JPH0435515A - 表面弾性波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は表面弾性波装置の電極構造に係るもので、特に
フィルタ等として用いるために整合用の電極を具えた表
面弾性波装置の電極構造に関するものである。

〔従来技術〕

表面弾性波装置は、フィルタ、共振子、遅延線等の各種
の用途がある。また、使用される周波数帯域も数百ＭＨ
ｚあるいはそれ以上にまで広がっている。特に、フィル
タとして各方面で用いられている。

フィルタ等として表面弾性波装置を用いる場合には、入
出力の整合を得るために容量、インダクタンス等を付加
してインピーダンスを調整することが必要となる場合が
多い。そのために、外付けの部品を用いたり、基板表面
に導体パターンを形成したりしている。

また、最近注目されている多重モードフィルタでは、二
つのモードの共振周波数と反共振周波数を合わせて、広
帯域の特性を得ることが要求される。しかし、第４図に
示したように反共振周波数ｆ１と共振周波数ｆｒＺに差
が生じてしまうことがある。この場合、反共振周波数ｆ
ａｔを下げるためには、第５図の等価回路に示したよう
に容量Ｃを並列に付加する必要がある。そのために、整
合用の素子を外付けするか、基板の表面で導体パターン
を対向させて容量を得ている。

〔課題〕

しかし、外付部品が必要となると、装置が大形化してし
まうので、パフケージ等のコストも増加してしまう。

また、基板表面に形成する場合でも、大きな容量を得る
場合には広い面積を必要とするし、狭い面積で済ませよ
うとすると十分な容量が得られなくなる。

本発明は、基板の面積を大きくすることなく、大きな容
量の得られる表面弾性波装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、インターデジタル電極と基板裏面の導体膜間
で容量を形成することによって、上記の課題を解決する
ものである。

すなわち、圧電性を有する基板上にインターデジタル電
極の入出力電極を具えた表面弾性波装置においで、基板
裏面に入出力電極の少なくとも一方に対向する導体膜を
具え、入出力電極の少なくとも一方と基板裏面の導体膜
との間に容量が形成されたことに特徴を有するものであ
る。

また、圧電性を有する基板上にインターデジタル電極と
、インターデジタル電極で励振された表面弾性波の伝播
方向に配置された反射器を具えた表面弾性波装置におい
て、基板裏面にインターデジタル電極に対向する導体膜
を具え、インターデジタル電極と基板裏面の導体膜の間
に容量が形成されたことに特徴を有するものであり、複
数のインターデジタル電極と反射器を配置した表面弾性
波装置の、少なくとも一つのインターデジタル電極と基
板裏面の導体膜との間に容量を形成させてもよい。

〔作用〕

基板の厚みを小さくすれば、インターデジタル電極と裏
面の電極を対向させて容量を得ることができる。インタ
ーデジタル電極は比較的広い面積を有するので、比較的
大きな容量を得ることも可能である。

基板裏面の導体膜は、７０缶等のステムに接続されて、
接地電位に接続される。これによって、インターデジタ
ル電極に並列に容量が形成され、接地されることになる
。

〔実施例〕

以下、図面を参照して、本発明の実施例に付いて説明す
る。

第１図は、トランスバーサル型フィルタの例を示すもの
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。水晶、タ
ンタル酸リチウム等の圧電性基板１０の表面に、櫛歯状
に対向した二つの導体パターンによってインターデジタ
ル電極１１．１２が形成される。この場合、インターデ
ジタル電極１１は入力電極、インターデジタル電極１２
は出力電極となっている。

二つのインターデジタル電極は、それぞれ入出力端子に
接続され、入力電気信号がインターデジタル電極１１に
よって表面弾性波に変換され、インターデジタル電極１
２によって表面弾性波が出力電気信号に変換される。

基板１０の裏面には導体膜１３が形成されている。

この例では、入力側のインターデジタル電極１１に対向
する部分のみに形成されている。この導体膜は、インタ
ーデジタル電極の櫛歯の部分だけでなく、バスバーの部
分にまで伸ばして形成すれば、より大きな容量が得られ
る。

