JPH045248Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、機械の薄肉金属部品、電気電子部
品のセラミツクス類あるいは化学・生体部品や光
学部品に使用されるガラス等の表面を研摩する装
置に関する。電気・電子機器部品の性能アツプや
コンパクト化に伴つて、これらの部品の表面精度
と共に薄肉化が要求されるようになり、ラツピン
グあるいはポリシングを行う装置として本考案の
薄肉工作物用平面研摩装置を提供するものであ
る。

〔従来の技術〕

上記部品等の基になる工作物の片面または両面
を研摩する装置は、ラツピングやポリシングを行
う装置として周知であり、例えば特開昭59−
107854号、特開昭60−67070号等に記載される両
面研摩装置は第５図のように、センタギヤ５１と
インターナルギヤ５２との間に工作物Ｗを保持す
るキヤリア５３を噛合させ、上、下側にそれぞれ
上定盤５４、下定盤５５を配設し、それぞれを回
転駆動させながら工作物の両面を研摩する装置で
ある。従来技術の薄肉工作物用キヤリアは、セン
タギヤおよびインターナルギヤからの回転を伝達
され、また、工作物の肉厚より薄くしなければな
らない制約があるため、このようなキヤリアは工
作物が研摩抵抗を受けた場合に、工作物保持孔や
歯部に負荷を受け、剛性不足のため変形したり破
損するといつた欠点があり、近年増々薄肉化が進
む中で従来技術のキヤリアではこれに対応できな
くなつた。また、キヤリアの構成上の問題で、大
型薄肉工作物の研摩がきでないという欠点があつ
た。

また、特開昭60−80559号に大型薄肉工作物の
両面研摩を可能にした研摩装置が記載されている
が、上定盤および下定盤を往復運動させるため、
各々の定盤に工作物が当接しない部分があり、長
時間の研摩後は各々定盤に偏摩耗を生じ高精度な
研摩加工が維持できない。また装置の構成上の問
題で、研摩代が取れないために研削装置としては
使用不可能である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

前述のごとく、従来技術のキヤリアは構成上に
制約があるため、大型工作物には対応できない。
また、より薄い工作物に対してキヤリアの剛性不
足のため研摩作業が不可能となるといつた欠点が
あつた。この考案の目的はキヤリアの外周方向に
テンシヨンを働かせて、キヤリア自身の剛性を上
げ、より薄い工作物の研摩と、大型薄肉工作物の
高精度な研摩を可能にするところにある。

〔問題点を解決するための手段〕

一対のテンシヨンプレート４，５の内径内に研
摩装置の上定盤２と下定盤３を配置し、前記上・
下定盤２，３間の薄肉工作物Ｗを保持する保持孔
１′有し薄肉工作物Ｗの厚さＴより肉厚の薄いキ
ヤリア１を相対向する環状溝４′，５′を各々外周
縁部に設けた一対のテンシヨンプレート４，５間
に挟着し、一方の環状溝５′にテンシヨンリング
６を遊嵌し、前記環状溝５′の溝部１６に設けら
れた押圧手段７により前記テンシヨンリング６を
介してキヤリア１の外周縁部を押圧し、前記一対
のテンシヨンプレート４，５を回転自在に支持部
材８に支持し、該支持部材８を揺動駆動手段９に
より、揺動運動させ、前記一対のテンシヨンプレ
ート４，５を回転駆動手段１０により回転させ
て、薄肉工作物Ｗの平面を研摩するようにした薄
肉工作物用平面研摩装置である。

