設ける方式、
あるいは、特殊な交換結合二層膜と初期化用磁界を用い
たレーザーパワー変調オーバーライド方式などが提案さ
れている。
る。光磁気メモリは、従来の磁気ヘッドを使った磁気記
録媒体と比べて高密度記録、非接触での記録再生などが
可能であるという長所がある反面、記録前に一度記録部
分を消去しなければならない(一方向に着磁しなければ
ならない)という欠点があつた。この欠点を補う為に、
記録再生用ヘッドと消去用ヘッドを別々に設ける方式、
あるいは、特殊な交換結合二層膜と初期化用磁界を用い
たレーザーパワー変調オーバーライド方式などが提案さ
れている。
しかし、これらの方法は、装置が大がかりとなり、コス
ト高になるという欠点、あるいは大出力半導体レーザー
が必要で、またビットエツジ記録が困難であるという欠
点などを有する。
ト高になるという欠点、あるいは大出力半導体レーザー
が必要で、またビットエツジ記録が困難であるという欠
点などを有する。
そこで、レーザーの連続ビームを照射しつつ、同時に印
加する磁界を変調しながら記録する磁界変調オーバーラ
イド方式が提案されている。
加する磁界を変調しながら記録する磁界変調オーバーラ
イド方式が提案されている。
〔発明が解決しようとしている問題点〕磁界変調オーバ
ーライド方式では、大きな磁界を高速で変調することが
できない。したがって、小さな磁界でもオーバーライド
できる媒体が望まれる。
ーライド方式では、大きな磁界を高速で変調することが
できない。したがって、小さな磁界でもオーバーライド
できる媒体が望まれる。
低キユリー温度を有する高保磁力層と、高キュリー温度
を有する低保磁力層から成る交換結合二層膜は、高感度
と高いCN(キャリア対ノイズ)比とが両立した優れた
媒体であるが、室温とキュリー温度との間に補償温度を
有する希土類副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金
の高保磁力層と、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非
晶質合金の低保磁力層とから成る通常の交換結合二層膜
では、オーバーライド磁界が大きく、磁界変調オーバー
ライド方式用媒体としては適当ではなかった。
を有する低保磁力層から成る交換結合二層膜は、高感度
と高いCN(キャリア対ノイズ)比とが両立した優れた
媒体であるが、室温とキュリー温度との間に補償温度を
有する希土類副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金
の高保磁力層と、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非
晶質合金の低保磁力層とから成る通常の交換結合二層膜
では、オーバーライド磁界が大きく、磁界変調オーバー
ライド方式用媒体としては適当ではなかった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、磁界
変調オーバーライド方式に用いるのに適した光磁気記録
媒体を提供することにある。
変調オーバーライド方式に用いるのに適した光磁気記録
媒体を提供することにある。
本発明の上記目的は、垂直磁化可能な第1の磁性層と、
該第1の磁性層よりも高いキュリー温度および低い保磁
力を持つ第2の磁性層とを有し、これら第1の磁性層と
第2の磁性層とが交換結合して成る光磁気記録媒体にお
いて、前記第1の磁性層を、室温とそのキュリー温度と
の間に補償温度を有さない、希土類副格子磁化優勢な希
土類鉄族非晶質合金から形成し、且つ、前記第2の磁性
層が、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金か
ら形成することによって達成される。
該第1の磁性層よりも高いキュリー温度および低い保磁
力を持つ第2の磁性層とを有し、これら第1の磁性層と
第2の磁性層とが交換結合して成る光磁気記録媒体にお
いて、前記第1の磁性層を、室温とそのキュリー温度と
の間に補償温度を有さない、希土類副格子磁化優勢な希
土類鉄族非晶質合金から形成し、且つ、前記第2の磁性
層が、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金か
ら形成することによって達成される。
前記第1の磁性層は、以下の組成を有する合金から形成
されるのが望ましい。
されるのが望ましい。
((Tb、。。−Dy、)
(Fe100−Coy ) ) 100−t Cr。
O≦X≦100.0≦y≦40,0≦2≦10第1の磁
性層として、このような材料を用いると、特に記録特性
や記録情報の安定性が優れたものとなる。
性層として、このような材料を用いると、特に記録特性
や記録情報の安定性が優れたものとなる。
また、前記第2の磁性層は、以下の組成を有する合金か
ら形成されるのが望ましい。
ら形成されるのが望ましい。
(Gd (F’e 、、。−、−Co、−) ) t
oo−t・c r。
oo−t・c r。
ただし、0≦y゛≦50,0≦2°≦10第2の磁性層
として、このような材料を用いると、特に読み出し特性
が高いものとなる。
として、このような材料を用いると、特に読み出し特性
が高いものとなる。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は、本発明の光磁気記録媒体に一実施例を示す略
断面図である。第1図において、1はガラス、プラスチ
ックなどから形成される透明基板である。この基板1上
には、第1の保護層2、第2の磁性層3、第1の磁性層
