JPH0448580B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0448580B2 JPH0448580B2 JP12674985A JP12674985A JPH0448580B2 JP H0448580 B2 JPH0448580 B2 JP H0448580B2 JP 12674985 A JP12674985 A JP 12674985A JP 12674985 A JP12674985 A JP 12674985A JP H0448580 B2 JPH0448580 B2 JP H0448580B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- grinding wheel
- diamond
- workpiece
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はセラミツクス材の加工物内径を高速
かつ精密に研削仕上げるセラミツクスの内面高速
研削加工法に関するものである。
かつ精密に研削仕上げるセラミツクスの内面高速
研削加工法に関するものである。
（従来技術と技術的課題）
従来、窒化珪素Si3N4，ジルコニアZrO2，炭化
珪素SiC，アルミナAl2O3などの高硬度かつ密度
の高いセラミツクス材は、従来の金属研削加工法
と同一の手法で研削加工を行なうとなると極めて
長時間を要することになり、殆んど研削不可能で
あつて実用的でなかつた。特に上記セラミツクス
材の加工物内面の研削加工は砥石と加工物の接触
弧が長く、砥石軸の剛性不足もあつて今までにも
ダイヤモンド砥石を使用して各種の夫々独立した
加工手法でいろいろ試みられているが、十分な効
果が全く得られなくて、セラミツクスの内面高速
研削加工は殆んど不可能視されているのが現在の
斯界の趨勢である。
珪素SiC，アルミナAl2O3などの高硬度かつ密度
の高いセラミツクス材は、従来の金属研削加工法
と同一の手法で研削加工を行なうとなると極めて
長時間を要することになり、殆んど研削不可能で
あつて実用的でなかつた。特に上記セラミツクス
材の加工物内面の研削加工は砥石と加工物の接触
弧が長く、砥石軸の剛性不足もあつて今までにも
ダイヤモンド砥石を使用して各種の夫々独立した
加工手法でいろいろ試みられているが、十分な効
果が全く得られなくて、セラミツクスの内面高速
研削加工は殆んど不可能視されているのが現在の
斯界の趨勢である。
そこでこの発明は、従来不可能視されていた各
種セラミツクス材の加工物内面を高速かつ精密に
研削仕上げ加工できる加工法を提供することを技
術的課題とする。
種セラミツクス材の加工物内面を高速かつ精密に
研削仕上げ加工できる加工法を提供することを技
術的課題とする。
（技術的手段）
この発明のセラミツクスの内面高速研削加工法
は、ダイヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射し
て、該砥石の目づまりの原因となる研削粉を除去
しつつ、同時に冷却することにより高熱によるダ
イヤモンド切れ刃の焼損及び剥離を防止しながら
CNC制御により砥石切込み台及び工作主軸台を
制御、プランジカツトを重畳して各種セラミツク
ス材の加工物穴内面を所定の寸法まで高速で切込
み、次いでトラバースカツトを加えて仕上げるこ
とを特徴とするものである。この発明では、従来
のように砥石を左右にトラバースして研削する方
法では、所定の寸法に仕上げるまでに時間がかか
るので、第２図のようにプランジ研削を重ねたあ
と、トラバース研削で仕上げる方法を採用した。
この方法により、トラバース研削のみによる加工
法と比較して50倍〜100倍の高速加工が可能にな
つた、というのが趣旨である。
は、ダイヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射し
て、該砥石の目づまりの原因となる研削粉を除去
しつつ、同時に冷却することにより高熱によるダ
イヤモンド切れ刃の焼損及び剥離を防止しながら
CNC制御により砥石切込み台及び工作主軸台を
制御、プランジカツトを重畳して各種セラミツク
ス材の加工物穴内面を所定の寸法まで高速で切込
み、次いでトラバースカツトを加えて仕上げるこ
とを特徴とするものである。この発明では、従来
のように砥石を左右にトラバースして研削する方
法では、所定の寸法に仕上げるまでに時間がかか
るので、第２図のようにプランジ研削を重ねたあ
と、トラバース研削で仕上げる方法を採用した。
この方法により、トラバース研削のみによる加工
法と比較して50倍〜100倍の高速加工が可能にな
つた、というのが趣旨である。
もともとトラバース研削もプランジ研削も個別
の研削方法としては公知のものであるが、第２図
のプランジ研削を従来の内面研削盤で行なおうと
