JPH04505647A - 高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 高圧、高速応答、圧力釣合 形のソレノイド制御弁 産業上の利用分野 本発明は一般的なソレノイド制御弁、特に高圧、高速応答、圧力釣合形の弁に関 する。

発明の背景 従来の技術 調整可能な衝撃緩衝器、即効性の懸架装置、可変動力操舵装置及びその他の高圧 流体操作装置等のような大きさが必要であったからである。このような弁は、漏 洩を防止するためにシールの交換を頻繁に行う必要があった。このような装置に あっては、圧力が変動すると、それにつれて弁の応答時間も変動してしまう。

現在、圧力が変動する環境下にあって迅速な応答時間で作動することのできる弁 は、非常に大型であり、かつ可成シの動力を必要としている。その原因の一半は 、弁を構成しているいくつかの部分の質量にある。

更に圧力不釣合形の弁は通常へ高圧で作動するのに充分な磁気力を発現すること ができない。圧力釣合形のバルブを提供するためにスリーブ弁を用いることがで きるが、これは、衡めて厳格な裏作公差を必要とし、かつ汚染され易い。このよ うな弁にあっては、粘性抗力が作動時間を大幅に遅らせ、かつ弁の漏洩が伴って いる。その他の種々の形式のものが、圧力をバランスさせかつ／−ルするために 使用されている。つまシベロー、ダイヤフラム及びスライド可能な弾性シール等 が通常使用されている。しかしこれらのものは総て、余分な部材を必要とする。

更に、これらの封止機構の耐久性がそれらの使用を制限している。またこれらの 機構があるため、弁の力学的な作動に不利な影響が表われている。

本発明の概要 高圧、高速応答、圧力釣合形のンレノイド制御弁は、ハウジングを有しており、 該ハウジングは開放端部と、軸方向に延びて流体排出開口部で終了している管状 の通路とを備えている。・・ウジングは出口圧力通路を有し、該通路は、軸方向 で流体排出開口部近くの位置からハウジングの中間端部の点の方へ延びている。

バルブノートは開口部に隣接する通路内に位置している。

球面状の弁部材は、バルブシートと軸方向で一直線をなし、更に円錐状のシート と対をなしている。球面状の弁部材は、バルブシートから軸方向に延びている区 域を有している。ベアリング案内手段は管状の通路内に位置し、軸方向でバルブ シートと整合している。

圧力釣合形ベアリングは、相対的な軸方向の運動のためにベアリング案内手段内 に位置し、弁空洞と電機子空洞とを形成している。ベアリングは、球面弁部材ポ ストを封止状に支持している。

電機子手段は、電気子空洞内に位置し、圧力釣合形ベアリングに整合して該ベア リングと一緒に運動することができる。スペーサ手段はベアリング案内手段全ソ レノイド手段から離反せしめている。スペーサ手段は、出口圧力通路の内方端部 に位置して電機子空洞と出口圧力通路との間の流体の連通を行っており、またソ レノイド手段が励磁された時ステータ手段と電機子手段間のギャップを提供して いる。

高圧入口手段は、弁空洞と流体的に連通している。

高圧流体は入口手段を貫いて弁ハウジング内に入り込み、弁空洞を満杯にしてい る。流体の圧力は、圧力釣合形ベアリングに向って押圧し、また弁部材の内部に 向って押圧している。力は圧力と面積との函数であるから、圧力釣合形ベアリン グと弁部材との両方の弁空洞側部に対する力は、それらのそれぞれの横断面積の 函数でちる。本発明にあってはこれらの横断面積が等しい。

同じような形式で、出口通路圧力、電機子空洞内の圧力及び制御弁下流の圧力が 等しく、かつ横断面積が等しいために、流体圧力は弁部材を偏位せしめない。

弁空洞における固定端部と弁部材との間のバイアスば本発明の主要な利点は、弁 部材と高速作動を行う電機子との上に作用する釣合のとれた圧力を保持している 高圧弁を提供することができるという点である。