4および第2の保護層5が、スパッタリング等によって
、順次形成されている。更に、第2の保護層5上には、
接着剤6によって、裏打ち用ダミー基板7が貼り合わさ
れている。このダミー基板7は、基板1と同様の材料が
用いられる。また、接着剤としては、ポットメルト接着
剤が適している。
断面図である。第1図において、1はガラス、プラスチ
ックなどから形成される透明基板である。この基板1上
には、第1の保護層2、第2の磁性層3、第1の磁性層
4および第2の保護層5が、スパッタリング等によって
、順次形成されている。更に、第2の保護層5上には、
接着剤6によって、裏打ち用ダミー基板7が貼り合わさ
れている。このダミー基板7は、基板1と同様の材料が
用いられる。また、接着剤としては、ポットメルト接着
剤が適している。
第1の磁性層(以下、高保磁力層と記す)4は、垂直磁
化可能であり、比較的低いキュリー温度と、室温におけ
る、比較的高い保磁力とを有している。この高保磁力層
4は、室温とそのキュリー温度との間に補償温度を有さ
ない、希土類副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金
から形成されている。
化可能であり、比較的低いキュリー温度と、室温におけ
る、比較的高い保磁力とを有している。この高保磁力層
4は、室温とそのキュリー温度との間に補償温度を有さ
ない、希土類副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金
から形成されている。
第2の磁性層(以下、低保磁力層と記す)3は、高保磁
力層4よりも高いキュリー温度および室温における低い
保磁力を有している。この低保磁力層3の材料としては
、鉄族副格子磁化優勢な、希土類−鉄族非晶質合金が用
いられる。また、この低保磁力層3は、高保磁力層4と
、互いに交換結合している。
力層4よりも高いキュリー温度および室温における低い
保磁力を有している。この低保磁力層3の材料としては
、鉄族副格子磁化優勢な、希土類−鉄族非晶質合金が用
いられる。また、この低保磁力層3は、高保磁力層4と
、互いに交換結合している。
保護層2および5は、第1および第2の磁性層への酸素
、水分の侵入を防ぎ、磁性層の酸化を防止するためのも
のである。このような保護層は、Six N4 、Si
O2,SiCなどの誘導体から形成される。
、水分の侵入を防ぎ、磁性層の酸化を防止するためのも
のである。このような保護層は、Six N4 、Si
O2,SiCなどの誘導体から形成される。
上記のように構成された記録媒体において、情報の記録
および再生は、基板1側から、磁性層にレーザービーム
を照射することによって行われる。この際、保護層2は
、ビームに対する反射防止層としての働きも示す。
および再生は、基板1側から、磁性層にレーザービーム
を照射することによって行われる。この際、保護層2は
、ビームに対する反射防止層としての働きも示す。
次に、上記磁性層の材料に関し、更に詳細に説明する。
前述の高保磁力層4の材料としては、保磁力を高くする
ために、希土類として非S状態元素であるTbやDyを
用いた、TbDy−F e Co −Crが良い。組成
としては、原子数比で、((Tb、。。−、Dy、) (F e 100−y Co、 ) ) +6
6−1 Cf @と表わした時、0≦x≦100、O
≦y≦40゜0≦2≦10の範囲が良い。膜厚としては
100〜2000人程度、さらに望ましくは400〜1
000人程度が良い。この高保磁力層のキュリー温度T
cと、Dyの原子数比xSCoの原子数比ySCrの原
子数比2との間にほぼTc=1.3 (100−x)
十o、7x+(4〜6)y−52(℃) という関係が得られた。
ために、希土類として非S状態元素であるTbやDyを
用いた、TbDy−F e Co −Crが良い。組成
としては、原子数比で、((Tb、。。−、Dy、) (F e 100−y Co、 ) ) +6
6−1 Cf @と表わした時、0≦x≦100、O
≦y≦40゜0≦2≦10の範囲が良い。膜厚としては
100〜2000人程度、さらに望ましくは400〜1
000人程度が良い。この高保磁力層のキュリー温度T
cと、Dyの原子数比xSCoの原子数比ySCrの原
子数比2との間にほぼTc=1.3 (100−x)
十o、7x+(4〜6)y−52(℃) という関係が得られた。
したがって、高保磁力層のキュリー温度が所望の値にな
るように、x、y、zの値を適宜選べばよい。
るように、x、y、zの値を適宜選べばよい。
光磁気メモリでは、レーザー光の熱作用を利用して情報
を記録するので、その磁性膜のキュリー温度が低いほど
記録感度が高くなる。交換結合二層磁性膜において記録
感度を決めるものは高保磁力層のキュリー温度であるの
で、高保磁力層のキュリー温度を下げれば記録感度が高
(なる。しかし、記録情報の安定性を考えると、高保磁
力層のキュリー温度はそれほどは下げられない。また、
記録情報の安定性を考える場合、室温のみならず、室温
よりもやや高い温度における安定性についても考える必
要がある。それは、光磁気メモリのドライブ装置内は、
様々な熱の発生源が存在するので、その中は50〜60
℃程度に温度が上昇することがあり、さらに情報の読み
出しにおいては、情報を記録しない程度の弱いレーザー
光を媒体に照射して読み出しを行うが、それでもある程
度の媒体の温度上昇は避けられないからである。また、
ドライブ装置の動作の都合上、記録・消去用のバイアス
磁界が印加された状態で読み出しをしなければならない
場合もあるためである。