この例では、入力側のインターデジタル電極に対向する
部分のみに導体膜を形成したが、出力側に形成したり、
全体に形成してもよい。

第２図は、多重モード共振器型フィルタの例を示すもの
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。水晶等の
圧電性基板２０の表面に、櫛歯状に対向した二つの導体
パターンによってインターデジタル電極２１が直列に接
続されて形成される。この場合、インターデジタル電極
２１の一方が入力電極、他方のインターデジタル電極は
出力電極となる。二つのインターデジタル電極は、それ
ぞれ入出力端子に接続され、入力電気信号がインターデ
ジタル電極２１によって表面弾性波に変換され、格子状
に配置された反射器２４によって多重反射され、エネル
ギーが閉じ込められて、共振器となる。二つの共振器の
振動モードが結合して、所定の通過帯域特性を有する出
力がインターデジタル電極２１の一端から得られる。

基板１０の裏面には導体膜２３が形成されている。

この例では、入力側のインターデジタル電極２１に対向
する部分のみに形成されている。この導体膜は、インタ
ーデジタル電極の櫛歯の部分だけでなく、バスバーの部
分にまで伸ばして形成すれば、より大きな容量が得られ
る。

前記の例でも同じであるが、基板裏面の導体膜２３はＴ
Ｏ缶等のステムに接着されて、アース電位に接続される
。それによって、素子のグイポンディングと接続を同時
に行うこともできる。

第３図は、トランスバーサル型フィルタの他の例を示す
平面図である。水晶、タンタル酸リチウム等の圧電性基
板３０の表面に、櫛歯状に対向した二つの導体パターン
によってインターデジタル電極３１．３２が形成される
。この場合、インターデジタル電極３１は入力電極、イ
ンターデジタル電極３２は出力電極となっている。二つ
のインターデジタル電極は、それぞれ入出力端子に接続
され、入力電気信号がインターデジタル電極３１によっ
て表面弾性波に変換され、インターデジタル電極３２に
よって表面弾性波が出力電気信号に変換される。

この例では、入力のインターデジタル電極３１のバスバ
ー３５の幅を通常よりも広く形成しである。

そして基板３０の裏面には導体膜３３が形成されている
。この例では、入力側のインターデジタル電極３１に対
向する部分のみに形成されている。この導体膜は、イン
ターデジタル電極の櫛歯の部分だけでなく、幅が前記の
例よりも広（されたバスバーの部分にまで伸ばして形成
してあり、大きな容量が得られる。

〔効果〕

本発明によれば、基板の面積を大きくすることなく、特
性の調整に有効な容量を表面弾性波装置内に形成するこ
とができる。したがって、表面弾性波装置の小形化が可
能となる。

これにより、整合回路も簡略化できるので、コスト等の
面でも有利となる。

更に、導体膜をダイポンディング、シールド等にも利用
できる利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の実施例を示し、それぞれ（ａ
ｌは平面図、（ｂｌは正面図である。第３図は本発明の
他の実施例を示す平面図、第４図は多重モードフィルタ
の特性の説明図、第５図はその等価回路図である。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電性を有する基板上にインターデジタル電極の
   入出力電極を具えた表面弾性波装置において、基板裏面
   に該入出力電極の少なくとも一方に対向する導体膜を具
   え、入出力電極の少なくとも一方と基板裏面の導体膜と
   の間に容量が形成されたことを特徴とする表面弾性波装
   置。
2. （２）圧電性を有する基板上にインターデジタル電極と
   、インターデジタル電極で励振された表面弾性波の伝播
   方向に配置された反射器を具えた表面弾性波装置におい
   て、基板裏面にインターデジタル電極に対向する導体膜
   を具え、インターデジタル電極と基板裏面の導体膜の間
   に容量が形成されたことを特徴とする表面弾性波装置。
3. （３）圧電性を有する基板上に複数のインターデジタル
   電極と、インターデジタル電極で励振された表面弾性波
   の伝播方向に配置された反射器を具えた表面弾性波装置
   において、基板裏面にインターデジタル電極の少なくと
   も一つに対向する導体膜を具え、インターデジタル電極
   と基板裏面の導体膜の間に容量が形成されたことを特徴
   とする表面弾性波装置。
4. （４）インターデジタル電極のバスバー幅を広くして基
   板裏面の導体膜をバスバーとも対向させた請求項第１項
   、第２項または第３項記載の表面弾性波装置。
5. （５）インターデジタル電極と外部回路との接続がバス
   バーへのワイヤボンディングによって行われた請求項第
   ４項記載の表面弾性波装置。
6. （６）基板裏面の電極がアース電位に接続された金属の
   表面に接着された請求項第１項、第２項または第３項記
   載の表面弾性波装置。