JPH0450665A - 電圧測定回路 - Google Patents

電圧測定回路

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JPH0450665A
JPH0450665A JP2154254A JP15425490A JPH0450665A JP H0450665 A JPH0450665 A JP H0450665A JP 2154254 A JP2154254 A JP 2154254A JP 15425490 A JP15425490 A JP 15425490A JP H0450665 A JPH0450665 A JP H0450665A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〉 本発明は、半導体集積回路内の未知電圧の検出に用いら
れ、電源電圧依存性及び温度依存性等が小さく、内部記
憶素子のデータ変更により目標検知電圧値の変更可能な
電圧測定回路に関するものである。
(従来の技術〉 単一電源で動作するEEPROM (El ectri
cally  Erasable  Programm
able  Read  0nly  Mem。
ry>またはフラッシュEEPROMにおいて、内部発
生の書込み用高電圧の適正な制御は、書込み後のセル闇
値を制御する上で重要である。その書込み用高電圧は、
いかなる環境下においても安定している必要があり、温
度変動、電源電圧変動等の依存性が小さいことが望まし
い。同時に、この書込み用高電圧は、書込電流または高
温下において増加する寄生リーク電流により、電圧降下
を起こさない程度に高い電流供給の能力が必要である。
また、製造時の諸条件、例えば書込みにフローティング
ゲートと基板との間の酸化膜を介して流れるトンネル電
流を用いる場合、トンネル酸化膜厚やトンネリング領域
の面積等において、各デバイス間にバラツキがあると、
書込み用高電圧の適性な電圧値は、そのバラツキに対応
した異なった値が要求される。
以上の条件を満たすため、通常、昇圧回路としては、強
力なチャージポンプ回路を使用し、昇圧電圧が適正な目
標値まで上昇しているか否かを電圧計測回路により判断
して、目標値を越えた場合、チャージポンプ回路のポン
ピングを停止させるという方式が考えられている。
従来、この種の分野の技術としては、特開昭63−31
0207号公報等に記載されるものがあった。以下、こ
の構成を図を用いて説明する。
第2図は、従来の電圧測定回路の一構成例を示す回路図
である。
この電圧測定回路は、デバイス内部で昇圧された被測定
用電圧Vgを入力するための入力端子1aを有し、その
入力端子1aには被測定用電圧■gを分圧するための容
量1.2がフローティング用のノードN1を介して直列
接続されている。さらに、ノードN1には、リセット用
のN−MO83が接続されると共に、所定の容量比を持
つ容量4〜6の一端が接続されている。そして、その容
量4〜6の他端が目標値設定部10に接続されている。
目標値設定部10は、図示しない内部記憶素子に記憶さ
れた3ビットデータDi、D2.D3により、被測定用
電圧Vgの目標電圧値を設定するための回路であり、ス
イッチング素子であるN−MO811〜16及びインバ
ータ17〜19で構成されている。その上、N−MO8
11〜13に接続されたノードN2が、基準電圧発生用
の定電圧回路20及び差動増幅器30の入力側に接続さ
れている。
ノードN2の他にノードN1が入力側に接続された差動
増幅器30は、ノードN1とノードN2との電圧差を増
幅し、出力端子30aからディジタル値として出力信号
OUTを出力する回路て゛ある。
また、入力端子1aには、図示しない被測定用電圧Vg
生成用のチャージポンプ回路が接続され、そのチャージ
ポンプ回路は出力OUTを用いてボンピング動作(昇圧
動作〉を制御する機能を有している。
次に動作を説明する。
入力された被測定用電圧Vgは、容量1.2の分圧比に
より分圧され、その結果、ノードN1には、定電圧回路
20から出力される基準電圧に近い電圧値が発生する。
一方、ノードN2には、′“HHレベルのデータDi、
D2.D3によって接地レベルが、+11.”レベルの
データDi、D2゜D3によって基準電圧レベルがそれ
ぞれ供給される。そして、ノードN1の電圧レベルがノ
ードN2のレベルを越えたときのみに、差動増幅器30
