JPH04503476A - フィルターカートリッジマニホールド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 フィルターカートリッジマニホールド 本発明はフィルターカートリッジのためのマニホールドに関する。

先行技術の記述 本発明が通用される典型的なフィルターカートリッジは、我々の国際特許出願Ｐ ＣＴ／ＡＵ８７／００３０９に示されており、ケーシング内の中空繊維の束を含 むものである。該ケーシングの一端には第１の頭部があり、それはそれを貫通し 且つケーシングの内部及び繊維の外部と連絡する給液通路を有する。該第１の頭 部はまた、それを貫通し且つ繊維の開口端と連絡する濾液通路をも有する。

該ケーシングの他端には第２の頭部があり、それは、それを貫通し且つケーシン グの内部及び繊維の外部と連絡する処理後給液通路を有する。該第２の頭部はま た、それを貫通し且つ繊維の開口端と連絡する濾液通路をも存する。

これらの通路は、平坦な端面を有する頭部の偏心部に形成されており、それによ りそのようなカートリッジの複数が中間をつなぐマニホールドや配管なしに一緒 に連結されて一列のフィルターカートリッジを形成することができる。フィルタ ーカートリッジのそのような列の多（が、フィルターカートリッジの集積体を形 成するために、間をあけた平行な関係で相互に連結されよう。

本発明の目的は、−列のフィルターカートリッジのための及び何列ものフィルタ ーカートリッジを相互に連結するための、末端マニホールドを提供することであ る０本発明の更なる目的は、−列のフィルターカートリッジの給液入口と処理後 給液出口とに連結でき、そして型のわずかな変更でカートリッジ列の濾液通路に 連結するために適合させることのできるマニホールドを提供することである。

主里少互！ 本発明によれば、フィルターカートリッジ連結器手段であって、複数のフィルタ ーカートリッジが複数の該連結器手段と組み合わされて相互に連結された複数列 のフィルターカートリッジを形成するタイプのフィルター装置のためのものであ り、前記連結器手段が類似の隣接するマニホールドへの連結を容易にするために 、両端に平坦な面を有する本体を有するマニホールドよりなるものであることを 特徴とし、本体を通る第１の液体通路が隣接するマニホールドとの液体連結を許 容するよう本体の一端から他端への連絡を提供し、第２の液体通路が、そのよう に組み立てられたときカートリッジと第１の通路との間に液体の連絡を提供する ためにフィルターカートリッジの通路に結合されるに適合させたものであること を特徴とするものが提供される。

好ましくは、本体はその一端面における第１の通路の開口部の周囲に「０」リン グを受けるための凹みを備え、そして他の端面における第１の通路の開口部の周 囲に隣接するマニホールドの「０」リングとかみ合うに通した斜角つき環状突起 を備える。マニホールドの両端面は、隣接するマニホールド上の相補的係止手段 とかみ合うように適合させた係止手段を含んでいてもよい。

液入口、処理後給液出口及び濾液出口を有し、各々の列に給液を供給するための 、各々の列から処理後給液を抜き取るためのそして各々の列から浸出液を抜き取 るための、マニホールド手段を各列のカートリッジの各端に有し、該マニホール ドが少なくとも二の列が平行に連結されているように相互に連結されているもの であることを特徴とするものを提供することを目的とする。

好ましくは、かかるフィルター装置は更に、平行に連結された第１の複数列が平 行に連結された第２の複数列に連続的に連結されるよう逆止弁を含む。

本発明は更に、類似の隣接するマニホールドとの連結を容易にするために両端に おいて実質上平坦な面を有する本体よりなる、フィルターカートリッジのための マニホールドであって、該本体を通る第１の液体通路が、隣接するマニホールド との液体連結を許容するよう、本体の一端から他端への連絡を提供し、第２の液 体通路が、該カートリッジと第１の通路との間の液体連絡を提供するよう、フィ ルターカートリッジの第１の通路に結合するに適合させたものであり、第３の液 体通路が、カートリッジと第１の通路との間の液体連絡を提供するよう、フィル ターカートリッジの第２の通路に結合するに適合させたものであり、前記第２の 液体通路又は前記第３の液体通路のうちただ一つが液体連絡をなし得ることを特 徴とするものをも提供する。