本発明の別の利点は、球面状の弁円錐バルブシートを備えた正の封止弁を提供す ることができるという点である。

本発明の更に別の利点は、弁を装置内で、装置内の圧力装置とは無関係に操作す ることができるという点である。

本発明の更に別の利点は、ソレノイド作動型の制御弁を有している点であシ、該 制御弁は、高圧環境下で作動しかつ迅速な応答時間で高速作動が可能である。

本発明のその他の多くの対象物又は目的については、次の図面の簡単な説明で明 らかになるであろう。

図面の簡単な説明 図１は弁の頭端部の図面である。

図２は図１の線２−２に沿った断面図である。

図６は本発明の圧力釣合い概念の概略図である。

図４Ａは別の実施例の上半断面の図２に類似した図である。

図４Ｂは更に別の実施例の下半断面の図２に類似した図である。

有利な実施例の詳細な説明 本発明の制御弁１０は、長さが約７０Ｈ１直径が約６８朋である。エンジンの大 口弁及び排気弁を制御するための特殊な使用の場合には、弁１０は、Ｌ４ＭＰａ という特異な圧力で高温エンジンオイルを２００−２５０　ｃｃ／ｓｅｃ流すこ とができる。この使用例ではこの制御弁１０は、応答時間が電子機器的な駆動回 路に依存してｊ、４ｍｓと２．２５　ｍｓとの間で作動する。その閉鎖応答時間 は、電子機器的な駆動回路に依存して１．６ｍｓと２．２　ｍｓとの間にある。

このような装置の例が、Ｒｕ５ｓｅｌｌ　Ｊ　、　Ｗａｋｅｍａｎ氏の１９８６ 年１０月７日付の一般に譲渡された米国特許第４６１５３０６号で説明されかつ 請求されており、その標題は、ここで診考のために収録した「エンジンバルブの タイミング制御装置ｊ　（Ｅｎｇｌｎｅ　Ｖａｌｖｅ　Ｔｉｍｉｎｇ　Ｃｏｎｔ ｒｏｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）である。

制御弁１０は主に円筒状のハウジング１２から成り、該ハウジング１２は、終端 キャンプ１６を備えた種々の直径の内孔１４を有しておシ、該終端キャンプ１６ は、弁開放端部１８の反対側の端部に固定されている。

円筒状のハウジング１２の内孔１４内に位置し、かつ弁開放端部１８に隣接して 、円錐状のバルブシート２２を備えたバルブシート部材２０がある。バルブシー ト部材２０は、パルプ開放端部１８から軸方向に延びている。バルブシート部材 ２０に係合して弁部材２８がちシ、該弁部材２８は球面状の端部３０と軸方向に 延びるポスト３２とを有している。更に弁部材２８は、流体が流れ出ることがで きるように設計されている。

バルブシート２２の反対側のパルプ７一ト部材２０の端部に電機子停止部材２４ が位置している。２つの部材２０．２４が１緒になって、弁部材２８のリフトの １方の端部を提供している電機子停止部材２４上で正確に寸法の決められたタン ク２６と、弁部材２８のリフトの他方の端部を提供しているバルブシート２２と 、の間のスペーサによって、バルブ１０のリフトを規定している。電機子停止部 材２４の軸方向の孔内にはばね調整部材３４が位置し、該部材３４は、電機子停 止部材２４を貫通し、かつバルブ部材２８と共にばね３８を収容しているばね空 洞３６を形成している。

ベアリング案内部材４０は、軸方向に整合して電機子停止部材２４に接触してい る。ベアリング案内部材４０はその内部に、緊密に保持された軸方向の孔４２を 有している。圧力釣合形支承部又は圧力釣合形ベアリング４４は、孔４２内に組 み込まれており、該ベアリング４４は、ディスク状に形成されて直径方向の２次 元内で球面状の縁部４６を有している。球面状の縁部４６は、孔４２の側部に沿 ってスライドし、部品の誤調整があっても有効な封止部が提供できるような大き さになっている。圧力釣合形ベアリング４４は中心孔４８を有し、該孔４８の大 きさは、弁部材２８のボスト３２の周りで密な嵌合が提供できるような大きさで ある。ボスト３２と圧力釣合形ベアリング４４との間で点眼薬のような小量の封 止媒体が、封止を達成するために使用されている。圧力釣合形ベアリング４４は 弁部材２８の運動によって移動せしめられる。電機子停止部材２４の向い合った 側部上で圧力釣合形ベアリング４４に接触して、電機子５０が位置している。