を記録するので、その磁性膜のキュリー温度が低いほど
記録感度が高くなる。交換結合二層磁性膜において記録
感度を決めるものは高保磁力層のキュリー温度であるの
で、高保磁力層のキュリー温度を下げれば記録感度が高
(なる。しかし、記録情報の安定性を考えると、高保磁
力層のキュリー温度はそれほどは下げられない。また、
記録情報の安定性を考える場合、室温のみならず、室温
よりもやや高い温度における安定性についても考える必
要がある。それは、光磁気メモリのドライブ装置内は、
様々な熱の発生源が存在するので、その中は50〜60
℃程度に温度が上昇することがあり、さらに情報の読み
出しにおいては、情報を記録しない程度の弱いレーザー
光を媒体に照射して読み出しを行うが、それでもある程
度の媒体の温度上昇は避けられないからである。また、
ドライブ装置の動作の都合上、記録・消去用のバイアス
磁界が印加された状態で読み出しをしなければならない
場合もあるためである。
したがって、50〜60℃程度のドライブ装置の中で、
バイアス磁界の印加のもとで、読み出し光によってさら
に媒体の温度が上昇しても、記録情報が安定である必要
がある。これらをすべて考慮すると、高保磁力層のキュ
リー温度は150〜’)Q(1’fTL”iuf+<t
s#1.Iハ低保磁力層3の材料としては、保磁力を低
くするために、希土類にS状態元素であるGdを用いた
、Gd−FeCo−Crが良い。ただし、組成としては
、原子数比で (Gd (F e+++o−y Coy ) ) r
oo−t Cr。
バイアス磁界の印加のもとで、読み出し光によってさら
に媒体の温度が上昇しても、記録情報が安定である必要
がある。これらをすべて考慮すると、高保磁力層のキュ
リー温度は150〜’)Q(1’fTL”iuf+<t
s#1.Iハ低保磁力層3の材料としては、保磁力を低
くするために、希土類にS状態元素であるGdを用いた
、Gd−FeCo−Crが良い。ただし、組成としては
、原子数比で (Gd (F e+++o−y Coy ) ) r
oo−t Cr。
と表わしたとき、0≦y≦50.0≦2≦10の範囲で
、かつ高保磁力層のCoの組成比が低保磁力層のCoの
組成比よりも少なく、高保磁力層のCrの組成比が低保
磁力層のCrの組成比よりも多いものが望ましい。膜厚
としては、100〜2000人程度、さらに望ましくは
、200〜600人程度が良い。
、かつ高保磁力層のCoの組成比が低保磁力層のCoの
組成比よりも少なく、高保磁力層のCrの組成比が低保
磁力層のCrの組成比よりも多いものが望ましい。膜厚
としては、100〜2000人程度、さらに望ましくは
、200〜600人程度が良い。
希土類−鉄族非晶質合金薄膜の可視域の波長における磁
気光学効果は、主に鉄族元素の磁気光学効果によってい
て、室温付近における鉄族磁気モーメントはF e y
。Cos。程度の組成で最大となり、Coがそれより少
ないと鉄族磁気モーメントはかなり減少し、Coがそれ
よりも多いと鉄族磁気モーメントはやや減少する。した
がって、C。
気光学効果は、主に鉄族元素の磁気光学効果によってい
て、室温付近における鉄族磁気モーメントはF e y
。Cos。程度の組成で最大となり、Coがそれより少
ないと鉄族磁気モーメントはかなり減少し、Coがそれ
よりも多いと鉄族磁気モーメントはやや減少する。した
がって、C。
の鉗鱈は−Feに対して30原子%前後かそれ以上が良
い。
い。
上記説明では、高保磁力層及び低保磁力層に適した材料
として、Co及びCrを含有した合金を挙げた。以下、
この添加元素Co及びCrの効果について説明する。
として、Co及びCrを含有した合金を挙げた。以下、
この添加元素Co及びCrの効果について説明する。
希土類−鉄族非晶質合金薄膜を用いた光磁気記録媒体は
、その耐久性が悪く、希土類元素の選択的酸化、磁性膜
の表面酸化、孔食などの問題があり、この点に関してさ
まざまな改善方法の提案がなされている。その一つに磁
性膜自身の耐久性を向上させることを目的とした元素添
加がある(例えば、日本応用磁気学会誌9 (1985
)93)。
、その耐久性が悪く、希土類元素の選択的酸化、磁性膜
の表面酸化、孔食などの問題があり、この点に関してさ
まざまな改善方法の提案がなされている。その一つに磁
性膜自身の耐久性を向上させることを目的とした元素添
加がある(例えば、日本応用磁気学会誌9 (1985
)93)。
添加元素の例としてはCr、AI、Ti、Ni。
Co、Ptなどがある。
耐久性向上のための元素添加を考えた場合、その効果だ
けを考えればCrが最も良いが、キュリー温度が低下し
、かつ磁気光学効果が低下する欠点がある。キュリー温
度が低下すると、記録感度は高くなるが、温度上昇に対
する記録情報の安定性が悪(なるので、不必要なキュリ
ー温度の低下は好ましくない。また、磁気光学効果の低
下は、読み出し特性が悪(なるのでやはり好ましくない
。
けを考えればCrが最も良いが、キュリー温度が低下し
、かつ磁気光学効果が低下する欠点がある。キュリー温
度が低下すると、記録感度は高くなるが、温度上昇に対
する記録情報の安定性が悪(なるので、不必要なキュリ
ー温度の低下は好ましくない。また、磁気光学効果の低
下は、読み出し特性が悪(なるのでやはり好ましくない
。
耐久性向上のための他の元素としてはCOがあるが、耐
久性の向上の効果がCrよりも劣る。また、磁気光学効
果は増加するものの、これはキュリー温度の上昇を伴な
い、その結果記録感度の低下をもたらす。
久性の向上の効果がCrよりも劣る。また、磁気光学効
果は増加するものの、これはキュリー温度の上昇を伴な
