JPH0452528A - 光ビーム測定方法 - Google Patents
光ビーム測定方法Info
- Publication number
- JPH0452528A JPH0452528A JP16222290A JP16222290A JPH0452528A JP H0452528 A JPH0452528 A JP H0452528A JP 16222290 A JP16222290 A JP 16222290A JP 16222290 A JP16222290 A JP 16222290A JP H0452528 A JPH0452528 A JP H0452528A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- light
- diameter
- sensor
- measuring
- Prior art date
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- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、たとえば、レーザプリンタに備えられる半導
体レーザの光ビームの位置（光軸）および光ビームの径
を測定する光ビームの測定方法に関する。
体レーザの光ビームの位置（光軸）および光ビームの径
を測定する光ビームの測定方法に関する。
（従来の技術）
従来、半導体レーザから照射される光ビームが所定の基
準にあるか否かのの評価としては、光ビームの位置（光
軸）および光ビームの径の２つの測定が必要である。
準にあるか否かのの評価としては、光ビームの位置（光
軸）および光ビームの径の２つの測定が必要である。
たとえば、経時変化、環境変化などのテスト結果として
光ビームの位置および径を測定する場合、従来において
は、光ビームの位置すなわち、光軸高さの測定において
は、フォトセンサー また、光ビームの径についてはＣ
ＣＤカメラ等を用いて個別に測定していた。
光ビームの位置および径を測定する場合、従来において
は、光ビームの位置すなわち、光軸高さの測定において
は、フォトセンサー また、光ビームの径についてはＣ
ＣＤカメラ等を用いて個別に測定していた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、光ビームの光軸を測定するためにフォト
センサーを用いた場合には、作業員がマイクロヘッドな
どを用いてフォトセンサーの位置を測定するため、作業
が手間取るとともに、測定精度も悪いものとなっていた
。
センサーを用いた場合には、作業員がマイクロヘッドな
どを用いてフォトセンサーの位置を測定するため、作業
が手間取るとともに、測定精度も悪いものとなっていた
。
また、ＣＣＤカメラは解像度が悪いため、やはり光ビー
ムの径を精度良く測定できないという問題があった。
ムの径を精度良く測定できないという問題があった。
さらに、光ビームの位置と光ビームの径をそれぞれ個別
に測定していたため、測定能率も悪いという問題があっ
た。
に測定していたため、測定能率も悪いという問題があっ
た。
そこで、この発明は、光ビームの位置（光軸）と、光ビ
ームの径を同時に測定でき、しがも、高精度で測定でき
る光ビームの測定方法を提供することを目的とする。
ームの径を同時に測定でき、しがも、高精度で測定でき
る光ビームの測定方法を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題を解決するため、発光体がら光ビーム
を発生させ、この光ビームを光分割手段により一部を透
過させるとともに、その他を反射させて２分割し、上記
光分割手段を透過した光をラインセンサーに受光させて
その光軸を測定し、前記光分割手段から反射した光をア
ナログセンサーに受光させてその径を電気的パワーと時
間軸で測定することを特徴とする。
を発生させ、この光ビームを光分割手段により一部を透
過させるとともに、その他を反射させて２分割し、上記
光分割手段を透過した光をラインセンサーに受光させて
その光軸を測定し、前記光分割手段から反射した光をア
ナログセンサーに受光させてその径を電気的パワーと時
間軸で測定することを特徴とする。
（作 用）
光分割手段を透過した光をラインセンサーに受光させこ
とにより、作業員の手を煩わせることなく光軸を測定で
き、また、前記光分割手段から反射した光をアナログセ
ンサーに受光させてその径を電気的パワーと時間軸で測
定することにより、光ビームの径を高精度で測定でき、
しかも、光ビムを光分割手段により２分割してラインセ
ンサとアナログセンサーに受光させることにより、光ビ
ームの位置と径を同時に測定するできるようにした。
とにより、作業員の手を煩わせることなく光軸を測定で
き、また、前記光分割手段から反射した光をアナログセ
ンサーに受光させてその径を電気的パワーと時間軸で測