により“Lパレベルの出力OUTを出力端子30aから
出力する。
例えば、被測定用電圧Vgが上昇して、目標検知電圧に
達したとき、ノードN1の電圧レベルがノードN2の電
圧レベルを越える。その結果、“L?ルベルの出力OU
Tが出力端子30aから出力され、チャージポンプ回路
のボンピング動作が停止される。被測定用電圧Vgのレ
ベルが下がってくると、ノードN1の電圧レベルがノー
ドN2の電圧レベルを下回る。その結果、差動増幅器3
0の出力OUTが“H”レベルに変化してボンピング動
作が再び開始される。このような動作が繰り返されて、
被測定用電圧Vgは目標値の近傍に安定する。
本回路を用いた被測定用電圧Vgの検知レベルは、温度
依存性、電源電圧依存性の小さく、基準電圧と完全に線
形的な関係となり、安定した動作が得られる。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記構成の電圧測定回路では、次のよう
な課題があった。
動作中において、ノードN1がフローティング(浮遊)
状態にある場合に、ノードN1を構成する導体の回りの
絶縁が不十分であると、動作中にノードN1から電荷が
漏れ出し、被測定用電圧■gが目標値からずれるという
問題があった。特に、フラッシュEEPROMでは、す
べてのデータを消去するので、消去時間がEEPROM
に比べて長くなり、その分、フローティング状態が長く
なる。そのため、ノードN1から電荷が漏れ出す機会が
増大する。また、高温下でデータを消去する場合にも電
荷が漏れ出す機会が増大する。
本発明は前記従来技術の持っていた課題として、被測定
用電圧が目標値からずれるという点について解決した電
圧測定回路を提供するものである。
(課題を解決するための手段) 本発明では、前記課題を解決するために、被測定用電圧
を第1の電流に変換し、該第1の電流を入力するための
入力側電極を有する電流変換用トランジスタと、少なく
とも前記入力側電極に対して所定の電圧を印加する定電
圧印加手段と、前記定電圧印加手段と共働して前記第1
の電流と基準電流との電流差を電圧に変換する電流/電
圧変換部と、所定のデータに基づき前記基準電流を生成
する基準電流生成回路とを、備えたものである。
また、前記定電圧印加手段を、一定電圧により導通状態
が制御され、前記電流変換用1ヘランジスタの入力側電
極に亘列接続された所定のインピーダンスの第1のトラ
ンジスタと、前記一定電圧により導通状態が制御され、
前記第2のトランジスタと同一インピーダンスの第2の
トランジスタとを備えるように構成し、さらに、前記基
準電流生成手段を、前記第2のトランジスタに接続され
前記データに基づきオン・オフ動作するスイッチングト
ランジスタと、前記スイッチングトランジスタに直列接
続された電流源とを、備えるように構成してもよい。
(作用) 本発明は、以上のように電圧測定回路を構成したので、
電流変換用トランジスタは、被測定用電圧を第1の電流
に変換し、定電圧印加手段は、電流変換用トランジスタ
の入力側電極に対して所定の電圧を印加し、被測定用電
圧の目標値における電源電圧や温度依存を抑制するよう
に働く。電流/電圧変換部は、定電圧印加手段と共働し
て第1の電流と基準電流との電流差を電圧に変換するよ
うに働く。基準電流生成回路は、被測定用電圧の目標値
を設定するための所定のデータに基づき基準電流を生成
する。
したがって、前記課題を解決できるのである。
(実施例) 第1図は、本発明の実施例を示す電圧測定回路の構成ブ
ロック図である。
この電圧測定回路は、被測定用電圧Vgを第1の電流■
10に変換する電流変換用トランジスタであるN−MO
850及び基準電流生成回路60を有している。そのN
−MO850のゲートが被測定用電圧Vg入力用の入力
端子50aに、ソースがグランドGNDに、ドレインが
ノードNIOを介して定電圧印加手段70にそれぞれ接
続されている。
一方、基準電流生成回路60は、ノードNilとグラン
ドGNDとの間に、スイッチングトランジスタであるN
−MO861,62,63・・・・・・とN−MOS等
で構成された電流源61a〜63aとがそれぞれ直列接
続されると共に、電流源64aが接続されている。ここ
で、N−MO861゜62.63・・・・・・は、図示
しないデバイス内部に蓄積された不揮発性メモリからの
nビットデータD10、Dll、DI2・・・・・・に
