JPS61284370A - ラミツクスの内面高速研削加工法 - Google Patents
ラミツクスの内面高速研削加工法Info
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- JPS61284370A JPS61284370A JP12674985A JP12674985A JPS61284370A JP S61284370 A JPS61284370 A JP S61284370A JP 12674985 A JP12674985 A JP 12674985A JP 12674985 A JP12674985 A JP 12674985A JP S61284370 A JPS61284370 A JP S61284370A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 3
- 230000035613 defoliation Effects 0.000 abstract 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 abstract 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100008046 Caenorhabditis elegans cut-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はセラミックス材の加工物内径を高速かつ精密
に研削仕上けるセラミックスの内面高速研削加工法に関
するものである。
に研削仕上けるセラミックスの内面高速研削加工法に関
するものである。
（従来技術と技術的課題）
従来、窒化珪素””５Ｎ４ｓジルコニアｚｒｏ□、炭化
ｍｅｓｉｓ、アルミナＡｌ２Ｏ３などの高硬度かつ密度
の高いセラミックス材は、従来の金属研削加工法と同一
の手法で研削加工を行なうとなると極めて長時間を要す
ることになシ、殆んど研削不可能であって実用的でなか
った。特に上記セラミックス材の加工物内面の研削加工
は砥石と加工物の接触弧が長く、砥石軸の剛性不足もあ
って今までにもダイヤモンド砥石を使用して各種の夫々
独立した加工手法でいろいろ試みられているが、十分な
効果が全く得られなくて、セラミックスの内面高速研削
加工は殆んど不可能視されている−のが現在の斯界の趨
勢である。
ｍｅｓｉｓ、アルミナＡｌ２Ｏ３などの高硬度かつ密度
の高いセラミックス材は、従来の金属研削加工法と同一
の手法で研削加工を行なうとなると極めて長時間を要す
ることになシ、殆んど研削不可能であって実用的でなか
った。特に上記セラミックス材の加工物内面の研削加工
は砥石と加工物の接触弧が長く、砥石軸の剛性不足もあ
って今までにもダイヤモンド砥石を使用して各種の夫々
独立した加工手法でいろいろ試みられているが、十分な
効果が全く得られなくて、セラミックスの内面高速研削
加工は殆んど不可能視されている−のが現在の斯界の趨
勢である。
そこでこの発明は、従来不可能視されていた各櫨セラミ
ックス材の加工物内面を高速かつ精密に研削仕上げ加工
できる加工法を提供することを技術的課題とする。
ックス材の加工物内面を高速かつ精密に研削仕上げ加工
できる加工法を提供することを技術的課題とする。
（技術的手段）
この発明のセ”ラミックスの内面高速研削加工法は、ダ
イヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射して、−該砥石の
目づまりの原因となる研削粉を除去しつつ、同時に冷却
することにより高熱によるダイヤモンド切れ刃の焼損及
び剥離を防止しなからＣＮＯ制御により砥石切込み台及
び工作主軸台を制御、プランジカーブドを重畳して各種
セラミックス材の加工物穴内面を所定の寸法まで高速で
切込み、次いでトラバースカットを加えて仕上げること
を特徴とするものである。
イヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射して、−該砥石の
目づまりの原因となる研削粉を除去しつつ、同時に冷却
することにより高熱によるダイヤモンド切れ刃の焼損及
び剥離を防止しなからＣＮＯ制御により砥石切込み台及
び工作主軸台を制御、プランジカーブドを重畳して各種
セラミックス材の加工物穴内面を所定の寸法まで高速で
切込み、次いでトラバースカットを加えて仕上げること
を特徴とするものである。
次にこの発明を図面について説明する。
先ず／は穴内面２を有する加工物で、工作主軸台の主軸
にチャック制止されている。３は砥石スピンドル≠に取
付けられたダイヤモンド砥石、３は冷却水噴射管である
。なお砥石スピンドル弘は高い剛性を必要とするため、
砥石タイルの材質はタングステン合金製のヘビーメタル
を使用し、スピンドル大径化のため、オイルエア一方式
を採用する。また砥石は電着法によるダイヤモンド砥石
３を使用するもので、ノン下レッシングトスる。
にチャック制止されている。３は砥石スピンドル≠に取
付けられたダイヤモンド砥石、３は冷却水噴射管である
。なお砥石スピンドル弘は高い剛性を必要とするため、
砥石タイルの材質はタングステン合金製のヘビーメタル
を使用し、スピンドル大径化のため、オイルエア一方式
を採用する。また砥石は電着法によるダイヤモンド砥石
３を使用するもので、ノン下レッシングトスる。
即ち加工物／及びダイヤモンド砥石３を夫々反対方向に
高速Ｕ転させ、ダイヤモンド砥石３に高圧の冷却水を冷
却水噴射管ｊから噴射して、該砥石３の目づｔ９及び冷
却することによってダイヤモンド切れ刃の焼損並びに剥
離を防止しながら、毎分３．！；ｍＭの切込み速度によ
りラシアル方向にプランジカットを重畳して繰９返し、
所定の寸法まで切り込んだのち、トラバースカットを２
〜３回繰シ返して仕上げ加工を完了するものである。
高速Ｕ転させ、ダイヤモンド砥石３に高圧の冷却水を冷
却水噴射管ｊから噴射して、該砥石３の目づｔ９及び冷
却することによってダイヤモンド切れ刃の焼損並びに剥
離を防止しながら、毎分３．！；ｍＭの切込み速度によ
りラシアル方向にプランジカットを重畳して繰９返し、
所定の寸法まで切り込んだのち、トラバースカットを２
〜３回繰シ返して仕上げ加工を完了するものである。
特にこのプランジ研削なしではセラミックス材の内面高
速研削は望めない。
速研削は望めない。
なおまたダイヤモンド砥石のドレッシングを経済的に行
う適切な方法がないため、高圧（７５に９／ｅ１１）の
冷却水を研削動作中のダイヤモンド砥石に噴射して砥石
の目詰シを防止すると共に、高速（周速／ｒｏｏ〜ｒｏ
ｏｏｔｎ／１ｎｉｎ）、重研削により発生する高熱によ
る砥粒の焼損、剥離、脱落を防止するものである。
う適切な方法がないため、高圧（７５に９／ｅ１１）の
冷却水を研削動作中のダイヤモンド砥石に噴射して砥石
の目詰シを防止すると共に、高速（周速／ｒｏｏ〜ｒｏ
ｏｏｔｎ／１ｎｉｎ）、重研削により発生する高熱によ
る砥粒の焼損、剥離、脱落を防止するものである。
（発明の効果）
次に実施例を挙げてこの発明の効果を述べる。
実施例
セラミックス材 （窒化珪素、ビッカース硬度／ ６０
０に９／ｒｒ Ｍ）゛の穴径ｓｏｆＰ１ｍＩｘ研削長さ
１０Ｏ＃ｎの場合で、かつダイヤモン下砥石径≠ｊ；ｍ
ｍｌ Ｘ幅２Ｑｍｍの場合、プランジカット６回の後、
トラバースカット２〜３回行って研削取υ代半径７ｍｍ
の際、加工時間３分１０秒であって従来の加工法の約７
７５０時間であった。
０に９／ｒｒ Ｍ）゛の穴径ｓｏｆＰ１ｍＩｘ研削長さ
１０Ｏ＃ｎの場合で、かつダイヤモン下砥石径≠ｊ；ｍ
ｍｌ Ｘ幅２Ｑｍｍの場合、プランジカット６回の後、
トラバースカット２〜３回行って研削取υ代半径７ｍｍ
の際、加工時間３分１０秒であって従来の加工法の約７
７５０時間であった。
叙上のように、この発明は、高剛化された砥石スピンド
ルにノンドレッシングの電着法によるダイヤモンド砥石
を使用して、高圧冷却水を研削作動中の該ダイヤモンド
砥石に噴射し、プランジ重畳研削とトラバース研削との
複合研削法を採用することによって、従来殆んど不可能
視されていたセラミックス材の内面高速研削加工が安定
して、かつ高精度に実現できるようになった。
ルにノンドレッシングの電着法によるダイヤモンド砥石
を使用して、高圧冷却水を研削作動中の該ダイヤモンド
砥石に噴射し、プランジ重畳研削とトラバース研削との
複合研削法を採用することによって、従来殆んど不可能
視されていたセラミックス材の内面高速研削加工が安定
して、かつ高精度に実現できるようになった。
図面はこの発明の実施例を示すもので、第１図は加工状
態の説明図、第２図は砥石の行程図である。 ／０．加工物、２６．穴内面、３０．ダイヤモンド砥石
、１０．砥石スピンドル、５０．冷却水噴射管特許出願
人 大成機械株式会社 ６１１５人：０恒罹−■−−長一ノ１１酒１１７４ミ第
１図 第２図 ２１．穴内面 ３１．ダイヤモンド砥石 ≠ ０．砥石スピンドル よ２．冷却水噴射管
態の説明図、第２図は砥石の行程図である。 ／０．加工物、２６．穴内面、３０．ダイヤモンド砥石
、１０．砥石スピンドル、５０．冷却水噴射管特許出願
人 大成機械株式会社 ６１１５人：０恒罹−■−−長一ノ１１酒１１７４ミ第
１図 第２図 ２１．穴内面 ３１．ダイヤモンド砥石 ≠ ０．砥石スピンドル よ２．冷却水噴射管
Claims (1)
- ダイヤモンド砥石に高圧の冷却水を噴射して、該砥石の
目づまりの原因となる研削粉を除去しつつ、かつ高熱に
よるダイヤモンド切れ刃の焼損及び剥離を防止しながら
ＣＮＣ制御により砥石切込み台及び工作主軸台を制御、
プランジカットを重畳して各種セラミックス材の加工物
穴内面を所定の寸法まで高速で切込み、次いでトラバー
スカットを加えて仕上げることを特徴とするセラミック
スの内面高速研削加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12674985A JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12674985A JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284370A true JPS61284370A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0448580B2 JPH0448580B2 (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=14942957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12674985A Granted JPS61284370A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | ラミツクスの内面高速研削加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61284370A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996002356A1 (de) * | 1994-07-14 | 1996-02-01 | Zf Friedrichshafen Ag | Vorrichtung für ein verfahren zur vermeidung von überbeanspruchungen eines werkstückes beim schleifen |
| JP2002307305A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 円筒状ワ−クのスキップシフトプランジ研削方法 |
| JP2002331446A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 繰り返しプロフィ−ルを有する円筒状ワ−クの研削装置および円筒状ワ−クのシフトプランジ研削方法 |
| JP2016176148A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-10-06 | 三井金属鉱業株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲット用ターゲット材の製造方法 |
| JP2017082280A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP12674985A patent/JPS61284370A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996002356A1 (de) * | 1994-07-14 | 1996-02-01 | Zf Friedrichshafen Ag | Vorrichtung für ein verfahren zur vermeidung von überbeanspruchungen eines werkstückes beim schleifen |
| JP2002307305A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 円筒状ワ−クのスキップシフトプランジ研削方法 |
| JP2002331446A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 繰り返しプロフィ−ルを有する円筒状ワ−クの研削装置および円筒状ワ−クのシフトプランジ研削方法 |
| JP2016176148A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-10-06 | 三井金属鉱業株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲット用ターゲット材の製造方法 |
| JP2017082280A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0448580B2 (ja) | 1992-08-07 |
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Legal Events
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