JPH0449143Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0449143Y2 JPH0449143Y2 JP3375988U JP3375988U JPH0449143Y2 JP H0449143 Y2 JPH0449143 Y2 JP H0449143Y2 JP 3375988 U JP3375988 U JP 3375988U JP 3375988 U JP3375988 U JP 3375988U JP H0449143 Y2 JPH0449143 Y2 JP H0449143Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- ozone
- tin coating
- electrode
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 30
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N nonanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCC(O)=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 2
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 and as a result Chemical compound 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
〈産業上の利用分野〉
この考案はオゾン発生用電極に関する。
〈従来の技術〉
オゾンは、浄廃水の殺菌・脱臭、各種製造工程
の殺菌・脱臭、生鮮食料品の貯蔵、漂白、酸化、
アゼライン酸の製造など、非常に広い範囲で利用
されている。そして、このオゾンの発生方法とし
ては、対向する一対の電極板からなるオゾン発生
用電極で無声放電或いは高電圧交流放電を起こ
し、その放電中に気体酸素又は空気を通過させる
ことにより、O2→2O、Ｏ＋O2→O3＋Ｍという変
換を起こしてオゾンを発生させていた。そして、
このような発生方法によるオゾンの収率としては
一般的に１〜10％とあまり高いものではなかつ
た。 そして、オゾン発生に使用されるオゾン発生器
としては、無声放電型、沿面放電型、トレンチ型
などの具体的装置が知られている。また、これら
発生器に使用される電極を形成する材料として
は、その性質上以下のような特性が要求される。 (a) 放電特性を高めるための電気伝導性 (b) オゾンに酸化されづらい耐酸化性 (c) オゾンを分解するような触媒作用のない非
触媒性 従つて、酸化され易いAg，Hgなどは好ましく
ない。また、Pt、Pb、Mg、Cuなどは、2O3→
2O2という分解促進的な触媒作用が大きいので、
せつかく発生させたオゾンをまた元の酸素に戻し
てしまう傾向があり、結果的にオゾン発生を抑制
することとなるので好ましくない。 そこで、従来はステンレス鋼の表面に、電気伝
導性が良く且つ分解促進的な触媒作用のないチタ
ン板（Ti）を接合したものを採用していた。 〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながらこのような従来のオゾン発生用電
極にあつては、ステンレス鋼とチタン板との間の
熱膨張率が差が大きかつたため、水冷方式により
の殺菌・脱臭、生鮮食料品の貯蔵、漂白、酸化、
アゼライン酸の製造など、非常に広い範囲で利用
されている。そして、このオゾンの発生方法とし
ては、対向する一対の電極板からなるオゾン発生
用電極で無声放電或いは高電圧交流放電を起こ
し、その放電中に気体酸素又は空気を通過させる
ことにより、O2→2O、Ｏ＋O2→O3＋Ｍという変
換を起こしてオゾンを発生させていた。そして、
このような発生方法によるオゾンの収率としては
一般的に１〜10％とあまり高いものではなかつ
た。 そして、オゾン発生に使用されるオゾン発生器
としては、無声放電型、沿面放電型、トレンチ型
などの具体的装置が知られている。また、これら
発生器に使用される電極を形成する材料として
は、その性質上以下のような特性が要求される。 (a) 放電特性を高めるための電気伝導性 (b) オゾンに酸化されづらい耐酸化性 (c) オゾンを分解するような触媒作用のない非
触媒性 従つて、酸化され易いAg，Hgなどは好ましく
ない。また、Pt、Pb、Mg、Cuなどは、2O3→
2O2という分解促進的な触媒作用が大きいので、
せつかく発生させたオゾンをまた元の酸素に戻し
てしまう傾向があり、結果的にオゾン発生を抑制
することとなるので好ましくない。 そこで、従来はステンレス鋼の表面に、電気伝
導性が良く且つ分解促進的な触媒作用のないチタ
ン板（Ti）を接合したものを採用していた。 〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながらこのような従来のオゾン発生用電
極にあつては、ステンレス鋼とチタン板との間の
熱膨張率が差が大きかつたため、水冷方式により
【表】
TiNは、上記の如く比抵抗が小さいので電気
伝導性が高く放電特性に優れる。しかも、熱膨張
率が9.3で、ステンレス鋼（SUS403やSUS440C）
に対して、Ti（8.41）よりも近いので、TiNコー
テイング層とステンレス鋼との間で熱膨張の差が
殆どなく、温度上昇によりTiNコーテイング層
が剥離したり、電極板の変形を招いたりすること
がない（第１考案）。 また、TiCコーテイング層にしても、電気伝導
性はTiNコーテイング層よりやや劣るが、熱膨
張率がステンレス鋼製に近いので、前記TiNコ
ーテイング層同様に温度上昇による変形等を招く
