JPH0452269A - 昇華性物質の真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 不発明は、Ｓ　ｉ　Ｏ、Ｓ　Ｉ　Ｏｔ等の昇華性物質の
真空蒸着装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、紙、プラスチック、フィルム等の基板Ｋ　ＳｉＯ
，５ｉ０２等の昇華性物質を蒸着する薄膜形成は第３図
忙示すような連続真空蒸着装置で行なわれている。

第２図において、アンコイラ５′から払い出された基板
１は、排気ポンプユニット７によって所定の真窒度に排
気された蒸着室２内へ入って、水平に配置された冷却ロ
ール４に掛け廼され蒸着時の加熱忙よる温度上昇を減す
るように冷却されながら、蒸着装置６より蒸発する蒸着
材が蒸着されコイラ５に巻取られる。３は基板１のデフ
レクタクールであるう 前記の蒸着装置６は、＠３図に示すように、蒸着材収納
容器８、加熱体９、上部のスリット状ノズル１０．及び
誘導加熱用コイル１１で構成されておシ、蒸着材１２／
ｆｉ加熱体９の放射熱により加熱され昇華し、スリット
状ノズル１０の開口部より上方へ噴出して基板１に蒸着
するっ〔発明が解決しようとする課題〕 前記の従来の真空蒸着装置では、スリット状ノズル１０
より噴出する蒸気は、基板ＩＫ蒸着し他の一部は無効蒸
気となり散乱して装置内壁各部に蒸着して堆積する。こ
の内壁に蒸着し几無効蒸気を取除く手段としては、グラ
インダーでｌ！Ｉシ取シ後にワイヤブラシ等で研磨する
必要があシ、従来の真空蒸着装置においては、（１）装
置メンテナンス作業に時間管要する。

（２）メンテナンス期間中装置の運転を停止しなければ
ならない。

（３）剥離した無効蒸気は、グラインダーの粉、ワイヤ
ブラシのワイヤ等の混入により蒸着材として再使用する
ことができない。

（４）内壁各部に蒸着した無効蒸気は、一定量の蒸着膜
厚又は蒸着母材の熱変化により剥離して落下する。その
際、ロール、基板間又は軸受部上に堆積し装置トラブル
の要因となる。

等の問題点があった。

本発明は、従来の真空蒸着装置のもつ以上の問題点を解
決しようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の昇華性物質の真空蒸着装置は、蒸発装置の上部
のスリット状ノズルから昇華性物質の蒸気を噴出させて
上方の基板に蒸着を行なう昇華性物質の真空蒸発装置に
おいて、前記スリット状ノズルの長手方向両端部より外
方に、かつ、スリット状ノズルと基板との間にスリット
状ノズルの幅より大きい直径の２本のロールを垂直方向
に配置し、同２本のロール間にエンドレス板を掛け廻わ
すと共に１少くとも１本のロールを駆動装置に連結し念
。

〔作用〕

本発明では、蒸発装置のスリット状ノズルの長手方向の
両端部よう外方に、かつ、スリット状ノズルと基板との
間に配置されスリット状ノズルの幅より大きい直径の垂
直方向の２本のロールにエンドレス板が掛け廻わされ、
少くとも１本のロールを駆動することによってエンドレ
ス板がスリット状ノズルに沿ってその上方を移動してい
るために、スリット状ノズルより噴出し基板へ向う方向
以外に散乱した蒸着材の無効蒸気はエンドレス板内面に
蒸着して膜上形成する。このエンドレス板内面に蒸着し
之無効蒸気の膜は、ロールに沿って極度に曲けられ、ま
たａ−ルとエンドレス板間で圧着されることによって、
破壊され母材であるエンドレス板より剥離する。

以上のように１本発明では、基板に蒸着されない無効蒸
気は、エンドレス板によっテ捕捉すれるために１蒸着室
内面壁等に蒸着して堆積することが防止される。また、
エンドレス板ＦＣ蒸着し九蒸着材は、前記のように、破
壊されて剥離して除去され、エンドレス板上に堆積する
こともない。

〔実施例〕

本発明の一実施例を纂１図及び＠２図に示す。

本実施例は、第３図に示す従来の真空蒸発装置と同じ塑
成のものに係り、図示されない部分は、第３図と同様な
構成を備えている。

４は走行する基板１が掛け廻わされる水平に９、上部に
はソ水平に配置されたスリット状ノズル１０及び誘導加
熱コイル１１より構成される蒸着装置６が配置されてい
る。２ａは、冷却ロール４、蒸着装置６等が収容される
蒸着室の外壁である。前記冷却ロール４に掛け廻わされ
た基板１とスリット状ノズルｌＯの間には、スリット状
ノズル１０の長手方向の両ｍ部より外方にはソ垂直方向
に２本の同径の耐熱鋼製のロール１４．１４が配置され
、同ロール１４．１４の直径はスリット状ノズル１００
幅より大きく構成されている。同ロール１４．１４の各
々は、蒸着室外４！２　ａに取付けられた上下の固定ア
ーム１５．１５に回転できるように支持され、また、一
方のロール１４は、駆動ギヤボックス１７゜連結シャフ
ト及びユニバーサルジヨイント１８を介して蒸着室外の
駆動モータ１９によってその細まわりに回転駆動される
ようになっている。

