JPH0449724B2 - - Google Patents
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- JPH0449724B2 JPH0449724B2 JP58238987A JP23898783A JPH0449724B2 JP H0449724 B2 JPH0449724 B2 JP H0449724B2 JP 58238987 A JP58238987 A JP 58238987A JP 23898783 A JP23898783 A JP 23898783A JP H0449724 B2 JPH0449724 B2 JP H0449724B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- group
- transparent conductive
- hydrolysis
- intermediate layer
- Prior art date
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- Laminated Bodies (AREA)
- Organic Insulating Materials (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Description
a.利用分野
本発明は透明導電性積層体に関し、更に詳しく
は透明有機高分子成型物(A)、中間層(B)及び金属酸
化物よりなる透明導電性層(C)とから主として構成
される該積層体に関する。
b.従来技術
高度情報化社会の到来と共に、光とエレクトロ
ニクスの両方の特徴を利用した部品、機器の進歩
は著しい。またマイクロコンピユータの飛躍的普
及にともない、コンピータ周辺機器の革新はめざ
ましい。これらのコンピータ入力装置として透明
タブレツトの開発が進んでいる。この構成部品の
一形態として高分子基板を用いた透明電極が用い
られるが、該目的には、キーボードとしての使用
形態より高度の耐摩擦性及び透明性が要求され
る。更に、出力装置としての液晶デイスプレイ、
エレクトロルミネツセンスデイスプレイ等にも該
透明電極が用いられるが、該目的にも同様に透明
電極の耐摩擦性及び透明性が要求される。
しかるに、有機高分子成型物の表面に金属酸化
物の透明導電性層を設けた透明導電性積層体は、
高分子成型物(多くはフイルム)の持つ優れた透
明性、可撓性、加工性の故に多くの特徴を有する
反面、透明導電性ガラスと比較した場合、透明導
電性層の耐摩擦性及び該透明導電性積層体の透明
性が劣つていた。
これはおそらく透明有機高分子成型物と金属酸
化物層間に化学結合ができにくい、或いは有機成
型物の耐熱性に限界があり金属酸化物被膜の形成
時、或いは形成後に十分な熱処理を施す事ができ
ず、金属酸化物の結晶化が進行しない、また光学
的には基板として用いられるポリエステルフイル
ム等の有機高分子成型物の反射がガラスと比較し
て大きい等の理由によるものと思われる。
従来、特開昭52−67647号公報、特開昭52−
116896号公報に示されるごとく、基板と透明導電
膜又は光学薄膜の付着強度や導電性を向上させる
手段として、Si,SiO,TiO2,Si2N4等の中間層
を設ける事が提案されている。しかしながら、か
かる方法では、導電性及び付着強度が若干向上す
るものの、まだ十分でなく、しかも、光学特性が
低下するという欠点があつた。
c.発明の目的
本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、耐
久性及び光学特性共に優れた透明導電性積層体を
目的としたものである。
d.発明の構成
本発明者らは、上述の目的を達成する手段とし
て、透明有機高分子成型物と透明導電層との間に
設ける中間層に着目した。そして、中間層を鋭意
研究した結果、特定の有機ケイ素化物合物からな
る新規な構成の中間層が透明タブレツト用電極と
しての使用に耐える十分な耐久性を有し、しかも
光学特性を向上せしめる効果があることを見出
し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、透明有機高分子成型物
(A)上に中間層(B)を介して金属酸化物よりなる透明
電性層(C)を積層した透明導電性積層体において、
前記中間層(B)が主として下式で表わされる化合物
及びこれらの加水分解により生成したオリゴマー
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の有機
ケイ素化合物の加水分解により生成された層
(B1)を少なくとも有し、該層(B1)が透明電
性(C)と接していることを特徴とする透明電性積層
体である。
(但し、R1は水素原子又は、炭素数1〜2のア
ルキル基、又は、
a. Field of Application The present invention relates to a transparent conductive laminate, more specifically, it is mainly composed of a transparent organic polymer molded product (A), an intermediate layer (B), and a transparent conductive layer (C) made of a metal oxide. The present invention relates to the laminate. b. Prior Art With the advent of a highly information-oriented society, there has been remarkable progress in parts and equipment that utilize the features of both optics and electronics. Furthermore, with the rapid spread of microcomputers, innovations in computer peripherals have been remarkable. Transparent tablets are being developed as input devices for these computers. A transparent electrode using a polymer substrate is used as one form of this component, but for this purpose, higher abrasion resistance and transparency are required than in the case of use as a keyboard. Furthermore, a liquid crystal display as an output device,
The transparent electrode is also used for electroluminescent displays and the like, but the abrasion resistance and transparency of the transparent electrode are similarly required for this purpose. However, a transparent conductive laminate in which a transparent conductive layer of metal oxide is provided on the surface of an organic polymer molded product,
Polymer molded products (mostly films) have many characteristics due to their excellent transparency, flexibility, and processability, but when compared with transparent conductive glass, the abrasion resistance of the transparent conductive layer and the The transparency of the transparent conductive laminate was poor. This is probably due to the difficulty in forming chemical bonds between the transparent organic polymer molding and the metal oxide layer, or the heat resistance of the organic molding is limited, making it difficult to perform sufficient heat treatment during or after the formation of the metal oxide film. This is thought to be due to the fact that crystallization of the metal oxide does not proceed, and optically, the reflection of molded organic polymers such as polyester films used as substrates is greater than that of glass. Previously, JP-A-52-67647, JP-A-52-
As shown in Publication No. 116896, it has been proposed to provide an intermediate layer of Si, SiO, TiO 2 , Si 2 N 4 , etc. as a means to improve the adhesion strength and conductivity between the substrate and the transparent conductive film or optical thin film. There is. However, although this method slightly improves the conductivity and adhesion strength, it is still insufficient and has the disadvantage that optical properties deteriorate. c. Purpose of the Invention The present invention was made in view of the current situation, and its object is to provide a transparent conductive laminate having excellent durability and optical properties. d. Structure of the Invention The present inventors focused on an intermediate layer provided between a transparent organic polymer molded product and a transparent conductive layer as a means to achieve the above-mentioned object. As a result of extensive research into the intermediate layer, we discovered that the intermediate layer with a new composition made of a specific organosilicon compound has sufficient durability to withstand use as an electrode for transparent tablets, and is effective in improving optical properties. We have discovered that there is, and have arrived at the present invention. That is, the present invention provides a transparent organic polymer molded product.