型皿■呈粟餐五皿 本発明が一層容易に理解されそして実施されるよう、添付の図面に言及する０図 面において、 図１は、先行技術のフィルターカートリッジの透視図であり、図２は、図１に示 したフィルターカートリッジの一端の部分的に切断除去した分解図であり、 図３は、図２の線Ａ−Ａに沿って取った図であり、図４は、図１乃至３に示した フィルターカートリッジの組立体の正両立面図であり、 図５は、フィルターカートリッジの集積体の透視図であり、本発明の一具体例に よる末端マニホールドによって列は互いに連結されており、図６は、本発明の− の具体例に従う図５に示したフィルターの集積体の給液側用の末端マニホールド の一方の側からの透視図であり、 図７は、図６に示したマニホールドの他の側からの透視図であり、図８は、図６ に示したマニホールドの、一方の端からの、部分的に破断除去した透視図であり 、 図９は、本発明の第２の具体例に従う図５に示したフィルターの集積体の濾液側 用の末端マニホールドの、一方の側からの透視図であり、 図１０は、図９に示したマニホールドの他の側からの透視図であり図１１は、図 ９に示したマニホールドの一端からの、部分的に破断除去した透視図であり、 図１２は、図５に示したフィルターの集積体のための弁ケー、シングの透視図で あり、 図１３は、連結したマニホールドを有するカートリッジ列の透視図であり、 図１４は、固定用部材とシールの詳細を含む図１３の分解図であり図１５は、差 込み連結の透視図であり、図１６は、フィルター集積体への差込み連結の透視分 解図であり、しい　の−　な−゛ 図６乃至８及び９乃至１１に示すマニホールドは、図１乃至３に示すフィルター カートリッジと共に使用するのに特に通している。

該カートリッジはケーシング１０、該ケーシング１０の上端にある第１の移送頭 部１１及び該ケーシング１０の下端にある第２の移送頭部１２を含む。ケーシン グ１０は中空の、多孔性ポリマー繊維１３の束を含む（図２及び３を参照）。こ の例では、各繊維はポリプロピレンで作られており、平均ポアサイズ０．２μｍ 、壁の厚さ２００μｍ及びルーメン直径２００μｍを有する。束１３には３００ ０本の多孔性繊維が存するが、この数及び個々の繊維の諸寸法は操作上の要求に 従って変えることができる。

ケーシング１０の上端が図２及び３に示されており、この例ではケーシングの下 端は同一である。もっとも、そうであることが必要な訳ではない。

図２及び３に見られるように、ケーシング１０は、主管１４並びにスカート１６ 、カラー１７及び末端片１８を含む末端部１５よりなる。スカート１６及びカラ ー１７の双方に結合している主管１４はカラー１７の下に終止する。

末端片１８はポリウレタン樹脂のプラグ１９（図３を参照）を有しており、その 中に繊維１３の上側末端が埋め込まれ、それによってプラグ１９は、繊維１３の ルーメンを通る以外のケーシング１０の末端からの液体の流出を防止している。

移送開口２０が、プラグ１９の下おいて末端片１８に形成されている。

図２に見られるように、頭部１１０零体２１は、該本体２１から下方に下がりそ してカラー１７を受けるスカート２２を有している。この例においては、カラー １７はスカート２２に結合しているが、「Ｏ」リングによって取りはずし可能に それに締めつけたものであってもよい。

上端においては頭部１１の内側層２４によってそして下端においてはケーシング １０のカラー１７によって閉じられた環状入口を間に提供するよう、本体２１の 内径はケーシング１０の末端片１８の外径より大きい。

頭部１１は、本体２１の偏心部２６を通って伸びる給液通路２５を有する。給液 通路２５は、処理すべき給液を受けるための入口２７を一端に、隣接する上側頭 部の給液通路の入口に連結するに適合させた出口２８を他端に、そして入口チャ ンパー２３に給液を放出するための排出口２９を有する。入口２７の周囲には、 「０」リング３１を受けるための凹み３０があり、出口２８の周囲には斜角つき 環状突起３２がある。図１及び２に見られるように、偏心部°２６の両端面は平 坦かつ平行である。

ケーシング１０の末端片１８の移送開口２０は、給液が入口チャンパー２３から ケーシング１０の内部へと流れるのを許容し、そこにおいてそれは繊維１３の外 表面に適用される。繊維１３のルーメンから抜き取られた濾液は出口チャンパー ３３に集められる。

頭部１１の上端部３５を通って伸びる濾液通路３４は、出口チャンバー３３から 濾液を受け取るための受け入れ口３６、一端に濾液を排出するための出口３７、 及び他端に隣接する上側頭部の濾液通路の出口と連結するに適合させた入口３８ を有する。入口３８の周囲には「０」リング４０を受ける凹み３９があり、出口 ３７の周囲乙こは斜角つき環状突起４１がある。図１及び２に見られるように、 上端部の両端面は平坦かつ平行である。

本発明のこの具体例においては、ケーシング１０の下端に類似の頭部１２が設け られており、それはその本体２１の片寄り部４３に処理後給液通路４２を有し、 頭部１２の下端部４５を通って伸びる濾液通路４４を有する。他のすべての点に おいては該下側頭部１２は上側頭部１１と同一である。

図１乃至３に関して記述されたようなフィルターユニットは、図４に示されるよ うに各フィルターユニット間の配管や追加のマニホールドの必要なしに一列のフ ィルターユニットを形成するために組み立てられることができる。これを達成す るためには、偏心部２６及び４３の並びに頭部１１及び１２の上端及び下端部３ ５及び４５の平坦な端面が、隣接するフィルターユニットの端面に当接される。