よりスイッチングする機能を有している。このスイッチ
ングにより基準電流生成回路60は、所定の基準電流1
11を生成する回路として構成されている。
定電圧印加手段70は、ノードNIOにソースが接続さ
れた第1のトランジスタであるN−M○S71とノード
Nilにソースが接続された第2のトランジスタである
N−MO872とで構成されている。これらN−MO8
71,72は同一インピーダンスを有し、そのN−MO
871,72のゲートには、定電圧源80が接続されて
いる。
定電圧源80は、PチャネルMOSトランジスタ(以下
、P−MOSという)81及びN−MO882〜84で
構成され、そのP−MO381とN−MO884との各
ゲートがリセット信号R8Tに接続されている。
ここで、N−MO871,72は、ノードN10の電圧
とノードNilの電圧との電圧差を増幅する機能を有し
、N−MO871は、ノードN11に対して所定の電圧
を印加する機能を有している。そして、N−MO871
,72の各ドレインが電流/電圧変換部90に接続され
ている。
電流/電圧変換部90は、定電圧印加手段70と共働し
て第1の電流■、。と基準電流111との電流差を電圧
に変換する回路であり、電源電圧VCCと定電圧印加手
段70のN−MO871のトレインとにソースとドレイ
ンとがそれぞれ接続されたP−MO391と、電源電圧
VCCと定電圧印加手段70のN  MO372のトレ
インとにソースとドレインとがそれぞれ接続されたP 
−M OS92とで構成されている。さらに、P−MO
391,92の各ゲートがP−MO392のトレインに
共通接続されて、これらP−MO391,92でカレン
トミラー回路を構成している。そして、P−MO891
のドレインとP−MO891,9′2の各ゲートとが、
それぞれノードN12.13を介して差動増幅回路10
0に接続されている。
差動増幅回路100は、ノードN12における電圧V1
2とノードN13の電圧V13との電圧差を増幅してデ
ィジタル値として出力する回路であり、P−MO8IO
I、102.103及びN−MO8104,105で構
成されている。さらに、差動増福回1100の出力側に
は、リセット信号R8Tと差動増幅回8100の出力と
を入力して出力OUTを出力するNORゲートからなる
リセット手段が接続されている。
また、入力端子50aには、図示しない被測定用電圧V
g生成用のチャージポンプ回路が接続され、そのチャー
ジポンプ回路は出力OUTを用いて昇圧制御を行う機能
を有している。
以上のように構成される電圧測定回路の動作について説
明する。
被測定用電圧Vgが入力端子50aに印加されると、N
−MO871のゲートには定電圧源80から2v程度の
定電圧Vcが与えられているので、ノードNIOの電圧
■1o(=VC−■■、VIN=MO8の闇値)は、1
v程度に一定となる。
被測定用電圧Vgは電源電圧VCC以上の電圧であるた
め、(Vg  VT )は、ノードNIOの電圧V1o
により常時大きく、したがって、N−MO850は、ソ
ース・ドレイン間の電流が(ゲート電圧−V、)に比例
する三極管領域(第3図に示す)で動作する。即ち、ノ
ードNIOの電圧V1゜の電圧が一定の時、(Vg  
VT )と第1の電流工、。とが比例する。この様にし
て被測定用電圧■gが第1の電流■1oに変換される。
一方、基準電流生成回路60では、nビットデータDI
O,Dll、Di2・・・・・・により、N−IVIO
861,62,63・・・・・・がオン・オフ動作する
したがって、基準電流■11は、N−MO861゜62
.63・・・・・・により選択される電流源の和となり
、nビットデータDIO,Di 1.D12=・=・・
・が、“H°°レベルの場合に°1゛“°L′°レベル
の場合に“0”をとる変数AO、A1.A2・・・・・
・を用いて基準電流■11を表すと、 It1=Io +Ao Io +Ai  11+A2 
I2 +”・(1〉 となる。
第5図は、被測定用電圧VgをVgl 、Vg2(Vg
l <Vg2 )に設定した場合の第1の電流■1oと
基準電流■11との関係を示す図である。この図が示す
ように、第1の電流工、。は、基準電流■11の値に依
存せす、被測定用電圧Vgにほぼ比例している。
この基準電流■11と第1の電流■1゜との電流差が、
定電圧印加手段70及び電流/電圧変換部90によって
電圧に変換され、ノードN12.N13にそれぞれ電圧
