JPH0448443A - フォーカス検出装置 - Google Patents
フォーカス検出装置Info
- Publication number
- JPH0448443A JPH0448443A JP15573790A JP15573790A JPH0448443A JP H0448443 A JPH0448443 A JP H0448443A JP 15573790 A JP15573790 A JP 15573790A JP 15573790 A JP15573790 A JP 15573790A JP H0448443 A JPH0448443 A JP H0448443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- light
- glass master
- focus
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光デイスクカッティングマシンに利用される
フォーカス検出装置に関する。
フォーカス検出装置に関する。
従来の技術
露光用レーザービームを対物レンズによりガラス原盤に
収束して情報を記録する光デイスクカッティングマシン
においては、対物レンズをレンズアクチュエータにより
光軸方向に変位させて焦点距離を調整する必要がある。
収束して情報を記録する光デイスクカッティングマシン
においては、対物レンズをレンズアクチュエータにより
光軸方向に変位させて焦点距離を調整する必要がある。
そこで、フォーカス検出用のレーザ光を対物レンズを通
してガラス原盤に収束し、ガラス原盤からの反射光を対
物レンズを通して戻し、その戻した光を偏光してフォー
カス検出器に入射し、このフォーカス検出器の検出信号
により対物レンズの焦点調整を行うフォーカス検出装置
がある。
してガラス原盤に収束し、ガラス原盤からの反射光を対
物レンズを通して戻し、その戻した光を偏光してフォー
カス検出器に入射し、このフォーカス検出器の検出信号
により対物レンズの焦点調整を行うフォーカス検出装置
がある。
発明が解決しようとする課題
ガラス原盤は表面にフォトレジストが塗布されているた
め反射率が４％〜８％と低く、フォーカス検出器に正規
のフォーカス検出信号として入射される光量も低い。一
方、対物レンズはフォーカス検出用のレーザ光をガラス
原盤に収束するがレーザ光の一部を入射側のガラス面で
反射してしまう。この反射光はノイズとしてフォーカス
検出器に入射される。したがって、フォーカス検出系の
Ｓ／Ｎ比が低く、検出精度に影響がある。
め反射率が４％〜８％と低く、フォーカス検出器に正規
のフォーカス検出信号として入射される光量も低い。一
方、対物レンズはフォーカス検出用のレーザ光をガラス
原盤に収束するがレーザ光の一部を入射側のガラス面で
反射してしまう。この反射光はノイズとしてフォーカス
検出器に入射される。したがって、フォーカス検出系の
Ｓ／Ｎ比が低く、検出精度に影響がある。
課題を解決するための手段
半導体レーザからの光線をガラス原盤に収束する対物レ
ンズと、前記半導体レーザと前記対物レンズとの間の光
路中に位置して前記ガラス原盤からの反射光を偏光する
偏光器と、この偏光器からの光を受光するフォーカス検
出器と、このフォーカス検出器の検出信号に基づき前記
対物レンズを光軸方向に駆動するレンズアクチュエータ
と、前記対物レンズの前記偏光器側の端面に配置されて
この対物レンズの外径より小さい円筒孔を有する遮光部
材とにより構成した。
ンズと、前記半導体レーザと前記対物レンズとの間の光
路中に位置して前記ガラス原盤からの反射光を偏光する
偏光器と、この偏光器からの光を受光するフォーカス検
出器と、このフォーカス検出器の検出信号に基づき前記
対物レンズを光軸方向に駆動するレンズアクチュエータ
と、前記対物レンズの前記偏光器側の端面に配置されて
この対物レンズの外径より小さい円筒孔を有する遮光部
材とにより構成した。
作用
半導体レーザからの光は遮光部材の円筒孔を通して対物
レンズによりガラス原盤に収束され、ガラス原盤からの
反射光は偏光器により偏光されてフォーカス検出器に入
射されるが、対物レンズの偏光器側の端面の外周部で反
射する光は遮光部材の円筒孔の周囲で遮光され、したが
って、フォーカス検出器に入射されるノイズ成分として
の反射光が少なくなり、フォーカス検出精度が高められ
る。
レンズによりガラス原盤に収束され、ガラス原盤からの
反射光は偏光器により偏光されてフォーカス検出器に入
射されるが、対物レンズの偏光器側の端面の外周部で反
射する光は遮光部材の円筒孔の周囲で遮光され、したが
って、フォーカス検出器に入射されるノイズ成分として
の反射光が少なくなり、フォーカス検出精度が高められ
る。
実施例
本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はフォーカス検出系及びレンズアクチュエータの
