JPH0452641A - 蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法 - Google Patents
蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法Info
- Publication number
- JPH0452641A JPH0452641A JP2163905A JP16390590A JPH0452641A JP H0452641 A JPH0452641 A JP H0452641A JP 2163905 A JP2163905 A JP 2163905A JP 16390590 A JP16390590 A JP 16390590A JP H0452641 A JPH0452641 A JP H0452641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode body
- mask original
- display tube
- fluorescent display
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方
法、詳しくはフォト作画機にてフラッシュモード／ドロ
ーモードを切り換えることによりガラス原版上にパター
ン描画を行うようにしたマスク原版の作成方法に関する
。
法、詳しくはフォト作画機にてフラッシュモード／ドロ
ーモードを切り換えることによりガラス原版上にパター
ン描画を行うようにしたマスク原版の作成方法に関する
。
〈従来の技術〉
蛍光表示管は、所定パターンの透明な電極体（陽極体）
上に蛍光物質を塗布し、陰極から放射された電子を数十
ボルトの低速でこの電極体に選択的に衝突させ、その可
視発光で文字、数字等を表示するものである。
上に蛍光物質を塗布し、陰極から放射された電子を数十
ボルトの低速でこの電極体に選択的に衝突させ、その可
視発光で文字、数字等を表示するものである。
したがって、この電極体は、文字、図形等を表示可能な
ように、その金属板電極部分がデジット枠により複数の
部分に分割されている。そして、それらの分割部分には
メツシュパターンが形成され、蛍光物質が塗布されてい
る。
ように、その金属板電極部分がデジット枠により複数の
部分に分割されている。そして、それらの分割部分には
メツシュパターンが形成され、蛍光物質が塗布されてい
る。
このような電極体のパターン形成は、第５図（Ａ）〜（
Ｄ）に示すように、金属板５２上にレジスト５３を被着
する。そして、この上にガラス製のマスク原版５４を密
着して載置する。このマスク原版５４はガラス板５４Ａ
と所定パターンのフォトレジスト５４Ｂとからなる。
Ｄ）に示すように、金属板５２上にレジスト５３を被着
する。そして、この上にガラス製のマスク原版５４を密
着して載置する。このマスク原版５４はガラス板５４Ａ
と所定パターンのフォトレジスト５４Ｂとからなる。
このマスク原版５４の上方から光を照射してレジスト５
３をバターニングし、このレジスト５３を介して電極体
の金属板５２をエツチングする。
３をバターニングし、このレジスト５３を介して電極体
の金属板５２をエツチングする。
この結果、電極体には所定パターンの電極が形成される
こととなる。なお、５１はエツチングストッパ層を構成
する例えばニスである。
こととなる。なお、５１はエツチングストッパ層を構成
する例えばニスである。
そして、この電極体作成用マスク原版の作成方法として
は、従来より以下の方法によっていた。
は、従来より以下の方法によっていた。
すなわち、原版用のガラス板に感光性樹脂（フォトレジ
スト）を被着し、このフォトレジストの上から所定のマ
スクを介して光を照射する。そして、このフォトレジス
トを現像することにより所望パターンのフォトレジスト
を被着したカラス原版を作成していた。
スト）を被着し、このフォトレジストの上から所定のマ
スクを介して光を照射する。そして、このフォトレジス
トを現像することにより所望パターンのフォトレジスト
を被着したカラス原版を作成していた。
この原版上のフォトレジストパターンは、デジット枠と
、このデジット枠内に形成されたメツシュ状のパターン
（メツシュパターン）と、から構成されている。
、このデジット枠内に形成されたメツシュ状のパターン
（メツシュパターン）と、から構成されている。
そして、上記フォトレジストへの光の照射は、フォト作
画機によって行われている。第６図はこのフォト作画機
を示している。
画機によって行われている。第６図はこのフォト作画機
を示している。
このフォト作画機は、光源６１からの光をアパーチャ（
マスク）６２を介してテーブル６３上に載置されたマス
ク原版６４に照射するものであるが、このとき光源６１
から光を照射しながら光源６１に対してテーブル６３を
水平方向に相対的に移動することにより、パターン描画
を行っていた。
マスク）６２を介してテーブル６３上に載置されたマス
ク原版６４に照射するものであるが、このとき光源６１