ことがない（第２考案）。 〈実施例〉 以下、この考案の好適な一実施例を図面に基づ
いて説明する。 図はトレンチ型のオゾン発生器を示すものであ
る。このオゾン発生器は、主に対向する一対のス
テンレス鋼（SUS440C）製の電極板１、２から
構成されている。これら電極板１、２は、それぞ
れ周波数7000Hzで電圧8000Vの高圧電源３に接続
されており、電極板１、２間で高電圧交流放電を
起こさせるようになつている。電極板２には放電
効果を高めるために誘電体４が接合してあり、電
極板１は気体酸素用の通路を形成すべくＶ形の溝
５が複数連続して形成してある。気体酸素はこの
溝５を通過する際に、高電圧交流放電を受けてオ
ゾンに変換されるようになつている。 そして、オゾンに直接接触する電極板１の表面
１ａには、１〜10μmのTiNコーテイング層６が
化学蒸着処理（CVD）により施されている。 このTiNコーテイング層６は、電気伝導性に
優れているので、放電に要する電力量の節減を図
れる。また、発生したオゾンに対する耐酸化性が
高く、しかも発生したオゾンを分解するような触
媒作用もないので、気体酸素を高い効率でオゾン
化することが可能となる。 更に、TiNコーテイング層６は熱膨張率がス
テンレス鋼に近いので、放電に伴つて電極板１の
温度が上昇したとしても、コーテイング層６が剥
離したり、或いは電極板１が変形したりすること
がない。 次に、TiNコーテイング層６に代えて、TiCコ
ーテイング層を施してみた。TiCコーテイング層
の場合は、TiNコーテイング層６ほど電気伝導
性が高くないので、放電効果はTiNコーテイン
グ層６ほど高まらないが、その他はTiNコーテ
イング層６の場合とほとんど同一の結果を得るこ
とができた。 尚、以上の説明において、コーテイング層の施
し方として、化学蒸着処理を例に説明したが、物
理蒸着処理を行つても同様の効果を得ることがで
きる。また、TiNコーテイング層とTiCコーテイ
ング層とを同時にダブルコーテイングしても良
い。 〈効果〉 この考案に係るオゾン発生用電極は、以上説明
してきた如き内容のものであつて、 TiNコーテイング層は熱膨張率がステンレス
鋼に近いので、放電に伴つて電極板の温度が上昇
したとしても、コーテイング層が剥離したり、或
いは電極板を変形させたりすることがなく、確実
で且つ効率の良いオゾン発生を行うことができ
る。また、TiNコーテイング層は電気伝導性に
優れているので、放電に要する電力量の節減を図
れると共に、発生したオゾンに対する耐酸化性が
高く、しかも発生したオゾンを分解するような触
媒作用もないので、オゾン発生効率を高めること
が可能となる（第１考案）。 TiCコーテイング層は、電気伝導性でTiNコー
テイング層よりもやや劣るが、熱膨張率がTiN
コーテイング層と同様ステンレス鋼に近いので、
コーテイング層が剥離したり、或いは電極板を変
形させたりすることがなく、確実で且つ効率の良
いオゾン発生を行うことができる（第２考案）。
伝導性が高く放電特性に優れる。しかも、熱膨張
率が9.3で、ステンレス鋼（SUS403やSUS440C）
に対して、Ti（8.41）よりも近いので、TiNコー
テイング層とステンレス鋼との間で熱膨張の差が
殆どなく、温度上昇によりTiNコーテイング層
が剥離したり、電極板の変形を招いたりすること
がない（第１考案）。 また、TiCコーテイング層にしても、電気伝導
性はTiNコーテイング層よりやや劣るが、熱膨
張率がステンレス鋼製に近いので、前記TiNコ
ーテイング層同様に温度上昇による変形等を招く
ことがない（第２考案）。 〈実施例〉 以下、この考案の好適な一実施例を図面に基づ
いて説明する。 図はトレンチ型のオゾン発生器を示すものであ
る。このオゾン発生器は、主に対向する一対のス
テンレス鋼（SUS440C）製の電極板１、２から
構成されている。これら電極板１、２は、それぞ
れ周波数7000Hzで電圧8000Vの高圧電源３に接続
されており、電極板１、２間で高電圧交流放電を
起こさせるようになつている。電極板２には放電
効果を高めるために誘電体４が接合してあり、電
極板１は気体酸素用の通路を形成すべくＶ形の溝
５が複数連続して形成してある。気体酸素はこの
溝５を通過する際に、高電圧交流放電を受けてオ
ゾンに変換されるようになつている。 そして、オゾンに直接接触する電極板１の表面
１ａには、１〜10μmのTiNコーテイング層６が
化学蒸着処理（CVD）により施されている。 このTiNコーテイング層６は、電気伝導性に
優れているので、放電に要する電力量の節減を図
れる。また、発生したオゾンに対する耐酸化性が
高く、しかも発生したオゾンを分解するような触
媒作用もないので、気体酸素を高い効率でオゾン
化することが可能となる。 更に、TiNコーテイング層６は熱膨張率がス
テンレス鋼に近いので、放電に伴つて電極板１の
温度が上昇したとしても、コーテイング層６が剥
離したり、或いは電極板１が変形したりすること
がない。 次に、TiNコーテイング層６に代えて、TiCコ
ーテイング層を施してみた。TiCコーテイング層
の場合は、TiNコーテイング層６ほど電気伝導
性が高くないので、放電効果はTiNコーテイン
グ層６ほど高まらないが、その他はTiNコーテ
イング層６の場合とほとんど同一の結果を得るこ
とができた。 尚、以上の説明において、コーテイング層の施
し方として、化学蒸着処理を例に説明したが、物
理蒸着処理を行つても同様の効果を得ることがで
きる。また、TiNコーテイング層とTiCコーテイ
ング層とを同時にダブルコーテイングしても良
い。 〈効果〉 この考案に係るオゾン発生用電極は、以上説明
してきた如き内容のものであつて、 TiNコーテイング層は熱膨張率がステンレス
鋼に近いので、放電に伴つて電極板の温度が上昇
したとしても、コーテイング層が剥離したり、或
いは電極板を変形させたりすることがなく、確実