定することにより、光ビームの径を高精度で測定でき、
しかも、光ビムを光分割手段により２分割してラインセ
ンサとアナログセンサーに受光させることにより、光ビ
ームの位置と径を同時に測定するできるようにした。
（実施例）
以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して説明する
。
。
図中１はホルダで、このホルダには光源ユニット２が保
持されている。前記光源ユニット２には発光体としての
半導体レーザ３が備えられている。
持されている。前記光源ユニット２には発光体としての
半導体レーザ３が備えられている。
前記半導体レーザ３から発生される光ビームの光路中に
は光を走査する反射鏡４が回転自在に設けられ、この反
射鏡４から反射される光ビームの光路中には光分解手段
としてのハーフミラ−５およびラインセンサー６が配設
されている。前記ラインセンサー６は第２図に示すよう
にフォトダイオード型の半導体装置検出素子６ａ・・・
によって構成され、移動自在なステージ１１上に載置さ
れている。
は光を走査する反射鏡４が回転自在に設けられ、この反
射鏡４から反射される光ビームの光路中には光分解手段
としてのハーフミラ−５およびラインセンサー６が配設
されている。前記ラインセンサー６は第２図に示すよう
にフォトダイオード型の半導体装置検出素子６ａ・・・
によって構成され、移動自在なステージ１１上に載置さ
れている。
また、上記ハーフミラ−５によって反射される光ビーム
の光路中にはアナログセンサーとしてのフォトセンサー
７が設けられている。このフォトセンサー７は移動自在
なステージ１２上に載置されている 上記ラインセンサーセンサー６およびフォトセンサー７
は信号路８．９を介してコントロールボックス１２に接
続されている。
の光路中にはアナログセンサーとしてのフォトセンサー
７が設けられている。このフォトセンサー７は移動自在
なステージ１２上に載置されている 上記ラインセンサーセンサー６およびフォトセンサー７
は信号路８．９を介してコントロールボックス１２に接
続されている。
しかして、半導体レーザ３から発生された光ビームは反
射鏡４に照射されて反射鏡４から反射されるとともに水
平方向に走査される。この光ビームはその一部はハーフ
ミラ−５を通過するとともに、その他はハーフミラ−５
から反射されて２分割される。
射鏡４に照射されて反射鏡４から反射されるとともに水
平方向に走査される。この光ビームはその一部はハーフ
ミラ−５を通過するとともに、その他はハーフミラ−５
から反射されて２分割される。
ハーフミラ−５を通過した光ビームはラインセンサー６
の半導体装置検出素子６ａに受光され、ハーフミラ−５
から反射した光ビームはフォトセンサー７に受光される
。
の半導体装置検出素子６ａに受光され、ハーフミラ−５
から反射した光ビームはフォトセンサー７に受光される
。
ラインセンサー６の半導体装置検出素子６ａに受光され
た先ビームはその位置すなわち、光軸が測定され、コン
トロールボックス１０の表示部１０ａに表示される。
た先ビームはその位置すなわち、光軸が測定され、コン
トロールボックス１０の表示部１０ａに表示される。
また、フォトセンサー７に受光された光ビームはその径
が測定されコントロールボックス１０の表示部１０ｂに
表示される。
が測定されコントロールボックス１０の表示部１０ｂに
表示される。
すなわち、フォトセンサー７に光ビームが受光されると
、第３図のグラフに示すように、光ビームの走査に伴っ
て徐々にフォトセンサー７に対する受光量が増大されて
電気的なパワーが増大する。
、第３図のグラフに示すように、光ビームの走査に伴っ
て徐々にフォトセンサー７に対する受光量が増大されて
電気的なパワーが増大する。
そして、さらに、光ビームが走査されると、今度はフォ
トセンサー７に対する受光量が徐々に減少されて電気的
なパワーが減少する。この第３図のグラフ上のたとえば
点ａとｂを結ぶ直線の長さｋが光ビームの径としてコン
トロールボックス１゜の表示部１０’ｂに表示される。
トセンサー７に対する受光量が徐々に減少されて電気的
なパワーが減少する。この第３図のグラフ上のたとえば
点ａとｂを結ぶ直線の長さｋが光ビームの径としてコン
トロールボックス１゜の表示部１０’ｂに表示される。
上述したように、光ビームの光・軸をラインセンサー６
の半導体装置検出素子６ａにより検知し測定するから、
作業員の手により、機械的に測定する場合と比較し、測
定精度を向上できる。
の半導体装置検出素子６ａにより検知し測定するから、
作業員の手により、機械的に測定する場合と比較し、測
定精度を向上できる。
また、光ビームをフォトセンサー７により検知し、電気
的なパワーと時間軸で光ビームの径を測定するから、高
精度な測定が可能となる。
的なパワーと時間軸で光ビームの径を測定するから、高
精度な測定が可能となる。
さらに、ハーフミラ−５て、光ビームを２分割してライ