から光を照射しながら光源６１に対してテーブル６３を
水平方向に相対的に移動することにより、パターン描画
を行っていた。
すなわち、フォト作画機はドローモードによりデジット
枠、メツシュパターンの線を描いていたものである。な
お、このフォト作画機はフラッシュモードにおいては、
マスク原版を載置したテーブルを光源に対して位置決め
固定して露光するものである。このフラッシュモードで
は長い線分を作画するには不適である。なお、６５．６
６はレンズである。６７はマスク原版６４上に塗布され
たフォトレジストである。
枠、メツシュパターンの線を描いていたものである。な
お、このフォト作画機はフラッシュモードにおいては、
マスク原版を載置したテーブルを光源に対して位置決め
固定して露光するものである。このフラッシュモードで
は長い線分を作画するには不適である。なお、６５．６
６はレンズである。６７はマスク原版６４上に塗布され
たフォトレジストである。
〈発明の目的〉
そこで、本発明は、描画時間を大幅に短縮することがで
きるとともに、線幅のばらつきの少ないパターンを形成
することができる蛍光表示管の電極体作成用マスク原版
の作成方法を提供することを、その目的としている。
きるとともに、線幅のばらつきの少ないパターンを形成
することができる蛍光表示管の電極体作成用マスク原版
の作成方法を提供することを、その目的としている。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような従来の蛍光表示管の電極体作
成用マスク原版の作成方法にあっては、このマスク原版
を作成するのに、例えば４０時間乃至６０時間程度の時
間がかかるという不具合があった。また、フォト作画機
にあってはドローモードにより照射する光を位置合わせ
しながら移動させるため、作成した線幅のばらつきが大
きい、例えば１０μｍ程度のばらつきが生じるという不
具合もあった。この結果、このマスク原版を使用して作
成した電極体を用いた場合、その蛍光表示管上で輝度の
ばらつき、むら等を生じていた。
成用マスク原版の作成方法にあっては、このマスク原版
を作成するのに、例えば４０時間乃至６０時間程度の時
間がかかるという不具合があった。また、フォト作画機
にあってはドローモードにより照射する光を位置合わせ
しながら移動させるため、作成した線幅のばらつきが大
きい、例えば１０μｍ程度のばらつきが生じるという不
具合もあった。この結果、このマスク原版を使用して作
成した電極体を用いた場合、その蛍光表示管上で輝度の
ばらつき、むら等を生じていた。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、ガラス板上に被着した感光性樹脂にフォト作
画機により光を照射し、デジット枠とこのデジット枠に
囲まれたメツシュパターンとをこのガラス板上に作成す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法にお
いて、上記フォト作画機においてドローモードを使用し
、上記デジット枠用のパターンを上記ガラス板上に描画
するとともに、このフォト作画機におけるフラッシュモ
ードにより上記メツシュパターンをガラス板上に描画す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法であ
る。
画機により光を照射し、デジット枠とこのデジット枠に
囲まれたメツシュパターンとをこのガラス板上に作成す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法にお
いて、上記フォト作画機においてドローモードを使用し
、上記デジット枠用のパターンを上記ガラス板上に描画
するとともに、このフォト作画機におけるフラッシュモ
ードにより上記メツシュパターンをガラス板上に描画す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法であ
る。
また、本発明は、上記メツシュパターンは多角形の連続
体で構成されるとともに、このメツシュパターンは上記
フォト作画機において上記多角形の一部を構成する連続
する複数連からなる固定アパーチャを使用して描画した
蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法である
。
体で構成されるとともに、このメツシュパターンは上記
フォト作画機において上記多角形の一部を構成する連続
する複数連からなる固定アパーチャを使用して描画した
蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法である
。
〈作用〉
本発明に係る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作
成方法にあっては、デジット枠のパターンをこのフォト
作画機におけるドローモードにより描画するとともに、
そのフラッシュモードによってメツシュパターンを描画
する。この結果、長い線分はドローモードにより効率よ
く、また、複雑なパターンは短時間の露光の繰り返しに