給液通路２５、処理後給液通路４２及び濾液通路３４と４４の正確な直線的配列 は、隣接する端面にある凹み４７にかみ合う端面にあるビン４６によって保障さ れる。

図４における集積体の右手頭部】１の偏心部２６及び上端部３５の右手端面は、 右手頭部１１の給液通路２５への入口２７と連絡している入口手段４９を有する 第１の閉止板４８によって覆われている。左手頭部１１の部分２６及び３５の左 手端面ば、左手頭部の濾液通路３４の出口３７と連絡している出口手段５１を有 する第２の閉止板５０によって閉じられている。

右手下側頭部１１の偏心部４３及び下端部４５の右手端面は、濾液通路４４への 入口３８と右手頭部１２の処理後給液通路４２への入口２５との双方を閉じる第 ３の閉止板５２によって覆われている。第４の閉止板５３は、処理後給液通路４ ２と連絡する出口手段５４及び右手頭部１２の濾液通路４４と連絡する出口手段 ５５とを有する。かくして、給液はカートリッジの集積体１０の中へと矢印Ａの 方向に導入されて連結された通路２５を通過し、処理後給液は連結された通路４ ２から矢印Ｂの方向に排出され、そして濾液は連結された通路３４及び４４から 矢印Ｃ及びＤの方向に引き抜かれる。

図４における列をなしたフィルターユニットは、頭部１１及び１２の上端部３５ 、偏心部２６及び４３並びに下端部４５にそれぞれ形成された各通路６０．６１ ．６２及び６３（図１を参照）を貫通するボルト５６．５７．５８及び５９によ って一緒に保持されている。ボルト５６乃至５９もまた閉止板４８．５０．５２ 及び５３を保持している。これらのボルトが定位置に確保されるとき、それぞれ の斜角つき環状突起３２．４１は「○」リング３１及び４０とかみ合い、隣接フ ィルターユニット間のシールを達成する。　本発明によれば、閉止板４８．５２ ．５０及び５３並びに入口又は出口手段４９．５１．５３及び５５は図６乃至８ 及び９乃至１１に示したマニホールドによって置き換えられる。

図５に示した個々のフィルターカートリッジ１００は図１乃至４に一層詳細に示 したカートリッジを表わしている。各カートリッジ１００は、ケーシング１０１ 、上端頭部１０２及び下端頭部１０３を有する。１０４から１１３までの各列の カートリッジ１００は、各列の末端の閉止板が不要であることを除いて、図４に 示した態様で一緒に連結されている。図５に示したフィルター集積体を通る流れ は、矢印Ｆ、Ｇ、Ｈ及びＪによって示されているが、ここで矢印Ｆは給液入口を 、矢印Ｇは処理後給液出口を、矢印Ｈは濾液出口をそして矢印Ｊは濾液排出口を 示す。

以下に記述されるであろうように、カートリッジ列１０４乃至１０７は、列１０ ８乃至１１０及び列ＩＩＩ乃至１１３と同様、連続して連結された列の群と平行 に連結されている。カートリッジ列１０４乃至１０７の各々は、濾液出口側１１ ４を上左側に、濾液排出口１１５を上右手側に、給液入口側１１６を下布手側に 、そして処理後給液側１１７を上左側に有する。

列１０４と１１３とは濾液出口側１１４においてはマニホールド１１８によって 、濾液排出口側１１５においてはマニホールド１１９によって、給液入口側１１ ６においてはマニホールド１２０によって、そして処理後給液側１１７において はマニホールド１２１によって相互に連結されている。図１乃至４のカートリッ ジ設計を用いることの長所は、濾液マニホールド１１８及び１１９が同じ形状で あり、給液マニホールド１２０及び１２１が同じ形状であることである。以下に 明らかになるように、濾液マニホールド１１８及び１１９は給液マニホールド１ ２０及び１２１に、シーリングと液体流路の態様を除けば後者は前者の鏡像であ るという点からみて、実質上類似である。

上述の通り、カートリッジ列１０８乃至１１０はそれ自身平行に連結され、そし てカートリッジ列１０４乃至１０７に更に継がるよう連結されている０列１０８ 乃至１１０の濾液マニホールド１１８及び１１９は、列１０４乃至１０７の濾液 マニホールド１１８及び１１９とそれぞれ同じ側にある。給液マニホールド１２ ０及び処理後給液マニホールド１２１はこれとは異なり、給液マニホールド１２ ０はフィルター集積体の上左側にそして処理後給液マニホールドは下布側にと、 逆になっている。例１０８乃至１１０に連続的に連結されているカートリッジ列 １１１乃至１１３のマニホールドは、カートリッジ列１０４乃至１０７のマニホ ールドとそれぞれ同じ側に位置している。

給液入口側１１６の上流末端には、ソレノイド作動給液制御弁１２２があり、そ して給液入口側１１６の下流末端には逆止弁１２３がある。カートリッジ列１０ ７の末端の給液マニホールド１２０の下流には逆止弁１２４（図式的に示した） がある。

