JPH0448231A - 平行光計測装置 - Google Patents
平行光計測装置Info
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- JPH0448231A JPH0448231A JP15719790A JP15719790A JPH0448231A JP H0448231 A JPH0448231 A JP H0448231A JP 15719790 A JP15719790 A JP 15719790A JP 15719790 A JP15719790 A JP 15719790A JP H0448231 A JPH0448231 A JP H0448231A
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010893 paper waste Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光学を応用したセンサなどに使われる光線の
平行度の計測及び調整可能な平行光計測装置に関する。
平行度の計測及び調整可能な平行光計測装置に関する。
（従来の技術）
位置、距離１寸法などを計測するために各種レーザやＬ
ＥＤなどの光源を用いた光学センサが幅広く使われてい
る。これらのセンサにはその光学系の一部に平行光が使
用されていることが多い。
ＥＤなどの光源を用いた光学センサが幅広く使われてい
る。これらのセンサにはその光学系の一部に平行光が使
用されていることが多い。
平行光は、ＬＥＤやレーザダイオードなどの発光部が点
に近いものについてはコリメータレンズとの組合わせに
よって、また）ｌｅＮｅレーザなとではビームエキスパ
ンダとの組合わせによって作り比さよる。平行光の良否
２即ち平行光束中の光線の平行度によってセンサ自体の
性能が左右されることも少なくなく、光線の平行度は各
光学素子の性能と共に各光学素子間の相対位置精度によ
って決まる。したがって、各光学素子の配設作業には光
線の平行度を精密に計測する装置と各光学素子間の相対
位置を精密に変位させる装置が必要である。
に近いものについてはコリメータレンズとの組合わせに
よって、また）ｌｅＮｅレーザなとではビームエキスパ
ンダとの組合わせによって作り比さよる。平行光の良否
２即ち平行光束中の光線の平行度によってセンサ自体の
性能が左右されることも少なくなく、光線の平行度は各
光学素子の性能と共に各光学素子間の相対位置精度によ
って決まる。したがって、各光学素子の配設作業には光
線の平行度を精密に計測する装置と各光学素子間の相対
位置を精密に変位させる装置が必要である。
従来の光線の平行度の計測は、レーザ光では干渉計によ
って光束の波面のゆがみを測定することで行ない、可干
渉性のないランプやＬＥＤの光では光源に近い場所と違
い場所での光束の大ぎさや光強度分布を測定したり、ピ
ンホールを使って光線を追跡することで行なっている。
って光束の波面のゆがみを測定することで行ない、可干
渉性のないランプやＬＥＤの光では光源に近い場所と違
い場所での光束の大ぎさや光強度分布を測定したり、ピ
ンホールを使って光線を追跡することで行なっている。
（発明が解決しようとする課題）
上述した光束の波面のゆがみを測定する干渉計は構成が
難しく、現れた干渉縞の処理も単純ではない、また、レ
ーザ光源でも比較的コヒーレンスの良くない場合は干渉
縞のコントラストが悪くて測定が難しいとう欠点があっ
た。一方、光束の大きさや光強度分布を測定する場合は
、正確な輪郭を測定するのが難しかフたり測定に時間が
かかったりして効果的でないという問題があった。
難しく、現れた干渉縞の処理も単純ではない、また、レ
ーザ光源でも比較的コヒーレンスの良くない場合は干渉
縞のコントラストが悪くて測定が難しいとう欠点があっ
た。一方、光束の大きさや光強度分布を測定する場合は
、正確な輪郭を測定するのが難しかフたり測定に時間が
かかったりして効果的でないという問題があった。
本発明は上述のような事情からなされたものであり、本