電機子５０は、広幅側で平行でハウジング１２の軸線に対し垂直に位置している 対５２．５４を有している。

１方の広幅側部５２内にはねじ付き中心盲孔５６があり、該孔５６内には弁部材 ２８のボスト３２が螺入されて係合している。

電機子５０の他方の広幅側部５４は大きな平らな面であり、該面は長方形に形成 され、長方形の向い合う側部対の片方は半径方向に向き、向い合う側部対の他方 は互いに平行になっている。この設計によって、流体は電機子５０を通過して流 れることができるようになる。電機子５０の別の広幅側部又は大きな平らな広幅 側部５４は、磁気的にステータ装置５８と結合している。分割リングスペーサ５ ９は、ステータ装置５８とベヤリング案内部材４０との間で内孔１４に沿って位 置しており、該スペーサ５９は、電機子５０に隣接するステータ装置５８の面か ら圧力釣合形ベアリング４４に延びている電機子空洞６０を提供している。分割 リングスペーサ５９は又、ステータ装置の面と、励磁された位置における電機子 との間のギャップを提供している。ソレノイドの励磁が解除された時は、このギ ャップによって迅速な解放が行われるようになる。

第２の空洞又は弁部材空洞６２は、ノ＜ルブンート部材２０から圧力釣合形ベア リング４４で終了している。

弁部材空洞６２への入口は、高圧入口ボート６４によりハウジング１２の側壁部 を貫通して延びている。流体は、入口ボート６４を貫通して入り込み、かつ電機 子停止部材２４内の数本の通路、ばね調整部材３４及びパルプンート部材２０に よって、高圧流体を圧力釣合形ベアリング４４と弁部材２８とに対して押圧して いる。

内方の通路６６は、ハウジング１２の弁開放端部１８から電機子空洞６０へ延び て、流体が電機子空洞６０と弁１０の出口との間を流れることができるようにな っている。複数のシール６８，６γ、７０が設けられており、これによって、流 体の不必要な流れや、空洞と、バルブ開放端部１８の反対側の制御弁１０の端部 と、の間の圧力が阻止されている。シール６８は、ノクルプシート部材２０と／ ・ウジング１２の内方壁との間に位置し、第２のシール７０はベアリング案内部 材４０とハウジング１２の内孔１４との間に位置し、第３のシール７２はステー タ装置５８とハウジング１２の内孔１４との間に位置している。これらのシール によって漏洩油は、ハウジング１２の端部から流出することができず、又は弁部 材空洞６２内に流入すること力；できない。同じように弁部材空洞６２内の流体 は、電機子空洞６０内の流体よりも典型的により高い圧力であるにかかわらず、 該流体は、電機子空洞内に、又はバルブシート部材２００周り及び制御弁１０か ら、流出又は漏洩することがない。

作動中、本発明の圧力釣合形のソレノイド制御弁１０は、底部供給弁であって、 高圧流体を受容するために位置している。これは、高圧流体をソレノイド制御弁 １０に導入するための流体線であっても宜ぐ、又はその内部にソレノイド制御弁 １０が位置している貯蔵空洞であっても宜い。シールの対７４．７６は　／Ｓウ ジング１２の外表面上に位置し、また入口ポート６４のどちらかの側部上で、ソ レノイド制御弁１０の入口ボート６を除いたどちらの方向にも貯蔵空洞からの流 体の流出を阻止している。ハウジング１２の弁開放端部１８は、弁出力空洞内に 浸されており、該空洞は、外方空洞内の流体と同一の流体を内包しておシ、その 圧力は、米国特許第４６１５３０６号明細書に公開されている閉鎖オイル装置内 の圧力とは本質的に異なった圧力である。