い、その結果記録感度の低下をもたらす。
CrとCoの両元素の添加を考えると、Crの添加によ
るキュリー温度の低下を、Coの添加によって防ぐこと
ができるが、キュリー温度を変わらないようにしても、
磁気光学効果はやはり低下する。
るキュリー温度の低下を、Coの添加によって防ぐこと
ができるが、キュリー温度を変わらないようにしても、
磁気光学効果はやはり低下する。
交換結合二層膜では、高保磁力層は情報の記録及び情報
の保持のみを行うので、高保磁力層はキュリー温度が適
当に低い必要があるが、読み出しには関係ないので、そ
の磁気光学効果はいくら低くても構わない。一方、低保
磁力層は情報の読み出しのみを行うので、低保磁力層は
磁気光学効果が大きい必要があるが、記録には関係ない
ので、そのキュリー温度はいくら高(でも構わない。
の保持のみを行うので、高保磁力層はキュリー温度が適
当に低い必要があるが、読み出しには関係ないので、そ
の磁気光学効果はいくら低くても構わない。一方、低保
磁力層は情報の読み出しのみを行うので、低保磁力層は
磁気光学効果が大きい必要があるが、記録には関係ない
ので、そのキュリー温度はいくら高(でも構わない。
この点に注目して、高保磁力層では、Coを少量、Cr
を多量に添加し、磁気光学効果は低下するものの、キュ
リー温度を変化させないようにして、大きな耐久性の効
果を得るのが望ましい。この磁気光学効果の低下は、読
み出し特性に影響を与えない。
を多量に添加し、磁気光学効果は低下するものの、キュ
リー温度を変化させないようにして、大きな耐久性の効
果を得るのが望ましい。この磁気光学効果の低下は、読
み出し特性に影響を与えない。
一方、低保磁力層では、COを多量に添加し、Crを少
量添加、あるいはCrを添加しないことにより、キュリ
ー温度は高くなるものの、磁気光学効果を低下させない
ようにして、大きな耐久性の効果を得るのが望ましい。
量添加、あるいはCrを添加しないことにより、キュリ
ー温度は高くなるものの、磁気光学効果を低下させない
ようにして、大きな耐久性の効果を得るのが望ましい。
このキュリー温度の上昇は、記録感度に影響を与えない
。
。
したがって、高保磁力層のCoの組成比が、低保磁力層
のCoの組成比よりも少なく、かつ、高保磁力層のCr
の組成比が、低保磁力層のCrの組成比よりも多いこと
が望ましい。
のCoの組成比よりも少なく、かつ、高保磁力層のCr
の組成比が、低保磁力層のCrの組成比よりも多いこと
が望ましい。
ただし、製造プロセスのクリーン化が進み、腐4>f−
i’!ljし↓コづトトスかりルーJ、<ぬ工今日1っ
Aし7μ、二、t−φ−1^ば、Crの添加は必要ない
。
i’!ljし↓コづトトスかりルーJ、<ぬ工今日1っ
Aし7μ、二、t−φ−1^ば、Crの添加は必要ない
。
実」L伝」−
通常のマグネトロンスパッタリング法を用いて、第1図
に示す構成の本発明の光磁気記録媒体を作製した。基板
1及びダミー基板7には、130mmφのディスク状ポ
リカーボネイト(PC)基板を用いた。また、接着剤6
としてはホットメルト(HM)接着剤を用いた。
に示す構成の本発明の光磁気記録媒体を作製した。基板
1及びダミー基板7には、130mmφのディスク状ポ
リカーボネイト(PC)基板を用いた。また、接着剤6
としてはホットメルト(HM)接着剤を用いた。
保護層2及び5は、屈折率約2.2〜2.3のSiNよ
り形成した。保護層2の膜厚は約500人、保護層5の
膜厚は約700人、膜応力は約10〜30kg/mrr
rの圧縮応力とした。これらの保護層は、Si3N4の
ターゲットを用い、ArとN2の混合ガスを用いてRF
スパッタリングによって形成した。屈折率はArとN、
ガスの混合比を変えることにより制御し、膜応力はAr
十N2ガスのガス圧を変えることにより制御した。上記
の屈折率と膜応力を得るためには、N2を約1%添加し
、A r 十N !ガス圧を約0.1屈折率は、2.2
より小さいと、光の干渉効果が小さく反射率が下がらず
、そのため感度が悪く、またCN比も悪くなる。2.3
より大きいと、SiNに吸収が現われ、そのためCN比
が悪くなる。膜応力は、10〜30kg/mtr?より
小さいと、磁性層の構造緩和が大きくなり、そのため信
頼性が悪くなる。10〜30kg/mrr?より大きい
と、PC基板にかかる力が大きくなり、そのためディス
クが反ってしまう。磁性層の構造緩和に対する膜応力の
影響は、保護層5よりも保護層2の方が大きい。すなわ
ち、保護層2の膜応力が小さいと構造緩和が大きいが、
保護層5の膜応力が小さくても構造緩和はあまり大きく
ない。したがって、構造緩和を小さく、かつディスクの
反りを小さくするためには、保護層2の膜応力を比較的
大きく、保護層5の膜応力を比較的小さくすることが望
ましい。
り形成した。保護層2の膜厚は約500人、保護層5の
膜厚は約700人、膜応力は約10〜30kg/mrr
rの圧縮応力とした。これらの保護層は、Si3N4の
ターゲットを用い、ArとN2の混合ガスを用いてRF
スパッタリングによって形成した。屈折率はArとN、
ガスの混合比を変えることにより制御し、膜応力はAr
十N2ガスのガス圧を変えることにより制御した。上記
の屈折率と膜応力を得るためには、N2を約1%添加し
、A r 十N !ガス圧を約0.1屈折率は、2.2
より小さいと、光の干渉効果が小さく反射率が下がらず
、そのため感度が悪く、またCN比も悪くなる。2.3
より大きいと、SiNに吸収が現われ、そのためCN比
が悪くなる。膜応力は、10〜30kg/mtr?より
小さいと、磁性層の構造緩和が大きくなり、そのため信