In a transparent conductive laminate in which a transparent conductive layer (C) made of a metal oxide is laminated on (A) via an intermediate layer (B),
The intermediate layer (B) is a layer produced by hydrolysis of one or more organosilicon compounds selected from the group consisting mainly of compounds represented by the following formula and oligomers produced by hydrolysis thereof ), and the layer (B1) is in contact with a transparent conductive layer (C). (However, R 1 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, or
【式】で表わさ
れる基を;R2は、水素原子又は炭素原子数1〜
2のアルキル基を;R3及びR4はそれぞれ独立に
炭素原子数1〜2のアルキル基を;x及びyはそ
れぞれ独立に1〜3の整数を;wは0又は1〜2
の整数を;zは1〜3の整数をそれぞれ表わし、
w+z=3である。又、式中R5,R6はそれぞれ
独立に水素原子、または炭素原子数1〜2のアル
キル基からなる群から選ばれる基である。)
本発明における透明有機高分子成型物(A)を構成
する有機高分子化合物としては、耐熱性に優れた
透明な有機高分子化合物であれば特に限定しない
が、通常耐熱性として80℃以上、好ましくは100
℃以上、特に好ましくは120℃以上のものであつ
て、例えば、ポリイミド、ポリエーテルスルホ
ン、ポリスルホン、ポリパラバン酸、ポリヒダン
トインを始めとし、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン−2,6−ナフタレンジカルボ
キシレート、ポリジアリルフタレート、ポリカー
ボネート等のポリエステル系樹脂及び芳香族ポリ
アミド、ポリアミド、ポリプロピレン、セルロー
ストリアセテート等が挙げられる。もちろんこれ
らはホモポリマー、コポリマーとして、又、単独
又はブレンドとしても使用しうる。
かかる有機高分子化合物の成型物の形状は特に
限定されるものではないが、通常シート状、フイ
ルム状のものが好ましく、中でもフイルム状のも
のは巻取り可能であり、又連続生産が可能である
為、特に好ましい。更にフイルム状のものが使用
される場合においては、フイルムの厚さは6〜
500μが好ましく、更には12〜125μが好ましい。
又、これらフイルムは本発明の特徴である透明
性を損わない程度において顔料を添加したり、
又、表面加工例えばサンドマツト加工等をほどこ
してもよい。
本発明に用いられる金属酸化物よりなる透明導
電性層(C)としてはインジウム、錫、カドミウム、
ジルコニウム及びチタンよりなる群から選ばれた
1種以上の金属の酸化物があげられる。これらの
金属酸化物は、本来透明な電気絶縁体であるが、
微量の不純物を含有する場合、わずかに酸素
不足になつている場合、2種以上の金属の酸化
物である場合等に半導体になる。本発明透明導電
性被膜を構成する金属酸化物は、半導体でなけれ
ばならない。好ましい半導体金属酸化物として
は、例えば錫をドープした酸化インジウム〔(In)
2-x(Sn)xO3-y〕、アンチモンをドープした酸化錫
〔(Sn)1-n(Sb)nO2-o〕、酸化カドミウム錫
(Cd2SnO4)等をあげる事ができる。十分な導電
性を得るために、これらの金属酸化物被膜の膜厚
は10Å以上であることが好ましく、30Å以上であ
れば更に好ましい。また、十分透明度の高い被膜
を得るためには、500Å以下である事が好ましく、
300Å以下がより好ましい。これらの半導体金属
酸化物被膜を、有機金属化合物の少なくとも1種
からなる層上に設ける方法としては、スパツタ
リング法、真空蒸着法、イオオンプレーデイ
ング法等の方法があげられる。
スパツタリングは、通常の各種の方式が用いら
れるが、マグネトロンにより、プラズマをターゲ
ツトの周りに閉じ込めて、成型物基板をプラズマ
の外に置く低温スパツタリング法が好ましく用い
られる。
真空蒸着は、通常の各種の方式が用いられる。
例えば抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレ
クトロンビームによる加熱方式がある。また、金
属を酸素ガス雰囲気中で蒸着する反応性蒸着法も
ある。
イオンプレーデイングは通常の各種の方式が用
いられるが、13.56MHzの高周波電場による放電
及び直流電場によるイオンの加速を行なう高周波
イオンプレーデイング法が好ましく用いられる。
これらの方法で得られた金属酸化物被膜の機械
的特性、或いは化学的耐久性を向上させるため
に、被膜形成時或いは形成後に熱処理(アニーリ
ング)を施す事ができる。特に、真空蒸着法で
は、被膜形成時にほとんど成型物基板表面の加熱
が行なわれないため、金属酸化物被膜形成後に熱
処理を必要とする。特に空気中等、酸素雰囲気中
での熱処理を行なうと、金属酸化物被膜の酸化及
び結晶化が進行し該被膜の透明性、機械的特性、
化学的耐久性が著しく向上する。
本発明における中間層(B)の層(B1)を形成す
る有機ケイ素化合物は、次の式(1)で表わされる化
合物及び/又はこれらの加水分解により生成した
オリゴマーからなる群から選ばれる1種又は2種
の化合物であある。
但し、上式において、R1は水素原子、又は炭
素数1〜2のアルキル基、
又は、下記の式(2)
で表わされる基である。また、R2は水素原子、
又は炭素原子数1〜2のアルキル基を、R3及び
R4はそれぞれ独立に炭素原子数1〜2のアルキ
ル基を、x及びyはそれぞれ独立に1〜3の整数
を、wは0又は1〜2の整数を、zは1〜3の整
数をそれぞれ表わし、w+z=3である。また(2)
式中R5,R6はそれぞれ独立に水素原子、または
炭素原子数1〜2のアルキル基からなる群から選
ばれる基である。
この中で本発明の積層体とした場合にすぐれた
耐久性を示すものとしては、官能基としてアミノ
基(−NH2)を含むものが好ましく、例えば
NH2−(CH2)3−Si−(OCH3)3、及び/又はNH2
−(CH2)3−Si−(OC2H5)3、
及びまたは、NH2−(CH2)2−NH−(CH2)3−Si
−(OCH3)3、
及びまたは、NH2−(CH2)−NH−(CH2)3−Si
−(OC2H5)3、及びまたは、NH2−(CH2)2−NH
−(CH2)3−Si(CH3)−(OCH3)2、
及びまたは、NH2−(CH2)2−NH−(CH2)3−Si
(CH3)−(OC2H5)2、
の単量体及びまたはこれらの加水分解により生成
した重合度10以下のオリゴマーから成る群から選
ばれる1種または2種以上の化合物であることが
特に好ましい。
本発明に於ける積層体としては該中間層(B)が前
述の中間層(B1)のみよりなる構成に於ても優
れた特性を示すが、さらに下記の中間層(B2)
を中間層(B1)と透明有機高分子成型物(A)との
間に積層することにより驚くべきことに高次に透
明性にすぐれた積層体を得ることができる。本発
明における中間層(B2)は主として高屈折折率
を有する酸化物を含む層であり、好ましい酸化物
としては酸化チタン又は酸化ジルコニウムがあ
り、これれらはスパツタリング法、真空蒸着法、
イオンプレレーテイング法等のPVD法で形成す
るか、又は主としてTi及び又はZrを含むアルキ
ルエステルの加水分解により形成することができ
るが、Ti及び又はZrを含むアルキルエステルの
加水分解による方法が透明有機高分子成型物(A)と
の接着性及び製膜の容易さの点で好ましい。
Ti及び又はZrを含むアルキルエステルとは一
般式TiOn(R7)o(但しR7はアルキル基、,
m,nは正の整数)で表わされるアルキルチタネ
ート、及びまたはZrXp(OR8)4-pで表わされる
アルキルジルコネートである。
上記の一般式で表わされるアルキルチタネート
のうち、とりわけm=4+(−1)×3、n=4
+(−1)×2、=1〜30のものが膜形成(例
えば塗工)の容易さや得られた中間層の特性の点
から好ましく用いられる。の値は、単一でなく
分布をもつていてもよいが、特にの値の分布が
15以下に最大値を有するアルキルチタネートは塗
工溶液粘度および加水分解において好ましい。上
