JPH0451995B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はガスレーザなどの共振器の反射鏡の調
整を効率的に行なうためのレーザ調整用光学装置
に関するものである。

従来例の構成とその問題点 レーザの共振器系は２枚の反射鏡で構成され、
この両鏡を完全平行面となるように調整する。こ
の反射鏡のうち一枚は全反射鏡で他方は一部透光
性である。この両鏡の平行性を調整するには通常
外部光源系を用いて細い平行光線（可視光が望ま
しく、He−Neレーザを用いることが多いので以
後He−Neレーザの利用をもつて説明する。）を
使用する。第１図Ａは、従来の調整システムを示
す。

第１図Ａの従来方式においても反射鏡の調整は
可能である。しかし外部光たるHe−Neレーザ光
の入射光と出射光とが同時に概略同一点に重畳さ
れて現れるのでこのスポツト径以内に両光の座標
を調整することは不可能であつた。第１図Ａにお
いてHe−Neレーザ１よりの光線１ａはレーザ共
振器系２に入射される。共振器系２は出力鏡２Ａ
と全反射鏡２Ｂより成る。両鏡２Ａ，２Ｂを完全
に平行に調整するために次のように操作する。光
線１ａの一部は出力鏡２Ａを通過して全反射鏡２
Ｂによつて反射する。この反射光１ｂが出力鏡２
Ａにおいて光線１ａに合致するように全反射鏡２
Ｂを調整する。ついで出力鏡２Ａで再度反射され
たビーム１ｃが全反射鏡２Ｂの面で光線１ａの入
射スポツトと合致するように出力鏡２Ａを調整す
る。このとき両鏡の反射面を斜視するとおのおの
のビームスポツトが第１図Ｂ，Ｃのように認めら
れる。つまり第１図Ｂにおいて出力鏡２Ａ上に
は、光線１ａのビームスポツト３ａと反射鏡２Ｂ
で反射され光線１ｂのビームスポツト３ｂが投影
される。この両スポツト３ａ，３ｂを第１図Ｃの
ように出力鏡２Ａ、反射鏡２Ｂを調整して一致さ
せるように調整作業を行なう。しかしこの従来の
方法では、調整用光源にHe−Neレーザを用いた
としてもビーム径が有限であつて（直径１mm以上
が通常である）、さらにレーザ光特有のギラツキ
（スペツクル）があつて両スポツトを合一したと
きの調整精度はビーム径以下になしえない。ま
た、出力鏡２Ａ、反射鏡２Ｂ自体直径が小さい
（通常、直径20〜30mmが多い）のでビームスポツ
トが見づらく、ビームスポツトを斜視することに
なる。

発明の目的 本発明は上記欠点を改良するもので、簡易な改
良構造によつてはるかに高精度の反射鏡調整を行
なうことができるレーザ調整用光学装置の提供を
目的としている。

発明の構成 主にガスレーザの共振器用反射鏡の調整のため
に用いる調整用光学装置において、可視光源とレ
ーザ共振器系との間に半透明鏡を光源の光軸に対
して約45度に設置する。これによつて光源からの
入射光は半透明鏡で一部反射される。また通過し
た光線はレーザ共振器系の全反射鏡で反射され、
出射光となつて再び反透明鏡で反射される。この
半透明鏡で反射された入出射光は分離され、半透
明鏡の中心に対して対称に配置されたスクリーン
上に投射される。この投射スポツトのスクリーン
上の位置からレーザ共振器系の反射鏡の調整をお
こなうことができる。