頼性が悪くなる。10〜30kg/mrr?より大きい
と、PC基板にかかる力が大きくなり、そのためディス
クが反ってしまう。磁性層の構造緩和に対する膜応力の
影響は、保護層5よりも保護層2の方が大きい。すなわ
ち、保護層2の膜応力が小さいと構造緩和が大きいが、
保護層5の膜応力が小さくても構造緩和はあまり大きく
ない。したがって、構造緩和を小さく、かつディスクの
反りを小さくするためには、保護層2の膜応力を比較的
大きく、保護層5の膜応力を比較的小さくすることが望
ましい。
低保磁力層3は、(G d (F e 70CO31
1))98Cr、から成り、飽和磁化は約50〜150
emu / c gの鉄族副格子磁化優勢である。膜厚
は約400人、膜応力は約10〜30 K g / m
rr?の圧縮応力である。この低保磁力層は、Gdと
(F e 76COso) *tCr sのターゲット
を用い、Arガスを用いてRF同時スパッタリングによ
って形成された。組成、すなわち飽和磁化はGdと(F
e 70COno) etc r sのターゲットに
加えられるRF電力を変えることにより制御し、膜応力
はArガスのガス圧を変えることにより制御した。上記
の膜応力を得るためには、Arガス圧を約0.15Pa
とした。
1))98Cr、から成り、飽和磁化は約50〜150
emu / c gの鉄族副格子磁化優勢である。膜厚
は約400人、膜応力は約10〜30 K g / m
rr?の圧縮応力である。この低保磁力層は、Gdと
(F e 76COso) *tCr sのターゲット
を用い、Arガスを用いてRF同時スパッタリングによ
って形成された。組成、すなわち飽和磁化はGdと(F
e 70COno) etc r sのターゲットに
加えられるRF電力を変えることにより制御し、膜応力
はArガスのガス圧を変えることにより制御した。上記
の膜応力を得るためには、Arガス圧を約0.15Pa
とした。
膜応力は、10〜30kg/mrr?より小さいと、磁
性層の構造緩和が大きくなり、そのため信頼性が悪くな
る。10〜30kg/mrr+’より大きいと、PC基
板にかかる力が大きくなり、そのためディスクが反って
しまう。
性層の構造緩和が大きくなり、そのため信頼性が悪くな
る。10〜30kg/mrr+’より大きいと、PC基
板にかかる力が大きくなり、そのためディスクが反って
しまう。
高保磁力層4は、(Tb −(F es2cOa ))
isCr 4から成り、飽和磁化は約200 = m
u /crdの希土類副格子磁化優勢である。膜厚は約
400人、膜応力は約10〜30Kg/mrrI′の圧
縮応力である。この高保磁力層はTbと(Fe*2Co
g)oacrsのターゲットを用い、Arガスを用いて
RF同時スパッタリングによって形成された。組成、す
なわち飽和磁化はTbと(FeezCOs ) 95C
r sのターゲットに加えられるRF電力を変えること
により制御し、膜応力はArガスのガス圧を変えること
により制御した。上記の膜応力を得るためには、Arガ
ス圧を約0.15Paとした。
isCr 4から成り、飽和磁化は約200 = m
u /crdの希土類副格子磁化優勢である。膜厚は約
400人、膜応力は約10〜30Kg/mrrI′の圧
縮応力である。この高保磁力層はTbと(Fe*2Co
g)oacrsのターゲットを用い、Arガスを用いて
RF同時スパッタリングによって形成された。組成、す
なわち飽和磁化はTbと(FeezCOs ) 95C
r sのターゲットに加えられるRF電力を変えること
により制御し、膜応力はArガスのガス圧を変えること
により制御した。上記の膜応力を得るためには、Arガ
ス圧を約0.15Paとした。
膜応力は、10〜30 k g / m rr?より小
さいと磁性層の構造緩和が太き(なり、そのため信頼性
が悪くなる。10〜30kg/mrr+’より大きいと
PC基板にかかる力が大きくなり、そのためディスクが
反ってしまう。
さいと磁性層の構造緩和が太き(なり、そのため信頼性
が悪くなる。10〜30kg/mrr+’より大きいと
PC基板にかかる力が大きくなり、そのためディスクが
反ってしまう。
接着剤6を用いて、ダミー基板7を張り合わせるのは、
基板1の平面性を保つとともに、保護層、磁性層に機械
的な傷が付くのを防ぐためである。一般に、成膜直後の
PC基板の吸湿量は非常に少なく、室内に放置されてい
るPC基板の吸湿量はかなり多い。したがって、成膜直
後すぐに室内に放置されているダミーPC基板を張り合
わせると、ディスクPC基板とダミーpcs板の吸湿量
にアンバランスが生じる。そして、その後、ディスクP
C基板にのみ吸湿が起るので、ディスクが反ってしまう
。そのために、成膜後のディスクPC基板は24時間程
度以上室内に放置、て、充分吸湿させた後、ダミーpc
基板と張り合わせるのが望ましい。
基板1の平面性を保つとともに、保護層、磁性層に機械
的な傷が付くのを防ぐためである。一般に、成膜直後の
PC基板の吸湿量は非常に少なく、室内に放置されてい
るPC基板の吸湿量はかなり多い。したがって、成膜直
後すぐに室内に放置されているダミーPC基板を張り合
わせると、ディスクPC基板とダミーpcs板の吸湿量
にアンバランスが生じる。そして、その後、ディスクP
C基板にのみ吸湿が起るので、ディスクが反ってしまう
。そのために、成膜後のディスクPC基板は24時間程
度以上室内に放置、て、充分吸湿させた後、ダミーpc
基板と張り合わせるのが望ましい。
比較の為、高保磁力層として、飽和磁化約100 e
m u / c rdの希土類副格子磁化優勢である(
rb (F”e、、Coa ) ) sac ra膜
