JPH0449520A - Magnetic tape - Google Patents

Magnetic tape

Info

Publication number
JPH0449520A
JPH0449520A JP2160532A JP16053290A JPH0449520A JP H0449520 A JPH0449520 A JP H0449520A JP 2160532 A JP2160532 A JP 2160532A JP 16053290 A JP16053290 A JP 16053290A JP H0449520 A JPH0449520 A JP H0449520A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
magnetic tape
back coat
coat layer
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2160532A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mikio Murai
幹夫 村居
Kiyoshi Takahashi
高橋 喜代司
Masaru Odagiri
優 小田桐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2160532A priority Critical patent/JPH0449520A/en
Publication of JPH0449520A publication Critical patent/JPH0449520A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気テー
プに関し、特にデジタルビデオテープレコーダや高精細
度ビデオテープレコーダに最適な磁気テープに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic tape having a ferromagnetic metal thin film as a magnetic recording layer, and particularly to a magnetic tape most suitable for digital video tape recorders and high-definition video tape recorders.

従来の技術 従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気テープに
おいては、様々な方法により耐食性、スチル耐久性、走
行耐久性を向上する試みが続けられてきた。たとえば、
強磁性金属薄膜上にカルボン酸素やリン酸系等の潤滑剤
層を設ける方法、または上記金属薄膜の上に非磁性金属
の保護膜を設ける方法、または上記金属薄膜の上にSi
n、等の酸化物の保護膜を設ける方法等である。
2. Description of the Related Art Conventionally, attempts have been made to improve the corrosion resistance, still durability, and running durability of magnetic tapes having a magnetic recording layer made of a ferromagnetic metal thin film using various methods. for example,
A method of providing a lubricant layer such as carboxylic acid or phosphoric acid on a ferromagnetic metal thin film, or a method of providing a non-magnetic metal protective film on the metal thin film, or a method of providing a silicon oxide layer on the metal thin film.
For example, a method of providing a protective film of oxide such as n.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記従来の磁気テープ保護膜では、未だ
走行耐久性とスチル耐久性が十分改善されていないとい
う課題があり、最近ではダイヤモンド状炭素膜を薄膜型
磁気テープの保護膜として用いることも検討され、この
技術により磁気テープのスチル耐久性や走行耐久性、耐
食性等が著しく向上してきている。
Problems to be Solved by the Invention However, the conventional magnetic tape protective film described above still has the problem that running durability and still durability have not been sufficiently improved.Recently, diamond-like carbon films have been used to protect thin-film magnetic tapes. The use of magnetic tape as a film has also been considered, and this technology has significantly improved the still durability, running durability, corrosion resistance, etc. of magnetic tapes.

このようにダイヤモンド状炭素膜を保護膜に用いること
により、磁気記録層側の信頼性は著しく向上したが、も
う一方の面のバックコート側は未改良のため磁気テープ
としての緒特性のバランスが取れなくなり、バックコー
ト層の改善が必要となっできた。
By using a diamond-like carbon film as a protective film, the reliability of the magnetic recording layer side was significantly improved, but the other side, the back coat side, was not improved, so the balance of the magnetic tape's performance was affected. This made it necessary to improve the back coat layer.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり
、バックコート層の摩擦係数を低下させて、バックコー
ト層の耐久性および信顛性を向上させた金属薄膜型の磁
気テープを提供することを目的とするものである。
The present invention solves these conventional problems, and provides a metal thin film type magnetic tape in which the friction coefficient of the back coat layer is lowered and the durability and reliability of the back coat layer is improved. The purpose is to