〔実施例〕

第１図ないし第３図は本考案の一実施例で、工
作物Ｗをキヤリア１の保持孔１′に保持させ、キ
ヤリア１の上・下側に各々上定盤２、下定盤３を
配設する。１１，１２は各々上定盤２、下定盤３
の駆動軸で、１３，１４は各々駆動軸１１，１２
の軸受箱である。テンシヨンプレート４に設けた
環状溝４′とテンシヨンプレート５に設けた環状
溝５′とを相対向させ、前記キヤリア１をテンシ
ヨンプレート４，５間に複数個のボルト１５で狭
着する。テンシヨンプレート５の環状溝５′に、
テンシヨンリング６を遊嵌し、該テンシヨンリン
グ６をキヤリア１に押圧する手段として複数個の
調整ボルト７を前記環状溝５の溝部１６に設け
る。１７，１８は支持部材８に回転自在に支持さ
れた支持ローラで、また１９はキヤリア駆動軸２
０の軸部２０′に回転自在に軸支された支持ロー
ラである。前記支持ローラ１７，１８，１９の外
周部およびテーパ部はテンシヨンプレート４，５
の外周部およびテーパ部で形成される外周縁部
５″に各々転接し、テンシヨンプレート４，５を
回転自在に支持している。前記キヤリア駆動軸２
０の軸部２０″にはプーリ３３が挿着されベルト
２１を介してテンシヨンプレート４，５に回転伝
達する。駆動手段１０の回転駆動により、前記一
対のテンシヨンプレート４，５、キヤリア１およ
び工作物Ｗを回転する。２２はベルト２１のテン
シヨン用ローラである。前記キヤリア駆動軸２０
を回転自在に軸支する揺動軸２３は図示しない機
械本体に固定の軸受箱２４に回転自在に軸支さ
れ、揺動軸２３の上端面は前記支持部材８に固着
されている。９は歯車２５，２６を介して揺動軸
２３に駆動伝達し、前記支持部材を揺動運動させ
る駆動手段である。前記歯車２５，２６の歯車箱
２７は前記軸受箱２４に固着されており、また、
箱蓋２８を介して、前記駆動手段１０を取り付け
ている取付台２９を固着している。３０は工作物
支持台であり、前記下定盤３の上面と同じ高さに
なるように、図示しない機械本体に取り付けられ
た支持台取付具３１に固着されている。

工作物Ｗを保持するキヤリア１の肉厚は工作物
Ｗの厚さＴよりも薄くなつており、キヤリア１自
身の剛性を上げるため、テンシヨンプレート５の
環状溝に遊嵌されているテンシヨンリング６をテ
ンシヨンプレート５の溝部１６に設けた複数個の
調整ねじ７を締めながらキヤリア１に押圧するこ
とで、テンシヨンリング６のＲ面６′がキヤリア
１を弾性変形させ、テンシヨンプレート４の環状
溝４′に押込みながらキヤリア１の半径方向にテ
ンシヨンを均一にするために、複数個の調整ねじ
７をそれぞれ調整して、キヤリア１の張上げを行
う。キヤリアの中心周りに複数個の保持孔を設け
たキヤリア等の場合は、キヤリアの適所に適当な
大きさの抜穴を適当な数だけ設けるとより均一な
テンシヨンを働かせることができる。キヤリア１
の金属素材としては例えばSUS304のような強度
のあるものが使用される。また、従来のキヤリア
に比べて格段に安くつくという利点がある。

次に作動説明すると、駆動手段１０の駆動で、
キヤリア駆動軸２０、プーリ３３、ベルト２１を
介してテンシヨンプレート５に回転を伝達し、キ
ヤリア１に保持されている工作物Ｗはキヤリア１
と共に回転する。上定盤３とは互いに逆方向に回
転しながら工作物Ｗの両面を研摩する。下定盤３
は工作物支持台３０と同じ高さに設定されて、上
定盤２は駆動軸１１の軸方向に移動可能にしてい
る。支持ローラ１７，１８，１９を介してキヤリ
アプレート４，５を回転自在に支持する支持部材
８は、キヤリア１および工作物Ｗと共に駆動手段
９の駆動により、歯車２５，２６および揺動軸２
３を介して揺動運動を行う。この揺動運動は揺動
軸２３の軸心を中心に、工作物Ｗの大きさに応じ
た揺動角αで行なわれる。工作物Ｗの揺動運動に
より、工作物Ｗの平面と上定盤２および下定盤３
との相対運動はさらに大きくなり、工作物Ｗの加
工精度を高める。

