JPH0450736A - レンジ設定方法 - Google Patents
レンジ設定方法Info
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- JPH0450736A JPH0450736A JP2159971A JP15997190A JPH0450736A JP H0450736 A JPH0450736 A JP H0450736A JP 2159971 A JP2159971 A JP 2159971A JP 15997190 A JP15997190 A JP 15997190A JP H0450736 A JPH0450736 A JP H0450736A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 59
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、例えば測定対象から放射される赤外線を測
定して測定対象を温度を測定する場合、その測定器の測
定レンジを自効的に決定するレンジ設定装置に関するも
のである。
定して測定対象を温度を測定する場合、その測定器の測
定レンジを自効的に決定するレンジ設定装置に関するも
のである。
［従来の技術］
絶対零度以上の温度を有するあらゆる物体は、その表面
から赤外線を放射していることが知られており、この放
射赤外線量（エネルギ量）と物体の表面温度との間には
ブランクの放射公式と呼ばれる一定の関係がある。この
ため、放射赤外線量を測定すれば物体の表面温度が分か
る。この赤外線量は赤外線検出器で検出するが、１個の
赤外線検出器はある定まった方向から来る赤外線しか検
出することができない。しかし、赤外線検出器の前に光
の通路を曲げる機構、すなわち走査機構を設けると、い
ろいろな方向からくる赤外線放射を検出することができ
る。
から赤外線を放射していることが知られており、この放
射赤外線量（エネルギ量）と物体の表面温度との間には
ブランクの放射公式と呼ばれる一定の関係がある。この
ため、放射赤外線量を測定すれば物体の表面温度が分か
る。この赤外線量は赤外線検出器で検出するが、１個の
赤外線検出器はある定まった方向から来る赤外線しか検
出することができない。しかし、赤外線検出器の前に光
の通路を曲げる機構、すなわち走査機構を設けると、い
ろいろな方向からくる赤外線放射を検出することができ
る。
第２図はこの方法の一例を示す図であり、１は１０個の
平面鏡の垂直方向の角度が少しずつ異なる状態で環状に
構成された回転ミラー、２はシリコンウィンド、３は折
り返しミラー、４は集光レンズ、５は位置合わせ用モー
タ、６は垂直方向に１０個配列された赤外線検出素子、
７はそれぞれの赤外線検出素子毎に設けられた増幅器で
あり、１０チャンネル分の独立な出力信号を送出するよ
うになっている。
平面鏡の垂直方向の角度が少しずつ異なる状態で環状に
構成された回転ミラー、２はシリコンウィンド、３は折
り返しミラー、４は集光レンズ、５は位置合わせ用モー
タ、６は垂直方向に１０個配列された赤外線検出素子、
７はそれぞれの赤外線検出素子毎に設けられた増幅器で
あり、１０チャンネル分の独立な出力信号を送出するよ
うになっている。
このように構成された装置において、赤外線だけがシリ
コンウィンド２を透過して回転ミラー１に達する。回転
ミラーは前述したように平面鏡が垂直方向に少しずつず
れて設けられているので、各平面鏡は被写体の垂直方向
に少しずつずれた部分を横方向に走査することになる。
コンウィンド２を透過して回転ミラー１に達する。回転
ミラーは前述したように平面鏡が垂直方向に少しずつず
れて設けられているので、各平面鏡は被写体の垂直方向
に少しずつずれた部分を横方向に走査することになる。
この回転ミラー１の１回転で垂直方向の１０度の範囲を
走査するようになっている。一方、赤外線検出器６は垂
直方向に１０素子並んでおり、その間隔は垂直方向の角
度１．０度に相当するようになっている。このため１面
の平面鏡で１０素子の赤外線検出器６が１．０度おきの
熱像信号を同時に受け、次の平面鏡で前の位置よりも１
．０度ずれた位置の熱像信号を同時に受けることになる
。このようにして回転ミラー１の１回転で被写体の垂直
方向１０度を走査することになる。また、水平方向に関
しては回転ミラー１の各平面鏡の水平視野角（約１８度
）を走査することになる。
走査するようになっている。一方、赤外線検出器６は垂
直方向に１０素子並んでおり、その間隔は垂直方向の角
度１．０度に相当するようになっている。このため１面
の平面鏡で１０素子の赤外線検出器６が１．０度おきの
熱像信号を同時に受け、次の平面鏡で前の位置よりも１
．０度ずれた位置の熱像信号を同時に受けることになる