■12.電圧V13として出力される。この電圧■12
.電圧■13は、定電圧印加手段70によりノードN1
0の電圧■1o及びノードN11の電圧■11に比べて
、第4図(a>、(b)に示すように20倍程度に増幅
される。その後、電圧■12及び電圧■13が差動増幅
回路100のN−MO3I○1.102にそれぞれ印加
されると、その電圧V と電圧”13との電圧差が増幅
され、ディジタル値として出力される。このディジタル
値は、リセット手段110を経て出力CUTとして出力
される。 例えば、被測定用電圧Vgが上昇して、目標
検知電圧に達したとき、“L”レベルの出力OUTが出
力され、チャージポンプ回路のポンピング動作が停止さ
れる。被測定用電圧■gのレベルが書込み電流等により
下がってくると、出力OUTが“H”レベルに変化して
ボンピング動作が再び開始される。このような動作が繰
り返されて、被測定用電圧Vgは目標値の近傍に安定す
る。
ところで、定電圧印加手段70及び電流/電圧変換部9
0により、電圧■12と電圧■13が等しくなるのは1
10” 工11の場合であり、電圧”12と電圧V13
の差動出力である出力OUTは、■1o>111の場合
には゛じレベルになり、110く”11の場合には11
 HI+レベルとなる。即ち、基準電流■11を制御す
ることにより、出力OUTが反転する時の被測定用電圧
Vgを任意に変化させることができる。また、基準電流
■11と被測定用電圧Vgとの関係は、−玄関数 vg=αJ11+β ・・・・・・(2〉 で表すことができる。上記(1〉式及び(2)式により
被測定用電圧Vgは、 Vg”A□ (l I O+AI CI I 1 +A
2 CI I 2 +”・+αID+β      ・
・・・・・(3)となる。ここで、改めて、α工0=α
0.α■1−α1.α■2−α2.・・・・・・、αI
D+β=Bと定義し直せば、被測定用電圧Vgは、 ■g=Aoα0 +A1 α1 +A2 a2+−+B
・・・・(4) と表せる。即ち、被測定用電圧Vgのレベルをnとット
データDIO,Dll、D12・・・・・・を用いて任
意に設定可能となる。例えば、データDIOD11.D
12の3ビツトのみを用いて、電流源の電流■。、11
.I、の比を1:2+4になるように構成すれば、被測
定用電圧Vgは8等分の等間隔に設定できる。
なお、本発明は、図示の実施例に限定されず、種々の変
形が可能である。例えば、その変形例として次のような
ものがある。
(イ〉上記実施例では、電流変換用トランジスタ及び定
電圧印加手段70としてN−MOSを用いたが、例えば
、P−MOSやバイポーラトランジスタを用いて構成す
ることも可能である。
(ロ)上記実施例では、電流/電圧変換部90としてカ
レンlへミラー回路を用いたが、例えば、第6図に示す
ように、抵抗91a、92a″C″構成してもよい。
(ハ)上記実施例では、電流源61a〜63aとしてN
−MOSを用いたが、これに限定されず、例えば抵抗等
を用いて構成してもよい。
(発明の効果) 以上詳細に説明したように、本発明によれば、電流変換
用トランジスタにより被測定用電圧を第1の電流に変換
し、その第1の電流と基準電流との電流差を電圧に変換
して出力するようにしたので、フローティングノードを
用いずに回路構成することができ、被測定用電圧の目標
値の変動を防止できる。さらに、被測定用電圧の目標値
の温度依存性や電源電圧依存性等についても、従来とは
ぼ同等の性能を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す電圧測定回路の構成ブロ
ック図、第2図は従来の電圧測定回路の構成ブロック図
、第3図はN−MO850の動作領域図、第4図(a)
、(b)は第1図の動作時の各ノードの電圧を示す図、
第5図は第1の電流と基準電流の関係を示す図、第6図
は本発明の変形例を示す図である。 50・・・・・・電流変換用トランジスタ、60・・・
・・・基準電流生成回路、61,62.63・・・・・
・スイッチングトランジスタ、61a、62a、63a
・電流源、70・・・・・・定電圧印加手段、71.7
2・・・・・・第1及び第2のトランジスタ、90・・
・・・・電流/電圧変換部、Vg・・・・・・被測定用
電圧、■1o・・・・・・第1の電流、工11・・・・