側面図、第２図はその平面図である。図中、１は半導体
レーザで、この半導体レーザ１の出射光路中に、コリメ
ータレンズ２と、偏光ビームスプリッタ３と、１／４波
長板４と、ダイクロイックキューブミラー５と、対物レ
ンズ６とが配列されている。この対物レンズ６はレンズ
アクチュエータフにより光軸方向に駆動される。８はガ
ラス原盤である。第２図に示すように、前記偏光ビーム
スプリッタ３は偏光器として機能するもので、前記ガラ
ス原盤８から前記対物レンズ６を通して反射されて戻る
光を集光レンズ９と円筒レンズ１０とを介してフォーカ
ス検出器である４分割ビンフォトダイオード１１に偏光
する。しかして、前記ダイクロイックキューブミラー５
と前記対物レンズ７との間には、円筒孔１２を有する遮
光部材１３が設けられている。第３図に示すように、対
物レンズ６の有効径をｄ、第一面のガラス面６ａの径を
Ｄとすると、円筒孔１２の径は略ｄと等しい値に定めら
れている。
側面図、第２図はその平面図である。図中、１は半導体
レーザで、この半導体レーザ１の出射光路中に、コリメ
ータレンズ２と、偏光ビームスプリッタ３と、１／４波
長板４と、ダイクロイックキューブミラー５と、対物レ
ンズ６とが配列されている。この対物レンズ６はレンズ
アクチュエータフにより光軸方向に駆動される。８はガ
ラス原盤である。第２図に示すように、前記偏光ビーム
スプリッタ３は偏光器として機能するもので、前記ガラ
ス原盤８から前記対物レンズ６を通して反射されて戻る
光を集光レンズ９と円筒レンズ１０とを介してフォーカ
ス検出器である４分割ビンフォトダイオード１１に偏光
する。しかして、前記ダイクロイックキューブミラー５
と前記対物レンズ７との間には、円筒孔１２を有する遮
光部材１３が設けられている。第３図に示すように、対
物レンズ６の有効径をｄ、第一面のガラス面６ａの径を
Ｄとすると、円筒孔１２の径は略ｄと等しい値に定めら
れている。
このような構成において、フォーカス横比用のレーザ光
は半導体レーザ１から照射される。この光はコリメータ
レンズ２により平行となり、偏光ビームスプリッタ３と
１／４波長板４とを経てダイクロイックキューブミラー
５により反射され、対物レンズ６を通してガラス原盤８
に収束される。
は半導体レーザ１から照射される。この光はコリメータ
レンズ２により平行となり、偏光ビームスプリッタ３と
１／４波長板４とを経てダイクロイックキューブミラー
５により反射され、対物レンズ６を通してガラス原盤８
に収束される。
ガラス原盤８により反射された光は、再び対物レンズ６
を通り、ダイクロイックキューブミラー５により反射さ
れ、偏光ビームスプリッタ３により偏光されて４分割ビ
ンフォトダイオード１１に入射される。半導体レーザＩ
から対物レンズ６を通してガラス原盤８に収束する時、
対物レンズ６の有効径ｄの外側の光は対物レンズ６のガ
ラス面６ａの周縁部で反射するが、その反射光は遮光部
材１３の円筒孔１２の周縁により遮光される。すなわち
、ノイズ成分として４分割ビンフォトダイオード１１に
入射される光は遮光される。これにより、４分割ビンフ
ォトダイオード１１によるフォーカス検出精度が向上し
、その検出信号を基にレンズアクチュエータフにより対
物レンズ６の焦点距離を正確に定めることができる。し
たがって、露光用のレーザ光を第１図において矢印六方
向から照射してガラス原盤８に正確に溝を形成すること
ができる。
を通り、ダイクロイックキューブミラー５により反射さ
れ、偏光ビームスプリッタ３により偏光されて４分割ビ
ンフォトダイオード１１に入射される。半導体レーザＩ
から対物レンズ６を通してガラス原盤８に収束する時、
対物レンズ６の有効径ｄの外側の光は対物レンズ６のガ
ラス面６ａの周縁部で反射するが、その反射光は遮光部
材１３の円筒孔１２の周縁により遮光される。すなわち
、ノイズ成分として４分割ビンフォトダイオード１１に
入射される光は遮光される。これにより、４分割ビンフ
ォトダイオード１１によるフォーカス検出精度が向上し
、その検出信号を基にレンズアクチュエータフにより対
物レンズ６の焦点距離を正確に定めることができる。し
たがって、露光用のレーザ光を第１図において矢印六方
向から照射してガラス原盤８に正確に溝を形成すること
ができる。
発明の効果
本発明は上述のように、半導体レーザからの光線をガラ
ス原盤に収束する対物レンズと、前記半導体レーザと前
記対物レンズとの間の光路中に位置して前記ガラス原盤
からの反射光を偏光する偏光器と、この偏光器からの光
を受光するフォーカス検出器と、このフォーカス検出器
の検出信号に基づき前記対物レンズを光軸方向に駆動す
るレンズアクチュエータと、前記対物レンズの前記偏光
器側の端面に配置されてこの対物レンズの外径より小さ
い円筒孔を有する遮光部材とにより構成したので、半導
体レーザからの光は遮光部材の円筒孔を通して対物レン