記の一般式において、アルキル置換基R7は炭素
数1〜20のものが好ましく用いられる。特に炭素
数が2〜11のアルキル置換基のものは被膜形成操
作、例えば塗工の容易さ、更には加水分解速度、
得られた膜の機械的特性および透明性の点で好ま
しく用いられる。なお、上記アルキルチタネート
の二種以上の混合物を用いてもよい。該アルキル
チタネートは、有機溶剤に溶解せしめて溶液とな
し、成型物表面に塗布されると加水分解され、そ
れに続く縮合反応により脱アルキルハイドロオキ
シサイド化し、網目構造を形成する。塗工の条件
を選ぶことにより、アルキルチタネートは酸化チ
タンに近づく。
本発明の積層体を構成する有機物質を含有する
酸化チタン薄膜層は、本発明の目的とする効果を
発揮するために50重量%以上の酸化チタンが含ま
れていることが好ましい。前記の如く所望とする
有機成分の存在による効果を発揮するためには、
有機成分が0.1重量%以上、好ましくは0.5重量%
以上含まれることが要求される。
本発明の積層体に用いられるアルキルチタネー
トとしては、例えばテトテブチルチタネート、テ
トラエチルチタネート、テトラプロピルチタネー
ト、テトラステアリルチタネート、テトラ−2−
エチルヘキシルチタネート、ジイソプロポキシチ
タニウムビスアセチルアセトネート等があげら
れ、とりわけテトラブチルチタネート、テトラプ
ロピルチタネートが好ましく用いられる。これら
のアルキルチタネートはそのまま用いてもよく、
また2量体、4量体、10量体などの予備縮合した
ものも好ましく使用できる。
更に又これらアルキルチタネートをアセチルア
セトンの様なもので安定化させて使用してもよ
い。
また、上記の一般式で表わされるアルキルジル
コネートに於て、Xは炭素数1〜6のアルキル
基、もしくは、ハロゲン化アルキル基、フエニル
基、ビニル基、あるいは、β−ジケトン系化合物
もしくはβ−ケトエステル系化合物の残基であ
る。また、R8は炭素数1〜6のアルキル基であ
り、pは0〜4の整数である。
ジルコニウム化合物としては、例えば、アセチ
ルアセトンジルコニウム塩(トリブトキシジルコ
ニウムアセチルアセトネート、ジブトキシジルコ
ニウムジアセチルアセトネート、モノブトキシジ
ルコニウムトリアセチルアセトネートなど)、ジ
ルコニウムテトラアルコキシド(テトラブチルジ
ルコネート、テトラプロピルジルコネートなど)、
ジルコニウム−トリアルコキシ−モノアルキルア
セトアセテート(ジルコニウム−トリブトキシ−
モノエチルアセトアセテートなど)、ジルコニウ
ム−ジアルコキシ−ジアルキルアセトアセテート
(ジルコニウム−ジブトキシ−ジエチルアセトア
セテートなど)、ジルコニウム−モノアルコキシ
−トリアルキルアセトアセテート(ジルコニウム
−モノブトキシ−トリエチルアセトアセテートな
ど)などがある。
これらのTi及び又はZrのアルキルチタネート
は有機ケイ素化合物の1種又は2種以上との混合
物よりなつてもよい。
これらの有機ケイ素化合物としては、例えば、
ブチルシリケート、エチルシリケート、ブチルト
リメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリスβ−メ
トキシエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロ
ピルトリメトキシシラン、フエニルトリメトキシ
シラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシ
シラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシ
ラン、N−βアミノエチルγ−アミノプロピルト
リメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメ
チルジエトキシシラン、ビニルトリクロルシラ
ン、β−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチ
ルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−
γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、γ−ウレイドプ
ロピルトリエトキシシランなどがある。
又、これらのモノマー及び又はこれらの加水分
解より生成したオリゴマーからなる群から選ばれ
る1種又は2種以上の有機ケイ素化合物の加水分
解により生成された層(B3)を本発明の効果を
妨げない範囲で中間層(B1)と(B2)の間に設
けても良い。
又、中間層(B1)を形成するに際し、(1)式の
有機ケイ素化合物に上記有機ケイ素化合物の1種
以上のモノマー及び又はこれらの加水分解より生
成したオリゴマーからなる群から選ばれる1種又
は2種以上の有機ケイ素化合物を本発明の効果を
妨げない範囲で混合して用いることができる。
かかる有機金属化合物は、必要に応じて硬化触
媒、接着促進剤、ぬれ性改良剤、可塑剤、各種安
定剤、難燃剤、酸化防止剤、滑剤、消泡剤及び/
又は増粘剤等と混合して用いることもできる。
該有機金属化合物は、そのままでも、又溶媒に
とかして使用してもよい。
かかる有機溶剤としては、例えばヘキサン、シ
クロヘキサン、ヘプタン、オクタン、メチルシク
ロヘキサン、トルエン、ベンゼン、キシレン、オ
クテン、ノネン、ソルベントナフサ、メタノー
ル、エタノール、イソプロパノール、ブタノー
ル、ペンタノール、シクロヘキサノール、メチル
シクロヘキサノール、フエノール、クレゾール、
エチルエーテル、プロピルエーテル、テトラヒド
ロフラン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサ
ノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケ
トン、メチルアセテート、エチルアセテート、プ
ロピルアセテート、ブチルアセテート、エチルプ
ロピオネート、メチルベンゾエート、氷酢酸、ク
ロロホホルム、四塩化炭素、トリクレン、トリク
ロルエタン、クロルベンゼン、ジプロモエタン、
メチルセルソルブ、セルソルブ、セルソルブアセ
テート等の炭化水素系、アルコール系、エーテル
系、エステル系、カルボン酸系およびハロゲン置
換炭化水素系等の有機溶剤があげられる。とりわ
け、イソプロパノール、ブタノール、ノルマル−
ヘキサン、トルエン等が好ましく用いられる。こ
れらの有機溶剤は、単独で又は必要に応じて2種
以上を混合して使用することができる。更に場合
によつては、含水溶剤を用いてもよい。
該中間層は、透明有機高分子成型物上に塗布後
乾燥し、加熱、イオンボンバード或いは紫外線、
β線、γ線などの放射線により硬化させる。
また該中間層の塗布には、透明有機高分子成型
物や塗工液の形状、性質に応じてドクターナイ
フ、バーコーター、グラビアロールコーター、カ
ーテンコーター、ナイフコーターなどの公知の塗
工機械を用いる塗工法、スプレー法、浸漬法など
が用いられる。
該有機ケイ素化合物より形成される中間層
(B1)の厚さとしては、100〜1000Åが好ましく、
特に200〜900Åが好ましい。100Å未満の場合に
は、連続層を形成しないため本発明の効果が発現
されない。又、1000Åをこえると、光学特性が低
下して好ましくない。
中間層が(B1)層と(B2)層より構成される
場合の好ましい膜厚範囲は、
中間層(B1)は、200〜1000Åおよび中間層
(B2)は、200〜1000Å、特に好ましくは、中間
層(B1)は、200〜900Åおよび中間層(B2)は
300〜900Åである。
又、本発明による積層体は金属酸化物よりなる
透明等電性層(C)上に耐スクラツチ性を向上させる
といういわゆる表面保護の目的のために保護層(D)
を積層させてもよい。
かかる保護層(D)としては、TiO2,SnO2,
SiO2,ZrO2、ZnO等の透明酸化物あるいはアク
リロニトリル樹脂、スチレン樹脂、アクリレート
樹脂、ポリエステル樹脂、等の透明な有機化合物
重合体等を用いる事ができる。
かかる保護膜(D)の厚さは透明導電性層の特性を
低下させない範囲で任意に設ける事が可能であ
る。
また本発明による透明導電性積層体は、有機高
分子成型物(A)の両面に中間層(B)を介して透明導電
層(C)を積層した構成にしても良く、又高分子成型
物(A)の片面に中間層(B)を介して透明導電層(C)を積
層した構成において、他面に透明性を損わない範
囲で接着性、表面硬度、光学特性等を改善する目
的で、例えば前述した中間層(B1)と同種の層
や、酸化物層、窒素物層、硫化物層、炭化物層や
有機物層を設けても良い。