を用いた他は、上記実施例と同一の構成の光磁気記録媒
体を作製した。
m u / c rdの希土類副格子磁化優勢である(
rb (F”e、、Coa ) ) sac ra膜
を用いた他は、上記実施例と同一の構成の光磁気記録媒
体を作製した。
ここで作製された光磁気記録媒体の反射率は、フラット
部において約25%であった。光磁気記録媒体のオーバ
ーライド磁界の実験の説明を行う前に、Tb−F e
Co−Crの飽和磁化に対するキュリー温度と補償温度
の関係を説明する。
部において約25%であった。光磁気記録媒体のオーバ
ーライド磁界の実験の説明を行う前に、Tb−F e
Co−Crの飽和磁化に対するキュリー温度と補償温度
の関係を説明する。
第2図は、上記光磁気記録媒体の高保磁力層の成膜に際
して、TbとFeCo−Crのターゲットに加えるRF
電力を変えて作製した試料について、飽和磁化に対する
キュリー温度と補償温度の関係を示している。飽和磁化
は、振動試料型磁力計により、また、キュリー温度と補
償温度は、温度可変型の磁気光学カー効果測定装置によ
り測定した。
して、TbとFeCo−Crのターゲットに加えるRF
電力を変えて作製した試料について、飽和磁化に対する
キュリー温度と補償温度の関係を示している。飽和磁化
は、振動試料型磁力計により、また、キュリー温度と補
償温度は、温度可変型の磁気光学カー効果測定装置によ
り測定した。
キュリー温度とは、自発副格子磁化が消失する温度であ
り、補償温度は、自発副格子磁化は存在するが、希土類
副格子磁化と鉄族副格子磁化の大きさが同じで符号が異
なり、見かけ上白発磁化が消失する温度である。飽和磁
化は、室温において定義されるので、飽和磁化がOの組
成は、室温に補償温度を持つ組成であるといえる。
り、補償温度は、自発副格子磁化は存在するが、希土類
副格子磁化と鉄族副格子磁化の大きさが同じで符号が異
なり、見かけ上白発磁化が消失する温度である。飽和磁
化は、室温において定義されるので、飽和磁化がOの組
成は、室温に補償温度を持つ組成であるといえる。
補償温度を境にして、それよりも高い温度では鉄族副格
子磁化優勢になる。したがって、室温において鉄族副格
子磁化優勢なものは、キュリー温度まで鉄族副格子磁化
優勢である。また、室温において希土類副格子磁化優勢
なものは、補償温度まで希土類副格子磁化優勢であり、
補償温度からキュリー温度までは鉄族副格子磁化優勢に
変わる。室温において希土類副格子磁化優勢であり、室
温とキュリー温度の間に補償温度を持たないものは、室
温からキュリー温度まで希土類副格子磁化優勢である。
子磁化優勢になる。したがって、室温において鉄族副格
子磁化優勢なものは、キュリー温度まで鉄族副格子磁化
優勢である。また、室温において希土類副格子磁化優勢
なものは、補償温度まで希土類副格子磁化優勢であり、
補償温度からキュリー温度までは鉄族副格子磁化優勢に
変わる。室温において希土類副格子磁化優勢であり、室
温とキュリー温度の間に補償温度を持たないものは、室
温からキュリー温度まで希土類副格子磁化優勢である。
第2図より、希土類副格子磁化優勢で飽和磁化が約15
0 e m u / rd以下のものは、室温とキュリ
ー温度の間に補償温度が存在し、約150emu /
c rr?以上のものは、補償温度が存在しない。
0 e m u / rd以下のものは、室温とキュリ
ー温度の間に補償温度が存在し、約150emu /
c rr?以上のものは、補償温度が存在しない。
補償温度が存在するかしないかの境界の飽和磁化は、こ
の場合は約150emu/crriであるが、これはC
oやCrの濃度の違いなどによって変化する。
の場合は約150emu/crriであるが、これはC
oやCrの濃度の違いなどによって変化する。
以上より、比較例として作製した媒体の、飽和磁化約1
0100e/crrrの希土類副格子磁化優勢なTb−
FeCo−Cr高保磁力層は、補償温度を持つが、本発
明の実施例である媒体の、飽和磁化200emυ/ c
nfの希土類副格子磁化優勢なTb−F e Co−
Cr高保磁力層は、補償温度を持たない。
0100e/crrrの希土類副格子磁化優勢なTb−
FeCo−Cr高保磁力層は、補償温度を持つが、本発
明の実施例である媒体の、飽和磁化200emυ/ c
nfの希土類副格子磁化優勢なTb−F e Co−
Cr高保磁力層は、補償温度を持たない。
上記のように作製された実施例及び比較例に対し、オー
バーライドに必要な磁界の大きさを測定した。このオー
バーライド磁界の測定では、波長830nmの半導体レ
ーザーと開口数0.52の対物レンズを持つ評価機を用
い、ディスク回転数1.800rpm、半径45mmの
位置において行った。
バーライドに必要な磁界の大きさを測定した。このオー
バーライド磁界の測定では、波長830nmの半導体レ
ーザーと開口数0.52の対物レンズを持つ評価機を用
い、ディスク回転数1.800rpm、半径45mmの
位置において行った。
評価の方法は、まず、−1,0000eのバイアス磁界
を印加しながら連続光を照射して、消去を行い、磁化を
一方向に揃える。次に、あるデバイス磁界を印加しなが
らパルス光を照射して、記録を行う。そして、その部分
を読み出し、キャリアとノイズを測定する。以上を−6
000eから600 0eまでのバイアス磁界について
行った結果、が第3図と第4図である。第3図は、飽和
磁化200 e m u / c gの希土類副格子磁
化優勢な、補償温度を持たないTb−FeCo−Cr高
保磁力層を有する本発明の媒体に関する結果である。一
方、第4図は、飽和磁化約10100e/crTI′の