ズによりガラス原盤に収束し、ガラス原盤からの反射光
を偏光器により偏光してフォーカス検出器に入射するが
、対物レンズの偏光器側の端面の外周部で反射する光を
遮光部材の円筒孔の周囲で遮光することができ、したが
って、フォーカス検出器に入射されるノイズ成分として
の反射光を少なくし、フォーカス検出精度を高めること
ができる効果を有する。
ス原盤に収束する対物レンズと、前記半導体レーザと前
記対物レンズとの間の光路中に位置して前記ガラス原盤
からの反射光を偏光する偏光器と、この偏光器からの光
を受光するフォーカス検出器と、このフォーカス検出器
の検出信号に基づき前記対物レンズを光軸方向に駆動す
るレンズアクチュエータと、前記対物レンズの前記偏光
器側の端面に配置されてこの対物レンズの外径より小さ
い円筒孔を有する遮光部材とにより構成したので、半導
体レーザからの光は遮光部材の円筒孔を通して対物レン
ズによりガラス原盤に収束し、ガラス原盤からの反射光
を偏光器により偏光してフォーカス検出器に入射するが
、対物レンズの偏光器側の端面の外周部で反射する光を
遮光部材の円筒孔の周囲で遮光することができ、したが
って、フォーカス検出器に入射されるノイズ成分として
の反射光を少なくし、フォーカス検出精度を高めること
ができる効果を有する。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は側面図
、第２図は平面図、第３図は対物レンズの側面図である
。 １・・・半導体レーザ、３・・・偏光器、６・・対物レ
ンズ、７・・・レンズアクチュエータ、８・・・ガラス
原盤、１１・・・フォーカス検出器、１２・・・円筒孔
、１３・・・遮光部材
、第２図は平面図、第３図は対物レンズの側面図である
。 １・・・半導体レーザ、３・・・偏光器、６・・対物レ
ンズ、７・・・レンズアクチュエータ、８・・・ガラス
原盤、１１・・・フォーカス検出器、１２・・・円筒孔
、１３・・・遮光部材
Claims (1)
- 半導体レーザからの光線をガラス原盤に収束する対物
レンズと、前記半導体レーザと前記対物レンズとの間の
光路中に位置して前記ガラス原盤からの反射光を偏光す
る偏光器と、この偏光器からの光を受光するフォーカス
検出器と、このフォーカス検出器の検出信号に基づき前
記対物レンズを光軸方向に駆動するレンズアクチュエー
タと、前記対物レンズの前記偏光器側の端面に配置され
てこの対物レンズの外径より小さい円筒孔を有する遮光
部材とよりなることを特徴とするフォーカス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15573790A JPH0448443A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | フォーカス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15573790A JPH0448443A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | フォーカス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448443A true JPH0448443A (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=15612346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15573790A Pending JPH0448443A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | フォーカス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448443A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152826A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Toyobo Co Ltd | 防護材料及び防護被服 |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP15573790A patent/JPH0448443A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152826A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Toyobo Co Ltd | 防護材料及び防護被服 |
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