JPH0452617B2 - - Google Patents
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- JPH0452617B2 JPH0452617B2 JP58166301A JP16630183A JPH0452617B2 JP H0452617 B2 JPH0452617 B2 JP H0452617B2 JP 58166301 A JP58166301 A JP 58166301A JP 16630183 A JP16630183 A JP 16630183A JP H0452617 B2 JPH0452617 B2 JP H0452617B2
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- JP
- Japan
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- pellet
- stage
- rotation
- pellets
- section
- Prior art date
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/073—Connecting or disconnecting of die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/073—Connecting or disconnecting of die-attach connectors
- H10W72/07331—Connecting techniques
- H10W72/07337—Connecting techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone or epoxy
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体装置の製造工程において使用さ
れるペレツトマウント装置に関する。
れるペレツトマウント装置に関する。
半導体装置の製造においてはウエーハプロセス
及び試験が完了したウエーハをダイシングにより
１パツケージ分毎に分離してペレツトとしこれを
リードフレームに搭載する工程を有する。このペ
レツト搭載のためにペレツトマウント装置が使用
される。ウエーハ上に形成された回路は前部が良
品ではなく、不良品をかなりの割合で含んでお
り、良品ペレツトを効率良く搭載するため、従
来、次のような形式のペレツトマウント装置が用
いられている。
及び試験が完了したウエーハをダイシングにより
１パツケージ分毎に分離してペレツトとしこれを
リードフレームに搭載する工程を有する。このペ
レツト搭載のためにペレツトマウント装置が使用
される。ウエーハ上に形成された回路は前部が良
品ではなく、不良品をかなりの割合で含んでお
り、良品ペレツトを効率良く搭載するため、従
来、次のような形式のペレツトマウント装置が用
いられている。
１つはペレツトの良品率があまり高くない場合
に使用されるものでトレイと呼ばれる容器に良品
ペレツトのみを移し替えた後、吸着ノズルを使用
してペレツトを１個ずつ取出し、ペレツト位置修
正機構部でペレツトの位置を修正し、リードフレ
ームの所定位置に移送してマウントを行うもので
ある。
に使用されるものでトレイと呼ばれる容器に良品
ペレツトのみを移し替えた後、吸着ノズルを使用
してペレツトを１個ずつ取出し、ペレツト位置修
正機構部でペレツトの位置を修正し、リードフレ
ームの所定位置に移送してマウントを行うもので
ある。
他の１つは第１図に示した形式のものでウエー
ハを分離したペレツト２を粘着シート３を介して
取付けたカセツトリング４が、必要に応じてＸお
よびＹ方向に自由に移動可能なＸ−Ｙステージ５
上のカセツトリングホルダ６上に載置されたペレ
ツト取出部１と、これから吸着ノズル１５によつ
て吸着されたペレツト２の位置および回転偏位を
修正するペレツト位置修正部１０を有している。
ペレツト取出部１においては所望のペレツトの取
出しを容易にするためカセツトリング４下方より
突上げ針８を上下動させるアーム７を有する突上
げ機構を具備している。ペレツト位置修正部１０
においては、ペレツト取出部１より取出されたペ
レツトのＸ方向位置偏位、Ｙ方向位置偏位、回転
偏位を修正するための修正爪１１ａおよび１１ｂ
を有しておりこれらの修正爪１１ａ，１１ｂがペ
レツト２を挟むことにより位置修正を行う。この
修正爪は４方から挟む形式のものと第４図および
第５図に示されたようなペレツトの２辺とその挟
角を同時に位置決めする２方から挟む形式のもの
とがある。位置決めされたペレツトは別の吸着ノ
ズル１６によつて吸着され、リードフレーム２１
を支持するステージ２０の所定位置まで運ばれ、
吸着ノズルの降下によつてペレツトがリードフレ
ーム上に搭載されることになる。
ハを分離したペレツト２を粘着シート３を介して
取付けたカセツトリング４が、必要に応じてＸお
よびＹ方向に自由に移動可能なＸ−Ｙステージ５
上のカセツトリングホルダ６上に載置されたペレ