e.作用
本発明の積層体は従来得られなかつた優れた特
性を有する。即ち、本発明による中間層(B1)
中のアミノ基と透明導電性層(C)を形成する金属酸
化物との相互作用により、極めて優れた耐摩耗性
を有し、透明タブレツト用途に十利用できるもの
である。
更に、従来技術においては、中間層の存在によ
り、光学特性が低下していたが、本発明による中
間層(B1)では、逆に光学特性が向上し、中間
層(B1)及び(B2)の二層構成の中間層とする
ことにより、極めて優れた光学特性を有する透明
導電性積層体を得ることができるものである。
本発明の透明導電性積層体は、透明キーボード
用電極として適しているだけでなく、得られた製
品は例えば、電子写真、帯電防止材料、面発熱
体、固体デイスプレイ、光メモリー、光電変換素
子、光通信、光情報処理、太陽エネルギー利用材
料等と広い用途を有する。
以下、実施例をあげて本発明の効果を更に具体
的に説明する。なお、例中の部は重量部である。
実施例1及び比較例1
100μm厚のポリエチレンテチフタレートフイ
ルムの片面に、
NH2で表わされる化合物の加水分解により生
成した3量体会合物のブタノール、イソプロパノ
ール混合アルコール系溶液(濃度0.6重量%)を
バーコーターで塗布し、120℃で1分間乾燥した。
乾燥後の薄膜は500Åであつた。
該サンプルを直流マグネトロンスパツタ装置内
の基板保持台に固定し、真空度2×10-5Torrに
真空槽を排気した。その後、Ar/O2混合ガス
(O225%)を槽内に導入し、真空度を5×
10-3Torrに保つた後、In/Sn合金(Sn5重量%)
よりなるターゲツトを用い反応性スパツタリング
でIn2O3/SnO2(ITO)膜を形成した。膜形成速
度は約15Å/secであり、膜厚は200Åであつた。
該サンプルの特性は、波長550nmにおける透過率
87%、抵抗490Ω/□であつた。
又、上述の実施例1に対し比較例1として同じ
厚さのポリエチレンテレフタレートフイルムに塗
工膜を形成せずに直接ITO膜を厚さ200Åに形成
した。そのサンプル特性は、前記透過率83%、抵
抗570Ω/□であつた。
各サンプルについて、ITO膜面同志をスペーサ
ーにより100μm間隔になる様に対向させた透明
スイツチを作成した。
先端が7Rのシリコンゴム製のロツド(重さ200
g)を連続的にソレノイドで透明スイツチ上に自
由落下させた(ストローク0.5mm)。ロツドが落下
する毎にスイツチが押され、定電流電源により
1mAがスイツチに流れる。透明スイツチが押さ
れた時のパルス上の波形をシンクロスコープによ
り観測しながら、スイツチ寿命を調べた。波形が
観測されなくなつた時をスイツチの寿命とした塗
工液を塗布した実施例1は、100万押した後も波
形には大きな変化はみられなかつた(寿命は100
万回以上)。しかし塗工膜のない比較例1は、5
万回で波形が乱れ、20万で波形が観測されくなつ
た(寿命20万回)。
実施例2及び比較例2、3、4
75μm厚のポリエチレンテレフタレートフイル
ム上に分子式(C2H5O)3−Si−C3H6NH2で表わ
される化合物の加水分解により生成した会合度5
のオリゴマーの0.3重量%含有のメタノール、エ
タノール、イソプロパノール混合アルコール系溶
液をグラビアロールコーターで両面塗布し、150
℃で1分間乾燥した。乾燥後の膜厚は約200Åで
あつた。
該サンプルを真空蒸着装置内に設置し、Arガ
スのグロー放電によるイオンボンバード処理後、
In2O395部、SnO25部によりなる混合物を5×
10-5Torr下で120Å/secの析出速度で蒸着した。
金属酸化物の膜厚は220Åであつた。
該膜は波長550nmでの光透過率が38%、抵抗
20KΩ/□であり、150℃で熱処理した所、該光
透過率が85%、抵抗が480KΩ/□になつた。
以上の実施例2に対し、以下のように比較例
2、3、4のサンプルを作成評価した。
比較例2として同じ75μm厚のポリエチレンテ
レフタレートフイルム上にモノメチルポリシロキ
サン0.2重量%含有のエタノール・イソプロパノ
ノール溶液をグラビアロールコーターで塗布し、
150℃で1分間乾燥した。乾燥後の膜厚は150Åで
ある。
比較例3として同じ75μm厚さのポリエチレン
テレフタレートフイルム上に、層(B2)の一つ
であるテトラブチルチタネート(日本曹達株式会
社製)1重量%含有のイソプロパノール溶液をグ
ラビアロールコーターで塗布し、150℃で1分間
乾燥した。乾燥後の膜厚は約200Åである。
前記比較例2、3のサンプル及び比較例4とし
て塗工液を塗布しないポリエチレンテレフタレー
トフイルム上に、実施例2と同じ条件でITO膜を
形成した。モノメチルポリシロキサン塗工液を塗
布した比較例2は波長550nmでの透過率84%、抵
抗480Ω/□、テテトラブチルチタネート塗工液
を塗布した比較例3は該透過率82%、抵抗480
Ω/□、また塗工液無しの比較例4は該透過率83
%、抵抗550Ω/□であつた。
これらのサンプルをクロツクメーター
(TOYOSEIKI製)にて100dl/cm2の荷重下で摩
擦した時の抵抗変化を第1表に示す。なお、評価
は、摩擦前の抵抗R0に対する10回摩擦後の抵抗
R10及び100回摩擦後の抵抗R100の比R10/R0、
R100/R0で行なつた。A group represented by [Formula]; R 2 is a hydrogen atom or a carbon atom number of 1 to
2 alkyl groups; R 3 and R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms; x and y each independently represent an integer of 1 to 3; w is 0 or 1 to 2
z represents an integer from 1 to 3,
w+z=3. In the formula, R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms. ) The organic polymer compound constituting the transparent organic polymer molded product (A) in the present invention is not particularly limited as long as it is a transparent organic polymer compound with excellent heat resistance, but usually has a heat resistance of 80°C or higher, preferably 100
℃ or higher, particularly preferably 120℃ or higher, such as polyimide, polyethersulfone, polysulfone, polyparabanic acid, polyhydantoin, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalene dicarboxylate, polydiallyl. Examples include polyester resins such as phthalate and polycarbonate, aromatic polyamides, polyamides, polypropylene, and cellulose triacetate. Of course, these can be used as homopolymers, copolymers, alone or as blends. The shape of the molded product of the organic polymer compound is not particularly limited, but sheet-like or film-like products are usually preferred, and among them, film-like products can be rolled up and can be continuously produced. Therefore, it is particularly preferable. Furthermore, when a film-like material is used, the thickness of the film is 6 to 6.