。このようにして回転ミラー１の１回転で被写体の垂直
方向１０度を走査することになる。また、水平方向に関
しては回転ミラー１の各平面鏡の水平視野角（約１８度
）を走査することになる。
このようにして得られた熱像信号は１０個の増幅器７で
それぞれ増幅されて出力される。８番よ温度テーブルで
あり、そこには黒体炉で温度補正された例えば第１表の
ようなデータが記憶されてし）る、第１表の温度範囲の
うち、例えば１４度力）ら２３度の温度範囲が必要な場
合、スイ・ンチ９Ｇこよって記号イで示す温度範囲を選
択し、その範囲のデータが変換テーブル１０に書き込ま
れる。
それぞれ増幅されて出力される。８番よ温度テーブルで
あり、そこには黒体炉で温度補正された例えば第１表の
ようなデータが記憶されてし）る、第１表の温度範囲の
うち、例えば１４度力）ら２３度の温度範囲が必要な場
合、スイ・ンチ９Ｇこよって記号イで示す温度範囲を選
択し、その範囲のデータが変換テーブル１０に書き込ま
れる。
第１表
この書き込みは第３図に示すよう【こ、横軸（こ赤外線
のエネルギ相当の電圧すなわち第１表の入力電圧値を書
き込み、縦軸にそのときの温度を書き込む、第１表はア
ナログ信号で記載しであるが、書き込みは８ビツトのデ
ジタル信号で行うので０〜２５５の値をとる。このため
、第１表の値から不足する部分は補間をしてデータを作
成する。
のエネルギ相当の電圧すなわち第１表の入力電圧値を書
き込み、縦軸にそのときの温度を書き込む、第１表はア
ナログ信号で記載しであるが、書き込みは８ビツトのデ
ジタル信号で行うので０〜２５５の値をとる。このため
、第１表の値から不足する部分は補間をしてデータを作
成する。
この場合、最低値をゼロ、最高値を２５５に設定する。
ところが、赤外線検出器の直線性はある範囲しか保障さ
れていない、このため、その直線性の範囲を外れる場合
はフィルタなどで入力信号を減衰させたり、増幅器の利
得を調整したりして、測定対象の最大値、最小値が測定
器の直線性の範囲に入るようにしている。また、良好な
直線性を確保して精度良い測定を行うため、測定レンジ
を狭く設定したりしている。
れていない、このため、その直線性の範囲を外れる場合
はフィルタなどで入力信号を減衰させたり、増幅器の利
得を調整したりして、測定対象の最大値、最小値が測定
器の直線性の範囲に入るようにしている。また、良好な
直線性を確保して精度良い測定を行うため、測定レンジ
を狭く設定したりしている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら測定範囲を狭く設定した場合、その測定範
囲内に測定対象があれば問題ないが、測定対象が測定範
囲外にあると、設定されている測定範囲を平行移動させ
ながら測定対象を捜す必要がある。ところが、測定対象
が現設定範囲から非常に離れたところにある場合、測定
範囲をそこまで移動させるには時間がかかり、異なる測
定対象を比較測定する場合は非常に不便であるという課
題を有している。
囲内に測定対象があれば問題ないが、測定対象が測定範
囲外にあると、設定されている測定範囲を平行移動させ
ながら測定対象を捜す必要がある。ところが、測定対象
が現設定範囲から非常に離れたところにある場合、測定
範囲をそこまで移動させるには時間がかかり、異なる測
定対象を比較測定する場合は非常に不便であるという課
題を有している。
［課題を解決するための手段］
このような課題を解決するため、この発明は、測定対象
の温度差と設定範囲との関係を場合分けする場合分は手
段と、その場合分は結果に応じて設定範囲の仮設定を行
う設定範囲仮設定手段と、新たな仮設定範囲の最大値が
測定対象の最大値温度以上となり、仮設定範囲の最小値
が測定対象の最小値温度以下となるように設定範囲最大
値および設定範囲最小値を設定する設定範囲調整手段を
備えたものである。
の温度差と設定範囲との関係を場合分けする場合分は手
段と、その場合分は結果に応じて設定範囲の仮設定を行
う設定範囲仮設定手段と、新たな仮設定範囲の最大値が
測定対象の最大値温度以上となり、仮設定範囲の最小値
が測定対象の最小値温度以下となるように設定範囲最大
値および設定範囲最小値を設定する設定範囲調整手段を
備えたものである。
［作用］
先ず、現状の設定範囲と測定対象の温度範囲とがどのよ
うな関係にあるかの場合分けが行われる。
うな関係にあるかの場合分けが行われる。
この詳細は後述するが、先ず測定対象の最小温度および
最大温度が等しいか否かに分け、それぞれの場合、測定
対象の最小温度と最大温度の差に応じてそれぞれ対応し
た仮設定範囲が決定する。この仮設定範囲内に測定対象
の最大値と最小値が無い場合は、設定範囲内に測定対象
の最大値と最小値が含まれるようになるまで、設定範囲
を順次その時点の設定範囲量だけ拡大する。そして測定
範囲内に測定対象の最小温度と最大温度とが入るように