・・基準電流。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被測定用電圧を第1の電流に変換し、該第1の電流
    を入力するための入力側電極を有する電流変換用トラン
    ジスタと、 少なくとも前記入力側電極に対して所定の電圧を印加す
    る定電圧印加手段と、 前記定電圧印加手段と共働して前記第1の電流と基準電
    流との電流差を電圧に変換する電流/電圧変換部と、 所定のデータに基づき前記基準電流を生成する基準電流
    生成回路とを、 備えたことを特徴とする電圧測定回路。 2、請求項1記載の電圧測定回路において、前記定電圧
    印加手段は、 一定電圧により導通状態が制御され、前記電流変換用ト
    ランジスタの入力側電極に直列接続された所定のインピ
    ーダンスの第1のトランジスタと、前記一定電圧により
    導通状態が制御され、前記第2のトランジスタと同一イ
    ンピーダンスの第2のトランジスタとを備え、 前記基準電流生成手段は、 前記第2のトランジスタに接続され、前記データに基づ
    きオン・オフ動作するスイッチングトランジスタと、 前記スイッチングトランジスタに直列接続された電流源
    とを、 備えた電圧測定回路。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2882163B2 (ja) * 1992-02-26 1999-04-12 日本電気株式会社 比較器
GB9222455D0 (en) * 1992-10-26 1992-12-09 Philips Electronics Uk Ltd A current sensing circuit
FR2703526B1 (fr) * 1993-04-02 1995-05-19 Gemplus Card Int Circuit de déclenchement automatique.
US5537072A (en) * 1994-06-30 1996-07-16 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Charge pump switch circuits
JP3022410B2 (ja) * 1997-06-17 2000-03-21 日本電気株式会社 インタフェース回路およびその判定レベル設定方法
US8867595B1 (en) * 2012-06-25 2014-10-21 Rambus Inc. Reference voltage generation and calibration for single-ended signaling
TWI602001B (zh) * 2016-09-13 2017-10-11 友達光電股份有限公司 壓電感應器讀取電路
US11892864B2 (en) * 2020-01-14 2024-02-06 Texas Instruments Incorporated Voltage supervisor with low quiescent current

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4587442A (en) * 1983-12-01 1986-05-06 Motorola, Inc. Current threshold detector
US4752699A (en) * 1986-12-19 1988-06-21 International Business Machines Corp. On chip multiple voltage generation using a charge pump and plural feedback sense circuits
JPH0827662B2 (ja) * 1987-06-12 1996-03-21 沖電気工業株式会社 比較電圧発生回路及びそれを用いた電圧検出回路
US5075572A (en) * 1990-05-18 1991-12-24 Texas Instruments Incorporated Detector and integrated circuit device including charge pump circuits for high load conditions

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