課題を解決するための手段 上記目的を達成するため本発明は、非磁性基板の一方の
面に強磁性金属薄膜を形成し、その上に炭化水素のプラ
ズマ重合膜と、炭化水素とアルゴンから得られるダイヤ
モンド状炭素膜と、潤滑剤層とをこの順に設け、非磁性
基板の他方の面にバックコート層を設け、その表面にフ
ッ素原子を含んだ炭化水素のプラズマ重合膜を好ましく
は5Å〜50人、さらに好ましくは5Å〜15人の厚み
で設けたものであり、バックコート層の摩擦係数を従来
の0.20から0.15〜0.16に低下し、かつ耐擦
傷性を向上し、磁気テープの走行耐久性をさらに向上さ
せるものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention forms a ferromagnetic metal thin film on one side of a non-magnetic substrate, and a plasma polymerized film of hydrocarbon is formed on the ferromagnetic metal thin film on one side of the non-magnetic substrate. A diamond-like carbon film and a lubricant layer are provided in this order, a back coat layer is provided on the other surface of the nonmagnetic substrate, and a plasma polymerized film of hydrocarbon containing fluorine atoms is preferably applied to the surface of the non-magnetic substrate. It is provided with a thickness of 5 Å to 15 Å, more preferably 5 Å to 15 Å, and reduces the friction coefficient of the back coat layer from the conventional 0.20 to 0.15 to 0.16, and improves the scratch resistance. This further improves the running durability of the magnetic tape.

具体的には、フッ素原子を含んだ炭化水素としては、C
F4.CH2F2.C2H6,CC4Fe等のガスを用
いるか、または室温で液体のものは減圧導入法や加熱減
圧導入法により使用することができる。プラズマ重合膜
を形成するためには、放電管内にプラズマを閉じ込め、
このプラズマ中に磁気テープのバックコート層表面を露
出することにより可能となる。
Specifically, hydrocarbons containing fluorine atoms include C
F4. CH2F2. Gases such as C2H6 and CC4Fe can be used, or those that are liquid at room temperature can be used by a reduced pressure introduction method or a heated reduced pressure introduction method. In order to form a plasma polymerized film, plasma is confined within a discharge tube,
This is made possible by exposing the surface of the back coat layer of the magnetic tape into this plasma.

プラズマ放電管内の圧力は、0.05Torrから0.
2Torrの範囲でコントロールされている。
The pressure inside the plasma discharge tube ranges from 0.05 Torr to 0.0 Torr.
It is controlled within a range of 2 Torr.

このバックコート層表面に形成されたフッ素原子を含ん
だプラズマ重合膜は磁気記録層の外表面に存在する潤滑
剤がリールに巻かれた状態で磁気テープが長期間放置さ
れた場合、バンクコート層側に移行することを防ぐ役割
をしており、これが磁気テープの走行耐久性やスチル耐
久性向上のもう一つの手段となっている。磁気記録層が
設けられている面とバックコート層が設けられている面
とに存在する潤滑剤の割合は、通常6:4程度であるが
、バックコート層表面にフッ素原子を含んだプラズマ重
合膜を形成するとその割合が8:2程度となる。
The plasma polymerized film containing fluorine atoms formed on the surface of this back coat layer will cause the lubricant present on the outer surface of the magnetic recording layer to be absorbed by the bank coat layer if the magnetic tape is left on a reel for a long period of time. It has the role of preventing magnetic tape from moving to the side, and is another means of improving the running durability and still durability of magnetic tape. The ratio of lubricant present on the surface provided with the magnetic recording layer and the surface provided with the backcoat layer is usually about 6:4, but plasma polymerization containing fluorine atoms on the surface of the backcoat layer When a film is formed, the ratio will be about 8:2.

作用 したがって本発明によれば、バックコート層の摩擦係数
が低下して耐擦傷性が向上し、かつ長期保存後も磁気記
録層側に存在する潤滑剤がバックコート層へある割合以
上は移動することがないために磁気テープの走行耐久性
やスチル耐久性がさらに改善されるものである。
Effect Therefore, according to the present invention, the friction coefficient of the back coat layer is reduced and the scratch resistance is improved, and even after long-term storage, more than a certain percentage of the lubricant present on the magnetic recording layer side migrates to the back coat layer. As a result, the running durability and still durability of the magnetic tape are further improved.