The thickness is preferably 500μ, more preferably 12 to 125μ. In addition, these films may contain pigments to an extent that does not impair the transparency, which is a feature of the present invention.
Further, surface processing such as sand mat processing may be applied. The transparent conductive layer (C) made of metal oxide used in the present invention includes indium, tin, cadmium,
Examples include oxides of one or more metals selected from the group consisting of zirconium and titanium. These metal oxides are originally transparent electrical insulators, but
It becomes a semiconductor when it contains a trace amount of impurities, when it has a slight oxygen deficiency, when it is an oxide of two or more metals, etc. The metal oxide constituting the transparent conductive film of the present invention must be a semiconductor. Preferred semiconductor metal oxides include, for example, tin-doped indium oxide [(In)
2 - x ( Sn ) _ _ can. In order to obtain sufficient conductivity, the thickness of these metal oxide films is preferably 10 Å or more, more preferably 30 Å or more. In addition, in order to obtain a film with sufficiently high transparency, the thickness is preferably 500 Å or less,
More preferably, the thickness is 300 Å or less. Methods for providing these semiconductor metal oxide films on a layer made of at least one type of organometallic compound include methods such as sputtering, vacuum evaporation, and ion plating. Various conventional methods can be used for sputtering, but a low-temperature sputtering method in which plasma is confined around a target using a magnetron and the molded substrate is placed outside the plasma is preferably used. Various conventional methods are used for vacuum deposition.
For example, there are resistance heating methods, high frequency induction heating methods, and electron beam heating methods. There is also a reactive deposition method in which metal is deposited in an oxygen gas atmosphere. Various conventional methods can be used for ion plating, but a high frequency ion plating method in which discharge is performed using a 13.56 MHz high frequency electric field and ions are accelerated using a DC electric field is preferably used. In order to improve the mechanical properties or chemical durability of the metal oxide coating obtained by these methods, heat treatment (annealing) can be performed during or after the coating is formed. In particular, in the vacuum evaporation method, the surface of the molded substrate is hardly heated during film formation, so heat treatment is required after the metal oxide film is formed. In particular, when heat treatment is performed in an oxygen atmosphere such as air, oxidation and crystallization of the metal oxide film progresses, resulting in improved transparency, mechanical properties, and
Chemical durability is significantly improved. The organosilicon compound forming the layer (B1) of the intermediate layer (B) in the present invention is one selected from the group consisting of compounds represented by the following formula (1) and/or oligomers produced by hydrolysis thereof. Or two types of compounds. However, in the above formula, R 1 is a hydrogen atom, or an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, or the following formula (2) It is a group represented by In addition, R 2 is a hydrogen atom,
or an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, R 3 and
R 4 each independently represents an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, x and y each independently represents an integer of 1 to 3, w represents 0 or an integer of 1 to 2, and z represents an integer of 1 to 3. and w+z=3. Also(2)
In the formula, R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms. Among these, those containing an amino group (-NH 2 ) as a functional group are preferred as exhibiting excellent durability when used as a laminate of the present invention, such as those containing an amino group (-NH 2 ) as a functional group.
NH2- ( CH2 ) 3 -Si-( OCH3 ) 3 , and/or NH2
−(CH 2 ) 3 −Si−(OC 2 H 5 ) 3 , and or NH 2 −(CH 2 ) 2 −NH−(CH 2 ) 3 −Si
-( OCH3 ) 3 , and or NH2- ( CH2 )-NH-( CH2 ) 3 -Si
−(OC 2 H 5 ) 3 and or NH 2 −(CH 2 ) 2 −NH
−(CH 2 ) 3 −Si(CH 3 )−(OCH 3 ) 2 , and or NH 2 −(CH 2 ) 2 −NH−(CH 2 ) 3 −Si
It is one or more compounds selected from the group consisting of monomers of (CH 3 )-(OC 2 H 5 ) 2 and/or oligomers with a degree of polymerization of 10 or less produced by hydrolysis thereof. Particularly preferred. The laminate of the present invention exhibits excellent properties even when the intermediate layer (B) is composed only of the above-mentioned intermediate layer (B1), but the following intermediate layer (B2)
By laminating between the intermediate layer (B1) and the transparent organic polymer molding (A), a laminate with surprisingly high transparency can be obtained. The intermediate layer (B2) in the present invention is a layer mainly containing an oxide having a high refractive index, and preferred oxides include titanium oxide or zirconium oxide, which can be formed by sputtering, vacuum evaporation,
Transparent organic It is preferable in terms of adhesion to the polymer molded product (A) and ease of film formation. Alkyl ester containing Ti and/or Zr has the general formula TiO n (R 7 ) o (where R 7 is an alkyl group,
m, n are positive integers) and/or an alkyl zirconate represented by ZrXp(OR 8 ) 4- p. Among the alkyl titanates represented by the above general formula, especially m=4+(-1)×3, n=4
+(-1)×2, = 1 to 30 is preferably used from the viewpoint of ease of film formation (for example, coating) and properties of the obtained intermediate layer. The value of may not be uniform but may have a distribution, but especially if the distribution of the value of is
Alkyl titanates with maximum values below 15 are preferred in terms of coating solution viscosity and hydrolysis. In the above general formula, an alkyl substituent R 7 having 1 to 20 carbon atoms is preferably used. In particular, those with alkyl substituents having 2 to 11 carbon atoms are suitable for film formation operations, such as ease of coating, as well as hydrolysis rate.