既に指摘したように、弁出力空洞内の圧力は、内部通路６６によって電機子空洞 ６０と連通している。この配置の場合、弁部材２８のような制御弁１０の運動す る部材は、圧力が釣合っている。圧力釣合形ペアＩＪング４４の面積と、弁部材 とノくルプンートとが互いに接触しているゲージ寸法７８におけるノ（ルフ゛シ ート２２の面積と、は相等しく、圧力釣合形ベアリング４４と弁部材２８とに向 って高圧によって発揮されるカは、大きさが相等しく、方向は反対である。同じ ように圧力釣合形ベアリング４４とパルプノート２２（！：の向い合う側部に向 って出力圧力によって発揮されるカは、大きさが等しくかつ方向は反対である。

パルプ部材Ｕに抗しばね調節部材３４内でバイアスばね３８によって発揮される 力は、弁１０を閉鎖したままで維持するように働いている。

ステータ装置５８が励磁されると、磁力線の力は電気子５０をステータ装置５８ の方に引張るように作用する。また電機子５０は、弁部材２８に固定されて単位 部材を形成しているので、弁部材２８０球面端部３０は、バイアスばね３８が圧 縮されるのにつれてバルブシート２２から離れる。この操作中弁１０を開放する ため〆磁気力は、ばね力、慣性及び流体の粘性効果を克服するだけでよい。入口 圧力及び出口圧力の大きさは、弁部材２８の操作に影響を与えていない。

電機子停止部材２４は、電機子５０の広幅面５４がステータ装置５８の面に向っ て位置する前に、弁部材２８の運動を停止せしめることができるような位置にあ る。このことは更に、スペーサ５９の大きさによって保証されている。電機子の 広幅面５４と、ステータ装置５８の面との間の流体は、圧搾されて内部通路６６ を通り弁１０の出口に流出する。この圧搾−を容易に行うため、ステータ装置５ ８のカプセル内包部は、電磁コアの端部に対し相対的に凹まされている。この流 体は既に弁出口空洞の外方にあるため、該流体はソレノイド制御弁１０の操作中 のために考えておかなければならないような流体の量ではない。

動力がステータ装置５８から除去されると、バイアスばね３８によって発揮され る力は、弁部材２８を戻して、バルブシート２２を弁１０に近接せしめる。弁１ ０の運転中圧力釣合形ベアリング４４は、ベアリング案内部材４０の孔４２内を スライドする。前に説明したように、孔４２の直径と圧力釣合形ベアリング４４ の外径との間の許容差は、直径上で０．００３ｍのオーダで極めて厳格に維持さ れている。また球面端部３０と円錐状のバルブシート２２との間の接触直径は、 ゲージ寸法７８と同じに設定されている。

ステータ装置５８の鉄製部分は、積層断面、又は単一の粉状金属構造体、のどち らかの輪郭の電磁コアであって宜く、又は更に円筒形のソレノイドの設計であっ ても宜い。同一の形式で電機子５０は、図示のような広幅側部の表面設計、又は リボン内に嵌合される長方形又は円節形のグランジャ、のいずれかであって宜い 。有利な実施例にあっては、ステータ装置５８はエポキシ又は射出成形プラスチ ックで充填されている。

これはソレノイド制御弁１０であるため、リフトのための調節、ばねの予荷重及 びエアギヤツブは規定されている。リフトは、円錐状の・くルプ−７−）２２に おいて電機子停止部材２４上のタング２６の表面がロックできるように、ゲージ 寸法７８からの大きさによって決定されている。更にばね３８の予荷重は、ねじ ばね調節部材３４により予め決定された値にセットさ粗読調節部材３４は一式、 ある手段によシミ機子停止部材２４内の位置内で溶接されるか又は固定されてい る。

更にばねの予荷重は、通常位置におけるばねの作動長さを変えるためのツムを使 用することによってこれを調整することができる。エアギヤツブは、いくつかの 部分の全積上げ高さと所望のリフトとを測定することによって設定され、まだ適 合したシムを使用して電機子５０をステータ装置５８から、リフトと所望のエア ギャップとの合計に等しい距離だけ離隔せしめている。