よって正確に描くことができる。したがって、描画時間
を全体として大幅に短縮することができた。また、複雑
なメツシュパターンについてもその描画したパターンの
線幅のバラツキは少ないものである。
成方法にあっては、デジット枠のパターンをこのフォト
作画機におけるドローモードにより描画するとともに、
そのフラッシュモードによってメツシュパターンを描画
する。この結果、長い線分はドローモードにより効率よ
く、また、複雑なパターンは短時間の露光の繰り返しに
よって正確に描くことができる。したがって、描画時間
を全体として大幅に短縮することができた。また、複雑
なメツシュパターンについてもその描画したパターンの
線幅のバラツキは少ないものである。
また、本発明方法では、上記フォト作画機において所定
の固定アパーチャを使用して上記メツシュパターンを描
画している。このため、メツシュパターンにおける描画
時間をさらに短縮することができた。
の固定アパーチャを使用して上記メツシュパターンを描
画している。このため、メツシュパターンにおける描画
時間をさらに短縮することができた。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を説明するための図
である。
である。
この実施例に係るマスク原版の作成方法は、まず、所定
大きさ、厚さの透明なガラス板上に所定厚さのフォトレ
ジストを塗布する。このフォトレジストはネガ形でもポ
ジ形であってもよい。
大きさ、厚さの透明なガラス板上に所定厚さのフォトレ
ジストを塗布する。このフォトレジストはネガ形でもポ
ジ形であってもよい。
そして、このようにして作成されたマスク原版用のガラ
ス板を、フォト作画機（第６図参照）の可動テーブル上
に位置決めして載置する。
ス板を、フォト作画機（第６図参照）の可動テーブル上
に位置決めして載置する。
このフォト作画機は、フラッシュモードとドローモード
との２つのモードによって駆動されるものである。フラ
ッシュモードは、テーブルと光源との位置決め後、露光
するもので、ドローモードは光源からテーブルに向かっ
てビームを照射しながら（光源のシャッタを開いた状態
で）その光源とテーブルとが相対的に移動するものであ
る。
との２つのモードによって駆動されるものである。フラ
ッシュモードは、テーブルと光源との位置決め後、露光
するもので、ドローモードは光源からテーブルに向かっ
てビームを照射しながら（光源のシャッタを開いた状態
で）その光源とテーブルとが相対的に移動するものであ
る。
そして、第１図に示すように電極体１１に対してその上
に密着されるマスク原版１２は、枠パターン１３とデジ
ット枠１４と、メツシュパターン１５と、をその上に形
成する必要がある。この場合、これらのパターンはガラ
ス板上に塗布したフォトレジストをパターン露光するこ
とにより作成する。
に密着されるマスク原版１２は、枠パターン１３とデジ
ット枠１４と、メツシュパターン１５と、をその上に形
成する必要がある。この場合、これらのパターンはガラ
ス板上に塗布したフォトレジストをパターン露光するこ
とにより作成する。
すなわち、デジット枠１４は上記フォト作画機のドロー
モードにより作成するとともに、メツシュパターン１５
はフラッシュモードにより作成するものである。
モードにより作成するとともに、メツシュパターン１５
はフラッシュモードにより作成するものである。
第２図および第３図はメツシュパターン１５を示してい
る。これらの図に示すように、メツシュパターン１５は
６角形の連続体であって、第４図に示すような固定アパ
ーチャ４１によって作成される。この固定アパーチャ４
１は６角形の半分の線分の連続体で構成され、その連結
部分はセリフが形成されている。このセリフはエツチン
グ時の補正のためのものである。セリフを介して形成し
たレジストの孔は、エツチングにより金属膜がその連結
、屈曲部分て過度に広くエツチングされることを未然に
防止するものである。なお、セリフを形成するため、こ
の固定アパーチャ４１は略８角形の孔の連続体として構
成されている。
る。これらの図に示すように、メツシュパターン１５は
６角形の連続体であって、第４図に示すような固定アパ
ーチャ４１によって作成される。この固定アパーチャ４
１は６角形の半分の線分の連続体で構成され、その連結
部分はセリフが形成されている。このセリフはエツチン
グ時の補正のためのものである。セリフを介して形成し
たレジストの孔は、エツチングにより金属膜がその連結
、屈曲部分て過度に広くエツチングされることを未然に
防止するものである。なお、セリフを形成するため、こ
の固定アパーチャ４１は略８角形の孔の連続体として構
成されている。
したがって、このメツシュパターン１５を作成する場合
にはこの固定アパーチャ４１を介して光源からビームを
テーブル上のガラス板に照射することを繰り返す。例え
ば、テーブルを駆動して固定アパーチャ４１に対する位
置を変えてフラッシュ露光を繰り返すことにより６角形
のパターンを順番に形成していくものである。
にはこの固定アパーチャ４１を介して光源からビームを