処理後給液側１１７の上流末端にはソレノイド作動逆洗排出制御弁１２５があり 、そして処理後給液側１１７の下流末端にはソレノイド作動再循環制御弁２１６ がある。カートリッジ列１１１の末端の処理後給液マニホールド１２１の上流に は、逆止弁１２７（図式％式％） 濾液排出口側１１５の上流末端には逆止弁１２８があり、そして下流側末端には ソレノイド作動濾液排出制御弁１２９がある。濾液出口側１１４の上流末端には 逆止弁１３０があり、そして下流側にはソレノイド作動濾液出口制御弁（図示せ ず）がある。カートリッジ列の平行かつ連続な配列は殆んど意のままに変更でき 、実際、全てのカートリッジ列を相互に平行にすることもできるということは認 識されよう。

図６乃至８に示した給液マニホールド１２０は平坦な端面１５１及び１５２を有 する本体１５０を含み、これは隣接の類似のマニホールドとの連結を容易にする 。本体１．５０は第１の又は給液通路１５３を形成するが、これは端面１５１が ら端面１５２へと本体を通って伸びる。端面１５２の通路１５３の開口部の周囲 には（図７を参照）、「ＯＪリングを受けるための環状の凹み１５４があり、端 面１５１の通路１５３の開口部の周囲には、隣接するマニホールドの「０」リン グとかみ合うよう適合させた斜角っき環状突起１５５がある。

面１５１の上端には、ボルト通路１５７を有する連結用突出部１５６があり、面 １５２の上端には、隣接するマニホールドの連結用突出部１５６を受けるよう適 合させた連結用凹み１５８がある。該凹み１５８の両側には、連結用ボルト（図 示せず）を受けるための開口部１５９．１６０がある。同様に、面１５２の下端 にはボルト通路１６２を有する連結用突出部１６１があり、面１５１の下端には 連結用凹み１６３がある。該凹み１６３の両側には、連結用ボルト（図示せず） を受けるための開口部１６４．１６５が設けられている。

マニホールド１５０の前面１６６には、第１の前面１６６と液体連絡をもった第 ２の通路１６７がある。通路１６７の末端には、図１乃至４に示したカートリッ ジの給液通路２７の周囲のｒ□、リング３１にかみ合うように適合させた斜角つ き環状突起１６８がある本体１５０はまた第３の又は盲通路１６９を形成し、こ れは前面１６６においてその開口端の周囲に、フィルターカートリッジの頭部に 対してマニホールドの液体遮断シールを提供するために図１乃至４に示したカー トリッジの濾液通路３４への入口３８の周囲にある「０」リング４０にかみ合う ための、斜角つき環状突起１７０を有する。通Ｂ１６７及び１６９の形状は図８ に見られ、通路１６７の末端壁１７５は図７及び８に明らかであり、また通路１ ６９の盲末端１７６は図８に明らかである。

前面１６６の凹み１７１及び１７２は、図１乃至４に示したカートリッジの位置 決め用突起４６を受けるのに適合させである０本体１０５に形成された開口１７ ３及び１７４は、図１乃至４に示したカートリッジの開口６０及び６１と一直線 に並び、そしてカートリッジにマニホールドを固定するための係止ボルト（図示 せず）を受けるのに適合させである。

給液マニホールド１２０によれば、給液の流れは面１５１にある開口部を通って 通路１５３に入り面】５２にある開口部へ、次いで次のマニホールドへと向かう が、給液の一部は第２の通路１６７を通ってカートリッジの頭部へと排出される ことが認識されるであろう。処理後給液マニホールド１２１（給液マニホールド と同一形状である）における流れは反対であり、処理後給液の流入は面１６６に ある通路１６７の開口部を通るものであり、そして本体１５０の面１５２から面 １５１へ向かう処理後給液の流れに加わる。

図９乃至１１に示した濾液マニホールド１１９は図６乃至８に示した給液マニホ ールド１２０と実質上類似であり、隣接するマニホールドとの連絡を容易にする 平坦な端面１８１及び１８２を存する本体１８０を含む０本体１８０は、端面１ ８１から１８２へと本体を通って伸びる第１の又は濾液通路１８３を形成する。

端面１８１の通路１８３の開口部の周囲にはｒ□、リングを受けるための環状凹 み１８４があり、端面１８２（図１０を参照）の通路１８３の開口部の周囲には 隣接するマニホールドの「０」リングとかみ合うために適合させた斜角つき環状 突起がある。

面１８２の上端にはボルト通路１８７を存する連結用突出部１８６があり、そし て面１８１の上端には隣接するマニホールドの連結用突出部１８６を受けるため に適合させた連結用凹み１８８がある、該凹み１８８０両側には、連結用ボルト （図示せず）を受けるための開口１８９．１９０がある。同様に、面１８１の下 端にはボルト通路１９２を有する連結用突出部１９１があり、そして面１８２の 下端には連結用凹み１９３がある。該凹み１６３の両側には、連結用ボルト（図 示せず）を受けるために開口１９４．１９５が設けられている。