発明の目的は、可干渉性の有無によらず簡単な構成で光
線の平行度の計測や調整を効果的に行なうことができる
平行光計測装置を提供することにある。
発明の目的は、可干渉性の有無によらず簡単な構成で光
線の平行度の計測や調整を効果的に行なうことができる
平行光計測装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、光学を応用したセンサなどに使われる光線の
平行度の計測可能な平行光計測装置に関するものであり
、本発明の上記目的は、第１の回折格子と、前記第１の
回折格子の格子定数と同一であって、前記第１の回折格
子の格子線に対し各々の格子線が平行となるように配設
された第２の回折格子と、前記各回折格子を透過した光
束を受光する受光面とを備え、前記受光面上に現れる光
強度分布を検出することにより前記光束中の光線の平行
度を計測することによって達成される。
平行度の計測可能な平行光計測装置に関するものであり
、本発明の上記目的は、第１の回折格子と、前記第１の
回折格子の格子定数と同一であって、前記第１の回折格
子の格子線に対し各々の格子線が平行となるように配設
された第２の回折格子と、前記各回折格子を透過した光
束を受光する受光面とを備え、前記受光面上に現れる光
強度分布を検出することにより前記光束中の光線の平行
度を計測することによって達成される。
（作用）
本発明の平行光計測装置は、同一の格子定数を持った２
枚の回折格子を透過した光束を受光面で受け、受光面上
に現れる光強度分布や、一方の回折格子を移動させたと
きの受光面上に現れる光強度分布の変化から光線の平行
度を計測するものである。
枚の回折格子を透過した光束を受光面で受け、受光面上
に現れる光強度分布や、一方の回折格子を移動させたと
きの受光面上に現れる光強度分布の変化から光線の平行
度を計測するものである。
（実施例）
′ｆＳ１図は本発明の平行光計測装置の一例を示す構造
図であり、平行光を発する光源ユニットＬＳＤと、所定
の格子定数を持った透過型回折格子が施された第１ｒ４
子ＧＲＩ及び第１格子ＧＲＩと同一の格子定数を持った
透過型回折格子が施された第２格子ＧＲ２と、′ｆ４１
格子ＧＲＩ及び第２格子ＧＲ２を透過した光束を受光す
る受光面ＳＣとから成っている。
図であり、平行光を発する光源ユニットＬＳＤと、所定
の格子定数を持った透過型回折格子が施された第１ｒ４
子ＧＲＩ及び第１格子ＧＲＩと同一の格子定数を持った
透過型回折格子が施された第２格子ＧＲ２と、′ｆ４１
格子ＧＲＩ及び第２格子ＧＲ２を透過した光束を受光す
る受光面ＳＣとから成っている。
ここで、第１格子［ｉＲｌと第２格子ＧＲ２とはそれぞ
れの面が互いに平行であって、かつそれぞれの格子線が
互いに平行になるように調整されている。
れの面が互いに平行であって、かつそれぞれの格子線が
互いに平行になるように調整されている。
光源ユニットＬＳＬＩからの光束が完全な平行光であれ
ば受光面ＳＣ上に現れる光強度分布は光源ユニットＬＳ
Ｉ＋を出たときの光強度分布と同じ形状になり、光源ユ
ニットＬＳＤを出たときの光強度分布が一様であるとす
るならば、受光面ＳＵには光束の当たる範囲において一
様な明るさを持った分布ができる。ところが、光源ユニ
ットＬＳ［Ｉからの光束がＸ方向に広がったり狭まって
いる光束である場合、受光面ＳＣ上に現れる光強度分布
は一様でなくなり、例えば３４１図示の縞が発生する。
ば受光面ＳＣ上に現れる光強度分布は光源ユニットＬＳ
Ｉ＋を出たときの光強度分布と同じ形状になり、光源ユ
ニットＬＳＤを出たときの光強度分布が一様であるとす
るならば、受光面ＳＵには光束の当たる範囲において一
様な明るさを持った分布ができる。ところが、光源ユニ
ットＬＳ［Ｉからの光束がＸ方向に広がったり狭まって
いる光束である場合、受光面ＳＣ上に現れる光強度分布
は一様でなくなり、例えば３４１図示の縞が発生する。
この縞の間隔Ｓは、２枚の格子ＧＲＩ、ＧＲ２の格子定
数Ｐ、 ２枚の格子ＧＲＩ、ＧＲ２の間隙Ｇ、第１格
子ＧＲＩと受光面ＳＣとの距１ｉ１１Ｄ及び光線の平行
度によって決まる。したがって、縞の間隔Ｓを測定する