第４図は、他の実施例の要部詳細図でテンシヨ
ンプレート４１とテンシヨンプレート４２との間
にキヤリア４４を複数個のボルト４３を介して狹
着し、前記テンシヨンプレート４１の環状溝４
１′に、テンシヨンリングの代わりにシールリン
グ４５を嵌着し、テンシヨンプレート４１の溝部
３２に取り付けたチエツクバルブ４６から圧力媒
体を前記環状溝４１′に供給し、該圧力媒体の圧
力でシールリングのＲ面４５′をキヤリア４４に
押圧し、キヤリアプレート４２の環状溝部４２に
押込みながらキヤリア４４を弾性変形させて、キ
ヤリア４４の半径方向にテンシヨンを働かせ張上
げを行う。また、テンシヨンプレート４２を軸受
４８を介して支持部材４７に回転自在に支持さ
せ、ベルト４９の回転伝達でテンシヨンプレート
４１，４２、キヤリア４４および工作物Ｗを回転
させる。テンシヨンプレートの回転駆動は実施例
のベルトによる駆動に限られたものではなく、チ
エーンや歯車を介した駆動でも良いことは云うま
でもない。支持部材４７は第１図の場合と同様に
揺動運動させる。

〔効果〕

年々、高度技術産業界でいわゆる軽薄短小もの
の要求が高まつているが、本考案の平面研摩装置
は、そのうちの薄いものについて、従来技術より
さらに薄い工作物の平面研摩が可能となり、また
キヤリア自身を大きくできるので大型薄肉工作物
の加工が容易である。素材としても金属、非金
属、ガラス、セラミツクス等広範囲の薄肉工作物
を能率よく高精度に研摩する薄肉工作物用平面研
摩装置である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部断面の正
面図、第２図は第１図の要部を示す一部断面図、
第３図は第１図の平面図、第４図は他の実施例の
要部を示す一部断面図、第５図は従来の装置の概
要を示す断面図。 １，４４……キヤリア、１′……保持孔、２…
…上定盤、３……下定盤、４，５……テンシヨン
プレート、４１，４２……テンシヨンプレート、
４′，５′……環状溝、５″……外周縁部、４１′，
４２′……環状溝、１６，３２……溝部、６……
テンシヨンリング、４５……シールリング、７…
…調整ねじ（押圧する手段）、４６……チエツク
バルブ（押圧する手段）、８，４７……支持部材、
９，１０……駆動手段、１７，１８，１９……支
持ローラ、４８……軸受、Ｗ……工作物。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一対のテンシヨンプレートの内径内に研摩装
   置の上定盤と下定盤を配置し、 前記上・下定盤間の薄肉工作物を保持する保
   持孔を有し薄肉工作物の厚さより肉厚の薄いキ
   ヤリアを相対向する環状溝を各々外周縁部に設
   けた一対のテンシヨンプレート間に挟着し、 一方の環状溝にテンシヨンリングを遊嵌し、 前記環状溝の溝部に設けられた押圧手段によ
   り前記テンシヨンリングを介してキヤリアの外
   周縁部を押圧し、 前記一対のテンシヨンプレートを回転自在に
   支持部材に支持し、 該支持部材を揺動駆動手段により揺動運動さ
   せ、 前記一対のテンシヨンプレートを回転駆動手
   段により回転させて、 薄肉工作物の平面を研摩することを特徴とす
   る薄肉工作物用平面研摩装置。 (2) 前記支持部材に複数個の支持ローラを支持さ
   せ、該支持ローラに前記一対のテンシヨンプレ
   ートの外周縁部を転接・支持させたことを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の薄
   肉工作物用平面研摩装置。 (3) 前記一対のテンシヨンプレートを軸受を介し
   て支持部材に軸支させたことを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の薄肉工作物用
   平面研摩装置。