It is preferably used in terms of the mechanical properties and transparency of the resulting film. Note that a mixture of two or more of the above alkyl titanates may be used. The alkyl titanate is dissolved in an organic solvent to form a solution, and when applied to the surface of a molded product, it is hydrolyzed, and then converted into dealkyl hydroxyside through a condensation reaction to form a network structure. Depending on the coating conditions, alkyl titanates can approach titanium oxide. The titanium oxide thin film layer containing an organic substance constituting the laminate of the present invention preferably contains 50% by weight or more of titanium oxide in order to exhibit the desired effects of the present invention. In order to exhibit the desired effect of the presence of organic components as described above,
Organic component: 0.1% by weight or more, preferably 0.5% by weight
The above items are required to be included. Examples of the alkyl titanate used in the laminate of the present invention include tetratebutyl titanate, tetraethyl titanate, tetrapropyl titanate, tetrastearyl titanate, and tetra-2-
Examples include ethylhexyl titanate, diisopropoxy titanium bisacetylacetonate, and particularly tetrabutyl titanate and tetrapropyl titanate are preferably used. These alkyl titanates may be used as is,
Precondensed products such as dimers, tetramers, and decamers can also be preferably used. Furthermore, these alkyl titanates may be stabilized with something like acetylacetone before use. In addition, in the alkyl zirconate represented by the above general formula, X is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogenated alkyl group, a phenyl group, a vinyl group, or a β-diketone compound or β- It is a residue of a ketoester compound. Further, R 8 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and p is an integer of 0 to 4. Examples of zirconium compounds include acetylacetone zirconium salts (tributoxyzirconium acetylacetonate, dibutoxyzirconium diacetylacetonate, monobutoxyzirconium triacetylacetonate, etc.), zirconium tetraalkoxides (tetrabutylzirconate, tetrapropylzirconate, etc.) ,
Zirconium-trialkoxy-monoalkyl acetoacetate (zirconium-tributoxy-
zirconium-dialkoxy-dialkyl acetoacetate (such as zirconium-dibutoxy-diethylacetoacetate), zirconium-monoalkoxy-trialkylacetoacetate (such as zirconium-monobutoxy-triethylacetoacetate), and the like. These Ti and/or Zr alkyl titanates may be composed of one or a mixture of two or more organosilicon compounds. These organosilicon compounds include, for example,
Butyl silicate, ethyl silicate, butyl trimethoxysilane, vinyl trimethoxysilane,
Vinyltriethoxysilane, vinyltris β-methoxyethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, N-βaminoethyl γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, vinyltrichlorosilane, β-(3,4 epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, N-β(aminoethyl)-
γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ
Examples include -chloropropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, and γ-ureidopropyltriethoxysilane. In addition, the layer (B3) produced by hydrolysis of one or more organosilicon compounds selected from the group consisting of these monomers and/or oligomers produced by hydrolysis thereof may not impede the effects of the present invention. It may be provided between the intermediate layer (B1) and (B2) within the range. Further, when forming the intermediate layer (B1), one or more monomers selected from the group consisting of one or more monomers of the above-mentioned organosilicon compounds and/or oligomers produced by hydrolysis thereof are added to the organosilicon compound of formula (1). Two or more types of organosilicon compounds can be mixed and used within a range that does not impede the effects of the present invention. Such organometallic compounds may optionally contain curing catalysts, adhesion promoters, wettability improvers, plasticizers, various stabilizers, flame retardants, antioxidants, lubricants, antifoaming agents, and/or
Alternatively, it can be used in combination with a thickener or the like. The organometallic compound may be used as it is or after being dissolved in a solvent. Examples of such organic solvents include hexane, cyclohexane, heptane, octane, methylcyclohexane, toluene, benzene, xylene, octene, nonene, solvent naphtha, methanol, ethanol, isopropanol, butanol, pentanol, cyclohexanol, methylcyclohexanol, and phenol. , cresol,
Ethyl ether, propyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, acetone, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl propionate, methyl benzoate, glacial acetic acid, chlorophoform, carbon tetrachloride, trichlene , trichloroethane, chlorobenzene, dibromoethane,
Examples include organic solvents such as hydrocarbon-based solvents such as methyl cellosolve, cellosolve, and cellosolve acetate, alcohol-based solvents, ether-based solvents, ester-based solvents, carboxylic acid-based solvents, and halogen-substituted hydrocarbon-based solvents. Among others, isopropanol, butanol, normal
Hexane, toluene, etc. are preferably used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more, if necessary. Furthermore, depending on the case, a water-containing solvent may be used. The intermediate layer is coated on the transparent organic polymer molding, dried, heated, ion bombarded, or exposed to ultraviolet light.
It is cured by radiation such as β rays and γ rays. In addition, for coating the intermediate layer, a known coating machine such as a doctor knife, bar coater, gravure roll coater, curtain coater, knife coater, etc. is used depending on the shape and properties of the transparent organic polymer molding and coating solution. Coating methods, spray methods, dipping methods, etc. are used. The thickness of the intermediate layer (B1) formed from the organosilicon compound is preferably 100 to 1000 Å,
In particular, 200 to 900 Å is preferable. If the thickness is less than 100 Å, a continuous layer will not be formed and the effects of the present invention will not be exhibited. On the other hand, if it exceeds 1000 Å, the optical properties will deteriorate, which is not preferable. When the intermediate layer is composed of the (B1) layer and the (B2) layer, the preferred film thickness ranges are: 200 to 1000 Å for the intermediate layer (B1) and 200 to 1000 Å for the intermediate layer (B2), particularly preferably, The intermediate layer (B1) is 200-900Å and the intermediate layer (B2) is
It is 300-900 Å. In addition, the laminate according to the present invention has a protective layer (D) on the transparent isoelectric layer (C) made of a metal oxide for the purpose of so-called surface protection to improve scratch resistance.
may be laminated. Such a protective layer (D) includes TiO 2 , SnO 2 ,
Transparent oxides such as SiO 2 , ZrO 2 , ZnO, etc. or transparent organic compound polymers such as acrylonitrile resin, styrene resin, acrylate resin, polyester resin, etc. can be used. The thickness of the protective film (D) can be set arbitrarily within a range that does not deteriorate the characteristics of the transparent conductive layer. Further, the transparent conductive laminate according to the present invention may have a structure in which transparent conductive layers (C) are laminated on both sides of an organic polymer molded product (A) with an intermediate layer (B) interposed therebetween, or a polymer molded product In a structure in which a transparent conductive layer (C) is laminated on one side of (A) via an intermediate layer (B), the purpose is to improve adhesion, surface hardness, optical properties, etc. without impairing transparency on the other side. For example, a layer similar to the above-mentioned intermediate layer (B1), an oxide layer, a nitrogen layer, a sulfide layer, a carbide layer, or an organic layer may be provided. e. Effect The laminate of the present invention has excellent properties not previously available. That is, the intermediate layer (B1) according to the invention
Due to the interaction between the amino groups inside and the metal oxide forming the transparent conductive layer (C), it has extremely excellent abrasion resistance and can be used in transparent tablet applications. Furthermore, in the prior art, the optical properties were degraded due to the presence of the intermediate layer, but in the intermediate layer (B1) according to the present invention, the optical properties were improved, and the optical properties of the intermediate layer (B1) and (B2) were improved. By forming the intermediate layer in a two-layer structure, a transparent conductive laminate having extremely excellent optical properties can be obtained. The transparent conductive laminate of the present invention is not only suitable as an electrode for transparent keyboards, but also the resulting products include, for example, electrophotography, antistatic materials, surface heating elements, solid displays, optical memories, photoelectric conversion elements, It has a wide range of uses including optical communications, optical information processing, and solar energy utilization materials. EXAMPLES Hereinafter, the effects of the present invention will be explained in more detail with reference to Examples. Note that parts in the examples are parts by weight. Example 1 and Comparative Example 1 On one side of a 100 μm thick polyethylene tethyphthalate film, A mixed alcoholic solution of butanol and isopropanol (concentration 0.6% by weight) of a trimer association product produced by hydrolysis of a compound represented by NH 2 was applied using a bar coater and dried at 120° C. for 1 minute.
The thickness of the thin film after drying was 500 Å. The sample was fixed on a substrate holder in a DC magnetron sputtering device, and the vacuum chamber was evacuated to a vacuum level of 2×10 −5 Torr. After that, Ar/O 2 mixed gas (O 2 25%) was introduced into the tank and the degree of vacuum was increased to 5×.
In/Sn alloy (Sn5 wt%) after keeping at 10 -3 Torr
An In 2 O 3 /SnO 2 (ITO) film was formed by reactive sputtering using a target consisting of: The film formation rate was about 15 Å/sec, and the film thickness was 200 Å.
The characteristics of the sample are transmittance at a wavelength of 550 nm.