ことによ）て光線の平行度の計測を行なうことができる
。
数Ｐ、 ２枚の格子ＧＲＩ、ＧＲ２の間隙Ｇ、第１格
子ＧＲＩと受光面ＳＣとの距１ｉ１１Ｄ及び光線の平行
度によって決まる。したがって、縞の間隔Ｓを測定する
ことによ）て光線の平行度の計測を行なうことができる
。
次に上述した本発明の原理を第２図を用いて簡単に説明
する。第２図は第１図をＹ方向から見たものを槙式的に
表した図である。一般に平行光は無限遠にある点光源か
らの光束と考えられ、平行でない光束は有限の距離にあ
る点光源からの光束、もしくは有限の距離にある点に集
束しつつある光束と考える事ができる。ここでは、第１
格子ＧＲＩからの距離がＦである仮想点光源ＬＳからの
広がりぎみの光束を考える。
する。第２図は第１図をＹ方向から見たものを槙式的に
表した図である。一般に平行光は無限遠にある点光源か
らの光束と考えられ、平行でない光束は有限の距離にあ
る点光源からの光束、もしくは有限の距離にある点に集
束しつつある光束と考える事ができる。ここでは、第１
格子ＧＲＩからの距離がＦである仮想点光源ＬＳからの
広がりぎみの光束を考える。
仮想点光源ＬＳからの光束ＬＢは距１１１ｉＦ１１れた
場所に置かれた第１格子ＧＲＩを透過したあと、間隔Ｇ
だけ隔てて置かれた第２格子ＧＲ２を透過し、第１格子
ＧＲＩから距１１Ｄにある受光面ＳＣに当たる、ただし
、２枚の格子ＧＲＩ 、ＧＲ２の格子定数は等しくＰで
ある。同図で表されるように第１格子ＧＲＩと第２格子
ＧＲ２どの相対位置関係により、第１！ｇ子ＧＲＩを透
過した光線群のうち一部は第２格子ＧＲ２の透過部を通
って受光面ＳＣに至り、残りは第２格子ＧＲ２の非透過
部によって遮蔽される。そのため、受光面ＳＣ上には明
るい部分と暗い部分の繰返し、即ち縞ができる。ここで
暗い部分の間隔をＳとする。そして、２ケ所の暗い部分
に向かう２本の光線方向に着目し、第１格子ＧＲＩ上で
の光線の間隔をＬとするならば、第２格子ＧＲＺ上での
間隔は（Ｌ十Ｐ）であり、これらの関係は次式（１）で
表わされる。
場所に置かれた第１格子ＧＲＩを透過したあと、間隔Ｇ
だけ隔てて置かれた第２格子ＧＲ２を透過し、第１格子
ＧＲＩから距１１Ｄにある受光面ＳＣに当たる、ただし
、２枚の格子ＧＲＩ 、ＧＲ２の格子定数は等しくＰで
ある。同図で表されるように第１格子ＧＲＩと第２格子
ＧＲ２どの相対位置関係により、第１！ｇ子ＧＲＩを透
過した光線群のうち一部は第２格子ＧＲ２の透過部を通
って受光面ＳＣに至り、残りは第２格子ＧＲ２の非透過
部によって遮蔽される。そのため、受光面ＳＣ上には明
るい部分と暗い部分の繰返し、即ち縞ができる。ここで
暗い部分の間隔をＳとする。そして、２ケ所の暗い部分
に向かう２本の光線方向に着目し、第１格子ＧＲＩ上で
の光線の間隔をＬとするならば、第２格子ＧＲＺ上での
間隔は（Ｌ十Ｐ）であり、これらの関係は次式（１）で
表わされる。
Ｌ／Ｆ −（Ｌ＋Ｐ）／（Ｆ十Ｇ）・ Ｓ／ （Ｆ◆Ｄ
）・・・・・・（１）故に、仮想点光源ＬＳの位置Ｆ、
すなわち光線の平行度は暗い部分の間隔Ｓから次式（２
）で求められる。
）・・・・・・（１）故に、仮想点光源ＬＳの位置Ｆ、
すなわち光線の平行度は暗い部分の間隔Ｓから次式（２
）で求められる。
Ｆ −（Ｓ／Ｐ）・Ｇ−Ｄ
・・・・・・（２）
また、上式（２）をＳについて表わすと５− （Ｐ／Ｇ
）・（Ｆ十〇）となり、この測定系の測定倍率はＧによ
って任意に変えられることが分る。つまり、光線の平行
度のレベルによって受光面ＳＣ上にできる絹の密度が大
きく変化しても、縞の間隔が測定しやすいように２枚の
格子ＧＲＩ 、ＧＲ２の間ＭＧを調整すれば、格子ＧＲ
１，ＧＲ２自体を交換することなく光線の平行度の計測
ができる。更には、２枚の格子ＧＲＩ、ＧＲ２の間［Ｇ
を狭い状態からだんだん広げていくことにより、光線を
正確な平行度に調整することが可能である。
）・（Ｆ十〇）となり、この測定系の測定倍率はＧによ
って任意に変えられることが分る。つまり、光線の平行
度のレベルによって受光面ＳＣ上にできる絹の密度が大