マニホールド１９９の前面１９６には、第１の通路１８３と液体連絡をもった第 ２の通路１９７がある。前面１９６にある通路１９適合させた環状凹み１９８が ある。

本体１８０はまた、「０」リング（図示せず）を受けるために面１９６における 開口端の周囲に環状凹み２００を有する第３の又はＷ通路１９９をも形成する。

凹み１９８及び２００内の「０」リングは、図１乃至４に示したカートリッジの 上側頭部の斜角つき突起３２及び４１とかみ合い、頭部とマニホールドとの間の 液体遮断シールを提供する。通路１９７及び１９９の形状は図１１に見られるが 、通路１９７の端壁２０５は図１０及び１１に明らかであり、通路１９９の盲壁 ２０６は図１１に明らかである。

前面１９６にある突起２０１及び２０２は、図１乃至４に示したカートリッジの 上側頭部に形成された凹みの中に位置するよう適合させである。本体１８０に形 成された開口２０３及び２０４は、図１乃至４に示したカートリッジの開口６１ 及び６０と一直線に並べられており、カートリッジにマニホールドを固定するた めの係止ボルト（図示せず）を受けるために適合させである。

濾液マニホールド１１８及び１１９については、濾液の流れはカートリッジ頭部 から通路１９７へ入り、そして隣接するマニホールドへと放出されるために通路 １８３へと入るものであることが認識されるであろう。

図１２に示した弁ケーシング２２０は、環状肩２２５の両側に弁座２２３及び２ ２４を有する通路２２２を形成する本体２２１を含む。いかなる慣用のバルブ部 材又はプレートも、適当な座２２３又は２２４に対して設置することができる。

ケーシング２２０の上端及び下端には、マニホールド１１８．１１９．１２０又 は１２１の連結用突出部を受けるため凹み２２６及び２２７がある。開口１２８ は連結用ボルト（図示せず）を受けるために適合させである。

図１３に関していうと、カートリッジ１００（図５を参照）の列１０６が、取り つけられた濾液マニホールド１１８．１１９、及ヒやはり取りつけられた給液マ ニホールド１２０及び処理後給液マニホールド１２１を完備した、組立てられた 形態で示されている。前に記述したように、各カートリッジ１００は上端部３５ 及び下端部４５を有し、これら双方ともに偏心部２６．４３をそれぞれ含んでい る。上端部３５の偏心部２６が下端部４５の偏心部４３の上に張り出するように 、カートリッジ１００の同じ側に両偏心部２６．４３を偏心させであることに注 意すべきである。この具体例においては上端部３５は、カートリッジに沿う中点 の位置にてカートリッジ１００の長軸を垂直に交切する平面に関して、下端部４ ５の鏡像である。

この鏡像対称性が、図６乃至９に関して図解し記述したような核間−の給液マニ ホールド構造を、列１０６に対して対角線土星いに反対に配置される給液マニホ ールド１２０及び処理後給液マニホールド１２１として何ら変更なせず双方とも 使用することを許容する。同様に、カートリッジのこの特徴は、図９乃至１１に 間して記述し図解したような同一の濾液マニホールド１１８．１１９を、列１０ ６に対して対角線上反対側にて使用することを許容する。

図１４は図１３の分解図を示し、それは、マニホールドと頭部とを一体の液体シ ール構造として保持するのに用いる前述のボルト５６．５７．５８及び５９の詳 細を明瞭に示している。

図１４に示した具体例においては、テーバつきピン２３０が、連結用突出部を隣 りの当接するマニホールドに連結するために、ボルト通路を貫通するようにして 使用される。各テーパつきピン２３０の先端の細い末端はフランジ２４０を含み 、これは形状が長方形で、受は側ナツト２３１．２３５及び２３９にある対応す る長方形の開口を貫通して密着する大きさとしである。その配置は、テーパつき ピン２３０．２３４．２３８を、開口及びボルト通路及び次いでナツト２３１． ２３５．２３９を通って、該長方形フランジが該ナツトを越えるまで十分な距離 だけ通過させたとき、酸テーパつきピンを９０″回転することができそれにより 長方形フランジ２４０がナツト２３１．２３５．２３９にある長方形の開口の先 端を横断して止まり、それによって該ピンがマニホールド構造から抜けるのを防 止するようなものである。ピンの該テーバはピンの挿入を容易にしかつマニホー ルド要素を適切なシール性直線配置へと促すのに助けとなる。ピンの広い末端は 、ピンの大部分が通過しているマニホールドの開口をそれが通過することのない よう十分に広い。