87%, resistance was 490Ω/□. Further, as Comparative Example 1 in contrast to Example 1 described above, an ITO film was directly formed to a thickness of 200 Å on a polyethylene terephthalate film of the same thickness without forming a coating film. The sample characteristics were the transmittance of 83% and resistance of 570Ω/□. For each sample, a transparent switch was fabricated with the ITO film surfaces facing each other with a spacer at a distance of 100 μm. Silicone rubber rod with 7R tip (weight 200
g) was continuously freely dropped onto a transparent switch using a solenoid (stroke 0.5 mm). A switch is pressed each time the rod falls, and the constant current power supply
1mA flows to the switch. The life of the switch was investigated while observing the pulse waveform when the transparent switch was pressed using a synchroscope. In Example 1, in which a coating liquid was applied that defined the life of the switch as the time when the waveform was no longer observed, there was no significant change in the waveform even after 1 million presses (the life was 100
(more than 10,000 times). However, in Comparative Example 1 without a coating film, 5
The waveform became distorted after 10,000 cycles, and the waveform could no longer be observed after 200,000 cycles (lifespan: 200,000 cycles). Example 2 and Comparative Examples 2, 3, and 4 Association degree 5 produced by hydrolysis of a compound represented by the molecular formula (C 2 H 5 O) 3 -Si-C 3 H 6 NH 2 on a 75 μm thick polyethylene terephthalate film.
A mixed alcoholic solution of methanol, ethanol, and isopropanol containing 0.3% by weight of the oligomer was coated on both sides with a gravure roll coater, and 150%
Dry at ℃ for 1 minute. The film thickness after drying was about 200 Å. The sample was placed in a vacuum evaporation device, and after ion bombardment treatment using Ar gas glow discharge,
A mixture consisting of 95 parts of In 2 O 3 and 5 parts of SnO 2 was mixed 5×
It was deposited under 10 -5 Torr with a deposition rate of 120 Å/sec.
The metal oxide film thickness was 220 Å. The film has a light transmittance of 38% at a wavelength of 550nm and a resistance
The resistance was 20KΩ/□, and when heat treated at 150°C, the light transmittance was 85% and the resistance was 480KΩ/□. In contrast to the above Example 2, samples of Comparative Examples 2, 3, and 4 were prepared and evaluated as follows. As Comparative Example 2, an ethanol/isopropanol solution containing 0.2% by weight of monomethylpolysiloxane was applied onto the same 75 μm thick polyethylene terephthalate film using a gravure roll coater.
It was dried at 150°C for 1 minute. The film thickness after drying is 150 Å. As Comparative Example 3, an isopropanol solution containing 1% by weight of tetrabutyl titanate (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), which is one of the layers (B2), was applied onto the same 75 μm thick polyethylene terephthalate film using a gravure roll coater. Dry at ℃ for 1 minute. The film thickness after drying is approximately 200 Å. ITO films were formed under the same conditions as in Example 2 on the samples of Comparative Examples 2 and 3 and on the polyethylene terephthalate film without coating the coating liquid as Comparative Example 4. Comparative Example 2, which was coated with a monomethylpolysiloxane coating liquid, had a transmittance of 84% at a wavelength of 550 nm and a resistance of 480Ω/□, and Comparative Example 3, which had a tetrabutyl titanate coating liquid, had a transmittance of 82% and a resistance of 480.
Ω/□, and comparative example 4 without coating liquid has a transmittance of 83
%, resistance was 550Ω/□. Table 1 shows the resistance change when these samples were rubbed under a load of 100 dl/cm 2 using a clock meter (manufactured by TOYOSEIKI). In addition, the evaluation is the resistance after 10 frictions against the resistance R 0 before friction.
Ratio of R 10 and resistance R 100 after 100 frictions R 10 /R 0 ,
It was done at R 100 /R 0 .
【表】
実施例2から層(B1)を設けることにより極
めて耐摩擦性が優れた透明導電性積層体が得られ
ることがわかる。
実施例3〜13、比較例5〜12
75μm厚のポリエチレンテレフタレートフイル
ム上に(B1)層のみ、(B2)層のみ、(B1)層お
よび(B2)層の2層の各構成の中間層を下記の
方法で形成した。(B1)層は(C2H5O)3−Si−
C3H6NHCH2CH2NH2で表わされる化合物の加
水分解により生成した3量体会合物のブタノー
ル、イソプロパノール混合アルコール系溶液はグ
ラビアロールコーターで塗布し、150℃で1分間
乾燥することにより形成した。
(B2)層は、塗工液の濃度を変えた以外は比
較例3と同様な方法で形成した。(B1)層および
(B2)層の膜厚は、塗工液の濃度を変えることに
より変化させた。各サンプルの(B1)層および
(B2)層の膜厚条件および波長550nmでの光透過
率の測定結果を第2表に示す。
本発明による(B1)層を設けることにより、[Table] It can be seen from Example 2 that by providing layer (B1), a transparent conductive laminate having extremely excellent abrasion resistance can be obtained. Examples 3 to 13, Comparative Examples 5 to 12 Intermediate layers each having a two-layer configuration of (B1) layer only, (B2) layer only, (B1) layer and (B2) layer were formed on a 75 μm thick polyethylene terephthalate film. It was formed by the following method. (B1) layer is (C 2 H 5 O) 3 −Si−
A mixed alcoholic solution of butanol and isopropanol of a trimer association produced by hydrolysis of a compound represented by C 3 H 6 NHCH 2 CH 2 NH 2 was applied with a gravure roll coater and dried at 150°C for 1 minute. Formed. Layer (B2) was formed in the same manner as in Comparative Example 3 except that the concentration of the coating solution was changed. The film thicknesses of the (B1) layer and (B2) layer were varied by changing the concentration of the coating solution. Table 2 shows the film thickness conditions of the (B1) layer and (B2) layer of each sample and the measurement results of the light transmittance at a wavelength of 550 nm. By providing the layer (B1) according to the present invention,
【表】【table】
【表】
透過率は、最高87%まで上がり更に(B1)層及
び(B2)層の2層構成とすることにより、最高
90%まで上した透明導電性積層体が得られた。
(B1)層及び(B2)層を設けたものの耐久性は、
(B1)層のみを設けたものの耐久性と比較して、
ほとんど差がなかつた。
考 案
以上説明した如く、本願発明の透明導電性積層
体は、上記中間層(B1)を構成する化合物を用
いることにより、例えば先行技術である特開昭54
−8670号公報に具体的に記載された化合物によつ
ては奏することのできない、優れた耐摩耗性を有
する。
ちなみに、本願明細書によると、本願発明の化
合物を用いた実施例2、上記公報の実施例1に記
載されたエチルシリケートに類似した化合物であ
るモノメチルポリシロキサンを用いた比較例2、
実施例2に記載されたテトラブチルチタネートを
用いた比較例3の積層体の摩擦前の抵抗R0に対
する100Kg/cm2の荷重下で10回摩擦後の抵抗R10
および100回摩擦後の抵抗R100の比R10/R0、
R100/R0は第3表のとおりである。[Table] The transmittance reaches a maximum of 87%, and the two-layer structure of (B1) layer and (B2) layer further increases the transmittance to the highest level.
A transparent conductive laminate with improved conductivity of up to 90% was obtained.