きく変化しても、縞の間隔が測定しやすいように２枚の
格子ＧＲＩ 、ＧＲ２の間ＭＧを調整すれば、格子ＧＲ
１，ＧＲ２自体を交換することなく光線の平行度の計測
ができる。更には、２枚の格子ＧＲＩ、ＧＲ２の間［Ｇ
を狭い状態からだんだん広げていくことにより、光線を
正確な平行度に調整することが可能である。
第３図は本発明の平行光計測装置の別の一例を第１図に
対応させて示す構造図であり、同一構成。
対応させて示す構造図であり、同一構成。
箇所は同符号を付して説明を省略する。第１格子ＧＲＩ
をＸ方向に移動させるＸステージＸ−５Ｔと、第２格子
ＧＲ２をＺ方向に移動させるＺステージ２−５７と、第
１絡子ＧＲＩ及び第２格子ＧＲ２を透過した光束を受光
するイメージセンサＩｓとを備えている。
をＸ方向に移動させるＸステージＸ−５Ｔと、第２格子
ＧＲ２をＺ方向に移動させるＺステージ２−５７と、第
１絡子ＧＲＩ及び第２格子ＧＲ２を透過した光束を受光
するイメージセンサＩｓとを備えている。
そして、光源ユニットＬＳＤは、レーザダイオードＬＤ
と、コリメータレンズＣＬと、図示しないレーザダイオ
ードＬＤとコリメータレンズＣＬとの相対位置を変位さ
せる機構とから成っている。
と、コリメータレンズＣＬと、図示しないレーザダイオ
ードＬＤとコリメータレンズＣＬとの相対位置を変位さ
せる機構とから成っている。
このような構成において、レーザダイオードＬＤとコリ
メータレンズＣＬの焦点距離を調整する場合を例にとっ
て動作を説明する。初期状態として未調整の光源ユニッ
トＬＳＩＪからの光線が２枚の格子ＧＲＩ及びＧＲ２を
透過してイメージセンサＩｓに入射しており、イメージ
センサ■Ｓ上に適当な本数の縞ができるように第１格子
ＧＲＩ と第２格子ＧＲ２との間［Ｇ ７！ｌ＜調整さ
れているとする。イメージセンサＩＳ上の縞の間隔と前
述した式（１） 、 （２）によって光源ユニットＬＳ
Ｉの仮想焦点位置、すなわち光線の平行度が計算される
。ただし、縞の間隔からだけでは光線が広がりぎみなの
か挟まりぎみなのか分らない。そこで、ＸステージＸ−
５Ｔをわずかに変位させると縞はＸ軸方向に走査する。
メータレンズＣＬの焦点距離を調整する場合を例にとっ
て動作を説明する。初期状態として未調整の光源ユニッ
トＬＳＩＪからの光線が２枚の格子ＧＲＩ及びＧＲ２を
透過してイメージセンサＩｓに入射しており、イメージ
センサ■Ｓ上に適当な本数の縞ができるように第１格子
ＧＲＩ と第２格子ＧＲ２との間［Ｇ ７！ｌ＜調整さ
れているとする。イメージセンサＩＳ上の縞の間隔と前
述した式（１） 、 （２）によって光源ユニットＬＳ
Ｉの仮想焦点位置、すなわち光線の平行度が計算される
。ただし、縞の間隔からだけでは光線が広がりぎみなの
か挟まりぎみなのか分らない。そこで、ＸステージＸ−
５Ｔをわずかに変位させると縞はＸ軸方向に走査する。
この走査の向きは光線が広がっているときと狭まってい
るときとでは逆になる。従って、縞の間隔と走査方向と
を計測することによって光線の様子が分かり、レーザダ
イオードＬＤとコリメータレンズｃＬの相対位置を変位
させる機構で先の誤差を修正する０次に２ステージＺ−
５Ｔによって第２格子ＧＲ２をイメージセンサＩＳの方
に移動させて格子の間隔Ｇを広げて測定倍率を高め、上
述と同様の計測と調整を行なう、この動作の繰返しによ
って光線の平行度をＮ密に調整することができる。
るときとでは逆になる。従って、縞の間隔と走査方向と
を計測することによって光線の様子が分かり、レーザダ
イオードＬＤとコリメータレンズｃＬの相対位置を変位
させる機構で先の誤差を修正する０次に２ステージＺ−
５Ｔによって第２格子ＧＲ２をイメージセンサＩＳの方
に移動させて格子の間隔Ｇを広げて測定倍率を高め、上
述と同様の計測と調整を行なう、この動作の繰返しによ
って光線の平行度をＮ密に調整することができる。
また、この装置は光線の平行度のＸ方向成分を計測する
ものであるので、光源ユニットＬＳＩＩをその先軸を中
心に回転させる機構を設けることによってあらゆる方向
の光線の平行度の誤差成分を計測、調整できる。