ピンは、ピンの突出した広い端とかみ合う適当な道具を用いて９０″回転させる ことができる。

図１５は、盲板２３３、「０」リング２３２、マニホールド１２０及び逆止弁ケ ーシング１２３（図５を参照）の間の関係を示す。

盲板２３３は、処理後給液が逆止弁１２３を通って流れ出るのを阻止する。

図１６は、差込み２３７、「０」リング２３６、マニホールド１１９及び濾液排 出口制御弁１２９（図５を参照）の間の関係を示す。差込み２３７の末端はカー トリッジ集積体の末端を超えて伸び、そして接着又は他の溶接技術による配管の 容易な装着を許容するのに用いられる。

図１７は、ウェーハ弁の透視図を示す。ウェーハ弁２４１は背２４２を含み、こ れに翼２４３．２４４がヒンジ式に長軸に沿って連結されている。環状のシール 用部材２４５が両翼の面２４３．２４４を横切って固定されている。ウェーハ弁 ２４１は、シール２４５が向ってくる給液の流れに対向しそれにより給液流がウ ェーハ弁２４１を超えるのを遮断するように、マニホールドの給液ライン中に挿 入される。

ウェーハ弁は、給液マニホールド１２０（図７）の端面１５２にある通路１５３ の開口部の環状凹み１５４に密着するように適合させである。該ウェーハ弁２４ １はまた１、ｆｌＬ液マニホールド１８０（図９）の対応する環状凹み１５４内 に密着するよう適合させである、該弁は、従って、マニホールドによって形成さ れる給液、処理後給液又は濾液ラインに沿ったいかなる地点においても使用する ことができる。１図５に特に関していえ′ば、該弁は、逆止弁１２４及び１２７ を含むものとして示されたマニホールドに挿入することができる。ウェーハ弁は また、膜を横切る圧力がカートリッジ列全体にわたってほぼ一定に留まることを 保障するように、濾液ラインの圧力を制御するために濾液ラインにおいても使用 することができる。

逆洗の間、マニホールド列の純粋に平行な給液構造が望まれるときには、逆流液 は正常な給液とは反対の方向に導入され、それは翼２４３．２４４を内側にヒン ジさせ、それによって逆洗液が蝶弁２４１を通過して流れるのを許容する。

設計及び組み立ての詳細においては、本発明の範囲及び領域から離れることなく 様々な変更をすることができよう。

Ｆ／Ｇ、４ 〜、す 補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の７第１項） 平成　３年　５月２ｇ日

Claims (42)