ツト取出部１と、これから吸着ノズル１５によつ
て吸着されたペレツト２の位置および回転偏位を
修正するペレツト位置修正部１０を有している。
ペレツト取出部１においては所望のペレツトの取
出しを容易にするためカセツトリング４下方より
突上げ針８を上下動させるアーム７を有する突上
げ機構を具備している。ペレツト位置修正部１０
においては、ペレツト取出部１より取出されたペ
レツトのＸ方向位置偏位、Ｙ方向位置偏位、回転
偏位を修正するための修正爪１１ａおよび１１ｂ
を有しておりこれらの修正爪１１ａ，１１ｂがペ
レツト２を挟むことにより位置修正を行う。この
修正爪は４方から挟む形式のものと第４図および
第５図に示されたようなペレツトの２辺とその挟
角を同時に位置決めする２方から挟む形式のもの
とがある。位置決めされたペレツトは別の吸着ノ
ズル１６によつて吸着され、リードフレーム２１
を支持するステージ２０の所定位置まで運ばれ、
吸着ノズルの降下によつてペレツトがリードフレ
ーム上に搭載されることになる。
しかしながらこのような従来のペレツトマウン
ト装置においてはペレツト取出部のＸ−Ｙステー
ジはウエーハの大きさに対応した移動量が必要で
ある。近年生産性向上のためウエーハは拡大する
傾向があり、４インチ（101.6mm）および５イン
チ（127mm）が標準となりつつある。このように
ウエーハが大きくなるとＸ−Ｙステージの移動量
も多くなりこれに伴つて機構部は大きくなり装置
全体の大きさも拡大する他精度上も不利となる。
したがつて設備コストが上昇し製品コストの上昇
につながるという問題がある。
ト装置においてはペレツト取出部のＸ−Ｙステー
ジはウエーハの大きさに対応した移動量が必要で
ある。近年生産性向上のためウエーハは拡大する
傾向があり、４インチ（101.6mm）および５イン
チ（127mm）が標準となりつつある。このように
ウエーハが大きくなるとＸ−Ｙステージの移動量
も多くなりこれに伴つて機構部は大きくなり装置
全体の大きさも拡大する他精度上も不利となる。
したがつて設備コストが上昇し製品コストの上昇
につながるという問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされた
もので、ウエーハ径が大きくなつても装置全体の
大きさが拡大しないペレツトマウント装置を提供
することを目的とする。
もので、ウエーハ径が大きくなつても装置全体の
大きさが拡大しないペレツトマウント装置を提供
することを目的とする。
上記目的達成のため、本発明にかかるペレツト
マウント装置においてはペレツト取出部のＸ−Ｙ
ステージに回転機構を付加してウエーハの複数に
分割した範囲を走査するようにＸ−Ｙステージの
移動範囲を縮少するとともにペレツト位置修正部
にＸ−Ｙステージの回転量を補償するようにペレ
ツトに回転を与える回転機構を付加するようにし
ており、装置の小型化を達成できるものである。
マウント装置においてはペレツト取出部のＸ−Ｙ
ステージに回転機構を付加してウエーハの複数に
分割した範囲を走査するようにＸ−Ｙステージの
移動範囲を縮少するとともにペレツト位置修正部
にＸ−Ｙステージの回転量を補償するようにペレ
ツトに回転を与える回転機構を付加するようにし
ており、装置の小型化を達成できるものである。
以下、第２図ないし第５図を参照しながら本発
明の一実施例を詳細に説明する。
明の一実施例を詳細に説明する。
第２図はペレツト取出部３０を示す正面図であ
つて第１図の場合と同様にウエーハが所定形状に
ダイシングされたペレツト３１は粘着テープ３２
を介してカセツトリング３３上に貼付けられてお
り、このカセツトリング３３はＸ−Ｙステージ３
４上のカセツトリングホルダ３５に取付けられて
いる。Ｘ−Ｙステージ３４はモータ３６によつて
駆動されるＸ方向ステージ３５、モータ３８によ
つて駆動されるＹ方向ステージ３７およびモータ
４１によつて歯車４０を介して駆動される回転ス
テージ３９より成る。この回転ステージ３９の外
周端面には歯車４０とかみ合う歯形が形成されて
るのでモータ４１の駆動によつてカセツトリング
ホルダ３５およびペレツト３１を回転することが
できる。
つて第１図の場合と同様にウエーハが所定形状に
ダイシングされたペレツト３１は粘着テープ３２
を介してカセツトリング３３上に貼付けられてお
り、このカセツトリング３３はＸ−Ｙステージ３
４上のカセツトリングホルダ３５に取付けられて
いる。Ｘ−Ｙステージ３４はモータ３６によつて
駆動されるＸ方向ステージ３５、モータ３８によ
つて駆動されるＹ方向ステージ３７およびモータ
４１によつて歯車４０を介して駆動される回転ス
テージ３９より成る。この回転ステージ３９の外
周端面には歯車４０とかみ合う歯形が形成されて
るのでモータ４１の駆動によつてカセツトリング
ホルダ３５およびペレツト３１を回転することが
できる。
この回転ステージを採用することによつてペレ
ツト取出し範囲を狭めることができる。すなわち
第４図に示すように、カセツトリングホルダ３５
に載置されたカセツトリング３３上に固着された
ペレツト３１をその中心０を通るように所定の角