希土類副格子磁化優勢な、補償温度を持つTb−FeC
o−Cr高保磁力層を有する比較例である。図中、Cは
キャリア、Nはノイズを示す。
を印加しながら連続光を照射して、消去を行い、磁化を
一方向に揃える。次に、あるデバイス磁界を印加しなが
らパルス光を照射して、記録を行う。そして、その部分
を読み出し、キャリアとノイズを測定する。以上を−6
000eから600 0eまでのバイアス磁界について
行った結果、が第3図と第4図である。第3図は、飽和
磁化200 e m u / c gの希土類副格子磁
化優勢な、補償温度を持たないTb−FeCo−Cr高
保磁力層を有する本発明の媒体に関する結果である。一
方、第4図は、飽和磁化約10100e/crTI′の
希土類副格子磁化優勢な、補償温度を持つTb−FeC
o−Cr高保磁力層を有する比較例である。図中、Cは
キャリア、Nはノイズを示す。
第4図では、−4000e程度からキャリアが立ち上が
り、200 0e程度で飽和している。このことは、オ
ーバーライドのためには±400 0e以上の磁界を必
要とすることを示している。一方、第3図では、−30
00e程度からキャリアが立ち上がり、200 0e程
度で飽和している。このことは、オーバーライドのため
には±300 0e以上の磁界でよいことを示している
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
り、200 0e程度で飽和している。このことは、オ
ーバーライドのためには±400 0e以上の磁界を必
要とすることを示している。一方、第3図では、−30
00e程度からキャリアが立ち上がり、200 0e程
度で飽和している。このことは、オーバーライドのため
には±300 0e以上の磁界でよいことを示している
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
支丘且ス
高保磁力層として、飽和磁化200emu/cgの希土
類副格子磁化優勢な((T b aoD V 6゜)−
(FesyCo+5))e6cr<を用いた以外は、実
施例1と全く同一の構成の光磁気記録媒体を作製した。
類副格子磁化優勢な((T b aoD V 6゜)−
(FesyCo+5))e6cr<を用いた以外は、実
施例1と全く同一の構成の光磁気記録媒体を作製した。
また、比較例として、高保磁力層のみを、飽和磁化約1
00 e m u / c rdの希土類副格子磁化優
勢な((T b −、D v 、−)−(Fρ−C00
))*aCrn膜に変更した媒体を作製した。これらの
媒体には、T b ioD yaoと(FestCO1
3) ) esc r !のターゲットを用いた。
00 e m u / c rdの希土類副格子磁化優
勢な((T b −、D v 、−)−(Fρ−C00
))*aCrn膜に変更した媒体を作製した。これらの
媒体には、T b ioD yaoと(FestCO1
3) ) esc r !のターゲットを用いた。
次に、この実施例と比較例に対して、オーバーライドに
必要な磁界の大きさを、実施例1と同一の方法で測定し
た。
必要な磁界の大きさを、実施例1と同一の方法で測定し
た。
比較例では、バイアス磁界が−3500e程度からキャ
リアが立ち上がり、150 0e程度で飽和している。
リアが立ち上がり、150 0e程度で飽和している。
従って、オーバーライドのためには±350 0e以上
の磁界を必要とする。
の磁界を必要とする。
方、実施例では、−1500e程度からキャリアが立ち
上がり、150 0e程度で飽和している。従って、オ
ーバーライドのためには±1500e以上の磁界でよい
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
上がり、150 0e程度で飽和している。従って、オ
ーバーライドのためには±1500e以上の磁界でよい
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
支五五ユ
高保磁力層として、飽和磁化200emu/cgの希土
類副格子磁化優勢な(D y (F e s□COz
) ) 9ec r aを用いた以外は、実施例1と全
く同一の構成の光磁気記録媒体を作製し、た。また、比
較例として、高保磁力層のみを、飽和磁化約100 e
m u / c rrrの希土類副格子磁化優勢な(
Dy−(Fe82CO18) )sec r4膜に変更
した媒体を作製した。これらの媒体の作製には、Dyと
(F e B2CO+s) sac r 5のターゲッ
トを用いた。
類副格子磁化優勢な(D y (F e s□COz
) ) 9ec r aを用いた以外は、実施例1と全
く同一の構成の光磁気記録媒体を作製し、た。また、比
較例として、高保磁力層のみを、飽和磁化約100 e
m u / c rrrの希土類副格子磁化優勢な(
Dy−(Fe82CO18) )sec r4膜に変更
した媒体を作製した。これらの媒体の作製には、Dyと
(F e B2CO+s) sac r 5のターゲッ
トを用いた。
次に、この実施例と比較例に対して、オーバーライドに
必要な磁界の大きさを、実施例1と同一の方法で測定し
た。
必要な磁界の大きさを、実施例1と同一の方法で測定し
た。
比較例では、バイアス磁界が−4000e程度からキャ
リアが立ち上がり、150 0e程度で飽和している。
リアが立ち上がり、150 0e程度で飽和している。
従って、オーバーライドのためには±400 0e以上
の磁界を必要とする。
の磁界を必要とする。
方、実施例では、−2000e程度からキャリアが立ち