なったら、設定範囲の最大値を測定対象の最大値よりも
大きな値に設定し、測定範囲の最小値を測定対象の最小
値より小さな値に設定する。
最大温度が等しいか否かに分け、それぞれの場合、測定
対象の最小温度と最大温度の差に応じてそれぞれ対応し
た仮設定範囲が決定する。この仮設定範囲内に測定対象
の最大値と最小値が無い場合は、設定範囲内に測定対象
の最大値と最小値が含まれるようになるまで、設定範囲
を順次その時点の設定範囲量だけ拡大する。そして測定
範囲内に測定対象の最小温度と最大温度とが入るように
なったら、設定範囲の最大値を測定対象の最大値よりも
大きな値に設定し、測定範囲の最小値を測定対象の最小
値より小さな値に設定する。
［実施例］
第１図はこの発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。第１図において各記号は次のように定義する。
る。第１図において各記号は次のように定義する。
Ｐｍａｘ：第３図の最小人力（赤外線のエネルギ相当で
０から２５５までのデジタル量） Ｐａｉｎ：第３図の最大入力（赤外線のエネルギ相当で
０から２５５までのデジタル量） ＴＬ：測定範囲の最小温度設定値（アナログ量）Ｔ□：
測定範囲の最大温度設定値（アナログ量）ＴＯＢ：測定
対象の最大温度［Ｔｏｎ＝ｆ （Ｐｍａｘ ）であり、
アナログ量である］ ＴＯＬ：測定対象の最小温度［’ｒｏ＋−＝ｆ （Ｐ
ａｉｎ ）であり、アナログ量である］ 第１図において先ず、Ｐ ｗａｘとＰ ｗｉｎとが等し
い場合について説明すると、この場合は最小値、最大値
とも設定範囲外（丁度境界にある場合を含む）にある場
合、あるいは設定範囲内であるが設定値の最大値と最小
値が等しくなっている場合である。
０から２５５までのデジタル量） Ｐａｉｎ：第３図の最大入力（赤外線のエネルギ相当で
０から２５５までのデジタル量） ＴＬ：測定範囲の最小温度設定値（アナログ量）Ｔ□：
測定範囲の最大温度設定値（アナログ量）ＴＯＢ：測定
対象の最大温度［Ｔｏｎ＝ｆ （Ｐｍａｘ ）であり、
アナログ量である］ ＴＯＬ：測定対象の最小温度［’ｒｏ＋−＝ｆ （Ｐ
ａｉｎ ）であり、アナログ量である］ 第１図において先ず、Ｐ ｗａｘとＰ ｗｉｎとが等し
い場合について説明すると、この場合は最小値、最大値
とも設定範囲外（丁度境界にある場合を含む）にある場
合、あるいは設定範囲内であるが設定値の最大値と最小
値が等しくなっている場合である。
ステップ１００において入力最小値Ｐａ１ｎと入力最大
値Ｐ■ａｘが等しいと判断され、ステップ１０１に示す
ように入力データＰが２５５でもなく、ステップ１０３
に示すように０でもないと判断された場合は、現在設定
値の最大値および最小値が接近し過ぎている場合である
。このときはステップ１０５に示すように測定範囲の最
小温度設定値ＴＬを現設定範囲の１０％だけ下げ、測定
範囲の最大温度設定値Ｔｏを現設定範囲の１０％だけ増
やす。そしてステップ１０６に示すように、測定対象の
温度差が設定範囲の６０％になったか否かを判断し、そ
の条件を満足するまで設定範囲の変更を行う。
値Ｐ■ａｘが等しいと判断され、ステップ１０１に示す
ように入力データＰが２５５でもなく、ステップ１０３
に示すように０でもないと判断された場合は、現在設定
値の最大値および最小値が接近し過ぎている場合である
。このときはステップ１０５に示すように測定範囲の最
小温度設定値ＴＬを現設定範囲の１０％だけ下げ、測定
範囲の最大温度設定値Ｔｏを現設定範囲の１０％だけ増
やす。そしてステップ１０６に示すように、測定対象の
温度差が設定範囲の６０％になったか否かを判断し、そ
の条件を満足するまで設定範囲の変更を行う。
ステップ１０１で入力データＰ＝２５５と判断された場
合は設定範囲最大値が低すぎるのであるから、ステップ
１０２に示すように最大値を現在の設定範囲量の温度差
分だけ高ｂ）側に移動して後述するステップ１ピ以後の
処理を行う。またステップ１０３で入力データＰ＝０と
判断された場合は設定範囲最小値が高過ぎるのである力
）ら、ステップ１０４に示すように最小値を現在設定範
囲の温度差分だけ低い側に移動する。そしてステップ１
０２．１０４のどちらの処理が行われた場合でもステッ
プ１１７に示すように測定範囲内に測定対象があるか否
かが判断され、測定範囲内に測定対象がない場合、ステ
ップ１１９に示すように測定レンジが２倍に設定される
。それでもまだ測定範囲内に測定対象がない場合は、測
定範囲内に測定対象が入るまで、その都度測定レンジが
現在設定範囲の２倍に変更される。するとやがて測定対
象が測定範囲内に入るようになるが、ステップ１１８に
示すように測定対象の最小値、最大値の両方が設定範囲
内に入るまで、測定範囲の拡大は続けられる。
合は設定範囲最大値が低すぎるのであるから、ステップ