つまりここには、ペロー又はダイヤフラムのどちらも使用しないような圧力釣合 形ソレノイド制御弁１０が図示されかつ説明されている。図５は、図２の制御弁 の圧力釣合の概念の概略説明図である。弁空洞６２内では、Ｐ工の入口圧力が弁 部材２８及び圧力釣合形ベアリング４４に対して負荷されている。圧力の釣合は 、圧力釣合形ベアリング４４の直径と、バルブシート接触面のゲージ寸法におけ る円錐状のパルプノートの直径とが、一致することによって達成される。続いて 圧力釣合形ベアリング４４に対する電機子空洞６０内の圧力Ｐ２と、通路６６を 貫く流体の流れによるバルブシート外方の圧力とを照合している。これは次のよ うに理解すべきである。つまりこれは圧力釣合形のソレノイド制御弁であるため 、流れは圧力の反転によるどちらの方向にあっても宜く、かつ弁部材２８の出口 側には高い圧力が作用しているからである。

図１のソレノイド制御弁の別の実施例である図４Ａ及び図４Ｂを参照して頂き度 い。図４Ａ及び図４Ｂでは、図２の部材と機能的に等しい部材には図２に図示の 符号に１００を加えた符号が与えられている。

図４Ａの第１の構造体は、図面の中心線の上半分が示されており、終端キャップ １１６に対しハウジング１１２によって固定されたスナップリング１０２が内包 されている。図４Ｂの第２の構造体は、図面の下半分が示されて＞９、圧延され た・・ウジング１１３が図示されている。しかしスナップリング１０２は存在し ていない。

この２つの構造体の別の相違点は、バルブシート部材１２０の周シのＯリング１ ０４の省略である。図４人にはＯリング１０４が図示されているが、図４Ｂでは 、ハウジング１１３とバルブシート部材１２１とが締り嵌め関係にあるため、Ｏ リングによるシールは不必要になっている。

更に別の相違点は、図４Ａではスナップリング１０２を備え、かつワツ／ヤ又は 円錐形のばね１０６と平プレート１０８とが終端キャップ１１６とステータ装置 １５８との間で使用されているが、図４Ｂでは下半分の圧延ハウジング１１３に はワッシャとプレートとが不必要である。

ハウジング１１２はパルプ開口端部を備えたチューブ状であり、該開口端部は、 出口ポートと、この端部における内方通路１６６の開口端部とを有している。

円錐状のバルブシート部材１２０及び１２１は、出口ポートに隣接して夫々のハ ウジング１１２，１１３の内方に位置しており、該バルブノート部材１２０゜１ ２１は、図示のゲージ寸法の２分の１のゲージ寸法１７８を形成している円錐状 のシートを有している。

ポスト１３２を備えた弁部材装置１２８と弁部材１２２とは、バルブシート部材 １２０，１２１に係合している。

パルプ装置１２８は、圧力釣合形ベアリング１４４と電機子１５０とから成る電 機子手段に結合されている。ポスト１３２は、その端部の中間に停止手段１３３ を有しており、該停止手段１３３は圧力釣合形ベアリング１４４に向って支持さ れている。ポスト１３２の端部は、圧力釣合形ベアリングの中心孔１４８を貫通 して延び、かつ電機子５０内の孔１５６の内方で固定されている。これは図２の 実施例に類似しているが、圧力釣合形ベアリング１４４は、その内方に停止手段 １３３が位置する端ぐりを有していない点が異なっている。図４Ａ及び図４Ｂで は、ポスト、圧力釣合形ベアリング及び電機子が一緒に組み込まれており、また 必要があれば、封止手段が孔１４８及び１５６０周りに位置して、流体の流れが その内方に入るのを阻止している。

ポスト１３２の他方の端部には弁部材１２２が取り付けられており、該弁部材１ ２２は、ポストの上で第２停止手段１３２に対して支持されている。ひとたび弁 部材１２２が第２停止部材１３５に対して固くなった場合は、１滴の封止剤が塗 布され、続いてポストの端部を反転せしめ、図４Ａに図示のように弁部材１２２ を封じ込める。端部を反転せしめる１つの手段は軌道状のリベットによるもので ある。封止剤は、ポスト１３２と弁部材１２２との間に流体の流れが全くないよ うにこれを阻止している。