実施例の説明 第２図Ａは、本発明の一実施例であるレーザ調
整用光学装置の概略構成図である。He−Neレー
ザ等の可視光源１と共振器系２との間に半透明鏡
６を設ける。このスクリーン４及び５の設置は、
例えば、まず、半透明鏡６の中心に、スクリーン
位置合わせように所定のマークを設け、光源１か
らの光線１ａが、このマークに当たるように、光
源１と半透明鏡６の位置を調整をすることから始
まる。次に、スクリーン５へ反射される光線１ｄ
が、このスクリーン５の中心に当たるように、ス
クリーン５を、光線１ｄの進行方向に垂直な面内
で移動し調整する。そして、スクリーン５の背部
に第２の光源を置き、望ましくは、ピンホールを
有するか、又は半透明膜から成るスクリーン５を
透過して半透明鏡６に光線を照射し、この光線
が、スクリーン５の中心と半透明鏡６のマーク双
方に当たるように、第２の光源の位置を調整す
る。最後に、この光線が、スクリーン４の中心に
当たるように、スクリーン４を、この光線の進行
方向に垂直な面内で移動し調整することにより、
スクリーン４及び５の設置は完了する。半透明鏡
６よりの入射光を投影するためのスクリーン４及
び５を設ける。半透明鏡６は光源１からの光線１
ａは一部反射して光線１ｄとなりスクリーン５に
投射する。光線１ａの残りは半透明鏡６を通過し
て共振器系２に入射する。そして全反射鏡２Ｂに
より反射され共振器系２から出射する光線１ｂは
半透明鏡６で一部反射して光線１ｅとなりスクリ
ーン４に投影する。半透明鏡６の物性上光源１か
らの入射光１ａはスクリーン４には到達せず、共
振器系２からの出射光１ｅはスクリーン５には達
しないので、この両光１ｄ，１ｅが同一経路をた
どつても両光１ｄ，１ｅを両スクリーン４及び５
に分離することができる。そしてスクリーン４と
５上の半透明鏡６中心に対する対称点におのおの
刻印をなし、両光がともにこの両刻印に入射する
ように共振器２の全反射鏡２Ｂを調整すればよ
い。又は、スクリーン４と５上に半透明鏡６中心
に対する対称位置に目盛をつけ、両光１ｄ，１ｅ
が同じ目盛を示すように全反射鏡２Ｂを調整すれ
ばよい。このとき観測できるスポツトを第２図
Ｂ，Ｃを用いて説明する。光線１ｄのスクリーン
５上のスポツト５ａを第２図Ｃのようにスクリー
ン５の刻印に一致するように光源１を調整する。
共振器系からの反射光１ｅは第２図Ｂのようにス
クリーン４上に４ａとして投射する。このスポツ
ト４ａを全反射鏡２Ｂを調整して中心の刻印と一
致させる。なお、このときの具体的な調整機構と
しては、光線１ａに対して少なくとも２方向にあ
おりが可能なものであればよく、例えば、全反射
鏡が設置できる金属性の塑性変形が可能なジヤバ
ラ等の使用が適当である。又、全反射鏡２Ａにつ
いての調整は、全反射鏡２Ｂについての調整と同
様に、全反射鏡２Ｂの調整の後、又は適当な時期
に行なえばよい。このとき観測できるスポツトは
両スクリーンではおのおの１つのスポツトのみで
あるから従来方式のように入出射光両スポツトが
重なつて調整が困難になることはない。またスク
リーン４，５と半透明鏡６との距離を増大すると
両光のズレ量が比例増大するので微小のズレの検
出も容易となり調整の精度を向上させることもで
きる。

発明の効果 以上のようにレーザ共振器用反射鏡の調整のた
めに用いるレーザ調整用光学装置において、可視
光源とレーザ共振器系との間に半透明鏡を設け、
この半透明鏡を光源に対して約45°に設置すれば
光源からの入射光とレーザ共振器系よりの出射光
とを分離して観測できる。そして入出射光をそれ
ぞれ半透明鏡の中心に対して対称に配置されたス
クリーン上で投射したスポツトからレーザ共振器
系の全反射鏡を調整することができる。これによ
つて、観測するスポツトは両スクリーンでおのお
の１つのスポツトのみであるから従来方式のよう
に入出射光が重なつて調整が困難になることはな
い。またスクリーンと半透明鏡の距離を増大する
ことで入出射光のレンズが増大するので微小のズ
レの検出も精度よく行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａは従来のレーザ調整用光学装置の概略
構成図、第１図Ｂ及びＣはレーザ共振器系の出力
鏡における光スポツトの状態を示す図、第２図Ａ
は本発明の一実施例であるレーザ調整用光学装置
の概略構成図、第２図Ｂ及びＣは本発明の装置の
スクリーンにおける光スポツトの状態を示す図で
ある。 １……光源、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ…
…光線、２……共振器系、２Ａ……出力鏡、２Ｂ
……全反射鏡、３ａ，３ｂ，４ａ，５ａ……光ス
ポツト、４，５……スクリーン、６……半透明
鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 可視光源と、 前記可視光源に対応して設けられ、内部に反射
   鏡を有するレーザ共振系と、 前記可視光源と前記レーザ共振系との間であつ
   て、前記可視光源から射出された光束の光軸に対
   して略45度傾斜して設置された半透明鏡と、 前記可視光源から射出し前記半透明鏡で反射さ
   れた光束が入射する第１のスクリーンと、 前記可視光源から射出し、前記半透明鏡を透過
   し、前記レーザ共振系に入射し、前記レーザ共振
   系で反射され、前記半透明鏡で反射された光束と
   が入射する第２のスクリーンと、 前記レーザ共振系の反射鏡位置を調整する手段
   とを有するレーザ調整用光学装置。 ２ 第１と第２のスクリーンは、各々半透明鏡の
   中心位置に対応する位置に刻印を有し、レーザ共
   振系の反射鏡位置を調整する手段は、各入射光の
   前記刻印に対する入射位置を調整する特許請求の
   範囲第１項記載のレーザ調整用光学装置。 ３ 第１と第２のスクリーンは、各々半透明鏡の
   中心位置に対する対称位置に目盛りを有し、レー
   ザ共振系の反射鏡位置を調整する手段は、各入射
   光の前記目盛りに対する入射位置を調整する特許
   請求の範囲第１項記載のレーザ調整用光学装置。