で且つ効率の良いオゾン発生を行うことができ
る。また、TiNコーテイング層は電気伝導性に
優れているので、放電に要する電力量の節減を図
れると共に、発生したオゾンに対する耐酸化性が
高く、しかも発生したオゾンを分解するような触
媒作用もないので、オゾン発生効率を高めること
が可能となる（第１考案）。 TiCコーテイング層は、電気伝導性でTiNコー
テイング層よりもやや劣るが、熱膨張率がTiN
コーテイング層と同様ステンレス鋼に近いので、
コーテイング層が剥離したり、或いは電極板を変
形させたりすることがなく、確実で且つ効率の良
いオゾン発生を行うことができる（第２考案）。
第１図はこの考案の一実施例に係るオゾン発生
用電極を示す概略図、そして第２図は第１図中矢
示部分を示す電極板表面の拡大断面図である。 １，２……電極板、３……高圧電源、４……誘
電体、５……溝、６……TiNコーテイング層。
用電極を示す概略図、そして第２図は第１図中矢
示部分を示す電極板表面の拡大断面図である。 １，２……電極板、３……高圧電源、４……誘
電体、５……溝、６……TiNコーテイング層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対向する一対のステンレス鋼製の電極板間で
放電し、該電極板間で酸素又は空気をオゾン化
せしめるオゾン発生用電極において、 上記電極板の表面のうち、少なくとも発生し
たオゾンが接触し得る部位にTiNコーテイン
グ層を施したことを特徴とするオゾン発生用電
極。 (2) 請求項１記載のオゾン発生用電極において、
TiNコーテイング層に代えてTiCコーテイング
層を施したことを特徴とするオゾン発生用電
極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3375988U JPH0449143Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3375988U JPH0449143Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141739U JPH01141739U (ja) | 1989-09-28 |
| JPH0449143Y2 true JPH0449143Y2 (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=31260453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3375988U Expired JPH0449143Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449143Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3375988U patent/JPH0449143Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01141739U (ja) | 1989-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2162651A1 (en) | Ozone water production apparatus | |
| US3903426A (en) | Corona generator electrode | |
| JPH0449143Y2 (ja) | ||
| US6284204B1 (en) | Ozone generator | |
| JP2000219503A (ja) | 沿面放電オゾン発生装置 | |
| JP2000072410A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH09241005A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPS62278105A (ja) | オゾン発生器 | |
| WO2018153278A1 (zh) | 一种新型臭氧生成板 | |
| JP4220090B2 (ja) | オゾン発生電極プレート | |
| JPH0415162B2 (ja) | ||
| RU2174095C2 (ru) | Устройство для электросинтеза озона | |
| JP2550625B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH09143777A (ja) | 固体高分子電解素子 | |
| JPH01242403A (ja) | オゾナイザ | |
| JPH0489303A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH0741303A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JP7788664B2 (ja) | 電解コンデンサ用電極箔の製造方法、電解コンデンサの製造方法および電源装置 | |
| JP2004149848A (ja) | 電解式オゾン発生陽極用触媒および電解式オゾン発生装置 | |
| KR100486786B1 (ko) | 다기능 복합 고무 전극 시트와 그의 응용 제품 | |
| JPH0441141Y2 (ja) | ||
| JPH07102317B2 (ja) | 放電反応装置の電極 | |
| RU2003113820A (ru) | Озонатор | |
| JP2002260968A (ja) | 積層型アルミ固体電解コンデンサおよびその製造方法 | |
| JP3026283U (ja) | オゾン発生装置 |