ベアリング案内部材１４０は、バルブシート部材１２０．１２１に隣接して位置 し、弁部材１２２を案内している。有利な実施例にあっては、ベアリング案内部 材１４０は弁部材１２２に溶接されている。案内面はベヤリング案内孔１４２で ある。ベアリング案内部材１４０とベアリング停止タンク１２６との間にシム部 材１４１があり、これが予め決められた弁のリフトを提供している。リフトは、 タンク１２６と弁部材１２２の隣接する面との間の、軸方向の距離として規定さ れている。

電機子停止部材１２４は、図２の電機子停止部材２４、ベアリング案内部材４０ 、ベアリング案内孔４２及び弁１０のばね調節部材３４を組み合わせた粉末金属 部材である。焼入れの後、電機子停止部材の両端部は平行に研削され、また圧力 釣合形ベアリング孔はゲージ寸法１７８に仕上げられる。

電機子停止部材１２４はばね空洞１３６を有し、その内方にはばねシムが位置し 、前板って決められた予荷重をばね１３８に負荷せしめている。

図２の弁１０と同じ様に、弁１１０は高圧で高速応答の圧力釣合形ルノイド弁で ある。高圧は、入口ボート１６４を通って弁内に入シ込み、圧力釣合形ベアリン グ１４４と弁部材１２２とを支持しているばね空洞１３６内に流入する。低圧又 は出口圧力は、弁部材１２２と圧力釣合形ベアリング１４４の反対側・の側部を 支持している。つまシカの釣合が行われておシ、電機子手段は、ステータ装置を 引き付は乍ら移動せしめられている。

複数ノシールが弁１１０に亘って位置しており、圧力や流体が、ある空洞と弁の 外方との間に流れ出さないようにこれを保証している。電機子停止部材１２４の 外面上のシール１７０は、高圧かばね空洞１３６から電機子空洞に流れ出るのを 防止している。７−ル１７４及び１７６の対は、組立空洞内で弁１１０を封止す るために位置している。終端キャップ１１６は、その外面に７−ル１８０を有し て、弁端部からの流体の流れを阻止している。小さいシー、ｖ　１８２は、ステ ータ装置１５８と終端キャップ１１６とによって形成された空洞内に位置して、 ソレノイドコイルの端子を封止している。

圧力釣合形ベアリングの代りとしてばね負荷されたＰＴＦＥのスライドシールが ある。この７−ルの利点は、シールと電機子停止部材１２４内の孔との間の漏洩 が全くないという点である。

勿論、本発明の上述の実施例の多くの変化態様及び修正は、本発明の範囲を逸脱 することなしにこれを実施することができる。従ってその範囲は、特許請求の範 囲によってのみ制限さるべきものと考える。