実施例 以下、本発明の一実施例を第1図および第2図にもとづ
いて説明する。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2.

図においては、■はポリエチレンテレフクレーI〜(P
ET)フィルム等からなる非磁性基板であり、その−面
に強磁性金属薄膜2と、炭化水素のプラズマ重合膜3と
、炭化水素とアルゴンから得られるダイヤモンド状炭素
膜4が形成され、さらにその外表面に磁気テープの滑り
をよくするために潤滑剤層5が設けられている。また6
は非磁性基板1の他の面に形成されているバックコート
層であり、その外表面に本発明が特徴とするフッ素含有
炭化水素のプラズマ重合膜7が形成されている。
In the figure, ■ is polyethylene tereph clay I ~ (P
ET) is a non-magnetic substrate made of a film or the like, on the negative side of which a ferromagnetic metal thin film 2, a hydrocarbon plasma polymerized film 3, and a diamond-like carbon film 4 obtained from hydrocarbon and argon are formed. A lubricant layer 5 is provided on the outer surface to improve the slippage of the magnetic tape. Also 6
is a back coat layer formed on the other surface of the nonmagnetic substrate 1, and a plasma polymerized film 7 of fluorine-containing hydrocarbon, which is a feature of the present invention, is formed on the outer surface of the back coat layer.

上記構成において、最大表面粗さが70Å〜100人で
あり、かつ中心線における平均粗さが30Å〜50人で
、山状の突起物の密度が1mr4当り105〜10I0
個である500mm幅のPETフィルム等からなる非磁
性基板1の面上に斜方真空蒸着法により酸素を導入しな
がら、Co (80) −N i (20)からなる強
磁性金属薄膜2を1800人の厚さに形成した後、この
強磁性金属薄膜2上に真空度Q 、1Torr、周波数
15kHz 、電圧500■の条件下でプロパンガスを
原料としてプラズマ重合膜3を10人の厚さに形成する
。さらにそのプラズマ重合膜3の上にアルゴンとプロパ
ンガス等よりなる炭化水素を原料として混合ガス圧を0
.3Torrとして周波数20kHz 、電圧2000
 V、直流電圧1000ボルトの条件下で、プラズマC
VD法によってダイヤモンド状炭素膜4を100人の厚
みで形成する。その後コーティング法により最大表面粗
さ0.2μm、中心線における平均粗さ0.08μmの
表面特性を有する0、5μm厚さのバックコート層6を
ウレタンとニトロセルロースおよびカーボンブラックに
より非磁性基板1の他の面に形成する。
In the above configuration, the maximum surface roughness is 70 Å to 100 Å, the average roughness at the center line is 30 Å to 50 Å, and the density of the mountain-like protrusions is 10 5 to 10 I0/mr4.
A ferromagnetic metal thin film 2 made of Co (80) - Ni (20) is deposited on the surface of a non-magnetic substrate 1 made of a PET film or the like with a width of 500 mm while introducing oxygen by oblique vacuum evaporation. After forming the ferromagnetic metal thin film 2 to a thickness of 10 mm, a plasma polymerized film 3 is formed to a thickness of 10 mm using propane gas as a raw material under the conditions of a vacuum degree of Q, 1 Torr, a frequency of 15 kHz, and a voltage of 500 μm. do. Furthermore, on the plasma polymerized film 3, a mixed gas pressure of 0 is applied using hydrocarbons such as argon and propane gas as raw materials.
.. 3Torr, frequency 20kHz, voltage 2000
V, plasma C under the condition of DC voltage 1000 volts
A diamond-like carbon film 4 is formed to a thickness of 100 mm using the VD method. Thereafter, a back coat layer 6 with a thickness of 0.5 μm having surface characteristics of a maximum surface roughness of 0.2 μm and an average roughness at the center line of 0.08 μm is coated on the non-magnetic substrate 1 by a coating method using urethane, nitrocellulose, and carbon black. Form on the other side.