前記ロール１４．１４には、材質がステンレス。

チタン、タングステン等のエンドレス状薄板１３が掛け
蜘わされている。１５Ｆｉ、下方の固定ア−ムに職付け
られ、各ロール１４の下方を取囲み、斜め下方にスリッ
ト状ノズル１０の端部上へ延びるじょうご形状金物であ
る。

なお、前記ロール１４．１４は、必要に応じて、その内
部を水冷構造とすることもできる。

前記の構成をもつ本実施例において、一方のロール１４
を駆動モータ１９によって回転させると、ロール１４．
１４に掛け廻わされ次エンドレス状薄板１３がスリット
状ノズル１０の上方で同ノズルＩＯＫ沿って、かつこれ
を取囲むように走行する。

スリット状ノズル１０を通って上方へ噴出される蒸着材
の蒸気のうち、基板１の方向へ向う以外の無効蒸気は、
エンドレス状薄板１３の内面に蒸着されて膜を形成する
。このようにして、エンドレス状薄板１３の内面く形成
された蒸着材の農は、ロール１４のまわりを通過すると
きに極ＷＫ折り曲げられ、かつ、ロール１４とエンドレ
ス状薄板１３０間で圧着されることによって破壊され、
エンドレス状薄板１３より剥離するっ剥離し九蒸着材の
腰は、ロール１４の下方のじょうご形状金物１６上に落
下し、その傾斜面上を滑ってスリット状ノズル１００両
端部を経て蒸着材収納容器８内へ落下して再昇華し、再
利用される。

以上の通シ、本実施例においては、基板１に蒸着しない
蒸着材の無効蒸気をエンドレス状薄板１３の内面で捕捉
することＫよって、同無効蒸気が蒸発室内壁等に蒸着し
て堆積することが防止される。

まな、エンドレス状薄板１３の内面に形成された蒸着材
の膜は、ロール１４．１４を廻るときに破壊されて剥離
し、エンドレス状薄板１３の内面に蒸着材が堆積するこ
とがない。

ま念更に、エンドレス状薄板１３から剥離され念蒸着材
の膜は、じょうご形状金物１６によって蒸着材収容容器
８へ戻され、再昇華されて蒸着に有効に利用される。

〔発明の効果〕

本発明では、蒸発装置の上部のスリット状ノズルと基板
との間に１かつ、スリット状ノズルの長手方向両端部よ
う外方に垂直方向に２本のロールを配置し、このロール
の直径をスリット状ノズルの幅より太きくシ、この２本
のロールにエンドレス板を掛け廻して少くとも１本のコ
ールを駆動するようにしている友めに１次の効果を奏す
ることができる。

（１）基板に蒸着しない蒸着材の無効蒸気をエンドレス
板で捕捉し、蒸発室内壁等への蒸着材の付着・堆積を防
止することができる。

（２）　　エンドレス板の内面に付着した蒸着材の無効
蒸気の膜は、ロールのまわりで破壊されて剥離・除去さ
れ、エンドレス板の内面に堆積することがなく、長時間
稼動させることができる。

（３）以上＋１１．　（２）の効果によって、蒸着材の
無効蒸気による付着物の取除きのための装置を必要とぜ
ず、メンテナンス所要時間を短縮することができ、ま次
、装置の稼動率を同上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の立面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図、第３図は従来の昇華性物質を蒸着する連
続真空蒸着装置の縦断面図である。 １−・・基板、２ａ・・・蒸着室の外壁、４・・・冷却
コール、８・・・蒸着材収納容器、９・・−加熱体、ｌ
Ｏ・−・スリット状ノズル、１１・・・誘導加熱コイル
、１２・・・蒸着材、１３・・・エンドレス状薄板、１
４・・・ロール、１６・・・じょうご形状金物、１９・
・・駆動モータ。 代理人　弁理士　　坂　関　　　　暁　　　　外２名第
１圓 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　蒸発装置の上部のスリット状ノズルから昇華性物質の
   蒸気を噴出させて上方の基板に蒸着を行なう昇華性物質
   の真空蒸発装置において、前記スリット状ノズルの長手
   方向両端部より外方に、かつ、スリット状ノズルと基板
   との間にスリット状ノズルの幅より大きい直径の２本の
   ロールを垂直方向に配置し、同２本のロール間にエンド
   レス板を掛け廻わすと共に、少くとも１本のロールを駆
   動装置に連結したことを特徴とする昇華性物質の真空蒸
   着装置。