度例えば90°ごとに分割し、４つのペレツト群Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄを定めたとすれば、吸着ノズル４５に
よつてこのウエーハのペレツトを取出すためにＸ
−Ｙステージが移動すべき範囲はＡの領域だけを
包含するようにすればよい。領域Ａ内のペレツト
取出しが完了した後は回転ステージを回転させ、
第５図に示すように領域Ｂが取出し位置に来るよ
うにする。このような４分割ではＸ−Ｙステージ
の移動範囲はＸ方向Ｙ方向ともに半分にすること
ができる。
ツト取出し範囲を狭めることができる。すなわち
第４図に示すように、カセツトリングホルダ３５
に載置されたカセツトリング３３上に固着された
ペレツト３１をその中心０を通るように所定の角
度例えば90°ごとに分割し、４つのペレツト群Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄを定めたとすれば、吸着ノズル４５に
よつてこのウエーハのペレツトを取出すためにＸ
−Ｙステージが移動すべき範囲はＡの領域だけを
包含するようにすればよい。領域Ａ内のペレツト
取出しが完了した後は回転ステージを回転させ、
第５図に示すように領域Ｂが取出し位置に来るよ
うにする。このような４分割ではＸ−Ｙステージ
の移動範囲はＸ方向Ｙ方向ともに半分にすること
ができる。
なお、ペレツト取出しを容易にするために、カ
セツトリング３３下方から突上げ針４３を上下動
させるアーム４２を有する突上げ機構を有してい
るのは従来例と同様である。
セツトリング３３下方から突上げ針４３を上下動
させるアーム４２を有する突上げ機構を有してい
るのは従来例と同様である。
第３図は本発明にかかるペレツトマウント装置
の一部であるペレツト位置修正部５０の詳細を示
す断面図であつて、支持板５１に対して固定され
た爪ホルダ５２ａおよび５２ｂの上にはペレツト
位置決め用の修正爪５３ａおよび５３ｂが摺動す
るようになつており、ペレツト台５４の上に載置
されたペレツト３１の位置ずれを修正することが
できる。このペレツト台５４はその中心に真空孔
５５を有し、支持板５１に対し軸受５６を介して
回転自在に支承されておりその下部にはタイミン
グプーリ５８および真空源（図示せず）に接続す
るための継手５７を有している。タイミングプー
リ５８は支持板５１に取付けられたモータ５９に
結合されたタイミングプーリ６０とタイミングベ
ルト６１で結合されている。これにより、ペレツ
ト台５４はモータ５９の回転に従つて回転するこ
とができる。この回転量は第２図において回転テ
ーブルが回転した角度と等しい。すなわち、回転
ステージ３９の回転量に比例した信号は取出さ
れ、制御装置（図示せず）によつてペレツト３１
がペレツト台に載置された後ペレツト位置修正部
５０のモータ５９に回転ステージ３９の回転量を
補償するような逆回転が与えられる。これにより
ペレツトは回転ステージの回転量の影響を受ける
ことなく通常と同様のペレツト位置修正を行うこ
とができる。
の一部であるペレツト位置修正部５０の詳細を示
す断面図であつて、支持板５１に対して固定され
た爪ホルダ５２ａおよび５２ｂの上にはペレツト
位置決め用の修正爪５３ａおよび５３ｂが摺動す
るようになつており、ペレツト台５４の上に載置
されたペレツト３１の位置ずれを修正することが
できる。このペレツト台５４はその中心に真空孔
５５を有し、支持板５１に対し軸受５６を介して
回転自在に支承されておりその下部にはタイミン
グプーリ５８および真空源（図示せず）に接続す
るための継手５７を有している。タイミングプー
リ５８は支持板５１に取付けられたモータ５９に
結合されたタイミングプーリ６０とタイミングベ
ルト６１で結合されている。これにより、ペレツ
ト台５４はモータ５９の回転に従つて回転するこ
とができる。この回転量は第２図において回転テ
ーブルが回転した角度と等しい。すなわち、回転
ステージ３９の回転量に比例した信号は取出さ
れ、制御装置（図示せず）によつてペレツト３１
がペレツト台に載置された後ペレツト位置修正部
５０のモータ５９に回転ステージ３９の回転量を
補償するような逆回転が与えられる。これにより
ペレツトは回転ステージの回転量の影響を受ける
ことなく通常と同様のペレツト位置修正を行うこ
とができる。
以上のようなペレツトマウント装置の動作を説
明すると、まずウエーハの中心と回転ステージの
中心とが一致するようにカセツトリング３３が位
置決めされる。ウエーハを４分割したとすれば吸
着ノズル４５の先端位置が第４図のＡの位置を走
査するようにＸ−Ｙステージはペレツト取出しご
とにＸ方向およびＹ方向に移動する。吸着ノズル
４５は同じ取出し位置で降下してペレツトを吸着
しこれを引上げてペレツト位置修正部５０へ移送
し、降下してペレツト台５４にペレツトを吸着さ
せる。なおペレツトを取出す際には下方よりペレ
ツト突上げ針がペレツトを突上げるので取出しが
容易化される。
明すると、まずウエーハの中心と回転ステージの
中心とが一致するようにカセツトリング３３が位
置決めされる。ウエーハを４分割したとすれば吸
着ノズル４５の先端位置が第４図のＡの位置を走
査するようにＸ−Ｙステージはペレツト取出しご