国際調査報告　。１工／ＩＫ　ＱＱ／ｎ’ｌ、７１国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁であって： 開放端部と、該開放端部から軸方向に延びて他端の出口で終了している管状の通 路と、を備えているハクジンク（１２，１１２，１１３）と、 前記ハウジング内に位置しているソレノイド手段（５８，１５８）と、 前記出口に隣接して通路内に位置する円錐状のバルブシートを備えたバルブシー ト部材（２０，１２０，１２１）と、 前記弁部材が前記バルブシート内の倭触ラインに沿つて位置している前記バルブ シート部材に、軸方向で同調している球状の弁部材（２８）と、前記円錐状のバ ルブシートの方向で軸方向に延びてポスト（３２，１３２）を備えている球状の 弁部材と、前記管状の通路内に位置して前記バルブシートに軸方向で整合してい るベアリング案内手段（４０，１４０）と、 前記ポストの周りに組み込まれて前記ベアリング案内手段内に位置し、前記接触 線の直径と前記ベアリングの直径とが等しいような圧力釣合形ベアリング（４４ ，１４４）と、 前記ベアリングと前記円錐状バルブシートとの間を延びている弁空洞（６２）と 、 前記ソレノイド部材と前記ベアリングとの間を延びている電機子空洞（６０，１ ６０）と、前記電機子空洞内に位置して前記ポストの端部に組み込まれ、前記電 機子手段と前記弁部材とが１体状の部材に形成され、これらの間に往復運動と弁 空洞とを有している電機子部材（５０，１５０）と、第１圧力で流体を受容する ために、前記弁空洞に流体的に連通されている入口手段（６４，１６４）と、前 記出口の近くの位置から、第２圧力で流体を伝達するために、電機子空洞の方へ 軸方向に延び、かつ前記１体状の部材が、各端部上の前記第２圧力と前記弁空洞 内の第１圧力とで圧力的に釣合つている出口圧力通路（６６，１６６）と、 を有していることを特徴とする、高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御 弁。 ２．付加的にスペーサ手段（５９）を有し、該スペーサ手段は、前記ソレノイド 手段と前記電機子手段との間のエアギヤッブを提供するために、前記ソレノイド 部材によつて前記ベアリング案内部材内に位置していることを特徴とする、請求 項１記載の高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁。 ３．付加的に、前記ベアリング案内部材と前記弁部材との間の前記弁空洞内に電 機子停止部材（２４，１２４）を有し、前記弁部材は、ソレノイド手段の制御を 受け乍ら円錐状のバルブシートの方向で前記１体状部材の軸方向の移動の制限を 行つていることを特徴とする、請求項１記載の高圧、高速応答、圧力釣合形のソ レノイド制御弁。 ４．付加的に弁空洞内にバイアスばね（３８，１３８）を有し、該バイアスばね は、前記円錐状のバルブシートに対して弁部材を偏位せしめ、それによつてソレ ノイド制御弁が正常に閉鎖されることを特徴とする、請求項１記載の高圧、高速 応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁。 ５．付加的に、前記バイアスばねのためにばね調節部材（３４）を備え、該ばね 調節部材は、ばねの予荷重を設定するために調節可能であることを特徴とする、 請求項４記載の高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁。 ６．付加的に、前記弁空洞の各端部に封止手段（６８，７０）を有していること を特徴とする、請求項１記載の高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御弁 。 ７．前記ベアリング案内部材（４０，１４０）と前記電機子停止部材（２４，１ ２４）とが、ばね調節部材（３４）を備えて粉末金属から製造された完全な構造 体を形成していることを特徴とする、請求項３記載の高圧、高速応答、圧力釣合 形のソレノイド制御弁。 ８．高圧、高速応答、圧力釣合形、可逆流れのソレノイド制御弁であつて、 流体排出端部と開放端部とを有しているハウジング（１２，１１２，１１３）と 、 前記開放端部内に組み込まれた終端キヤッブ（１６）と、 前記ハウジング内で軸方向に組み込まれて前記終端キヤッブに隣接するソレノイ ド部材（５８）と、前記流体排出端部に隣接して組み込まれて円錐状のバルブシ ートを備えているバルブシート部材（２０）と、 前記円錐状のバルブシートと対をなすための球状の弁を有する弁部材（２８）と 、 前記弁部材から軸方向に延びて前記弁部材に結合されて封止しているポスト部材 （３２）と、前記ポスト部材に結合されて軸方向で封止され、かつ前記弁部材に よつて軸方向に位置しているベアリング部材（４４）と、 前記ポストに固定されかつ前記ベアリング手段に固定されて封止されている電機 子（５０）と、を有して、前記バルブシート部材に軸方向で整合している電機子 部材（５０）と、 前記ベアリング手段をスライド状に受容するために軸方向に延びているスリット を備え、かつ前記電機子部材の移動を制限するために前記弁部材に隣接するタン グ（２６）を備えている電機子停止部材（２４）と、前記弁部材を案内するため のベアリング案内部材（４０）と、 前記電機子停止部材内に位置し、かつ前記弁部材を偏位せしめるために前記円錐 状のバルブシートと係合しているバイアスばね手段（３８）と、前記ベアリング 手段から前記円錐状のバルブシートに延びている弁空洞（６２）と、 第１圧力で前記弁空洞に流体を連通せしめるための第１通路手段（６４）と、 前記ベアリングと前記ソレノイド部材間の電機子空洞（６０）と、 第２圧力で前記電機子空洞へ流体を連通せしめ、それによつて前記電機子手段が 前記弁空洞内で第１圧力と圧力的に釣合い、かつ前記第２圧力が、前記電機子手 段の軸方向の端部に向つて押圧しているような第２通路手段（６６）と、 を有していることを特徴とする、高圧、高速応答、圧力釣合形のソレノイド制御 弁。