【特許請求の範囲】
1. １．相互に連結されたフィルターカートリッジの複数列を形成するために末端に おいて複数の連結器手段と結合する複数の列ヘと複数のフィルターカートリッジ が組立てられているタイプのフィルター装置のためのフィルターカートリッジ連 結器手段であって、該連結器手段が、類似の隣接するマニホールドヘの連結を容 易にするため両端に平坦な面を、隣接するマニホールドとの液体連結を許容する よう本体の一端から他端への連絡を提供する本体を貫通する第１の液体通路を、 及び組立てられたときカートリッジと第１の通路との間に液体通路を提供するた めにフィルターカートリッジの通路に連結させるに適合させた第２の液体通路を 、それぞれ有する本体を有するマニホールドよりなるものであることを特徴とす るもの。
2. ２．前記第２の液体通路が濾液通路よりなるものである、請求項１のフィルター カートリッジ連結器手段。
3. ３．前記第２の液体通路が原料通路よりなるものである、請求項１のフィルター カートリッジ連結器手段。
4. ４．前記マニホールドが、カートリッジと第１の通路との間に前記第２の液体通 路とは独立に液体連絡を提供するためにフィルターカートリッジの通路に連結さ せるに適合させた第３の液体通路を更に含むものである、請求項１のフィルター カートリッジ連結器手段。
5. ５．前記第２の液体通路が原料通路よりなり且つ前記第３の通路が濾液通路より なるものである、請求項４のフィルターカートリッジ連結器手段。
6. ６．前記原料通路が前記濾液通路より通常大きい直径のものである、請求項５に 記載のフィルターカートリッジ連結器手段。
7. ７．前記原料通路が前記原料通路と前記第１の通路との間の液体連絡を防止する ために閉鎖されそれによって前記マニホールドが濾液を前記フィルターカートリ ッジから前記第１の通路内ヘと案内するための濾液マニホールドとして専ら使用 されるものである、請求項６のフィルターカートリッジ連結器手段。
8. ８．前記濾液通路が閉鎖されそれによって前記原料通路が専ら前記フィルターカ ートリッジと前記第１の通路との間での液体連絡をなすものである、請求項６の フィルターカートリッジ連結器手段。
9. ９．前記第２の液体通路が前記第１の通路に対して通常直角に横たわりそしてそ の一部を交切するものである、請求項１のフィルターカートリッジ連結器手段。
10. １０．前記第２の液体通路及び前記第３の液体通路の双方が前記第１の通路に対 して通常直角に横たわりそしてその前記第１の通路の少なくとも一部と交差する ものである、請求項４のフィルターカートリッジ連結器手器手段。
11. １１．前記第２の及び第３の通路が互いに平行である、請求項１０のフィルター カートリッジ連結器手段。
12. １２．前記第１の液体通路の第１の末端が前記マニホールドの第１の端面を超え て突出した斜角つき部分及び前記マニホールドの反対側端面に相補的な凹んだ円 周部分を含むものである、上記のいずれかの請求項のフィルターカートリッジ連 結器手段。
13. １３．前記フィルターカートリッジに対して前記マニホールドを確実に位置決め するよう、前記フィルターカートリッジに設けられた末端の対応する凹みに適合 させた前記マニホールドの前面から突出した少なくとも一の位置決め用突起を更 に含むものである、上記のいずれかの請求項のフィルターカートリッジ連結器手 段。
14. １４．前記第１の通路が通常全体にわたって円形の断面を有するものである、上 記のいずれかの請求項のフィルターカートリッジ連結器手段。
15. １５．前記マニホールドの外面を前記マニホールドの内面に連結する導管手段が 前記フィルターカートリッジを通って設けられており、前記マニホールドの前記 内面は前記フィルターカートリッジに当接するのに適合させてありそれにより前 記第２の液体通路が前記フィルターカートリッジの前記通路に結合し、前記導管 はこれを通して固定器部材を受けるのに適合させてあり、前記固定部材は前記フ ィルターカートリッジの一部に機械的に取りつけられておりそれにより前記マニ ホールドが前記カートリッジに対して機械的に押しつけられるものである、上記 のいずれかの請求項のフィルターカートリッジ連結器手段。
16. １６．前記平坦な両末端上にある少なくとも一の突起を更に含み、前記突起が前 記隣接するマニホールドのうち当接するものの平坦な両末端にある対応する凹み と嵌合するのに適合させてあるものである、上記のいずれかの請求項のフィルタ ーカートリッジ連結器手段。
17. １７．前記凹みの各々が前記マニホールドのそれぞれ前記外面及び内面の一部を 形成する外側フランジ及び内側フランジにより形成され、前記外側フランジ及び 前記内側フランジが前記突起の相手方フランジ内にある対応する導管と一直線に 並ぶ同軸の導管手段を含み、それにより前記突起を前記凹み内に固定するように 固定部材を前記導管に通すことができ、それにより隣接するマニホールドが前記 マニホールドに機械的に連結されて保持されるものである、請求項１６のフィル ターカートリッジ連結器手段。
18. １８．前記固定器部材がテーパつきピンを含んでなるものである請求項１５のフ ィルターカートリッジ連結器手段。
19. １９．前記カードリッジの前記本体が、「Ｏ」リングを受けるため一の端面にあ る第１の通路の開口部の周囲には凹みが、そして他の端面にある第１の通路の開 口部の周囲には隣接するマニホールドの「Ｏ」リングとかみ合うに適合させた斜 角つき環状突起が形成されているものである、上記のいずれかの請求項のマニホ ールド。
20. ２０．前記マニホールドの端面が隣接するマニホールド上の相補的係止手段とか み合うに適合させた係止手段を含むものである、上記のいずれかの請求項のフィ ルターカートリッジ連結器手段。
21. ２１．各カートリッジが給液入口、処理後給液出口及び濾液出口を有するもので ある相互に連結されたフィルターカートリッジの複数の列、及び各列に給液を供 給するための、各列から処理後給液を抜き取るためのそして各列から濾液を抜き 取るための各カートリッジ列の各末端のマニホールド手段であって該マニホール ドが少なくとも二の列が平行に連結されるように相互に連結されているもの、を 含んでなるフィルター装置。