れば時間がかかるのである。つまりプランジ研削
の仕上り面の段差を平坦（平面）にそろえるため
に長い時間がかかる。しかしCNC内面研削盤に
よるCNC制御により行えば、上記仕上り面の径
方向の寸法差は１〜2μ以内の差で収まるため、
このあとはトラバース研削を加えることにより、
スムーズに仕上げることができる。また一般の内
面研削盤などでは、たとえ熟練者でもプランジ研
削で加工面を１〜2μ以内にそろえることは、き
わめて困難である。
の研削方法としては公知のものであるが、第２図
のプランジ研削を従来の内面研削盤で行なおうと
れば時間がかかるのである。つまりプランジ研削
の仕上り面の段差を平坦（平面）にそろえるため
に長い時間がかかる。しかしCNC内面研削盤に
よるCNC制御により行えば、上記仕上り面の径
方向の寸法差は１〜2μ以内の差で収まるため、
このあとはトラバース研削を加えることにより、
スムーズに仕上げることができる。また一般の内
面研削盤などでは、たとえ熟練者でもプランジ研
削で加工面を１〜2μ以内にそろえることは、き
わめて困難である。
次にこの発明を図面について説明する。
先ず１は穴内面２を有する加工物で、工作主軸
台の主軸にチヤツク掴止されている。３は砥石ス
ピンドル４に取付けられたダイヤモンド砥石、５
は冷却噴射管である。なお砥石スピンドル４は高
い剛性を必要とするため、砥石クイルの材質はタ
ングステン合金製のヘビーメタルを使用し、スピ
ンドル大径化のため、オイルエアー方式を採用す
る。また砥石は電着法によるダイヤモンド砥石３
を使用するもので、ノンドレツシングとする。
台の主軸にチヤツク掴止されている。３は砥石ス
ピンドル４に取付けられたダイヤモンド砥石、５
は冷却噴射管である。なお砥石スピンドル４は高
い剛性を必要とするため、砥石クイルの材質はタ
ングステン合金製のヘビーメタルを使用し、スピ
ンドル大径化のため、オイルエアー方式を採用す
る。また砥石は電着法によるダイヤモンド砥石３
を使用するもので、ノンドレツシングとする。
即ち加工物１及びダイヤモンド砥石３を夫々反
対方向に高速回転させ、ダイヤモンド砥石３に高
圧の冷却水を冷却水噴射管５から噴射して、該砥
石３の目づまり及び冷却することによつてダイヤ
モンド切れ刃の焼損並びに剥離を防止しながら、
毎分3.5mmの切込み速度によりラジアル方向にプ
ランジカツトを重畳して繰り返し、所定の寸法ま
で切り込んだのち、トラバースカツトを２〜３回
繰り返して仕上げ加工を完了するものである。特
にこのプランジ研削なしではセラミツクス材の内
面高速研削は望めない。
対方向に高速回転させ、ダイヤモンド砥石３に高
圧の冷却水を冷却水噴射管５から噴射して、該砥
石３の目づまり及び冷却することによつてダイヤ
モンド切れ刃の焼損並びに剥離を防止しながら、
毎分3.5mmの切込み速度によりラジアル方向にプ
ランジカツトを重畳して繰り返し、所定の寸法ま
で切り込んだのち、トラバースカツトを２〜３回
繰り返して仕上げ加工を完了するものである。特
にこのプランジ研削なしではセラミツクス材の内
面高速研削は望めない。
なおまたダイヤモンド砥石のドレツシングを経
済的に行う適切な方法がないため、高圧（75Kg／
cm2）の冷却水を研削動作中のダイヤモンド砥石に
噴射して砥石の目詰りを防止すると共に、高速
（周速1800〜2000ｍ／min）、重研削により発生す
る高熱による砥粒の焼損、剥離、脱落を防止する
ものである。
済的に行う適切な方法がないため、高圧（75Kg／
cm2）の冷却水を研削動作中のダイヤモンド砥石に
噴射して砥石の目詰りを防止すると共に、高速
（周速1800〜2000ｍ／min）、重研削により発生す
る高熱による砥粒の焼損、剥離、脱落を防止する
ものである。
（発明の効果）
次に実施例を挙げてこの発明の効果を述べる。
実施例
セラミツクス材（窒化珪素、ビツカース硬度
1600Kg／mm2）の穴径50mmφ×研削長さ100mmの場
合で、かつダイヤモンド砥石径45mmφ×幅20mmの
場合、プランジカツト６回の後、トラバースカツ
ト２〜３回行つて研削取り代半径１mmの際、加工
時間３分10秒であつて従来の加工法に比べてかな
り短時間であつた。
1600Kg／mm2）の穴径50mmφ×研削長さ100mmの場
合で、かつダイヤモンド砥石径45mmφ×幅20mmの
場合、プランジカツト６回の後、トラバースカツ
ト２〜３回行つて研削取り代半径１mmの際、加工
時間３分10秒であつて従来の加工法に比べてかな
り短時間であつた。
叙上のように、この発明は、高剛化された砥石
スピンドルにノンドレツシングの電着法によるダ
イヤモンド砥石を使用して、高圧冷却水を研削作
動中の該ダイヤモンド砥石に噴射し、CNC制御
によりプランジ重畳研削とトラバース研削との複
合研削法を採用することによつて、従来殆んど不
可能視されていたセラミツクス材の内面高速研削
加工が安定して、かつ高精度に実現できるように