ンセンサー６の半導体装置検出素子６ａと、フォトセン
サー７に受光させるため、光ビームの位置と径を同時に
測定でき、測定能率を向上できる。
ンセンサー６の半導体装置検出素子６ａと、フォトセン
サー７に受光させるため、光ビームの位置と径を同時に
測定でき、測定能率を向上できる。
また、光ビームの測定のみならず、調整段階で使用する
ことにより、光学ユニットの組み立て調整作業も著しく
容易化できる。
ことにより、光学ユニットの組み立て調整作業も著しく
容易化できる。
なお、光ビームに対応した光学的な手段（Ｆθレンズ、
コリメータレンズ等）を中間に配置すれば、光学ユニッ
ト全体の測定、評価が可能になる。
コリメータレンズ等）を中間に配置すれば、光学ユニッ
ト全体の測定、評価が可能になる。
以上、本実施例では、光軸測定用にフォトダイオード型
の半導体装置検出素子６ａを用いたラインセンサー ま
た、ビーム系測定用にはアナログセンサーとしてフォト
センサ７を用いているが、光軸ビーム径の各測定には他
の受光素子および方法を用いても何等さしつかえない。
の半導体装置検出素子６ａを用いたラインセンサー ま
た、ビーム系測定用にはアナログセンサーとしてフォト
センサ７を用いているが、光軸ビーム径の各測定には他
の受光素子および方法を用いても何等さしつかえない。
［発明の効果］
本発明は以上説明したように、光ビームの光軸および径
を高精度で測定できるととともに、光ビームの光軸およ
び径を同時に測定でき、作業能率を向上できるという効
果を奏する。
を高精度で測定できるととともに、光ビームの光軸およ
び径を同時に測定でき、作業能率を向上できるという効
果を奏する。
第１図ｄ−明の一実施例である光ビームの位置および径
を測定する測定装置を示す構成図、第２図はそのライン
センサーを示す正面図、第３図は第１図のフォトセンサ
ーの光ビーム受光時のパワーを時間との関係で示すグラ
フ図である。 ３・・・半導体レーザ（発光体）、５・・・ハーフミラ
−（光分割手段）、６ａ・・・半導体装置検出素子、６
・・・ラインセンサー ７・・・フォトセンサー（アナ
ログセンサー）。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図
を測定する測定装置を示す構成図、第２図はそのライン
センサーを示す正面図、第３図は第１図のフォトセンサ
ーの光ビーム受光時のパワーを時間との関係で示すグラ
フ図である。 ３・・・半導体レーザ（発光体）、５・・・ハーフミラ
−（光分割手段）、６ａ・・・半導体装置検出素子、６
・・・ラインセンサー ７・・・フォトセンサー（アナ
ログセンサー）。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図
Claims (1)
- 発光体から光ビームを発生させ、この光ビームを光分割
手段により一部を透過させるとともに、その他を反射さ
せて２分割し、上記光分割手段を透過した光をラインセ
ンサーに受光させてその光軸を測定し、前記光分割手段
から反射した光をアナログセンサーに受光させてその径
を電気的パワーと時間軸で測定することを特徴とする光
ビーム測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16222290A JPH0452528A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ビーム測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16222290A JPH0452528A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ビーム測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452528A true JPH0452528A (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=15750291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16222290A Pending JPH0452528A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ビーム測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452528A (ja) |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP16222290A patent/JPH0452528A/ja active Pending
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