22. ２２．更に逆止弁手段を含み、それによって相互に連結されたフィルターカート リッジの平行に連結された第１の複数の列が相互に連結されたフィルターカート リッジの平行に連結された第２の複数の列に連続的に連結されているものである 、請求項２１のフィルター装置。
23. ２３．前記逆止弁手段が、正常なフィルター操作の間は逆止弁として作用するが 逆流操作の間は逆洗液が逆方向に逆れるのを許容しそれによって前記逆流操作の 間に全てのカートリッジが平行に連結される一方向弁よりなるものである、請求 項２１または２２に記載のフィルター装置。
24. ２４．前記一方向弁がウェーハ弁よりなるものである、請求項２３のフィルター 装置。
25. ２５．前記各カートリッジが前記カートリッジの一端には第１の頭部を及び前記 カートリッジの反対端には第２の頭部を含み、前記第１の頭部及び前記第２の頭 部が該カートリッジの長軸に対して偏心部を含み、前記第１の頭部が前記カート リッジの長軸に垂直でかつその中点を通る平面に関して前記第２の頭部の鏡像で ある、請求項２１乃至２４のいずれかのフィルター装置。
26. ２６．前記給液入口及び前記濾液出口が前記第１の頭部の内部に設けられており 且つ前記処理後給液出口及び前記濾液出口が前記第２の頭部に設けられているも のである、請求項２５のフィルター装置。
27. ２７．前記第１の頭部の前記給液入口が前記第２の頭部の前記処理後給液出口と 同じ寸法を有し且つ前記第１の頭部内の濾液出口及び前記第２の頭部内の濾液出 口が同じ寸法及び同じ関係を有しておりそれによって処理後給液を抜き取るため の前記マニホールド手段が更なる機械的変更なしに前記第１の頭部又は前記第２ の頭部のいずれにも連結するために適合させられ且つ濾液を抜き取るための前記 マニホールド手段が更なる機械的変更なしに前記第１の頭部又は前記第２の頭部 のいずれにも連結するために適合させたものである、請求項２６のフィルター装 置。
28. ２８．フィルターカートリッジのためのマニホールドであって、類似の隣接する マニホールドヘの連結を容易にするために両端に実質上平坦な面を有する本体、 隣接するマニホールドとの液体連結を許容するよう該本体の一端から他端ヘ連絡 を提供する該本体を通る第１の液体通路、カートリッジと該第１の通路との間の 液体連絡を提供するために該フィルターカートリッジの第１の通路と結合するた めに適合させた第２の液体通路、カートリッジと該第１の通路との間の液体連絡 を提供するためにフィルターカートリッジの第２の通路と結合するために適合さ せた第３の液体通路、を有してなり、前記第２の液体通路又は前記第３の液体通 路のうちの一のみが液体連絡可能にされているものであるマニホールド。
29. ２９．前記第２の液体通路が濾液通路よりなるものである、請求項２８のマニホ ールド。
30. ３０．前記第３の液体通路が原料通路よりなるものである、請求項２８及び２９ のマニホールド。
31. ３１．前記給液通路が通常前記濾液通路より大なる直径のものである、請求項２ ８乃至３０のいずれかのマニホールド。
32. ３２．前記原料通路及び前記第１の通路の間の液体連絡を防止するために前記原 料通路が閉鎖されており、それにより前記マニホールドが専ら前記フィルターカ ートリッジから前記第１の通路ヘと濾液を伝えるための濾液マニホールドとして のみ使用されるものである、請求項２８乃至３１のいずれかのマニホールド。
33. ３３．前記濾液通路が閉鎖されておりそれによって前記原料通路が専ら前記フィ ルターカートリッジと前記第１の通路との間を液体連絡するものである、請求項 ２８乃至３１のいずれかのマニホールド。
34. ３４．前記第２の液体通路が通常前記第１の通路に直角に且つその一部を交切し て横たわるものである、請求項２８乃至３３のいずれかのマニホールド。
35. ３５．前記第２の液体通路及び前記第３の液体通路の双方が、通常前記第１の通 路に直角に横たわり且つ前記第１の通路の少なくとも各一部と交差するものであ る、請求項２８乃至３４のいずれかのマニホールド。
36. ３６．前記第２及び第３の通路が相互に平行である請求項３５のマニホールド。
37. ３７．前記第１の通路が通常全体にわたって円形断面を有するものである、請求 項２８乃至３６のいずれかのマニホールド。
38. ３８．フィルターカートリッジを通って前記マニホールドの外面を前記マニホー ルドの内面に連結する導管手段が設けられ、前記マニホールドの前記内面が前記 フィルターカートリッジに当接するために適合させてありそれによって前記第２ の液体通路が前記フィルターカートリッジの前記第１の通路に結合し且つ前記第 ３の液体通路が前記フィルターカートリッジの前記第２の通路と結合し、前記導 管が全体にわたって固定部材を受けるために適合させてあり、前記固定部材が前 記フィルターカートリッジの一部分に機械的に取りつけてあり、それにより前記 マニホールドが前記カートリッジに対して機械的に押しつけられるものである、 前記請求項のいずれかのマニホールド。
39. ３９．前記平坦な両末端に少なくとも一の突起を更に含み、前記突起が前記隣接 するマニホールドのうち当接するものの平坦な末端にある対応する凹みに嵌まる ために適合させたものである、請求項２８乃至３８のいずれかのマニホールド。
40. ４０．前記各凹みが前記マニホールドのそれぞれ外面及び内面の一部を形成する 外側フランジ及び内側フランジによって形成され、前記外側フランジ及び内側フ ランジが前記突起の相手方フランジの中の対応する導管と一直線に並ぶ同軸の導 管手段を含み、それによって前記凹み内に前記突起をつなぎとめるように固定手 段が前記導管手段を通過でき、それによって隣接するマニホールドが前記マニホ ールドに機械的に連結して保持されるものである、請求項３９のマニホールド。
41. ４１．前記固定手段がテーパつきピンを含んでなるものである、請求項４０のマ ニホールド。
42. ４２．前記カートリッジの前記本体が「Ｏ」リングを受けるために一端面にある 第１の通路の開口部の周囲に凹みを備え且つ他端面にある第１の通路の開口部の 周囲に隣接するマニホールドの「Ｏ」リングとかみ合うために適合させた斜角つ き環状突起を備えるものである、請求項２８乃至４１のいずれかのマニホールド 。