次に、このバックコート層6の上にC2F4等のフッ素
原子を含有するガスを原料として、放電管内の圧力0.
1Torr、ガスの流電20SCCM(Standar
dC(:/min、 )周波数15kHz 、電圧50
0■の条件下でプラズマ放電させながら、この放電管に
バックコート層6の面を露出して走行させることにより
フッ素含有炭化水素のプラズマ重合膜7を形成する。
Next, on this back coat layer 6, a gas containing fluorine atoms such as C2F4 is used as a raw material, and the pressure inside the discharge tube is 0.
1Torr, gas current 20SCCM (Standard)
dC (:/min, ) Frequency 15kHz, Voltage 50
A plasma-polymerized film 7 of fluorine-containing hydrocarbon is formed by running this discharge tube with the surface of the back coat layer 6 exposed while generating plasma discharge under the condition of 0.0 mm.

第2図にフッ素含有炭化水素のプラズマ重合膜7を形成
する装置の要部を示す。図において、6aはバ・ツクコ
ート面、8は放電管である。
FIG. 2 shows the main parts of an apparatus for forming a plasma polymerized film 7 of fluorine-containing hydrocarbon. In the figure, 6a is a back coat surface, and 8 is a discharge tube.

次にフッ素含有炭化水素のプラズマ重合膜7の厚みがそ
れぞれ5人、20人、50人、200人である磁気テー
プを試作し、サンプル1,2,3.4とした。また原料
ガスとしてCz F bに代えてC−C。
Next, magnetic tapes in which the thickness of the plasma polymerized film 7 of fluorine-containing hydrocarbon was 5, 20, 50, and 200, respectively, were produced as samples 1, 2, and 3.4. Also, C-C is used instead of Cz F b as the raw material gas.

F eを用いて10人の厚さを有するフッ素含有プラズ
マ重合膜7を設けた磁気テープをサンプル5とし、原料
ガスとしてCz F bに代えてCF、を用いて15人
の厚さを有するフッ素含有プラズマ重合膜7を設けた磁
気テープをサンプル6とした。さらに比較のためにバッ
クコート層6の上にフッ素含有プラズマ重合膜を設けて
いない磁気テープのサンプルを試作しサンプル7.8と
した。
Sample 5 is a magnetic tape on which a fluorine-containing plasma polymerized film 7 with a thickness of 10 people was provided using Fe, and a fluorine-containing plasma polymerized film 7 with a thickness of 15 people was prepared using CF as a source gas instead of CzFb. Sample 6 was a magnetic tape provided with plasma-polymerized film 7 containing plasma. Furthermore, for comparison, a sample of a magnetic tape without a fluorine-containing plasma polymerized film provided on the back coat layer 6 was prepared as sample 7.8.

上記のように作製したサンプルのダイヤモンド状炭素膜
4の上に含フツ素カルボン酸を、公知のコーティング法
により20人の厚さに塗布して潤滑剤層5を形成する。
A lubricant layer 5 is formed by applying fluorine-containing carboxylic acid to a thickness of 20 mm on the diamond-like carbon film 4 of the sample prepared as described above using a known coating method.

その後スリッターによりBnwn幅に裁断し、磁気テー
プを作成する。このように試作した磁気テープを用いて
、バックコート層6の摩擦係数を摩擦係数測定機で測定
し、長期保存後においてバックコート層6側に移行した
潤滑剤の量を測定した。さらに8鴫用ビデオテープレコ
ーダを用いて、120分用に試作した上記のサンプルの
走行耐久試験を行い、試験前にくらべて出力が3dB低
下するまでに何パス走行可能かを測定した。これらの測
定結果を次の表に示す。
Thereafter, the tape is cut into Bnwn widths using a slitter to create a magnetic tape. Using the magnetic tape prototyped in this way, the friction coefficient of the back coat layer 6 was measured with a friction coefficient measuring device, and the amount of lubricant transferred to the back coat layer 6 side after long-term storage was measured. Furthermore, using a video tape recorder for 8-hour recording, a running durability test was conducted on the above-mentioned sample made for 120 minutes, and the number of passes that could be run before the output decreased by 3 dB compared to before the test was measured. The results of these measurements are shown in the table below.

