JPS6324063A - 物理的蒸着処理設備における非蒸着面への蒸発物付着防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は帯状物の片面に物理的蒸着処理（以下ＰＶＤ
という）を施す設備に係り、とくに帯状物の非蒸着面へ
の蒸発物の付着を防止し、さらに無効蒸発物の回収を有
利に行う装置に関する。

ＰＶＤには真空蒸着法、スパッタ法およびイオンブレー
ティング法などがあり、いずれも被膜形成のドライプロ
セスに属する。

（従来の技術） ＰＶＤのうち、例えば、真空蒸着は、基本的には蒸着を
行う蒸着室と、その内部を真空に保つための排気装置と
、蒸着する物質を収容する蒸発源と、蒸着する物質を加
熱し蒸発させるための加熱装置とを用いて行うのが一般
的である。

ところで帯状物に連続して真空蒸着処理を行う際、工業
的あるいは経済的に重要な課題は、蒸着する物質（以下
、蒸発物とよぶ）がどれだけ帯状物上に被着できるかと
いうことである。

帯状物の表面に蒸着を施す際に、その裏面の非蒸着面側
にも蒸発物がまわり込んで帯状物側縁部に主として付着
し、裏面に不必要な部分的な被膜を形成して製品品質に
悪影響を与えたり、′引続いて裏面にも蒸着を施す場合
には裏面の被膜厚みが不均一となる。

一方被膜形成に寄与しない無効蒸気も蒸着室内に分散し
、この無効薄気が蒸発室内に堆積することもある。堆積
した蒸発物の除去には労力を要し、また極端な場合には
蒸着室内の駆動部分（例えば、帯状物の搬送装置など）
の動作にも態形Ｃを及ぼす。

このため蒸着効率の向上を目的とし、蒸発源の形状、蒸
発物と被処理材との相対位置の改善、あるいは蒸着室内
に遮蔽物を導入する技術が提示されてきた。

しかしながら、例えば広い蒸着面積を有する被処理材に
対して、極めて近い距離に蒸発源を設置すれば蒸着効率
は上がるが、蒸着時の最も重要な特性である被覆の均一
性を損なうことになる。このように、蒸発物と被処理材
との間には、所望の被覆特性を得るための適切な相対位
置が存在するため、それらの配置を自由に変更すること
は一般に採用できない。

この問題の解決策のひとつとして特開昭５７４５８３７
９号公報には、槽内に遮蔽物を設け、蒸発物が真空槽の
壁面など不必要な方向に飛散するのを防ぐことについて
の開示がある。

また、特開昭５８−１３３３７５号公報に開示されるよ
うな、被処理材に接触するガイドを設けることで薄着効
率を上げる方法もある。

しかしながらどちらの文献にも、非蒸着面への蒸発物の
まわり込み付着を防ぐことについての記載はない。

（発明が解決しようとする問題点） そこで帯状物の蒸着処理に当り、非蒸着面への蒸発物の
付着を防止し、合わせて無効蒸発物の回収も行い得る装
置を提供することが、この発明の目的である。

（問題点を解決するための手段） この発明は、蒸着室内に導いた帯状物に対し、その表面
に連続して蒸発物を被成させる物理的蒸着処理設備にお
いて、上記帯状物の少なくとも蒸発物被成領域につき、
該帯状物の裏面に密接して帯同移動するエンドレスベル
トと、該エンドレスベルトの表裏面に付着した蒸発物を
回収するスクレーパーとをそなえる物理的蒸着処理設備
における非蒸着面への蒸発物付着防止装置である。

さてこの発明に従う裏面付着防止装置を、第１及び２図
に示す。

図中１は蒸着室、２はこの蒸着室１の内底部に設けられ
た蒸発源で、Ｔｉ、Ａｌなどの蒸発物が収容されている
。この蒸発物は図示しない電子ビーム銃、高周波加熱装
置などの加熱装置によって蒸発され、けい素鋼板のよう
な帯状物３の表面３ａを連続的に被覆する。

４は帯状物３の裏面への蒸発物の付着を防止するエンド
レスベルトで、複数の回転自在な補助ロール５ａ、　５
ｂおよび５ｃにエンドレス状に巻回されている。さらに
エンドレスベルト４は、帯状物３の少なくとも被成領域
に密接して帯状物３と帯同移動する。したがって帯状物
３が矢印への方向に移動すると、エンドレスベルト４は
矢印Ｂ方向に移動する。エンドレスベルト４は第２図に
示すように、帯状物３よりも充分に広幅とするのが望ま
しく、蒸発物の蒸散領域を全て覆うようにする。

また６ａ、　６ｂはエンドレスベルト４の表裏面に接触
させて設けたスクレーパー、７ａ、　７ｂはスクレーパ
ーでかき取った蒸発物の回収箱である。８ａ、　８ｂは
スクリューで、これらを調整することによりエンドレス
ベルト４のたわみを吸収する。

（作　用） 上記したように、帯状物３の表面に蒸着処理を施す場合
、帯状物３の裏面にはエンドレスベルト４が密接して帯
同移動しているため、帯状物３よりも充分に広幅のエン
ドレスベルト４を用いることで、蒸発源２からの蒸発物
が帯状物３の裏面へまわり込むことを防止できる。

またわずかの量の蒸発物が帯状物３の裏面へまわり込む
ことがあっても、裏面にはエンドレスベルト４が密接し
ているため、蒸発物はエンドレスベルト４に付着するこ
とになる。

そしてエンドレスベルト４の表裏面に付着した蒸発物を
、スクレーパー６ａ、　６ｂにてかき取り、回収箱？ａ
、　７ｂへ回収する。

（実施例） 一方向性けい素鋼板（０，２３ｍｍ厚）の仕上げ焼鈍後
鋼板表面上の焼鈍分離剤を除去して巻取ったコイル（約
７．５トン）を真空蒸着処理設備に通しラインスピード
３０ｍ／ｍｉｎにて鋼板の表面に０．６μｍ厚のＴｉＮ
張力被膜を形成させた際に、第１図に示した蒸発物付着
防止装置を用いたところ、鋼板の裏面へのＴｉＮの被着
はみとめられなかった。

（発明の効果） この発明によれば、帯状物の片面に蒸着処理を施す際に
裏面の非蒸着面への蒸発物のまわり込み付着を防止し、
かつ無効蒸気を有利に回収でき、また帯状物の両面を片
面づつ順に連続的に蒸着する場合にあっては、蒸発物側
蒸着処理前における蒸発物の裏面へのまわり込み付着に
よる幅方向被覆厚みを均一にし得る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に従う蒸発物付着防止装置の説明図 第２図は第１図のｎ−ｎ矢視図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、蒸着室内に導いた帯状物に対し、その表面に連続し
   て蒸発物を被成させる物理的蒸着処理設備において、 上記帯状物の少なくとも蒸発物被成領域につき、該帯状
   物の裏面に密接して帯同移動するエンドレスベルトと、 該エンドレスベルトの表裏面に付着した蒸発物を回収す
   るスクレーパーとをそなえる物理的蒸着処理設備におけ
   る非蒸着面への蒸発物付着防止装置。