１０２に示すように最大値を現在の設定範囲量の温度差
分だけ高ｂ）側に移動して後述するステップ１ピ以後の
処理を行う。またステップ１０３で入力データＰ＝０と
判断された場合は設定範囲最小値が高過ぎるのである力
）ら、ステップ１０４に示すように最小値を現在設定範
囲の温度差分だけ低い側に移動する。そしてステップ１
０２．１０４のどちらの処理が行われた場合でもステッ
プ１１７に示すように測定範囲内に測定対象があるか否
かが判断され、測定範囲内に測定対象がない場合、ステ
ップ１１９に示すように測定レンジが２倍に設定される
。それでもまだ測定範囲内に測定対象がない場合は、測
定範囲内に測定対象が入るまで、その都度測定レンジが
現在設定範囲の２倍に変更される。するとやがて測定対
象が測定範囲内に入るようになるが、ステップ１１８に
示すように測定対象の最小値、最大値の両方が設定範囲
内に入るまで、測定範囲の拡大は続けられる。
測定対象の最小値、最大値の両方が設定範囲内に入った
ことがステップ１１８で判断されるとステップ１１２に
示すように、測定対象の温度差が設定範囲の６０％以下
であるか否かが判断される。
ことがステップ１１８で判断されるとステップ１１２に
示すように、測定対象の温度差が設定範囲の６０％以下
であるか否かが判断される。
測定対象の温度差が設定範囲の６０％より大きい場合は
設定範囲が狭過ぎるのであるから、ステップ１１５．１
１６に示すように、それが６０％になるまで、設定値最
小値を現在設定範囲の１０％だけ低くするとともに、設
定値最大値を現在設定値の１０％だけ高くする。ステッ
プ１１２で測定対象の温度差が設定範囲の６０％以下で
ある場合はステップ１１３，１１４に示すように、逆の
操作を行う。
設定範囲が狭過ぎるのであるから、ステップ１１５．１
１６に示すように、それが６０％になるまで、設定値最
小値を現在設定範囲の１０％だけ低くするとともに、設
定値最大値を現在設定値の１０％だけ高くする。ステッ
プ１１２で測定対象の温度差が設定範囲の６０％以下で
ある場合はステップ１１３，１１４に示すように、逆の
操作を行う。
ステップ１００においてＰｍａｘ ＝Ｐｍｉｎではない
と判断され、ステップ１０７においてデータＰ ｗａｘ
は２５５でありＰａ１ｎは０であると判断されたときは
測定対象の温度差に比較して設定範囲が狭過ぎることに
なる。このため、ステップ１０５，１０６において前述
したように、測定対象の温度差が設定範囲の６０％にな
るまで設定範囲が広げられる。しかしステップ１０８に
おいて入力データの最大値Ｐ■ａｘだけが２５５で最小
値Ｐ■ｉｎは０でないと判断された場合は、測定対象の
最大値だけが測定範囲外にあるので、ステップ１０９に
示すように設定値最大値を現在設定範囲の１０％だけ増
加させた後、ステップ１１２において測定対象の温度差
が設定範囲の６０％より大きいか、小さいかを判断する
。それによって前述したように、ステップ１１３，１１
４あるいは１１５．１１６の処理によって測定対象の温
度差が設定範囲の６０％となるまで設定範囲を広げるか
、縮めるかの処理を行う。また入力データ最小値Ｐｗｉ
ｎが０で最大値Ｐ ｗａｘが２５５でない場合は最小設
定値が高過ぎるのであるから、ステップ１１１に示すよ
うに設定値最小値を現在設定範囲の１０％だけ下げたう
え、測定対象の温度差が設定範囲の６０％となるように
、前述と同様にして設定範囲の調整を自効的に行う。
と判断され、ステップ１０７においてデータＰ ｗａｘ
は２５５でありＰａ１ｎは０であると判断されたときは
測定対象の温度差に比較して設定範囲が狭過ぎることに
なる。このため、ステップ１０５，１０６において前述
したように、測定対象の温度差が設定範囲の６０％にな
るまで設定範囲が広げられる。しかしステップ１０８に
おいて入力データの最大値Ｐ■ａｘだけが２５５で最小
値Ｐ■ｉｎは０でないと判断された場合は、測定対象の
最大値だけが測定範囲外にあるので、ステップ１０９に
示すように設定値最大値を現在設定範囲の１０％だけ増
加させた後、ステップ１１２において測定対象の温度差
が設定範囲の６０％より大きいか、小さいかを判断する
。それによって前述したように、ステップ１１３，１１
４あるいは１１５．１１６の処理によって測定対象の温
度差が設定範囲の６０％となるまで設定範囲を広げるか
、縮めるかの処理を行う。また入力データ最小値Ｐｗｉ
ｎが０で最大値Ｐ ｗａｘが２５５でない場合は最小設
定値が高過ぎるのであるから、ステップ１１１に示すよ
うに設定値最小値を現在設定範囲の１０％だけ下げたう
え、測定対象の温度差が設定範囲の６０％となるように
、前述と同様にして設定範囲の調整を自効的に行う。
［発明の効果１
以上説明したようにこの発明は、測定対象の温度差と設
定範囲との関係を場合分けし、その場合分は結果に応じ