上がり、150 0e程度で飽和している。従って、オ
ーバーライドのためには±2000e以上の磁界でよい
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
上がり、150 0e程度で飽和している。従って、オ
ーバーライドのためには±2000e以上の磁界でよい
。すなわち、本発明の交換結合二層膜を用いることによ
り、オーバーライド磁界を低減できる効果があることが
わかる。
以上説明したように、本発明は、室温とそのキュリー温
度との間に補償温度を有さない、希土類副格子磁化優勢
な希土類−鉄族非晶質合金から成る高保磁力層と、鉄族
副格子磁化優勢な希土類鉄族非晶質合金から成る低保磁
力層とから光磁気記録媒体を構成することによって、こ
の媒体に磁界変調オーバーライド方式で記録を行う際に
、バイアス磁界を低減出来る効果が得られたものである
。
度との間に補償温度を有さない、希土類副格子磁化優勢
な希土類−鉄族非晶質合金から成る高保磁力層と、鉄族
副格子磁化優勢な希土類鉄族非晶質合金から成る低保磁
力層とから光磁気記録媒体を構成することによって、こ
の媒体に磁界変調オーバーライド方式で記録を行う際に
、バイアス磁界を低減出来る効果が得られたものである
。
第1図は本発明の光磁気記録媒体の一実施例の構成を示
す略断面図、第2図はTb−FeCo−Cr膜における
飽和磁化に対するキュリー温度と補償温度の変化を示す
図、第3図は本発明の実施例におけるバイアス磁界に対
するキャリアとノイズの変化を示す図、第4図は比較例
におけるバイアス磁界に対するキャリアとノイズの変化
を示す図である。 1・・・基板 2.5・・・保護層 3・・・第2の磁性層 4・・・第1の磁性層 6・・・接着剤 7・・・ダミー基板 第2図 温度(C) く−鉄族副格子磁化優勢 希土類副格子磁化優勢一一一
す略断面図、第2図はTb−FeCo−Cr膜における
飽和磁化に対するキュリー温度と補償温度の変化を示す
図、第3図は本発明の実施例におけるバイアス磁界に対
するキャリアとノイズの変化を示す図、第4図は比較例
におけるバイアス磁界に対するキャリアとノイズの変化
を示す図である。 1・・・基板 2.5・・・保護層 3・・・第2の磁性層 4・・・第1の磁性層 6・・・接着剤 7・・・ダミー基板 第2図 温度(C) く−鉄族副格子磁化優勢 希土類副格子磁化優勢一一一
Claims (3)
- (1)垂直磁化可能な第1の磁性層と、該第1の磁性層
よりも高いキュリー温度および低い保磁力を持つ第2の
磁性層とを有し、これら第1の磁性層と第2の磁性層と
が交換結合して成る光磁気記録媒体において、 前記第1の磁性層が、室温とそのキュリー温度との間に
補償温度を有さない、希土類副格子磁化優勢な希土類−
鉄族非晶質合金から成り、且つ、前記第2の磁性層が、
鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金から成る
ことを特徴とする光磁気記録媒体。 - (2)前記第1の磁性層が、以下の組成 ((Tb_1_0_0_−_xDy_x) −(Fe_1_0_0_−_yCo_y))_1_0_
0_−_zCr_zただし、0≦x≦100)0≦y≦
40、0≦z≦10、から成る特許請求の範囲第1項記
載の光磁気記録媒体。 - (3)前記第2の磁性層が、以下の組成 (Gd−(Fe_1_0_0_−_y_′Co_y_′
))_1_0_0_−_z_′Cr_z_′ただし、0
≦y′≦50、0≦z′≦10、から成る特許請求の範
囲第1項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15670890A JPH0447548A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15670890A JPH0447548A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447548A true JPH0447548A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15633600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15670890A Pending JPH0447548A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447548A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060866A (en) * | 1997-11-04 | 2000-05-09 | Denso Corporation | Power control system for vehicle ac generator |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP15670890A patent/JPH0447548A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060866A (en) * | 1997-11-04 | 2000-05-09 | Denso Corporation | Power control system for vehicle ac generator |
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