(以下余白) なお、表においてバックコート層6の面に移行した潤滑
剤の量は、磁気テープの作製時に使用された潤滑剤の全
量に対する割合であって、表中に示ず置板外は全て磁気
記録層2側の面に存在するものである。
(Margins below) In the table, the amount of lubricant transferred to the surface of the back coat layer 6 is a percentage of the total amount of lubricant used when manufacturing the magnetic tape. All of them exist on the surface on the magnetic recording layer 2 side.

上記実施例および表に示す測定結果より明らかなように
、膜厚が特に5Å〜50人のフッ素含有プラズマ重合膜
7をバックコート層6の表面に設けることにより、バッ
クコート層6側の摩擦係数が低下し、かつダイヤモンド
状炭素膜4上に存在する潤滑剤層5の割合が80%程度
で安定した状態を保つことができ、そのため走行耐久性
において500パス以上の信頼性を得ることができる。
As is clear from the above examples and the measurement results shown in the table, by providing the fluorine-containing plasma polymerized film 7 having a film thickness of 5 Å to 50 on the surface of the back coat layer 6, the friction coefficient of the back coat layer 6 side can be reduced. is reduced, and the ratio of the lubricant layer 5 existing on the diamond-like carbon film 4 can be kept stable at about 80%, and therefore reliability of 500 passes or more can be obtained in terms of running durability. .

なお、上記実施例では、Co−Niよりなる強磁性金属
を蒸着した磁気テープについて説明したが、その他強磁
性金属薄膜2としてCaO系やco−Cr系等の強磁性
金属薄膜材料を用いた磁気テープおよび非磁性基板1と
してPETフィルム以外にPEN(ポリエチレンナフタ
レ−1・)やポリインド系の材料を使用した磁気テープ
においても同様の効果が得られるものである。
In the above embodiment, a magnetic tape on which a ferromagnetic metal made of Co-Ni was deposited was described, but other magnetic tapes using a ferromagnetic metal thin film material such as CaO-based or co-Cr-based as the ferromagnetic metal thin film 2 were described. Similar effects can be obtained with magnetic tapes using PEN (polyethylene naphthalene 1.) or polyindo-based materials in addition to PET film as the tape and nonmagnetic substrate 1.

発明の効果 以上のように本発明の磁気テープによれば、バックコー
ト層の表面にフッ素含有炭化水素のプラズマ重合膜を設
けることにより、バックコート層の耐擦傷性が向上し、
かつ走行面J久性を著しく向上することができるという
効果が得られるものてある。
Effects of the Invention As described above, according to the magnetic tape of the present invention, by providing a plasma polymerized film of fluorine-containing hydrocarbon on the surface of the back coat layer, the scratch resistance of the back coat layer is improved.
Moreover, there is an effect that the durability of the running surface can be significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例における磁気テープの拡大断
面図、第2図は同実施例における磁気テープの製造装置
の要部概略正面図である。 1・・・・・・非磁性基板、2・・・・・・強磁性金属
薄膜、3・・・・・・プラズマ重合膜、4・・・・・・
ダイヤモンド状炭素膜、5・・・・・・潤滑剤層、6・
・・・・・バックコート層、7・・・・・・フッ素含有
炭化水素のプラズマ重合膜。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか1名区 D 寸 怖 ト 城
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a magnetic tape according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front view of main parts of a magnetic tape manufacturing apparatus according to the same embodiment. 1...Nonmagnetic substrate, 2...Ferromagnetic metal thin film, 3...Plasma polymerized film, 4...
Diamond-like carbon film, 5...Lubricant layer, 6.
... Back coat layer, 7 ... Plasma polymerized film of fluorine-containing hydrocarbon. Name of agent: Patent attorney Shigetaka Kurino