とにＸ方向およびＹ方向に移動する。吸着ノズル
４５は同じ取出し位置で降下してペレツトを吸着
しこれを引上げてペレツト位置修正部５０へ移送
し、降下してペレツト台５４にペレツトを吸着さ
せる。なおペレツトを取出す際には下方よりペレ
ツト突上げ針がペレツトを突上げるので取出しが
容易化される。
ペレツトを吸着したペレツト台５４は回転ステ
ージ３９の回転量に対応した信号を制御装置から
受けたモータ５９の回転によりタイミングプーリ
６０、タイミングベルト６１、タイミングプーリ
５８を介して回転ステージ３９の回転量分の角度
だけ逆回転する。例えば第５図に示すように回転
ステージを基準位置に対して90°回転した状態で
Ｂ領域のペレツトを取出したときは、ペレツト台
５４はペレツトの吸着の都度90°逆回転してペレ
ツトの回転状態を正常化する。同様にＣ領域のペ
レツト取出しを行うために回転ステージを180°回
転したときはペレツト台５４を180°逆回転させ、
Ｄ領域のペレツト取出しを行うために回転ステー
ジを270°回転したときはペレツト台５４を270°逆
回転させればよい。
ージ３９の回転量に対応した信号を制御装置から
受けたモータ５９の回転によりタイミングプーリ
６０、タイミングベルト６１、タイミングプーリ
５８を介して回転ステージ３９の回転量分の角度
だけ逆回転する。例えば第５図に示すように回転
ステージを基準位置に対して90°回転した状態で
Ｂ領域のペレツトを取出したときは、ペレツト台
５４はペレツトの吸着の都度90°逆回転してペレ
ツトの回転状態を正常化する。同様にＣ領域のペ
レツト取出しを行うために回転ステージを180°回
転したときはペレツト台５４を180°逆回転させ、
Ｄ領域のペレツト取出しを行うために回転ステー
ジを270°回転したときはペレツト台５４を270°逆
回転させればよい。
ペレツト台の回転位置を修正後、修正爪５３ａ
および５３ｂが移動し正確な位置決めを行い、位
置決め完了後別の吸着ノズル４６によつてリード
フレーム上に運ばれる。
および５３ｂが移動し正確な位置決めを行い、位
置決め完了後別の吸着ノズル４６によつてリード
フレーム上に運ばれる。
以上の実施例においてはペレツト取出領域をウ
エーハの1/4の部分とし、回転ステージおよびペ
レツト台を90°の整数倍だけ回転および逆回転す
るようにしているが、これに限られることなく任
意の複数領域に分割することが可能である。ただ
し４つ以上に分割してもＸ−Ｙステージの移動量
はそれほど減少しないので４分割の場合が最も効
果が大きい。
エーハの1/4の部分とし、回転ステージおよびペ
レツト台を90°の整数倍だけ回転および逆回転す
るようにしているが、これに限られることなく任
意の複数領域に分割することが可能である。ただ
し４つ以上に分割してもＸ−Ｙステージの移動量
はそれほど減少しないので４分割の場合が最も効
果が大きい。
また、回転ステージおよびペレツト台の回転駆
動については実施例の方法に限られることなく、
あらゆる回転駆動方法を採用することができる。
動については実施例の方法に限られることなく、
あらゆる回転駆動方法を採用することができる。
さらにペレツト取出部における回転ステージの
回転量を補償するには実施例のように同じ角度分
だけ逆回転させてもよいし、回転ステージの回転
角度をαとして（360°−α）だけ同一方向へ回転
させてもよい。
回転量を補償するには実施例のように同じ角度分
だけ逆回転させてもよいし、回転ステージの回転
角度をαとして（360°−α）だけ同一方向へ回転
させてもよい。
以上のような本発明にかかるペレツトマウント
装置によれば、ペレツト取出部において分離した
ペレツトを載置するカセツトリングをウエーハ中
心を含んで等角度に分割した角度ごとに回転させ
る回転ステージと、この複数分割した範囲内でＸ
方向およびＹ方向に移動可能なＸ−Ｙステージと
を具備し、ペレツト位置修正部においてペレツト
取出時の回転ステージの回転量分だけペレツトを
逆回転させる回転機構を具備しているのでＸ−Ｙ
ステージの移動範囲を小さくすることができ、し
たがつて大口径ウエーハを使用した場合にも装置
全体の大きさを縮小することができ、設備コスト
の上昇を押えひいては製品コストの低減を図るこ
とができる。
装置によれば、ペレツト取出部において分離した
ペレツトを載置するカセツトリングをウエーハ中
心を含んで等角度に分割した角度ごとに回転させ
る回転ステージと、この複数分割した範囲内でＸ
方向およびＹ方向に移動可能なＸ−Ｙステージと
を具備し、ペレツト位置修正部においてペレツト
取出時の回転ステージの回転量分だけペレツトを
逆回転させる回転機構を具備しているのでＸ−Ｙ
ステージの移動範囲を小さくすることができ、し
たがつて大口径ウエーハを使用した場合にも装置
全体の大きさを縮小することができ、設備コスト
の上昇を押えひいては製品コストの低減を図るこ
とができる。
第１図は従来のペレツトマウント装置の概要を
示す概略構成図、第２図は本発明にかかるペレツ
トマウント装置におけるペレツト取出部を示す正
面図、第３図はペレツト位置修正部の構造を示す
部分断面図、第４図および第５図はペレツト取出
部におけるペレツト取出しを示す平面図である。 ３０……ペレツト取出部、３１……ペレツト、
３３……カセツトリング、３４……Ｘ−Ｙステー
ジ、３９……回転ステージ、３６，３８，４１，
５９……モータ、５０……ペレツト位置修正部、
５４……ペレツト台、５８，６０……タイミング
プーリ、６１……タイミングベルト。
示す概略構成図、第２図は本発明にかかるペレツ
トマウント装置におけるペレツト取出部を示す正
面図、第３図はペレツト位置修正部の構造を示す
部分断面図、第４図および第５図はペレツト取出
部におけるペレツト取出しを示す平面図である。 ３０……ペレツト取出部、３１……ペレツト、
３３……カセツトリング、３４……Ｘ−Ｙステー
ジ、３９……回転ステージ、３６，３８，４１，
５９……モータ、５０……ペレツト位置修正部、
５４……ペレツト台、５８，６０……タイミング
プーリ、６１……タイミングベルト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ウエーハをダイシングにより分離したペレツ
トをこれを載置するカセツトリングから順次吸着
ノズルで取出して移送するペレツト取出し部と、
移送されたペレツトの位置修正を行うペレツト位
置修正部と、この位置修正されたペレツトを他の
吸着ノズルで移送しリードフレームの所定位置に
搭載するマウント部から成るペレツトマウント装
置において、 前記ペレツト取出し部は前記カセツトリングを
前記ウエーハの中心を含んで等角度に複数分割し
た角度ごとに回転させる回転ステージと、この複
数分割した範囲内でＸ方向およびＹ方向に移動可
能なＸ−Ｙステージとを具備し、 前記ペレツト位置修正部は前記ペレツトの取出
時における前記回転ステージの回転量を補償する
ような回転を前記ペレツトに与える回転機構を具
備したことを特徴とするペレツトマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58166301A JPS6057942A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ペレツトマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58166301A JPS6057942A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ペレツトマウント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057942A JPS6057942A (ja) | 1985-04-03 |
| JPH0452617B2 true JPH0452617B2 (ja) | 1992-08-24 |
Family
ID=15828806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58166301A Granted JPS6057942A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | ペレツトマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057942A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62295431A (ja) * | 1986-06-13 | 1987-12-22 | Nichiden Mach Ltd | ワ−クピツクアツプ装置 |
| JPS6373930U (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-17 | ||
| JPS647627A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Toshiba Corp | Method for mounting electronic component |
| JPH01152634A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-15 | Rohm Co Ltd | 半導体ペレットの組立装置 |
| JP2006135013A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Renesas Technology Corp | 実装装置及び実装方法 |
| JP7683972B1 (ja) * | 2024-02-29 | 2025-05-27 | 株式会社 東京ウエルズ | ワーク移送装置、ワーク移送方法 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58166301A patent/JPS6057942A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6057942A (ja) | 1985-04-03 |
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