テーブル上のガラス板に照射することを繰り返す。例え
ば、テーブルを駆動して固定アパーチャ４１に対する位
置を変えてフラッシュ露光を繰り返すことにより６角形
のパターンを順番に形成していくものである。
その後、レジストを現像して露光により硬化した部分を
除去することによりガラス板上に上記所定のパターンの
レジストが形成されるものである。
除去することによりガラス板上に上記所定のパターンの
レジストが形成されるものである。
これをマスク原版として電極体のレジストパターンの形
成に使用するものである。
成に使用するものである。
〈効果〉
以上説明してきたように、本発明によれば、描画時間を
短縮することができ、かつ、線幅の精度も高めることが
できた。例えば描画時間は従来の場合の１／１０程度（
４時間乃至５時間）に、線幅も従来の１１５程度（２μ
ｍ程度）のバラツキに抑えることができた。
短縮することができ、かつ、線幅の精度も高めることが
できた。例えば描画時間は従来の場合の１／１０程度（
４時間乃至５時間）に、線幅も従来の１１５程度（２μ
ｍ程度）のバラツキに抑えることができた。
第１図は本発明に係る蛍光表示管の電極体作成用マスク
原版の作成方法の一実施例に係るマスク原版のメインパ
ターンを示す正面図、第２図はそのマスク原版の一部分
を拡大して示す拡大図、第３図は同じく一実施例に係る
マスク原版のメツシュパターン部分を示す拡大図、第４
図は一実施例に係るフォト作画機の固定アパーチャを示
す図、第５図（Ａ）〜（Ｄ）は従来からの電極体の作成
方法を説明するための工程図、第６図は従来からのフォ
ト作画機の概略構成を示す概念図である。
原版の作成方法の一実施例に係るマスク原版のメインパ
ターンを示す正面図、第２図はそのマスク原版の一部分
を拡大して示す拡大図、第３図は同じく一実施例に係る
マスク原版のメツシュパターン部分を示す拡大図、第４
図は一実施例に係るフォト作画機の固定アパーチャを示
す図、第５図（Ａ）〜（Ｄ）は従来からの電極体の作成
方法を説明するための工程図、第６図は従来からのフォ
ト作画機の概略構成を示す概念図である。
Claims (2)
- （１）ガラス板上に被着した感光性樹脂にフォト作画機
により光を照射し、デジット枠とこのデジット枠に囲ま
れたメッシュパターンとをこのガラス板上に作成する蛍
光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法において
、 上記フォト作画機においてドローモードを使用して上記
デジット枠用のパターンを上記ガラス板上に描画すると
ともに、 このフォト作画機におけるフラッシュモードにより上記
メッシュパターンをガラス板上に描画することを特徴と
する蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法。 - （２）上記メッシュパターンは多角形の連続体で構成さ
れるとともに、このメッシュパターンは上記フォト作画
機において上記多角形の一部を構成する連続する複数辺
からなる固定アパーチャを使用して描画した請求項１に
記載の蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2163905A JPH0452641A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2163905A JPH0452641A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452641A true JPH0452641A (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=15783056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2163905A Pending JPH0452641A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171209B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-09 | Borg-Warner Automotive K.K. | Back drive type silent chain |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP2163905A patent/JPH0452641A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171209B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-09 | Borg-Warner Automotive K.K. | Back drive type silent chain |
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