なつた。またCNC制御によるものであるため、
プランジ研削を重ね、その径方向の寸法を１〜
2μ以内の精度にそろえることができるものであ
る。
スピンドルにノンドレツシングの電着法によるダ
イヤモンド砥石を使用して、高圧冷却水を研削作
動中の該ダイヤモンド砥石に噴射し、CNC制御
によりプランジ重畳研削とトラバース研削との複
合研削法を採用することによつて、従来殆んど不
可能視されていたセラミツクス材の内面高速研削
加工が安定して、かつ高精度に実現できるように
なつた。またCNC制御によるものであるため、
プランジ研削を重ね、その径方向の寸法を１〜
2μ以内の精度にそろえることができるものであ
る。
図面はこの発明の実施例を示すもので、第１図
は加工状態の説明図、第２図は砥石の行程図であ
る。 １…加工物、２…穴内面、３…ダイヤモンド砥
石、４…砥石スピンドル、５…冷却水噴射管。
は加工状態の説明図、第２図は砥石の行程図であ
る。 １…加工物、２…穴内面、３…ダイヤモンド砥
石、４…砥石スピンドル、５…冷却水噴射管。
Claims (1)
- １ 高剛化された砥石スピンドルにノンドレツシ
ングの電着法によるダイヤモンド砥石を使用し
て、該ダイヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射
し、該砥石の目づまりの原因となる研削粉を除去
しつつ、かつ高熱によるダイヤモンド切れ刃の焼
損及び剥離を防止しながらCNC制御により砥石
の切込み制御及び工作物の回転、左右移動制御を
行い、プランジカツトを重畳して各種セラミツク
材の加工物穴内面を所定の寸法まで高速で切込
み、次いでトラバースカツトを加えて仕上げるこ
とを特徴とするセラミツクスの内面高速研削加工
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12674985A JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12674985A JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284370A JPS61284370A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0448580B2 true JPH0448580B2 (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=14942957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12674985A Granted JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61284370A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4424829A1 (de) * | 1994-07-14 | 1996-01-18 | Zahnradfabrik Friedrichshafen | Vorrichtung für ein Verfahren zur Vermeidung von Überbeanspruchungen eines Werkstückes beim Schleifen |
| JP4764564B2 (ja) * | 2001-04-17 | 2011-09-07 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 円筒状ワ−クのスキップシフトプランジ研削方法 |
| JP4838441B2 (ja) * | 2001-05-08 | 2011-12-14 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 繰り返しプロフィ−ルを有する円筒状ワ−クの研削装置および円筒状ワ−クのシフトプランジ研削方法 |
| CN105683408B (zh) * | 2014-08-22 | 2017-07-28 | 三井金属矿业株式会社 | 圆筒形溅射靶用靶材的制造方法和圆筒形溅射靶 |
| JP6376101B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2018-08-22 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP12674985A patent/JPS61284370A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61284370A (ja) | 1986-12-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |