JPH0448921Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0448921Y2
JPH0448921Y2 JP1987101855U JP10185587U JPH0448921Y2 JP H0448921 Y2 JPH0448921 Y2 JP H0448921Y2 JP 1987101855 U JP1987101855 U JP 1987101855U JP 10185587 U JP10185587 U JP 10185587U JP H0448921 Y2 JPH0448921 Y2 JP H0448921Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
lapping
case
porous
air chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1987101855U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS649058U (en
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987101855U priority Critical patent/JPH0448921Y2/ja
Publication of JPS649058U publication Critical patent/JPS649058U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0448921Y2 publication Critical patent/JPH0448921Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea] 【考案の目的】[Purpose of invention]

(産業上の利用分野) この考案は、ラツプ加工装置に関し、とくに多
孔質材料よりなるワークに対してラツプ加工
(lapping;琢磨加工)を行うのに利用されるラツ
プ加工装置に関するものである。 (従来の技術) 従来、多孔質材料よりなるワークの研磨面に対
してラツプ加工を行うに際しては、例えば第3図
に示すように、円筒形をなすワーク101の内面
102に対してラツプ加工を行う場合に、図示し
ない駆動源にロツド103を介して連結した円柱
状のラツプ工具104に、ワーク101を嵌合
し、ラツプ工具104とワーク101の内面10
2との間に砥粒およびラツプ油を適量介在させた
状態で、ラツプ工具104を回転させると共に、
ワーク101を軸方向に摺動させることにより行
つていた。 (考案が解決しようとする問題点) ところが、上記した要領によつて多孔質材料よ
りなるワーク101に対してラツプ加工を行う場
合、その加工中にワーク101の多孔部分105
に砥粒が入り込むことから、ラツプ加工終了後に
は、前記砥粒を除去するための洗浄を複数回実施
する必要があり、そのぶん工数が増加してしまう
という問題点があつた。 また、多孔部分105の各孔径よりも若干大き
目の砥粒を用いて加工時間を短縮しようとする
と、これらの砥粒が多孔部分105に嵌まり込ん
で上記洗浄によつても除去しえなくなることがあ
るため、多孔部分105に嵌まり込むことがな
く、しかも加工時間を短縮させることができる最
適な砥粒を選定するのが容易でないという問題点
を有していた。 (考案の目的) この考案は、以上のような問題点に着目してな
されたものであり、多孔質材料よりなるワークに
対してラツプ加工を行うに際して、その加工中に
ワークの多孔部分に砥粒が入り込むのを極力少な
くして、ラツプ加工終了後に行う砥粒除去のため
の洗浄回数を減らすことができるようにすること
により、工数の低減化を図ると共に、前記多孔部
分の砥粒による目詰まりの懸念をなくして任意の
大きさの砥粒を使用できるようにすることによつ
て、ラツプ加工に最適な砥粒の選定を容易に行い
うると共に、加工時間の短縮化を実現できるラツ
プ加工装置を提供することを目的としている。
(Field of Industrial Application) This invention relates to a lapping device, and more particularly to a lapping device used for lapping a workpiece made of a porous material. (Prior Art) Conventionally, when lapping the polished surface of a workpiece made of a porous material, for example, as shown in FIG. 3, lapping is performed on the inner surface 102 of a cylindrical workpiece 101. When wrapping, the workpiece 101 is fitted into a cylindrical wrap tool 104 connected to a drive source (not shown) via a rod 103, and the wrap tool 104 and the inner surface 10 of the workpiece 101 are connected to each other.
While rotating the lapping tool 104 with an appropriate amount of abrasive grains and lapping oil interposed between the lapping tool 104 and the lapping tool 104,
This was done by sliding the workpiece 101 in the axial direction. (Problem to be solved by the invention) However, when lapping is performed on the workpiece 101 made of a porous material in the manner described above, the porous portion 105 of the workpiece 101 is
Since the abrasive grains get into the lapping process, it is necessary to carry out cleaning several times to remove the abrasive grains after the lapping process is completed, resulting in a problem in that the number of man-hours increases accordingly. Furthermore, if an attempt is made to shorten the machining time by using abrasive grains that are slightly larger than the respective hole diameters of the porous portions 105, these abrasive grains may get stuck in the porous portions 105 and cannot be removed even by the above-mentioned cleaning. Therefore, there was a problem in that it was not easy to select the most suitable abrasive grains that would not fit into the porous portions 105 and could shorten the machining time. (Purpose of the invention) This invention was made by focusing on the above-mentioned problems, and when lap processing is performed on a workpiece made of porous material, the porous part of the workpiece is polished during the lapping process. By minimizing the intrusion of particles and reducing the number of times of cleaning to remove abrasive particles after finishing the lapping process, it is possible to reduce the number of man-hours, and to prevent the abrasive particles from entering the porous areas. By eliminating the fear of clogging and allowing the use of abrasive grains of any size, it is easy to select the most suitable abrasive grains for lapping, and the processing time can be shortened. The purpose is to provide equipment.

【考案の構成】[Structure of the idea]

(問題点を解決するための手段) この考案に係るラツプ加工装置は、多孔質材料
よりなるワークの研磨面に対してラツプ加工を行
うラツプ工具と、ワークの非研磨面との間で流体
室を形成して当該流体室内に供給された圧縮流体
をワークの多孔部分を通して研磨面側に流出させ
る流体室形成手段と、を備えたことを特徴として
いる。 この場合、多孔質材料よりなるワークは、銅、
鉄、アルミニウムおよびそれらの合金などの金属
粉末を焼結することにより得られるものを例示す
ることができる。このような多孔質材料は、金属
としての機械的性質や被加工性などを具備するう
え、多孔質にもとづき、多孔部分への物質の貯蔵
作用、ろ過作用および絞り弁作用などの機能を具
備する特長を有し、これらの特長いかして、軸
受、フイルタおよび絞り弁などの部品に使用され
る。 (実施例 1) 以下、この考案を図面に基づいて説明する。 第1図はこの考案の第1実施例によるラツプ加
工装置を示すものであり、この実施例では、円筒
形をなす多孔質材料よりなるワークの内面に対し
てラツプ加工を行うラツプ加工装置を例に挙げて
説明する。 すなわち、このラツプ加工装置1は、図示しな
い駆動源と、この駆動源にロツド2を介して取付
た円柱状のラツプ工具3と、円筒形をなす多孔質
材料よりなるワーク10の外面(非研磨面)10
aとの間で後記のごとく空気室(流体室)4を形
成する空気室形成手段(流体室形成手段)と、備
えている。 前記空気室形成手段は、ケース5およびケース
カバー6から主として構成されるものである。 ケース5は底部5aを有した略円筒形をなすも
のであり、その内部にワーク10を隙間なく嵌合
しうるようにしてある。また、ケース5は、その
底部5aの中央に、ワーク10の内径およびラツ
プ工具3の外径よりも若干口径を大きくしたラツ
プ挿通孔5bを設けていると共に、反対側の開口
端5cの外側にフランジ5dを備えている。さら
に、ケース5の略中央における当該ケース5の内
面5eには、環状凹部5fが形成してある。 一方、ケースカバー6は、ケース5のフランジ
5dに、ボルト7およびナツト8によつて装着固
定するようにしてあり、その中央には、前記ラツ
プ挿通孔5bとほぼ同じ口径を有するラツプ逃げ
孔6aが形成してある。 そして、空気室形成手段は、ケース5の内部に
ワーク10を嵌合し、このケース5のフランジ5
dにケースカバー6を装着固定することによつ
て、ワーク10を保持するようにしており、これ
と同時に、前記環状凹部5fとワーク10の外面
10aとの間に空気室4を形成するようにしてい
る。この場合、前記環状凹部5fには、空気室4
と外部とを連通させる空気供給孔5gが形成して
あり、この空気供給孔5gのケース5の外面側に
形成したボス部5hに、図外に設けたエアコンプ
レツサに一端を接続したフレキシブルチユーブ9
の他端9aを接続させることにより、空気室4内
に圧縮空気(圧縮流体)を供給することができる
ようにしてある。 また、この空気室形成手段は、上記したワーク
10の保持状態において、ワーク10の一方の端
部10bと当接するケース5の底部5aにおける
ラツプ挿通孔5bの周辺部分にシールリング11
aを設けていると共に、他方の端面10cと当接
するケースカバー6におけるラツプ逃げ孔6aの
周辺部分にシールリング11bを設けており、さ
らにケースカバー6と当接するケース5の開口端
5cにおける開口周辺部分にシールリング11c
を設けており、これらのシールリング11a〜1
1cによつて各当接部分がそれぞれ密接状態とな
るようにしてある。 したがつて、前記空気室4内に供給された圧縮
空気の大半は、仮想線で示すように、ワーク10
の多孔部分10cを通過してワーク10の内面
(研磨面)10d側から流出し、さらに、ラツプ
挿通孔5bおよびラツプ逃げ孔6aを通して外部
に流出する。 そこで、上記したラツプ加工装置1によるワー
ク10の内面10dに対するラツプ加工手順を説
明する。 まず、ケース5の内部にワーク10を装着し、
ケースカバー6をケース5のフランジ5dに当接
してボルト7およびナツト8により固定する。次
いで、フレキシブルチユーブ9、空気供給孔5g
を通して、図外のエアコンプレツサからの圧縮空
気をケース5の環状凹部5fとワーク10の外面
10aとの間に形成した空気室4内に供給する。
このとき、ケース5およびケースカバー6には、
先述したようにしてシールリング11a〜11c
が設けてあるため、圧縮空気の大半はワーク10
の多孔部分10cを通過して内面10d側から流
出する。続いて、ケース5のラツプ挿通孔5bを
通して、ラツプ工具3をワーク10に挿入し、ワ
ーク10の内面10dとラツプ工具3との間に砥
粒およびラツプ油を介在させた状態で、ラツプ工
具3を回転させると共に、ワーク10をラツプ工
具3の軸方向に摺動させて、ワーク10の内面1
0dに対してラツプ加工を行う。 以上説明してきたように、この実施例によるラ
ツプ加工装置1によれば、ワーク10の多孔部分
10cを通して常に圧縮空気を流しているため、
ワーク10の多孔部分10cに砥粒が入り込むの
を極力抑えることが可能であるので、加工終了後
に行う砥粒除去のための洗浄回数を減らすことが
できると共に、任意の大きさの砥粒を使用するこ
とができるようになり、さらには、ラツプ加工の
際に、ワーク10の内面10dから流出する圧縮
空気によつて、ラツプ工具3をワーク10の中心
に常時位置させることができるため、ラツプ工具
3のワーク10の内面10dに対する片当りの発
生を防止することができ、ワーク10の内面10
dに対してより精度の高いラツプ加工を行うこと
が可能になるという特長がある。 (実施例 2) 第2図はこの考案の第2実施例によるラツプ加
工装置を示すものであり、この実施例では、多孔
質材料よりなるワークが有する平面に対してラツ
プ加工を行うラツプ加工装置を例示する。 このラツプ加工装置21は、図示しない駆動源
と、この駆動源の出力によつて水平方向に移動す
るようにしたラツプ定盤(ラツプ工具)23と、
上下に平面を有する多孔質材料よりなるワーク3
0の上面(非研磨面)30aとの間で空気室(流
体室)24を形成する空気室形成手段(流体室形
成手段)と、を備えている。 前記空気室形成手段は、ケース25およびケー
スカバー26から主として構成されるものであ
る。 ケース25は、ワーク30の上面30a側に形
成したフランジ部30bを隙間なく係合するフラ
ンジ受25aと、ワーク30の下面(研磨面)3
0c側に形成した突部30dを十分な余裕をもつ
て嵌合する貫通口25bを備えていると共に、こ
のケース25の上端側には、ケースカバー装着用
のフランジ25cが設けてあり、ワーク30のフ
ランジ部30bをフランジ受25aに係合した際
に、ワーク30の上面30aが、フランジ25c
の上面と同一平面をなすと共に、ワーク30の下
面30cが、貫通口25bから若干下側に突出す
るようにしてある。 一方、ケースカバー26は、ケース25のフラ
ンジ25cに装着した状態でボルト7およびナツ
ト8によつて固定するようにしたものであり、そ
の中心側におけるケースカバー26の下面26a
には凹部26bが形成してある。 そして、空気室形成手段は、ケース25にワー
ク30を装着し、ケースカバー26をフランジ2
5cに当接することにより、ワーク30を保持す
ると同時に、ケースカバー26の凹部26bとワ
ーク30の上面30aとの間に空気室24を形成
するようにしている。この場合、ケースカバー2
6の凹部26bには、外部と空気室24とを連通
させる空気供給孔26cが形成してあり、この空
気供給孔26cのケースカバー26の上面側に形
成したボス部26dに、図外のエアコンプレツサ
に一端を接続したフレキシブルチユーブ9の他端
9aを接続させることにより、前記空気室24内
に圧縮空気を供給することができるようにしてあ
る。 また、空気室形成手段は、ワーク30の上面3
0aと当接するケースカバー26の下面26aに
おける凹部26bの周辺部分に、シールリング1
1を設けることによつて、上記当接部分が密接し
た状態となるようにしてある。 したがつて、この実施例においても、第1実施
例と同様に、空気室24内に供給された圧縮空気
の大半は、仮想線で示すように、ワーク30の多
孔部分30eを通してワーク30の下面30c側
から流出する。 上記したラツプ加工装置21のラツプ加工手順
は、ケース25およびケースカバー26によりワ
ーク30を保持し、ケースカバー26の凹部26
bとワーク30の上面30aとの間に形成した空
気室24内にエアコンプレツサからの圧縮空気を
供給すると供に、ワーク30の下面30cとラツ
プ定盤23との間に砥粒およびラツプ油を介在さ
せ、ラツプ定盤23およびワーク30を互いに摺
動させることにより、ワーク30の下面30cに
対してラツプ加工を行う。 この実施例2においても、ワーク30の多孔部
分30eを通して常に圧縮空気を流しているた
め、多孔部分30eに砥粒が入り込むのを極力抑
えることが可能であるため、加工終了後に行う砥
粒除去のための洗浄回数を減らすことができると
ともに、任意の大きさの砥粒を使用することがで
きるようになり、加工時間の短縮化を実現するこ
とが可能となる。 (評価例) 次に、上記した第1,第2実施例によりラツプ
加工装置1,21によつてラツプ加工を行つたワ
ーク10,30について、多孔部分10c,30
eにアルコールを注入し、圧縮空気によつてこれ
らのアルコールを流出させる方法で洗浄を試みた
ところ、多孔部分10c,30eから流出する砥
粒は、1〜2回の洗浄で見られなくなつた。 また、比較のために上記ラツプ加工装置1,2
1において圧縮空気を通さずにラツプ加工を行つ
たワーク10,30に対して、上記方法による洗
浄を試みたところ、7〜8回の洗浄の後も、多孔
部分10c,30eから流出する砥粒が見られ
た。 以上の評価結果から、この考案に係るラツプ加
工装置1,21が、ワーク10,30の多孔部分
10c,30eに入り込む砥粒を大幅に少なくさ
せることができる効果を有していることが実証さ
れた。 以上説明してきた第1,第2実施例によるラツ
プ加工装置1,21では、各空気室形成手段にワ
ーク10,30を保持する機能をも兼備した構成
としたが、空気室形成手段が必らずしもこの構成
に限定されるものではない。 また、第1,第2実施例では、圧縮流体として
圧縮空気を使用したが、これに限定されるもので
はなく、圧縮空気とは異なる他の圧縮流体とし
て、例えば窒素ガスなどの不活性ガスを使用して
もよい。
(Means for Solving the Problems) The lapping device according to this invention has a fluid chamber between a lapping tool that performs lapping on the polished surface of a workpiece made of a porous material and a non-polished surface of the workpiece. The present invention is characterized by comprising a fluid chamber forming means for forming a fluid chamber and causing the compressed fluid supplied into the fluid chamber to flow out to the polishing surface side through the porous portion of the workpiece. In this case, the workpiece made of porous material is copper,
Examples include those obtained by sintering metal powders such as iron, aluminum, and alloys thereof. Such porous materials not only have the mechanical properties and workability of metals, but also have functions such as storing substances in the pores, filtering, and restricting valve functions based on their porous nature. Due to these characteristics, it is used in parts such as bearings, filters, and throttle valves. (Example 1) This invention will be explained below based on the drawings. FIG. 1 shows a lapping device according to a first embodiment of this invention, and this embodiment shows an example of a lapping device that performs lapping on the inner surface of a cylindrical workpiece made of porous material. I will list and explain. That is, this lapping device 1 includes a driving source (not shown), a cylindrical lapping tool 3 attached to the driving source via a rod 2, and an outer surface (non-polishing) of a workpiece 10 made of a cylindrical porous material. side) 10
air chamber forming means (fluid chamber forming means) for forming an air chamber (fluid chamber) 4 between the air chamber and the air chamber 4 as described later. The air chamber forming means is mainly composed of a case 5 and a case cover 6. The case 5 has a substantially cylindrical shape with a bottom 5a, and the workpiece 10 can be fitted into the case without any gap. In addition, the case 5 has a wrap insertion hole 5b whose diameter is slightly larger than the inner diameter of the workpiece 10 and the outer diameter of the wrap tool 3 at the center of the bottom 5a, and at the outside of the open end 5c on the opposite side. It is provided with a flange 5d. Further, an annular recess 5f is formed on the inner surface 5e of the case 5 at approximately the center thereof. On the other hand, the case cover 6 is attached and fixed to the flange 5d of the case 5 with bolts 7 and nuts 8, and a lap relief hole 6a having approximately the same diameter as the lap insertion hole 5b is provided in the center of the case cover 6. is formed. Then, the air chamber forming means fits the workpiece 10 inside the case 5, and the flange 5 of the case 5
By attaching and fixing the case cover 6 to d, the work 10 is held, and at the same time, an air chamber 4 is formed between the annular recess 5f and the outer surface 10a of the work 10. ing. In this case, the annular recess 5f has an air chamber 4.
An air supply hole 5g is formed to communicate between the air supply hole 5g and the outside, and a flexible tube whose one end is connected to an air compressor (not shown) is connected to a boss portion 5h formed on the outer surface side of the case 5 of the air supply hole 5g. 9
By connecting the other end 9a, compressed air (compressed fluid) can be supplied into the air chamber 4. The air chamber forming means also includes a seal ring 11 located around the lap insertion hole 5b in the bottom 5a of the case 5 that contacts one end 10b of the work 10 when the work 10 is held.
In addition, a seal ring 11b is provided around the wrap escape hole 6a in the case cover 6 that comes into contact with the other end surface 10c, and a seal ring 11b is provided around the opening at the open end 5c of the case 5 that comes into contact with the case cover 6. Seal ring 11c on the part
are provided, and these seal rings 11a to 1
1c, each abutting portion is brought into close contact with each other. Therefore, most of the compressed air supplied into the air chamber 4 is directed to the workpiece 10 as shown by the imaginary line.
It flows out from the inner surface (polishing surface) 10d of the workpiece 10 through the porous portion 10c, and further flows out through the lap insertion hole 5b and the lap escape hole 6a. Therefore, the lapping procedure for the inner surface 10d of the workpiece 10 by the above-mentioned lapping apparatus 1 will be explained. First, the workpiece 10 is installed inside the case 5,
Case cover 6 is brought into contact with flange 5d of case 5 and fixed with bolts 7 and nuts 8. Next, flexible tube 9, air supply hole 5g
Through this, compressed air from an air compressor (not shown) is supplied into the air chamber 4 formed between the annular recess 5f of the case 5 and the outer surface 10a of the workpiece 10.
At this time, the case 5 and case cover 6 have
Seal rings 11a to 11c as described above.
is provided, most of the compressed air goes to the workpiece 10.
It passes through the porous portion 10c and flows out from the inner surface 10d. Subsequently, the lapping tool 3 is inserted into the workpiece 10 through the lapping insertion hole 5b of the case 5, and the lapping tool 3 is inserted into the workpiece 10 with abrasive grains and lapping oil interposed between the inner surface 10d of the workpiece 10 and the lapping tool 3. At the same time, the workpiece 10 is slid in the axial direction of the lap tool 3, and the inner surface 1 of the workpiece 10 is rotated.
Perform wrap processing on 0d. As explained above, according to the wrapping apparatus 1 according to this embodiment, compressed air is constantly flowing through the porous portion 10c of the workpiece 10, so that
Since it is possible to prevent abrasive grains from entering the porous portion 10c of the workpiece 10 as much as possible, it is possible to reduce the number of times of cleaning to remove abrasive grains after finishing machining, and it is also possible to use abrasive grains of any size. Moreover, during lapping, the lapping tool 3 can be always positioned at the center of the work 10 by the compressed air flowing out from the inner surface 10d of the work 10. It is possible to prevent uneven contact with the inner surface 10d of the work 10 in No. 3, and the inner surface 10 of the work 10 can be prevented from occurring.
A feature of this method is that it is possible to perform lap processing with higher precision on d. (Embodiment 2) Figure 2 shows a lapping device according to a second embodiment of this invention. In this embodiment, the lapping device performs lapping on a flat surface of a workpiece made of porous material. exemplify. This lapping device 21 includes a driving source (not shown), a lapping surface plate (lap tool) 23 that is moved in the horizontal direction by the output of the driving source, and
Workpiece 3 made of porous material with flat surfaces on the top and bottom
air chamber forming means (fluid chamber forming means) for forming an air chamber (fluid chamber) 24 between the upper surface (non-polishing surface) 30a of The air chamber forming means is mainly composed of a case 25 and a case cover 26. The case 25 includes a flange receiver 25a that engages a flange portion 30b formed on the upper surface 30a side of the workpiece 30 without a gap, and a lower surface (polished surface) 3 of the workpiece 30.
The case 25 is provided with a through hole 25b into which the protrusion 30d formed on the 0c side fits with a sufficient margin, and a flange 25c for attaching a case cover is provided on the upper end side of the case 25. When the flange portion 30b of the workpiece 30 is engaged with the flange receiver 25a, the upper surface 30a of the workpiece 30
The lower surface 30c of the workpiece 30 is flush with the upper surface and slightly protrudes downward from the through hole 25b. On the other hand, the case cover 26 is fixed to the flange 25c of the case 25 with bolts 7 and nuts 8, and the lower surface 26a of the case cover 26 on the center side
A recess 26b is formed therein. Then, the air chamber forming means attaches the workpiece 30 to the case 25 and attaches the case cover 26 to the flange 2.
5c, the work 30 is held and at the same time an air chamber 24 is formed between the recess 26b of the case cover 26 and the upper surface 30a of the work 30. In this case, case cover 2
An air supply hole 26c that communicates the outside with the air chamber 24 is formed in the concave portion 26b of No. 6, and a boss portion 26d formed on the upper surface side of the case cover 26 of the air supply hole 26c is connected to an air conditioner (not shown). Compressed air can be supplied into the air chamber 24 by connecting the other end 9a of the flexible tube 9, which has one end connected to the presser. Further, the air chamber forming means includes the upper surface 3 of the workpiece 30.
A seal ring 1 is placed around the recess 26b on the lower surface 26a of the case cover 26 that contacts the case cover 0a.
1, the abutting portions are brought into close contact with each other. Therefore, in this embodiment, as in the first embodiment, most of the compressed air supplied into the air chamber 24 passes through the porous portion 30e of the workpiece 30 and reaches the lower surface of the workpiece 30, as shown by the imaginary line. It flows out from the 30c side. In the lapping procedure of the lapping device 21 described above, the work 30 is held by the case 25 and the case cover 26, and the recess 26 of the case cover 26 is
Compressed air from an air compressor is supplied into the air chamber 24 formed between the upper surface 30a of the workpiece 30 and the upper surface 30a of the workpiece 30, and abrasive grains and lapping oil are supplied between the lower surface 30c of the workpiece 30 and the lapping surface plate 23. By interposing the lap surface plate 23 and the workpiece 30 to slide against each other, the lower surface 30c of the workpiece 30 is lapped. In this second embodiment as well, since compressed air is constantly flowing through the porous portion 30e of the workpiece 30, it is possible to suppress abrasive grains from entering the porous portion 30e as much as possible. It is possible to reduce the number of cleaning times required for cleaning, and it is also possible to use abrasive grains of any size, making it possible to shorten processing time. (Evaluation Example) Next, regarding the workpieces 10 and 30 that have been lapped by the lapping devices 1 and 21 according to the first and second embodiments described above, the porous portions 10c and 30
When cleaning was attempted by injecting alcohol into the hole e and letting the alcohol flow out using compressed air, the abrasive grains flowing out from the porous portions 10c and 30e were no longer visible after one or two cleanings. . Also, for comparison, the above-mentioned lapping machines 1 and 2 are shown below.
When we attempted to clean the workpieces 10 and 30 that had been lapped without passing compressed air in step 1 using the above method, we found that even after 7 to 8 times of cleaning, abrasive particles flowed out from the porous portions 10c and 30e. It was observed. From the above evaluation results, it has been demonstrated that the lapping devices 1 and 21 according to this invention have the effect of significantly reducing the amount of abrasive grains that enter the porous portions 10c and 30e of the workpieces 10 and 30. Ta. In the lap processing apparatuses 1 and 21 according to the first and second embodiments described above, each air chamber forming means is configured to also have the function of holding the workpieces 10 and 30, but the air chamber forming means is not necessarily provided. However, the configuration is not limited to this. Further, in the first and second embodiments, compressed air was used as the compressed fluid, but the invention is not limited to this. For example, an inert gas such as nitrogen gas may be used as a compressed fluid other than compressed air. May be used.

【考案の効果】[Effect of the idea]

以上説明してきたように、この考案に係るラツ
プ加工装置によれば、多孔室材料よりなるワーク
の研磨面に対してラツプ加工を行うラツプ工具
と、ワークの非研磨面との間での流体室を形成し
て当該流体室内に供給された圧縮流体をワークの
多孔部分を通して研磨面側に流出させる流体室形
成手段と、を備えた構成としたため、加工中にワ
ークの多孔部分に砥粒が入り込むのを極力抑える
ことが可能になり、加工終了後に行う砥粒除去の
ための洗浄回数を減らすことができ、その結果、
工数の低減化を図りうると共に、任意の大きさの
砥粒を使用できるため、ラツプ加工に最適な砥粒
の選定が容易であると共に、加工時間の短縮化を
実現させることができるという極めて優れた効果
をもたらしうるものである。
As explained above, according to the lapping device of this invention, a fluid chamber is formed between the lapping tool that performs lapping on the polished surface of a workpiece made of a porous chamber material and the non-polished surface of the workpiece. and fluid chamber forming means for forming a compressed fluid supplied into the fluid chamber and flowing out to the polishing surface side through the porous portion of the workpiece, so that abrasive grains enter the porous portion of the workpiece during machining. This makes it possible to minimize the number of times of cleaning to remove abrasive grains after finishing machining, and as a result,
In addition to reducing man-hours, it is also possible to use abrasive grains of any size, making it easy to select the most suitable abrasive grains for lapping, and also shortening machining time. It is possible to bring about a positive effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの考案の第1実施例によるラツプ加
工装置を示し、多孔質材料よりなるワークの研磨
面に対してラツプ加工を行う際の空気室形成手段
を備えたラツプ加工装置の縦断面説明図、第2図
はこの考案の第2実施例によるラツプ加工装置を
示し、多孔質材料よりなるワークの研磨面に対し
てラツプ加工を行う際の空気室形成手段を備えた
ラツプ加工装置の縦断面説明図、第3図は従来の
多孔質材料よりなるワークの研磨面に対してラツ
プ加工を行う際のラツプ加工要領を示す縦断面説
明図である。 1,21……ラツプ加工装置、3……ラツプ工
具、4,24……空気室(流体室)、5,25…
…ケース(流体室形成手段)、6,26……ケー
スカバー(流体室形成手段)、10,30……ワ
ーク(多孔質材料よりなるワーク)、10a……
ワークの外面(ワークの非研磨面)、10c,3
0e……ワークの多孔部分、10d……ワークの
内面(ワークの研磨面)、23……ラツプ定盤
(ラツプ工具)、30a……ワークの上面(ワーク
の非研磨面)、30c……ワークの下面(ワーク
の研磨面)。
FIG. 1 shows a lapping apparatus according to a first embodiment of this invention, and is a longitudinal cross-sectional view of the lapping apparatus equipped with an air chamber forming means when lapping is performed on the polished surface of a workpiece made of a porous material. Fig. 2 shows a lapping device according to a second embodiment of this invention, and is a longitudinal cross-section of the lapping device equipped with an air chamber forming means when performing lapping on the polished surface of a workpiece made of a porous material. FIG. 3 is an explanatory longitudinal cross-sectional view showing the lapping procedure when performing lapping on the polished surface of a workpiece made of a conventional porous material. 1, 21... Wrap processing device, 3... Wrap tool, 4, 24... Air chamber (fluid chamber), 5, 25...