て測定範囲を自動的に広げたり、縮めたりするものであ
るから、設定範囲と測定対象の温度とがかけはなれてい
ても、短い時間で適当な設定範囲に調整できるという効
果を有する。
定範囲との関係を場合分けし、その場合分は結果に応じ
て測定範囲を自動的に広げたり、縮めたりするものであ
るから、設定範囲と測定対象の温度とがかけはなれてい
ても、短い時間で適当な設定範囲に調整できるという効
果を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示すフローチャート、第
２図は赤外線検出部の構成を示す図、第３図は変換テー
ブルの特性を示すグラフである。 １・・・・回転ミラー、２・・・・シリコンウィンド、
６−・・・赤外線検出素子、７−・・・増幅器、８・・
・・温度テーブル、１０−・・・変換テーブル。
２図は赤外線検出部の構成を示す図、第３図は変換テー
ブルの特性を示すグラフである。 １・・・・回転ミラー、２・・・・シリコンウィンド、
６−・・・赤外線検出素子、７−・・・増幅器、８・・
・・温度テーブル、１０−・・・変換テーブル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 測定レンジを自動的に設定するレンジ設定装置において
、 測定対象の温度差と設定範囲との関係を場合分けする場
合分け手段と、 その場合分け結果に応じて設定範囲の仮設定を行う設定
範囲仮設定手段と、 新たな仮設定範囲の最大値が測定対象の最大値温度以上
となり、仮設定範囲の最小値が測定対象の最小温度以下
となるように設定範囲上最大値および設定範囲最小値を
設定する設定範囲調整手段を備えたことを特徴とするレ
ンジ設定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2159971A JPH0675013B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | レンジ設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2159971A JPH0675013B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | レンジ設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0450736A true JPH0450736A (ja) | 1992-02-19 |
| JPH0675013B2 JPH0675013B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=15705175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2159971A Expired - Fee Related JPH0675013B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | レンジ設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675013B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6020618A (en) * | 1994-03-30 | 2000-02-01 | Denso Corporation | Semiconductor device in which thin silicon portions are formed by electrochemical stop etching method |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP2159971A patent/JPH0675013B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6020618A (en) * | 1994-03-30 | 2000-02-01 | Denso Corporation | Semiconductor device in which thin silicon portions are formed by electrochemical stop etching method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675013B2 (ja) | 1994-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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