ものであるので、光源ユニットＬＳＩＩをその先軸を中
心に回転させる機構を設けることによってあらゆる方向
の光線の平行度の誤差成分を計測、調整できる。
なお、イメージセンサＩｓからの信号を処理してＸステ
ージＸ−５Ｔ、 Ｚステージ１−５Ｔ、 レーザダイ
オードＬＤとコリメータレンズＣＬとの相対位置を変位
させる機構及び光源ユニットＬＳＤをその光軸を中心に
回転させる機構を制御するコントローラを付加するよう
にしても良い。
ージＸ−５Ｔ、 Ｚステージ１−５Ｔ、 レーザダイ
オードＬＤとコリメータレンズＣＬとの相対位置を変位
させる機構及び光源ユニットＬＳＤをその光軸を中心に
回転させる機構を制御するコントローラを付加するよう
にしても良い。
上述した実施例では、焦点距離の計測、調整について説
明したが、縞のゆがみや傾きを検出すれば、光線のゆが
みや傾きも同時に計測、調整することができる。
明したが、縞のゆがみや傾きを検出すれば、光線のゆが
みや傾きも同時に計測、調整することができる。
また、本発明による測定の精度を左右する回折格子の格
子定数の精度は損紙的に測定が可能な上、２枚の格子の
格子定数が揃ってさえいれば所望の格子定数に対して誤
差があっても調整には支障がない。
子定数の精度は損紙的に測定が可能な上、２枚の格子の
格子定数が揃ってさえいれば所望の格子定数に対して誤
差があっても調整には支障がない。
以上に述べた実施例では２枚の透過型回折格子による装
置を説明したが第２格子を反射型回折格子として、光源
ユニット側に反射する光束を利用しても同様の効果が得
られる。
置を説明したが第２格子を反射型回折格子として、光源
ユニット側に反射する光束を利用しても同様の効果が得
られる。
（発明の効果）
以上のように本発明の平行光計測装置によれば、簡単な
構成により光線の平行度を精密に計測し、簡単な工程で
調整することができ、装置コストや光線の平行度の計測
調整工数の大幅な低減を図ることができる。
構成により光線の平行度を精密に計測し、簡単な工程で
調整することができ、装置コストや光線の平行度の計測
調整工数の大幅な低減を図ることができる。
第１図は本発明の平行光計測装置の一例を示す構造図、
第２図は本発明の詳細な説明する図、第３図は本発明の
平行光計測装置の別の一例を示す構造図である。 ＧＲＩ・・・第１格子、ＧＲ２・・・′ｉＥ２格子、Ｓ
Ｃ・・・受光。 面、ＬＳｔｌ・・・光源ユニット、ＬＢ・・・光束、Ｌ
Ｓ・・−仮想点光源、Ｘ−５Ｔ・・・Ｘステージ、Ｚ−
５Ｔ・・・２ステージ、Ｉｓ・・・イメージセンサ、Ｌ
Ｄ・・・レーザダイオード、ＣＬ・・・コリメータレン
ズ。
第２図は本発明の詳細な説明する図、第３図は本発明の
平行光計測装置の別の一例を示す構造図である。 ＧＲＩ・・・第１格子、ＧＲ２・・・′ｉＥ２格子、Ｓ
Ｃ・・・受光。 面、ＬＳｔｌ・・・光源ユニット、ＬＢ・・・光束、Ｌ
Ｓ・・−仮想点光源、Ｘ−５Ｔ・・・Ｘステージ、Ｚ−
５Ｔ・・・２ステージ、Ｉｓ・・・イメージセンサ、Ｌ
Ｄ・・・レーザダイオード、ＣＬ・・・コリメータレン
ズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１の回折格子と、前記第１の回折格子の格子定数
と同一であって、前記第１の回折格子の格子線に対し各
々の格子線が平行となるように配設された第２の回折格
子と、前記各回折格子を透過した光束を受光する受光面
とを備え、前記受光面上に現れる光強度分布を検出する
ことにより前記光束中の光線の平行度を計測するように
したことを特徴とする平行光計測装置。 ２、前記受光面がイメージセンサである請求項１に記載
の平行光計測装置。 ３、前記第１の回折格子と第２の回折格子との間隙距離
を任意に変化させる手段を備えた請求項１に記載の平行
光計測装置。 ４、前記第１及び第２の回折格子の少なくとも一方をそ
の回折格子の面内で格子線に垂直な方向に移動させる手
段を備えた請求項１に記載の平行光計測装置。 ５、前記光束を発する光源ユニット中の光学素子の相対
位置を変位させる手段を備えた請求項１に記載の平行光
計測装置。 ６、前記光源ユニットをその光軸を中心に回転させる手
段を備えた請求項１に記載の平行光計測装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15719790A JPH0448231A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 平行光計測装置 |
| US07/713,155 US5170221A (en) | 1990-06-15 | 1991-06-11 | Parallel light ray measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15719790A JPH0448231A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 平行光計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448231A true JPH0448231A (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=15644329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15719790A Pending JPH0448231A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 平行光計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448231A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072709A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Panasonic Corporation | 回折光学素子の光学特性測定方法および回折光学素子の光学特性測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355145B2 (ja) * | 1984-07-06 | 1988-11-01 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP15719790A patent/JPH0448231A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355145B2 (ja) * | 1984-07-06 | 1988-11-01 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072709A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Panasonic Corporation | 回折光学素子の光学特性測定方法および回折光学素子の光学特性測定装置 |
| US8089620B2 (en) | 2006-12-14 | 2012-01-03 | Panasonic Corporation | Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element |
| US8284388B2 (en) | 2006-12-14 | 2012-10-09 | Panasonic Corporation | Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element |
| US8390799B2 (en) | 2006-12-14 | 2013-03-05 | Panasonic Corporation | Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element |
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