...Case (fluid chamber forming means), 6, 26... Case cover (fluid chamber forming means), 10, 30... Work (work made of porous material), 10a...
Outer surface of workpiece (non-polished surface of workpiece), 10c, 3
0e...Porous part of the workpiece, 10d...Inner surface of the workpiece (polished surface of the workpiece), 23...Lap surface plate (lap tool), 30a...Top surface of the workpiece (non-polished surface of the workpiece), 30c...Workpiece The bottom surface (polished surface of the workpiece).

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 多孔質材料よりなるワークの研磨面に対してラ
ツプ加工を行うラツプ工具と、ワークの非研磨面
との間で流体室を形成して当該流体室内に供給さ
れた圧縮流体をワークの多孔部分を通して研磨面
側に流出させる流体室形成手段と、を備えたこと
を特徴とするラツプ加工装置。
A fluid chamber is formed between a lapping tool that performs lapping on the polished surface of a workpiece made of a porous material and a non-polished surface of the workpiece, and compressed fluid supplied into the fluid chamber is passed through the porous portion of the workpiece. A lapping device characterized by comprising means for forming a fluid chamber for causing fluid to flow out to the polishing surface side.
JP1987101855U 1987-07-03 1987-07-03 Expired JPH0448921Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987101855U JPH0448921Y2 (en) 1987-07-03 1987-07-03

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987101855U JPH0448921Y2 (en) 1987-07-03 1987-07-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS649058U JPS649058U (en) 1989-01-18
JPH0448921Y2 true JPH0448921Y2 (en) 1992-11-18

Family

ID=31331227

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987101855U Expired JPH0448921Y2 (en) 1987-07-03 1987-07-03

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0448921Y2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS649058U (en) 1989-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6893332B2 (en) Carrier assemblies, planarizing apparatuses including carrier assemblies, and methods for planarizing micro-device workpieces
US7504032B2 (en) Filter device
JPH11138350A (en) Method and device for grinding of internal surface of cylindrical part in aluminum hollow extruding section and aluminum hollow extruding section
JPH11254279A (en) Device and method for finish polishing inner surface of metallic pipe
JP2004519351A (en) Coupling devices for vehicle wheels to be surface finished
JPH0448921Y2 (en)
JP4389554B2 (en) Super finishing equipment
US1792800A (en) Lapping device
US4950346A (en) Method of forming an adaptor fitting around a workpiece
US4330963A (en) Apparatus for grinding finish of piston rings
JPH0752013A (en) Pipe joint polishing device
US5800251A (en) Apparatus and method of lapping works
CN110722453A (en) Polishing clamp
JP4714506B2 (en) Work material chatter and deflection control device
CN111975487B (en) Automatic grinding equipment
JP4598095B2 (en) Polishing equipment
JP2005527389A (en) Method for micromachining the inner surface of a cylinder
JP2005527389A5 (en)
JP4263666B2 (en) Work holder for micro hole processing equipment
JP2579052Y2 (en) On-machine dressing device for internal gear type grinding wheel in gear honing machine
JP2020059087A (en) Super finishing device
JPS6150767A (en) Cylindrical barrel polishing method for annular work
JPS60191762A (en) Method and device of vibration type surface polishing
JPH0271971A (en) Roller unit
JPH0731964Y2 (en) Work rotation device in sandblasting device