The durability of the product with (B1) layer and (B2) layer is as follows:
(B1) Compared to the durability of the one with only a layer,
There was almost no difference. Invention As explained above, the transparent conductive laminate of the present invention can be produced by using the compound constituting the intermediate layer (B1), for example, the prior art disclosed in JP-A-54
It has excellent abrasion resistance that cannot be achieved by the compounds specifically described in Publication No. 8670. Incidentally, according to the specification of the present application, Example 2 using the compound of the present invention, Comparative Example 2 using monomethylpolysiloxane, which is a compound similar to ethyl silicate described in Example 1 of the above publication,
Resistance R 10 of the laminate of Comparative Example 3 using tetrabutyl titanate described in Example 2 after 10 times of friction under a load of 100 Kg/cm 2 versus resistance R 0 before friction
and the ratio of resistance R 100 after 100 frictions R 10 /R 0 ,
R 100 /R 0 is as shown in Table 3.
【表】
第3表から本願発明の実施例2の積層体が10
回、100回摩擦を受けてもその抵抗値に変化が少
なく、本願発明の積層体が上記公報に具体的に記
載されたものに比し、耐摩耗性に著しく優れてい
ることがわかる。
さらに、本願発明は、上記公報記載発明の透明
な熱硬化性高分子の例として挙げられているケイ
素を含む有機金属化合物のうち、下記一般式
(1A)、(2A)
「但し、1a、2a、3a、4a、wa、xa、ya及びza
は、該公報の1、2、3、4、w、x、y及びz
に対応する。」
で表される化合物物を中間層として用いても得る
ことのできない顕著な効果を奏する。
すなわち、本願明細書の実施例2で用いたと同
じ化合物を中間層として用いた積層体(実施例
14)、上記式(1A)に該当する式
(CH3O)3−C3H6−SHで表される化合物の加水
分解により生成したオリゴマーを用いた積層体
(比較例13)の前記同様の耐摩耗性は第4表のと
おりである。[Table] From Table 3, 10 laminates of Example 2 of the present invention
Even after being subjected to friction 100 times, there is little change in the resistance value, indicating that the laminate of the present invention has significantly superior wear resistance compared to that specifically described in the above-mentioned publication. Furthermore, the present invention is based on the following general formulas (1A) and (2A) among silicon-containing organometallic compounds listed as examples of the transparent thermosetting polymer of the invention described in the above publication. "However, 1a, 2a, 3a, 4a, wa, xa, ya and za
1, 2, 3, 4, w, x, y and z of the publication
corresponds to '' It produces a remarkable effect that cannot be obtained even if the compound represented by the following is used as an intermediate layer. That is, a laminate using the same compound as used in Example 2 of the present specification as an intermediate layer (Example
14), the same as above for a laminate (Comparative Example 13) using an oligomer produced by hydrolysis of a compound represented by the formula (CH 3 O) 3 -C 3 H 6 -SH corresponding to the above formula (1A) The wear resistance is shown in Table 4.
【表】
また、上記実施例14と同じ積層体(実施例15)、
上記式(2A)に該当する式
で表わされる化合物の加水分解により生成したオ
リゴマーを用いた積層体(比較例14)の実施例1
と同様な方法で測定したスイツチ寿命は、比較例
14が50万回であるのに対し、実施例15においては
200万回である。
第4表の耐摩耗性、および上記スイツチ寿命の
長さからも、本願発明の積層体が上記公報記載の
化合物を用いた場合と比較して顕著な効果を奏す
ることが理解される。[Table] Also, the same laminate as Example 14 (Example 15),
Formula corresponding to the above formula (2A) Example 1 of a laminate (Comparative Example 14) using an oligomer produced by hydrolysis of a compound represented by
The switch life measured in the same manner as in the comparative example
14 is 500,000 times, while in Example 15
2 million times. It is understood from the wear resistance shown in Table 4 and the above-mentioned switch life that the laminate of the present invention has a remarkable effect compared to the case where the compound described in the above-mentioned publication is used.
Claims (1)
て金属酸化物よりなる透明導電性層(C)を積層した
透明導電性積層体において、前記中間層(B)が主と
して下式で表わされる化合物及びこれらの加水分
解により生成したオリゴマーからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の有機ケイ素化合物の加水
分解により生成された層(B1)を少なくとも有
し、該層(B1)が透明導電性層(C)と接している
ことを特徴とする透明導電性積層体。 (但し、R1は水素原子又は、炭素数1〜2のア
ルキル基、又は、【式】で表わさ れる基を;R2は、水素原子又は炭素原子数1〜
2のアルキル基を;R3及びR4はそれぞれ独立に
炭素原子数1〜2のアルキル基を;x及びyはそ
れぞれ独立に1〜3の整数を;wは0又は1〜2
の整数を;zは1〜3の整数をそれぞれ表わし、
w+z=3である。又、式中R5、R6はそれぞれ
独立に水素原子、または炭素原子数1〜2のアル
キル基からなる群から選ばれる基である。) 2 前記中間層(B)が前記層(B1)と主として酸
化チタン及び/又は酸化ジルコニウムを含む層
(B2)の2層からなる特許請求の範囲第1項記載
の透明導電性積層体。 3 前記層(B1)が、官能基としてアミノ基
(−NH2)を含む有機ケイ素化合物の単量体及
び/又はこれらの加水分解により生成した重合度
10以下のオリゴマーからなる群から選ばれた1種
又は2種以上の有機ケイ素化合物の加水分解によ
り生成された特許請求の範囲第1項又は第2項記
載の透明導電性積層体。 4 該層(B2)が、主としてTi及び又はZrを含
むアルキルエステルの加水分解により生成された
特許請求の範囲第2項又は第3項記載の透明電性
積層体。[Scope of Claims] 1. A transparent conductive laminate in which a transparent conductive layer (C) made of a metal oxide is laminated on a transparent organic polymer molded product (A) via an intermediate layer (B), wherein the intermediate layer The layer (B) is a layer (B1) produced by hydrolysis of one or more organosilicon compounds selected from the group consisting mainly of compounds represented by the following formula and oligomers produced by hydrolysis thereof. A transparent conductive laminate characterized in that the layer (B1) is in contact with a transparent conductive layer (C). (However, R1 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, or a group represented by the formula; R2 is a hydrogen atom or a group having 1 to 2 carbon atoms.
2 alkyl groups; R 3 and R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms; x and y each independently represent an integer of 1 to 3; w is 0 or 1 to 2
z represents an integer from 1 to 3,
w+z=3. In the formula, R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms. 2. The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein the intermediate layer (B) comprises two layers: the layer (B1) and the layer (B2) mainly containing titanium oxide and/or zirconium oxide. 3. The layer (B1) is composed of organosilicon compound monomers containing an amino group (-NH 2 ) as a functional group and/or a degree of polymerization produced by hydrolysis thereof.
The transparent conductive laminate according to claim 1 or 2, which is produced by hydrolysis of one or more organosilicon compounds selected from the group consisting of 10 or less oligomers. 4. The transparent conductive laminate according to claim 2 or 3, wherein the layer (B2) is produced by hydrolysis of an alkyl ester mainly containing Ti and/or Zr.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238987A JPS60131711A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Transparent conductive laminate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238987A JPS60131711A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Transparent conductive laminate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131711A JPS60131711A (en) | 1985-07-13 |
| JPH0449724B2 true JPH0449724B2 (en) | 1992-08-12 |
Family
ID=17038236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58238987A Granted JPS60131711A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Transparent conductive laminate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131711A (en) |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JPS6039090B2 (en) * | 1977-06-22 | 1985-09-04 | 帝人株式会社 | Method of forming transparent conductive film |
| JPS56164852A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Teijin Ltd | Conductive laminate |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP58238987A patent/JPS60131711A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60131711A (en) | 1985-07-13 |
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