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性基板の一方の面に強磁性金属薄膜、炭化水
素のプラズマ重合膜、炭化水素とアルゴンから得られる
ダイヤモンド状炭素膜、潤滑剤層をこの順に設け、前記
非磁性基板の他方の面にバックコート層、フッ素含有炭
化水素のプラズマ重合膜をこの順に設けた磁気テープ。
(1) A ferromagnetic metal thin film, a plasma-polymerized hydrocarbon film, a diamond-like carbon film obtained from hydrocarbon and argon, and a lubricant layer are provided in this order on one surface of the non-magnetic substrate, and A magnetic tape that has a back coat layer and a fluorine-containing hydrocarbon plasma polymerized film on its surface in this order.
(2)フッ素含有炭化水素のプラズマ重合膜の厚さが、
5Å〜50Åである請求項(1)記載の磁気テープ。
(2) The thickness of the plasma polymerized film of fluorine-containing hydrocarbon is
The magnetic tape according to claim 1, which has a thickness of 5 Å to 50 Å.
JP2160532A 1990-06-19 1990-06-19 Magnetic tape Pending JPH0449520A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2160532A JPH0449520A (en) 1990-06-19 1990-06-19 Magnetic tape

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2160532A JPH0449520A (en) 1990-06-19 1990-06-19 Magnetic tape

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0449520A true JPH0449520A (en) 1992-02-18

Family

ID=15717008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2160532A Pending JPH0449520A (en) 1990-06-19 1990-06-19 Magnetic tape

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0449520A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650158A1 (en) * 1993-10-20 1995-04-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium, method for producing the same and method for forming film by plasma cvd
WO1996037886A1 (en) * 1995-05-24 1996-11-28 Sony Corporation Magnetic recording medium

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650158A1 (en) * 1993-10-20 1995-04-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium, method for producing the same and method for forming film by plasma cvd
US5496595A (en) * 1993-10-20 1996-03-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming film by plasma CVD
WO1996037886A1 (en) * 1995-05-24 1996-11-28 Sony Corporation Magnetic recording medium
US5858520A (en) * 1995-05-24 1999-01-12 Sony Corporation Magnetic recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0481256B2 (en)
US5589263A (en) Magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film, a dry etched layer, a carbonaceous film, and a lubricant film
KR0133353B1 (en) Magnetic recording medium and manufacturing method thereof
JPH0449520A (en) Magnetic tape
JPS60258724A (en) Magnetic recording medium
JP2964596B2 (en) Manufacturing method of magnetic recording medium
JPS6093626A (en) Magnetic recording medium
JP2511997B2 (en) Magnetic recording media
JPH01166329A (en) Production of magnetic recording medium
KR920010450B1 (en) Magnetic medium
JPS6174129A (en) Magnetic recording medium
JPH0444636A (en) magnetic recording medium
JPH0475573B2 (en)
Endo et al. Metal Particulate (MP)/Metal Evaporation (ME) Double-Layered Media for High-Density Recording
JPH02158909A (en) Method for manufacturing magnetic recording media
JPH02137116A (en) magnetic recording medium
Yamamoto et al. Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering
JPH0612569B2 (en) Magnetic recording method
JP2003346329A (en) Magnetic recording medium and manufacturing method thereof
JPS60219621A (en) Magnetic recording medium
JPS63113925A (en) magnetic recording medium
JPS6120220A (en) Magnetic recording medium and its manufacturing method
JPH07225934A (en) Metal thin film magnetic recording medium
JPH07110930A (en) Metal thin film magnetic tape and manufacturing method thereof
JPH03127320A (en) Perpendicular magnetic recording medium and its manufacturing method